KR20040022582A - Detailed angle measuring device - Google Patents

Detailed angle measuring device Download PDF

Info

Publication number
KR20040022582A
KR20040022582A KR1020020054188A KR20020054188A KR20040022582A KR 20040022582 A KR20040022582 A KR 20040022582A KR 1020020054188 A KR1020020054188 A KR 1020020054188A KR 20020054188 A KR20020054188 A KR 20020054188A KR 20040022582 A KR20040022582 A KR 20040022582A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
laser light
laser
beam split
lens
laser diode
Prior art date
Application number
KR1020020054188A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김선욱
Original Assignee
주식회사 루프시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 루프시스템 filed Critical 주식회사 루프시스템
Priority to KR1020020054188A priority Critical patent/KR20040022582A/en
Publication of KR20040022582A publication Critical patent/KR20040022582A/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/22—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/59—Transmissivity
    • G01N21/5907—Densitometers
    • G01N2021/5957—Densitometers using an image detector type detector, e.g. CCD

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE: An apparatus for measuring a micro angle is provided to exactly measure a tilt amount of a subject in four directions by using a laser diode, a collimate lens, and a CCD camera. CONSTITUTION: An apparatus for measuring a micro angle includes a laser diode(10), a beam splitter(40), a first collimate lens(50), a screen(90), and a CCD camera(100). The laser diode(10) emits divergence-type laser light. The beam splitter(40) transmits one portion of laser light emitted from the laser diode(10) and reflects the other portion of the laser light. The first collimate lens(50) converts divergence-type laser light into parallel laser light. The first collimate lens(50) sends the parallel laser light to a subject(200). Also, the first collimate lens(50) converts parallel laser light reflected from the subject(200) into convergence-type laser light. The collimate lens(50) sends the convergence-type light to the beam split(40).

Description

미세각도 측정장치{DETAILED ANGLE MEASURING DEVICE}Micro Angle Measuring Device {DETAILED ANGLE MEASURING DEVICE}

본 발명은 미세각도 측정장치에 관한 것으로서, 특히 레이저다이오드와 콜리메이트 렌즈 및 씨씨디 카메라 등을 사용하여 피사체의 4방향 틸트량을 정확히 측정할 수 있는 미세각도 측정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a micro-angle measuring device, and more particularly, to a micro-angle measuring device capable of accurately measuring a 4-way tilt amount of a subject using a laser diode, a collimated lens, a CD camera, or the like.

일반적으로 피사체 표면의 기울어진 각도인 틸트량을 측정하기 위하여, 피사체의 두지점의 높이를 측정하여 상호 비교함으로서, 피사체의 일방향의 틸트량을 측정하는 방법이 알려져 있다. 이러한 방법에 의하여 피사체의 입체적인 틸트량을 측정하기 위하여는 적어도 2방향 이상에 각각 틸트량을 측정하는 작업을 반복하게 된다. 이와 같은 틸트량 측정 작업에서는 높이를 정밀하게 측정할 수 있는 게이지, 각도기 등이 사용되고 있다.In general, in order to measure the tilt amount, which is an inclination angle of the surface of the subject, a method of measuring the tilt amount in one direction of the subject by measuring heights of two points of the subject and comparing them with each other is known. In this way, in order to measure the three-dimensional tilt amount of the subject, the operation of measuring the tilt amount in at least two directions or more is repeated. In such a tilt measurement, gauges, protractors, etc., capable of precisely measuring height are used.

그런데 이러한 방법으로 피사체의 틸트량을 측정하게 되면, 수평면을 갖는 피사체의 평면의 틸트량을 측정하기 위하여 직교되는 가로와 세로의 2방향 이상을 측정하여야 하므로, 작업의 속도가 느린 단점이 있었다.However, when the tilt amount of the subject is measured in this way, in order to measure the tilt amount of the plane of the subject having a horizontal plane, two or more directions of orthogonal width and length should be measured.

또한 피사체 상에서 2지점을 측정하여 서로 비교함으로써 틸트량을 측정한 결과는 2지점간의 상대적인 틸트량이 되므로, 수평면에 대한 절대적인 틸트량을 계산하려면 정확한 수평면상에 새로운 기준점을 설정하여야 하는 문제점도 있었다.In addition, since the result of measuring the tilt amount by measuring two points on the subject and comparing them with each other becomes a relative tilt amount between the two points, there is a problem that a new reference point must be set on the correct horizontal plane to calculate the absolute tilt amount on the horizontal plane.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 레이저다이오드와 콜리메이트 렌즈 및 씨씨디 카메라 등을 사용하여 피사체의 4방향 틸트량을 정확히 측정하기 위한 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to accurately measure the amount of 4-way tilt of the subject using a laser diode, a collimated lens, a CD camera and the like.

도 1은 본 발명에 따른 미세각도 측정장치의 개략도.1 is a schematic diagram of a micro-angle measuring device according to the present invention.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 미세각도 측정장치의 사용상태 사시도.Figure 2 is a perspective view of the state of use of the micro-angle measuring device according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2에 도시한 모니터의 영상을 보인 도면.3 is a view showing an image of the monitor shown in FIG.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

1: 미세각도 측정장치10: 레이저 다이오드1: fine angle measuring device 10: laser diode

20: 대물렌즈30: 발산광판20: objective lens 30: divergent light plate

32: 핀홀40: 빔스프리트32: pinhole 40: beam split

42: 반투과면50: 제 1콜리메이트 렌즈42: transflective surface 50: first collimated lens

60: 제 2콜리메이트 렌즈70: 마스터 미러60: second collimated lens 70: master mirror

80: 셔터90: 스크린80: shutter 90: screen

100: 씨씨디 카메라110: 컴퓨터100: CD camera 110: computer

120: 모니터122: 기준점120: monitor 122: reference point

124: 측정점200: 피사체124: measuring point 200: subject

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 발산형태의 레이저광을 출사하는 레이저 다이오드; 상기 레이저 다이오드로부터 출사된 레이저광의 일부는 투과시키고 일부는 90° 측방향으로 반사시키는 반투과면을 갖는 빔스프리트; 상기 반투과면으로부터 반사된 발산형태의 레이저광을 직진형태로 변화시켜 피사체로 보내며, 상기 피사체로부터 반사되는 상기 직진형태의 레이저광을 수렴형태로 변화시켜 상기 빔스프리트로 보내는 제 1콜리메이트 렌즈; 상기 빔스프리트를 기준으로 상기 제 1콜리메이트 렌즈와 대향되는 지점에 위치하여 상기 제 1콜리메이트 렌즈를 통과하여 상기 반투과면을 투과한 수렴형태의 레이저광의 제 1초점이 형성되는 스크린; 및 상기 스크린에 형성된 제 1초점을 촬상하는 씨씨디 카메라;를 포함하는 미세각도 측정장치를 제공한다.The present invention for achieving the above object, a laser diode for emitting a divergent laser light; A beam split having a transflective surface that transmits a portion of the laser light emitted from the laser diode and reflects the portion 90 degrees laterally; A first collimated lens for converting the divergent laser light reflected from the transflective surface into a straight form and sending the straight laser beam reflected from the subject into a convergent form and sending the laser beam to the beam split; A screen in which a first focal point of a convergent laser beam is formed at a point opposite to the first collimating lens with respect to the beam split and passes through the transflective surface through the first collimating lens; And a CD camera for capturing a first focal point formed on the screen.

이하에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 구현한 바람직한 일실시예를 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 미세각도 측정장치의 개략도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 미세각도 측정장치의 사용상태 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시한 모니터의 영상을 보인 도면이다.1 is a schematic view of a micro-angle measuring device according to the present invention, Figure 2 is a perspective view of the state of use of the micro-angle measuring device according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a view showing an image of the monitor shown in FIG. to be.

본 실시예의 측정장치(1)는, 발산형태의 레이저광을 출사하는 레이저 다이오드(10)와, 레이저 다이오드(10)로부터 출사된 레이저광의 일부는 투과시키고 일부는 90° 측방향으로 반사시키는 반투과면(42)을 갖는 빔스프리트(40)와, 반투과면(42)으로부터 반사된 발산형태의 레이저광을 직진형태로 변화시켜 피사체(200)로 보내며 피사체(200)로부터 반사되는 직진형태의 레이저광을 수렴형태로 변화시켜 빔스프리트(40)로 보내는 제 1콜리메이트 렌즈(50)와, 빔스프리트(40)를 기준으로 제 1콜리메이터 렌즈(50)와 대향되는 지점에 위치하여 제 1콜리메이트 렌즈(50)를 통과하여 반투과면(42)을 투과한 수렴형태의 레이저광의 제 1초점이 형성되는 스크린(90)과, 스크린(90)에 형성된 제 1초점을 촬상하는 씨씨디 카메라(100)로 이루어진다.The measuring device 1 of the present embodiment includes a laser diode 10 that emits a diverging laser light, and a semi-transmissive light that transmits a part of the laser light emitted from the laser diode 10 and reflects a part in a 90 ° lateral direction. The beam split 40 having the surface 42 and the divergent laser light reflected from the semi-transmissive surface 42 are converted to the straight form to be sent to the subject 200 and the straight laser is reflected from the subject 200. The first collimator lens 50 is converted into a convergent form and sent to the beam split 40, and the first collimator is positioned at a point opposite to the first collimator lens 50 with respect to the beam split 40. CD camera 100 for capturing the first focus formed on the screen 90 and the screen 90 to form a first focus of the converging laser light passing through the lens 50 and transmitted through the transflective surface 42. )

상기 레이저 다이오드(10)와 빔스프리트(40)의 사이에는, 레이저 다이오드(10)로부터 출사되는 발산형태의 레이저광을 수렴형태로 변화시키는 대물렌즈(20)와, 대물렌즈(20)를 통과한 수렴형태의 레이저광을 통과시켜 발산형태로 빔스프리트(40)로 보내는 핀홀(32)을 갖는 발산광판(30)이 구비된다.Between the laser diode 10 and the beam split 40, the objective lens 20 for changing the divergent laser light emitted from the laser diode 10 into a convergent form, and having passed through the objective lens 20 A diverging light emitting plate 30 having a pinhole 32 that passes through the converging laser light to the beam split 40 in a diverging form is provided.

상기 빔스프리트(40)를 기준으로 레이저 다이오드(10)와 대향되는 지점에는, 레이저 다이오드(10)로부터 출사되어 빔스프리트(40)를 투과한 발산형태의 레이저광을 직진형태로 변화시키고 반대로 입사되는 직진형태의 레이저광을 수렴형태로 변화시켜 빔스프리트(40)로 보내는 제 2콜리메이트 렌즈(60)와, 제 2콜리메이트 렌즈(60)를 통과한 레이저광을 다시 제 2콜리메이트 렌즈(60)로 반사시키는 마스터미러(70)와, 제 2콜리메이트 렌즈(60)와 마스터미러(70)의 사이에 위치하여 레이저광을 개폐하는 작동을 하는 셔터(80)가 구비된다.At the point opposite to the laser diode 10 on the basis of the beam split 40, the divergent laser light emitted from the laser diode 10 and transmitted through the beam split 40 is changed into a straight shape and is incident on the contrary. The second collimated lens 60 and the laser beam passed through the second collimated lens 60 and the second collimated lens 60 are sent to the beam split 40 by converting the laser light in a straight line into a convergent form. And a shutter 80 positioned between the second collimator lens 60 and the master mirror 70 to open and close the laser light.

한편, 마스터 미러(70)는 레이저 다이오드(10) 및 빔스프리트(40)에 대해 정확한 수평면을 가진 미러이다. 이러한 마스터 미러(70)는 XY좌표상에 기준점(122)을 설정하기 위한 것이다.On the other hand, the master mirror 70 is a mirror having an accurate horizontal plane with respect to the laser diode 10 and the beam split 40. This master mirror 70 is for setting the reference point 122 on the XY coordinates.

이와 같은 미세각도 측정장치(1)의 씨씨디 카메라(100)를 컴퓨터(110)에 연결하고, 컴퓨터(110)에는 XY좌표상에 피사체(200)로부터 측정되는 제 1초점을 측정점(124)으로 표시하고, 마스터미러(70)로부터 측정되는 제 2초점을 기준점(122)으로 표시하여 모니터(120)로 출력시키는 프로그램을 준비한다.The CD camera 100 of the micro angle measuring device 1 is connected to the computer 110, and the computer 110 has the first focal point measured from the subject 200 on the XY coordinates as the measurement point 124. A program for displaying the second focal point measured by the master mirror 70 as the reference point 122 and outputting the same to the monitor 120 is prepared.

이하에서는 상기와 같은 구성을 갖는 미세각도 측정장치의 작용을 설명한다.Hereinafter, the operation of the micro-angle measuring device having the configuration as described above.

레이저 다이오드(10)로부터 출사된 발산형태의 레이저광은 대물렌즈(20)를 통과하며 수렴형태로 변화되고, 다시 발산광판(30)의 핀홀(32)을 통과하며 발산형태로 변화되어 빔스프리트(40)로 보내진다.The divergent laser light emitted from the laser diode 10 passes through the objective lens 20 and changes into a converging shape, and then passes through the pinhole 32 of the diverging light plate 30 and diverges into a diverging form, so that the beam split ( Is sent to 40).

빔스프리트(40)로 보내진 레이저광의 일부는 반투과면(42)을 그대로 투과하고, 일부는 반투과면(42)에서 90° 측방향으로 반사된다.A part of the laser beam sent to the beam split 40 passes through the transflective surface 42 as it is, and a part is reflected 90 degrees laterally from the transflective surface 42.

빔스프리트(40)를 그대로 투과한 일부의 발산형태의 레이저광은 제 2콜리메이트 렌즈(60)를 통과하며 직진형태로 변화되어 마스터미러(70)로 보내진다. 마스터미러(70)로부터 반사된 직진형태의 레이저광은 다시 제 2콜리메이트 렌즈(60)를 통과하며 수렴형태로 변화되어 빔스프리트(40)로 보내진다.Part of the divergent laser light that has passed through the beam split 40 as it passes through the second collimated lens 60 is converted into a straight shape and sent to the master mirror 70. The laser light of the straight form reflected from the master mirror 70 passes through the second collimating lens 60 again, changes into a converging form, and is sent to the beam split 40.

제 2콜리메이트 렌즈(60)로부터 빔스프리트(40)로 보내진 수렴형태의 레이저광은 빔스프리트(40)의 반투과면(42)에서 일부가 반사되어 스크린(90)에 제 2초점을 형성하게 된다.Converged laser light sent from the second collimated lens 60 to the beam split 40 is partially reflected at the transflective surface 42 of the beam split 40 to form a second focus on the screen 90. do.

이때 씨씨디 카메라(100)는 스크린(90)에 형성된 초점을 촬상하여 컴퓨터(110)로 전송한다.At this time, the CD camera 100 captures a focus formed on the screen 90 and transmits the captured image to the computer 110.

컴퓨터(110)에서는 스크린(90)에 형성된 제 2초점을 XY좌표상의 중심에 오도록 조절하여 기준점(122)으로 사용한다.In the computer 110, the second focal point formed on the screen 90 is adjusted to be at the center of the XY coordinates and used as the reference point 122.

이와 같이 기준점(122)을 잡고 나면, 셔터(80)로 제 2콜리메이트 렌즈(60)로부터 마스터미러(70)로 레이저광이 이동하지 않도록 한다.After holding the reference point 122 as described above, the laser beam does not move from the second collimated lens 60 to the master mirror 70 by the shutter 80.

한편, 빔스프리트(40)의 반투과면(42)으로부터 반사된 발산형태의 레이저광은 제 1콜리메이트 렌즈(50)를 통과하며 직진형태로 변화되어 피사체(200)로 보내진다. 그리고 피사체(200)로부터 반사되는 직진형태의 레이저광은 다시 제 1콜리메이트 렌즈(50)를 통과하며 수렴형태로 변화되어 빔스프리트(40)로 보내진다.On the other hand, the divergent laser light reflected from the transflective surface 42 of the beam split 40 passes through the first collimating lens 50 and is converted into a straight shape and sent to the subject 200. In addition, the laser light of the straight form reflected from the subject 200 passes through the first collimated lens 50 again, changes into a convergent form, and is sent to the beam split 40.

제 1콜리메이트 렌즈(50)로부터 빔스프리트(40)로 보내진 수렴형태의 레이저광의 일부는 빔스프리트(40) 및 반투과면(42)을 투과하여 스크린(90)에 피사체(200)의 제 1초점을 형성한다.A portion of the converging laser light transmitted from the first collimating lens 50 to the beam split 40 passes through the beam split 40 and the transflective surface 42 to allow the first screen of the subject 200 on the screen 90. To form a focal point.

그리고 씨씨디 카메라(100)는 스크린(90)에 형성된 제 1초점을 촬상하여 컴퓨터(110)로 송신하게 된다.The CD camera 100 captures the first focus formed on the screen 90 and transmits the captured image to the computer 110.

컴퓨터(110)는 씨씨디 카메라(100)로부터 송신된 데이터를 받아 촬상된 피사체(200)의 제 1초점을 XY좌표상에 측정점(124)으로 표시하고, 기준점(122)과 비교하여 피사체(200)의 X방향 및 Y방향으로의 틸트량을 계산하여 모니터(120)로 출력시키게 된다.The computer 110 receives the data transmitted from the CD camera 100 and displays the first focal point of the photographed subject 200 as the measurement point 124 on the XY coordinates, and compares the subject 200 with the reference point 122. ) And the tilt amount in the X and Y directions is output to the monitor 120.

이와 같이하여 한번의 측정작업으로 피사체(200)의 4방향에 대한 틸트량을 측정할 수 있게 된다.In this way, the tilt amount in the four directions of the subject 200 can be measured by one measurement operation.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은, 레이저 다이오드(10)와, 레이저광의 일부는 투과시키고 일부는 90° 측방향으로 반사시키는 반투과면(42)을 갖는 빔스프리트(40)와, 반투과면(42)으로부터 반사된 발산형태의 레이저광을 직진형태로 변화시켜 피사체(200)에서 반사시켜 빔스프리트(40)로 보내는 제 1콜리메이트 렌즈(50)와, 제 1콜리메이트 렌즈(50)를 통과하여 반투과면(42)을 투과한 수렴형태의 레이저광의 제 1초점이 형성되는 스크린(90)과, 스크린(90)에 형성된 제 1초점을 촬상하는 씨씨디 카메라(100)를 포함하는 미세각도 측정장치로서, 스크린(90)에 형성된 피사체(200)의 제 1초점으로부터 피사체(200)의 4방향 틸트량을 정확히 측정할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention provides a laser diode 10, a beam split 40 having a semi-transmissive surface 42 which transmits a part of the laser light and reflects it 90 ° in the lateral direction, and a semi-transmissive surface ( The first collimating lens 50 and the first collimating lens 50 which pass through the first collimating lens 50 and the diverging laser beam reflected from the light source 40 are reflected by the object 200 and sent to the beam split 40. Fine angle including a screen 90 having a first focus of a convergent laser light transmitted through the transflective surface 42, and a CD camera 100 capturing the first focus formed on the screen 90. As a measuring device, the four-way tilt amount of the subject 200 can be accurately measured from the first focal point of the subject 200 formed on the screen 90.

이상에서는 본 발명을 제한된 실시예로써 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형이 가능할 것이다.The present invention has been described above as a limited embodiment, but the present invention is not limited to the above-described embodiment, and those skilled in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Anyone can make a variety of variations.

Claims (3)

발산형태의 레이저광을 출사하는 레이저 다이오드(10);A laser diode 10 for emitting a diverging laser light; 상기 레이저 다이오드(10)로부터 출사된 레이저광의 일부는 투과시키고 일부는 90° 측방향으로 반사시키는 반투과면(42)을 갖는 빔스프리트(40);A beam split 40 having a transflective surface 42 that transmits a portion of the laser light emitted from the laser diode 10 and reflects the portion 90 degrees laterally; 상기 반투과면(42)으로부터 반사된 발산형태의 레이저광을 직진형태로 변화시켜 피사체(200)로 보내며, 상기 피사체(200)로부터 반사되는 상기 직진형태의 레이저광을 수렴형태로 변화시켜 상기 빔스프리트(40)로 보내는 제 1콜리메이트 렌즈(50);The divergent laser light reflected from the transflective surface 42 is sent to the subject 200 in a straight form, and the laser beam in the straight form reflected from the subject 200 is changed into a convergent form to transmit the beam. A first collimated lens 50 sent to the split 40; 상기 빔스프리트(40)를 기준으로 상기 제 1콜리메이터 렌즈(50)와 대향되는 지점에 위치하여 상기 제 1콜리메이트 렌즈(50)를 통과하여 상기 반투과면(42)을 투과한 수렴형태의 레이저광의 제 1초점이 형성되는 스크린(90); 및A converging laser beam that passes through the transflective surface 42 through the first collimator lens 50 and is positioned at a point opposite to the first collimator lens 50 with respect to the beam split 40. A screen 90 in which a first focus of light is formed; And 상기 스크린(90)에 형성된 제 1초점을 촬상하는 씨씨디 카메라(100);를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세각도 측정장치.And a CD camera (100) for capturing the first focal point formed on the screen (90). 청구항 1에 있어서, 상기 레이저 다이오드(10)와 상기 빔스프리트(40)의 사이에는,The method according to claim 1, between the laser diode 10 and the beam split 40, 상기 레이저 다이오드(10)로부터 출사되는 발산형태의 레이저광을 수렴형태로 변화시키는 대물렌즈(20); 및An objective lens 20 for converting the divergent laser light emitted from the laser diode 10 into a convergent form; And 상기 대물렌즈(20)를 통과한 수렴형태의 레이저광을 통과시켜 발산형태로 상기 빔스프리트(40)로 보내는 핀홀(32)을 갖는 발산광판(30);이 구비된 것을 특징으로 미세각도 측정장치.And a diverging light emitting plate 30 having a pinhole 32 which passes through the converging laser beam passing through the objective lens 20 and sends the beam split 40 to the beam split 40 in a diverging form. . 청구항 1에 있어서, 상기 빔스프리트(40)를 기준으로 상기 레이저 다이오드(10)와 대향되는 지점에는,The method according to claim 1, wherein the point opposite to the laser diode 10 with respect to the beam split 40, 상기 레이저 다이오드(10)로부터 출사되어 상기 빔스프리트(40)를 투과한 발산형태의 레이저광을 직진형태로 변화시키고, 반대로 입사되는 직진형태의 레이저광을 수렴형태로 변화시켜 상기 빔스프리트(40)로 보내는 제 2콜리메이트 렌즈(60);The beam split 40 by changing the divergent laser light emitted from the laser diode 10 and passing through the beam split 40 into a straight line, and converting the incident laser beam into a converging form. A second collimated lens 60 to be sent to; 상기 제 2콜리메이트 렌즈(60)를 통과한 상기 레이저광을 다시 제 2콜리메이트 렌즈(60)로 반사시키는 마스터미러(70); 및A master mirror (70) for reflecting the laser light passing through the second collimated lens (60) back to the second collimated lens (60); And 상기 제 2콜리메이트 렌즈(60)와 상기 마스터미러(70)의 사이에 위치하여 레이저광을 개폐하는 작동을 하는 셔터(80);를 구비한 것을 특징으로 미세각도 측정장치.And a shutter (80) positioned between the second collimated lens (60) and the master mirror (70) to open and close the laser light.
KR1020020054188A 2002-09-09 2002-09-09 Detailed angle measuring device KR20040022582A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020054188A KR20040022582A (en) 2002-09-09 2002-09-09 Detailed angle measuring device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020054188A KR20040022582A (en) 2002-09-09 2002-09-09 Detailed angle measuring device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20040022582A true KR20040022582A (en) 2004-03-16

Family

ID=37326319

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020054188A KR20040022582A (en) 2002-09-09 2002-09-09 Detailed angle measuring device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20040022582A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106918309A (en) * 2017-02-22 2017-07-04 中国科学院上海光学精密机械研究所 The measurement apparatus and its measuring method of electro-optic crystal light pass surface normal and Z axis deflecting angle
CN113465551A (en) * 2021-07-06 2021-10-01 天津大学 Two-dimensional space laser angle measurement method based on CCD camera

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6475905A (en) * 1987-09-18 1989-03-22 Ricoh Kk Minute angle measuring machine
JPH0210208A (en) * 1988-06-29 1990-01-16 Ricoh Co Ltd Minute angle measuring apparatus
KR970050379A (en) * 1995-12-30 1997-07-29 배순훈 Objective Lens Measurement Device of Optical Pickup Actuator

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6475905A (en) * 1987-09-18 1989-03-22 Ricoh Kk Minute angle measuring machine
JPH0210208A (en) * 1988-06-29 1990-01-16 Ricoh Co Ltd Minute angle measuring apparatus
KR970050379A (en) * 1995-12-30 1997-07-29 배순훈 Objective Lens Measurement Device of Optical Pickup Actuator

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106918309A (en) * 2017-02-22 2017-07-04 中国科学院上海光学精密机械研究所 The measurement apparatus and its measuring method of electro-optic crystal light pass surface normal and Z axis deflecting angle
CN106918309B (en) * 2017-02-22 2019-12-03 中国科学院上海光学精密机械研究所 The measuring device and its measurement method of electro-optic crystal light pass surface normal and Z axis deflecting angle
CN113465551A (en) * 2021-07-06 2021-10-01 天津大学 Two-dimensional space laser angle measurement method based on CCD camera

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6977732B2 (en) Miniature three-dimensional contour scanner
JP7386185B2 (en) Apparatus, method, and system for generating dynamic projection patterns in a confocal camera
CN106705887A (en) Optical system generating multi-line structure light
US5543918A (en) Through-the-lens confocal height measurement
CN109540803A (en) A kind of ellipsometer device and the detection method based on the device
JP2001108417A (en) Optical shape measuring instrument
JP2006343595A (en) Confocal inspection device
CN113634877A (en) Laser processing device and method
CN101144906A (en) Target surface focal spot monitoring device
JPH08248132A (en) Displacement-information detection apparatus
CN100565142C (en) Lightbeam measuring device
TW201728870A (en) Device for measuring characteristics of optical element
JP2006343596A (en) Confocal inspection device
KR20040022582A (en) Detailed angle measuring device
CN1862313B (en) Optical imaging system and optical detecting system with same
JP3120885B2 (en) Mirror surface measuring device
CN106017441B (en) A kind of big working distance autocollimation of portable high-accuracy laser and method
JP2003035510A (en) Position detector
US6922232B2 (en) Test system for laser diode far-field pattern measurement
JP2010223775A (en) Interferometer
JP2003177292A (en) Lens adjusting device and method
TWI258000B (en) Portable optical 3-D surface profilometer and method for same
JP2014002026A (en) Lens shape measuring device, and lens shape measuring method
US6831792B2 (en) Objective lens, combination of objective lenses, and method for adjusting optical system using objective lens
CN109612942A (en) A kind of ellipsometer and the detection method based on the ellipsometer

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application