JPH0140931B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0140931B2
JPH0140931B2 JP57039574A JP3957482A JPH0140931B2 JP H0140931 B2 JPH0140931 B2 JP H0140931B2 JP 57039574 A JP57039574 A JP 57039574A JP 3957482 A JP3957482 A JP 3957482A JP H0140931 B2 JPH0140931 B2 JP H0140931B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
recording medium
magnetic recording
magnetoresistive element
magnetically sensitive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP57039574A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS58158017A (ja
Inventor
Sadao Sekizawa
Toshio Seki
Tadashi Takahashi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP57039574A priority Critical patent/JPS58158017A/ja
Priority to CA000423559A priority patent/CA1226645A/en
Priority to DE8383102537T priority patent/DE3377520D1/de
Priority to US06/475,519 priority patent/US4639807A/en
Priority to EP83102537A priority patent/EP0089059B1/en
Publication of JPS58158017A publication Critical patent/JPS58158017A/ja
Publication of JPH0140931B2 publication Critical patent/JPH0140931B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/33Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
    • G11B5/39Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
    • G11B5/3903Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、磁気ヘツドに係り、たとえば回転体
の回転位置を検出する回転検出器に用いられる、
磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘツドに関するも
のである。
前記例示の磁気抵抗効果素子を用いて回転位置
を検出する回転検出器は、磁気記録媒体と、その
磁気記録媒体と対向して配置されて相対的に移動
する、磁気抵抗効果素子により構成される磁気ヘ
ツドとによつて、回転位置を検出するようにした
ものであるが、その磁気ヘツドに係るものとし
て、たとえば、特開昭56−87862号「磁気ヘツド」
が開発されている。
そして、その磁気ヘツドにおける磁気抵抗効果
素子の配置構成に係るパターンは、第1図に示す
ごときものである。
ここで、第1図のaは、磁気ヘツドと磁気記録
媒体との配置図で、3A−1は磁気記録媒体で、
4Aは磁気ヘツド、5Aは、その磁気抵抗効果素
子のパターンを示し、6Aは非磁性体基板であ
り、イ〜ニは、外部接続端子で、R11,R12
R21,R22,R31,R32,R41,R42は、前記外部接
続端子間の磁気抵抗効果素子であり、なお、磁気
記録媒体3A−1は、後述する、回転検出器の配
置構成を示す模式図である第3図に示す円筒体に
係るドラム状の磁気記録媒体の拡大部分を示し、
また、第1図のbは、磁気抵抗効果素子のパター
ン5Aに係るブリツジ回路図である。
すなわち、磁気記録媒体3A−1には、図示の
ごとく、N,Sの磁極を一定間隔で記録してあ
り、また、上記の磁気抵抗効果素子のパターン5
Aには外部接続端子イ〜ニがあり、これらの外部
接続端子イ〜ニの間には、上記の各磁気抵抗効果
素子がブリツジ構成ができるように配列されてい
るものであり、そのブリツジ回路図が第1図のb
に示すごときものである。
しかして、そのブリツジの一辺を構成する磁気
抵抗効果素子は、たとえば、R11,R12に示すよ
うに、U字形のヘアピン形状にしているため、1
組のブリツジを構成すると、その全体の幅は、磁
気記録媒体3A−1の各磁極の記録ピツチをλと
したとき、図示のごとく、(2+3+/4)λを
必要とするものである。
多くの回転検出器の場合、回転方向の判別も行
なう必要があるため、位相を変えて2相出力に係
るものを備えたものが多く、その際は、ブリツジ
を2組必要とするため、磁気抵抗効果素子全体の
幅は、上記の(2+3+/4)λの2倍以上とな
つてしまうことになる。
しかして、このような構成の磁気抵抗効果素子
からなる磁気ヘツドを被検出体である磁気記録媒
体と組合せる場合の配置構成の模式図が第2,3
図であつて、さきに述べた開発例に示されるもの
である。
各図において、1はモートル、2はモートル軸
であり、3A,3A−1は、円板体のデスク形お
よび円筒体のドラム形に係る磁気記録媒体、4
A,4A−1は、磁気ヘツドを示すものである。
すなわち、第2図に示すものは、図示のごと
く、磁気記録媒体1Aの側面外側に対向させるよ
うにしたものである。
これにたいし、第3図に示すものは、図示のよ
うに、磁気記録媒体3A−1における軸方向端面
の外側に対向させるようにしたものである。
これらは、それぞれ、その要請に応じて、選択
採用される配置構成に係るものである。
ところで、磁気抵抗効果素子の検出信号として
得られる出力振幅は、抵抗変化率でせいぜい2〜
3%程度である。しかも、特開昭56−90213号公
報でも示されているとおり、磁気抵抗効果素子と
磁気記録媒体との距離(スペーシングと称する。)
に大きく左右される特性をもつている。
第4図は、スペーシングに対する磁気抵抗効果
素子の出力振幅の特性図である。
このように、スペーシングが大きくなると急げ
きに出力振幅が落込む特性をもつた磁気抵抗効果
素子を検出素子として使用している回転検出器に
おいては、回転時にスペーシングが変動せずに常
に一定の出力振幅が得られることが、製品の良否
を決定する重要なポイントとなる。
そしてこのような安定したスペーシングを得る
構造としては、さきの第2図に示す配置よりも、
第3図に示す配置の方が数倍有利である。すなわ
ち、機械加工においては、側面端面部分の面のふ
れよりは、軸方向外周のふれを押さえる加工の方
が精度を出し易く、相手機械に組込まれた際の軸
方向荷重によるスペーシング変動も無視できるも
のである。
ところが、第3図に示す配置の場合の問題は、
磁気記録媒体の曲率が磁気抵抗効果素子幅に対し
てスペーシングへ影響を及ぼす概念図である第5
図に示すように、磁気抵抗効果素子の全体の幅W
が大きいと、図示のS1とS2で示すスペーシン
グのように、磁気抵抗効果素子に係る、中心にあ
る素子と外側にある素子とでは実質的なスペーシ
ングが変わつてしまうということである。
すなわち、中心にある素子は、十分な出力振幅
が得られても、外側にある素子の出力は小さく、
ブリツジ構成された出力全体は十分でなくなつた
り、変に検出信号波形が歪む原因となる。
このように、第1図に示したようなヘアピン形
状の磁気抵抗効果素子を第3図のような配置で使
う場合には、当該素子全体の幅が広いため前記す
るような不具合点があつた。
本発明は、磁気抵抗効果素子全体の幅を小さく
して、スペーシングに影響されない、良好な検出
特性が得られる、回転検出器その他に使用される
磁気ヘツドの提供を、その目的とするものであ
り、また本発明の他の目的は、外乱ノイズが出力
として現れず、しかも複数の磁気抵抗効果素子の
検出感度を均一にし、かつ分解能を向上させた磁
気ヘツドを提供することにある。
本発明に係る磁気ヘツドの特徴は、多数の磁極
を着磁した磁気記録媒体と、この磁気記録媒体の
磁界中に対向して配置した磁気ヘツドとからな
り、この磁気ヘツドは、非磁性体基板の表面に担
持した磁気抵抗効果素子パターンを有し、前記磁
気記録媒体と磁気ヘツドとの相対的移動によつて
生ずる磁気抵抗効果素子パターンの内部抵抗の変
化に基づいて磁気記録媒体に着磁した磁極を検出
するようにしたものにおいて、前記非磁性体基板
に担持する磁気抵抗効果素子パターンは、前記磁
極の磁界に感応し内部抵抗が変化する狭幅の複数
の感磁部と、これら複数の感磁部の一端にそれぞ
れ接続されたブリツジ端子と、これら複数の感磁
部の反ブリツジ端子側に共通に接続され幅広リー
ドからなる共通端子とによつて構成され、この幅
広リードからなる共通端子は、磁気記録媒体の磁
界を跨ぐように配置された幅広の渡り部と、この
渡り部に連続し、かつ前記感磁部に共通に接続さ
れた反ブリツジ端子側幅広部とを有すると共に、
前記幅広リードからなる共通端子を電源に接続し
た磁気ヘツドにある。
次に、本発明に係る各実施例を、各図を参照し
て説明する。
なお、次の実施例に係るものは、1組のブリツ
ジ構成に供される配列のもので、1相出力に係る
ものである。
まず、第6図のaは、本発明の一実施例に係る
磁気ヘツドと磁気記録媒体との配置図、同図のb
は、その磁気抵抗効果素子のパターンに係るブリ
ツジ回路図である。
図で、3は磁気記録媒体、4は磁気ヘツド、5
は、その磁気抵抗効果素子のパターンを示し、6
は非磁性体基板、ホ〜ヌは、外部接続端子に係る
共通端子およびブリツジ出力端子で、R1〜R4は、
上記の端子間に配置された細長い短ざく形の磁気
抵抗効果素子である。
また、磁気記録媒体3は、第3図に示すよう
な、円筒体に係るドラム状のものの一部分を拡大
して示したものであり、これには、図示のよう
に、N,Sの磁極を一定間隔で記録しているもの
である。
そして、上記の磁気抵抗効果素子のパターン5
は、蒸着およびエツチングにより1チツプで、非
磁性体基板6の上に作られるものであり、その磁
気抵抗効果素子R4,R1,R2,R3は、第6図のb
に示す差動ブリツジに係る配列のものであつて、
磁気抵抗効果素子R1,R4の組と、同R2,R3の組
とに区分されたもので、ホ,ヌは共通端子、ヘ,
ト,チ,リは、それぞれ2分割された構成の差動
出力に係るブリツジ出力端子であり、ブリツジ出
力端子ト,チ,ヘ,リから差動出力が取り出せる
ようにしたものである。
すなわち、本実施例は、磁気抵抗効果素子R1
〜R4を、細長い短ざく形に形成して差動ブリツ
ジに配列し、そのブリツジ出力端子ヘ,ト,チ,
リを前記配列にともなつて2分割するように構成
して、磁気抵抗効果素子R4,R1、同R2,R3のそ
れぞれの一端にブリツジ出力端子ヘ,ト,チ,リ
を配置し、それらの磁気抵抗効果素子R4,R1
同R2,R3の反対側より引出される共通端子ホ,
ヌを、それらの磁気抵抗効果素子R4,R1、同R2
R3の外側を回らせて、前記ブリツジ出力端子ヘ,
リと隣接して配置したものである。
上記の構成により、さきに述べた開発例では、
R11,R42などで示される8個の磁気抵抗効果素
子に係るものが配置されていたが、本実施例で
は、その2個分を1個に集約したものと称しうる
4個の磁気抵抗効果素子R1〜R4の配置としたも
のである。
このようにして、磁気抵抗効果素子R1〜R4は、
第6図のaに図示する順で、λ/4ピツチで配列
することにより、位相的には、さきの開発例と同
じくなつて、差動出力の得られるブリツジ構成が
実現できるものである。
しかして、上述のブリツジ出力端子ト,チおよ
びヘ,リは、ひとまとめにしたいのであるが、さ
きに述べたように1枚の基板上に蒸着、エツチン
グで作るため、クロスすることができず、したが
つて2分割しておいて接続線を引出したのち、外
部でまとめるようにしたものである。
このようにすることにより、さきの開発例のも
のの全端子同じ側配置の特長は、そのままで、か
つ1組のブリツジを構成する4磁気抵抗効果素子
全体の幅は、僅かの3/4λで実現できるもので
ある。
これは、実に、さきの開発例の3/11になるわけ
で、さきの第5図に示した、磁気抵抗効果素子に
係る、中心にある素子と外側にある素子とのスペ
ーシングが、ほとんど変らない程度にすることが
できるものである。
ここにおいて、本実施例においては、非磁性体
基板6に担持する磁気抵抗効果素子パターン5
を、磁極の磁界に感応し内部抵抗が変化する狭幅
の複数の感磁部(磁気抵抗効果素子)R1〜R4と、
これら複数の感磁部R1〜R4の一端にそれぞれ接
続されたブリツジ端子ヘ,ト,チ,リと、これら
複数の感磁部R1〜R4の反ブリツジ端子側に共通
に接続された幅広リードAからなる共通端子ホ,
ヌとによつて構成され、この幅広リードAからな
る共通端子ホ,ヌは、磁気記録媒体3の磁界を跨
ぐように配置された幅広の渡り部A′と、この渡
り部A′に連続し、かつ前記感磁部R1,R4あるい
はR2,R3に共通に接続された反ブリツジ端子側
幅広部A″とを有すると共に、前記幅広リードA
からなる共通端子ホ,ヌを電源に接続したもので
あつて、幅広リードAからなる共通端子ホ,ヌを
電源端子に接続したので、外乱ノイズが出力とし
て現れるものではない。すなわち、幅広リードA
からなる共通端子ホ,ヌは、その幅が広いので、
インピーダンスはほとんどなく、また外部からの
磁気的ノイズは、この幅広リードAからなる共通
端子ホ,ヌに拾われ、電源側に吸収されるもので
あり、したがつて前記磁気的ノイズが感磁部R1
〜R4に作用して悪影響をおよぼす不具合をなく
すことができる。
また、本実施例においては、幅広リードAから
なる共通端子ホ,ヌの反ブリツジ端子A″側も幅
広として感磁部R1〜R4に接続したので、各感磁
部R1〜R4が発熱しても、これら各感磁部R1〜R4
の熱は、反ブリツジ端子側幅広部A″に伝達され、
各感磁部R1〜R4の放熱が促進されるものであつ
て、全ての感磁部R1〜R4の温度上昇を防止する
ことができるばかりでなく、複数の感磁部R1
R4、およびR2,R3を、それぞれ共通端子ホ,ヌ
の反ブリツジ端子側幅広部A″に共通接続とした
ので、前記複数の各感磁部R1,R4、さらにはR2
R3の温度上昇のばらつきをなくして、各感磁部
R1,R4、さらにはR2,R3の検出感度を均一化す
ることができる。
これに加えて、本実施例においては、前記のご
とく、複数の感磁部R1〜R4全ての温度上昇を抑
えることができるので、前記各感磁部R1〜R4
幅Tを可及的に狭くすることができる。そして、
全ての感磁部R1〜R4の幅を狭くすることができ
れば、必然的に感磁部R1〜R4の間隔を狭くする
ことができるから、単位長さ当りに配置する感磁
部の本数を多くすることができ、それだけ微細な
位置を検出できることにより、磁気ヘツドの分解
能を向上させることができる。
一方、本実施例においては、複数の感磁部R1
R4およびR2,R3を、それぞれ幅広リードAから
なる共通端子ホ,ヌに接続したので、各感磁部
R1〜R4にそれぞれリードを個々に有する場合に
比較して、その各感磁部R1,R4、さらにはR2
R3の感度を均一化することができる。
これに加えて、本実施例においては、感磁部の
所要本数が増加しても、幅広リードAからなる共
通端子を使用することにより、磁気ヘツドの小形
化を極力維持することができる。
しかして、さきにも述べたように、多くの回転
検出器は、位相の異なる2相を出力するタイプで
あるが、2組のブリツジを使う場合、本発明に係
るものの効果は、さらに大きいものである。
これを、次に説明する。
たとえば、2相の位相差をλ/8とすれば、さ
きの開発例の磁気ヘツドに係るものにおいては、
第8図の磁気抵抗効果素子の2相出力用パターン
図に示すごとく、次の幅が必要である。
(2+3/4)λ+1/8λ +(2+3/4) λ=45/8λ なお、第8図で、R11,R82などは、ヘアピン
形状の磁気抵抗効果素子、は共通端子、〜
は差動出力に係るブリツジ出力端子を示すもので
ある。
これにたいし、第9図a,bは、本発明の別の
実施例に係るものの磁気抵抗効果素子の2相出力
用パターンと、その磁気抵抗効果素子のパターン
に係るブリツジ回路とを示すものである。
そして、本実施例は、さきの第6図に示した実
施例と同態様の構成で2相出力用としたものであ
る。
この第9図のa,bによれば、僅かに7/8λで
よく、その差は、実に38/8λで、上記の45/8λの
7/45の幅でよいことになり、その小形化は顕著な
ものである。
なお、第9図で、5−2は磁気抵抗効果素子の
パターン、○

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 多数の磁極を着磁した磁気記録媒体と、この
    磁気記録媒体の磁界中に対向して配置した磁気ヘ
    ツドとからなり、この磁気ヘツドは、非磁性体基
    板の表面に担持した磁気抵抗効果素子パターンを
    有し、前記磁気記録媒体と磁気ヘツドとの相対的
    移動によつて生ずる磁気抵抗効果素子パターンの
    内部抵抗の変化に基づいて磁気記録媒体に着磁し
    た磁極を検出するようにしたものにおいて、 前記非磁性体基板に担持する磁気抵抗効果素子
    パターンは、前記磁極の磁界に感応し内部抵抗が
    変化する狭幅の複数の感磁部と、これら複数の感
    磁部の一端にそれぞれ接続されたブリツジ端子
    と、これら複数の感磁部の反ブリツジ端子側に共
    通に接続された共通幅広リードからなる共通端子
    とによつて構成され、この共通幅広リードからな
    る共通端子は、磁気記録媒体の磁界を跨ぐように
    配置された幅広の渡り部と、この渡り部に連続
    し、かつ前記感磁部に共通に接続された反ブリツ
    ジ端子側幅広部とを有すると共に、前記共通幅広
    リードからなる共通端子を電源に接続したことを
    特徴とする磁気ヘツド。
JP57039574A 1982-03-15 1982-03-15 磁気ヘツド Granted JPS58158017A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57039574A JPS58158017A (ja) 1982-03-15 1982-03-15 磁気ヘツド
CA000423559A CA1226645A (en) 1982-03-15 1983-03-14 Magnetic detector
DE8383102537T DE3377520D1 (en) 1982-03-15 1983-03-15 Magnetic detector
US06/475,519 US4639807A (en) 1982-03-15 1983-03-15 Magnetic detector having magnetoresistive elements
EP83102537A EP0089059B1 (en) 1982-03-15 1983-03-15 Magnetic detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57039574A JPS58158017A (ja) 1982-03-15 1982-03-15 磁気ヘツド

Related Child Applications (5)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24736286A Division JPS62162215A (ja) 1986-10-20 1986-10-20 磁気ヘツド
JP24735986A Division JPS62247212A (ja) 1986-10-20 1986-10-20 磁気エンコーダ
JP24736386A Division JPS62162216A (ja) 1986-10-20 1986-10-20 磁気ヘツド
JP24736086A Division JPS62247213A (ja) 1986-10-20 1986-10-20 磁気エンコーダ
JP24736186A Division JPS62247214A (ja) 1986-10-20 1986-10-20 磁気エンコーダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58158017A JPS58158017A (ja) 1983-09-20
JPH0140931B2 true JPH0140931B2 (ja) 1989-09-01

Family

ID=12556845

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57039574A Granted JPS58158017A (ja) 1982-03-15 1982-03-15 磁気ヘツド

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4639807A (ja)
EP (1) EP0089059B1 (ja)
JP (1) JPS58158017A (ja)
CA (1) CA1226645A (ja)
DE (1) DE3377520D1 (ja)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4725776A (en) * 1984-01-25 1988-02-16 Matsushita Electric Industry Co., Ltd. Magnetic position detector using a thin film magnetoresistor element inclined relative to a moving object
JPS60194311A (ja) * 1984-03-16 1985-10-02 Inoue Japax Res Inc 磁気エンコ−ダ
JPS61711A (ja) * 1984-06-14 1986-01-06 Inoue Japax Res Inc 磁気ヘツド
JPS61120915A (ja) * 1984-11-16 1986-06-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気センサ
DE3447313A1 (de) * 1984-12-24 1986-07-03 Standard Elektrik Lorenz Ag Magnetfeldsensor
US4860432A (en) * 1986-09-02 1989-08-29 Alps Electric Co., Ltd. Method of manufacturing a magnetoresistive sensor
US4853631A (en) * 1987-11-04 1989-08-01 The Superior Electric Company Magnetoresistive sensor having inter-leaved magnetoresistive elements for detecting encoded magnetic information
US5047716A (en) * 1988-02-19 1991-09-10 K.K. Sankyo Seiki Seisakusho Movement detector employing constant current drive
JP2669631B2 (ja) * 1988-02-19 1997-10-29 株式会社三協精機製作所 磁気検出装置
US4954803A (en) * 1988-03-18 1990-09-04 Yamaha Corporation Magnetic-resistor sensor and a magnetic encoder using such a sensor
US4947035A (en) * 1988-08-08 1990-08-07 Cornell Research Foundation, Inc. Fiber optic transducer using faraday effect
JP2720681B2 (ja) * 1992-01-06 1998-03-04 株式会社村田製作所 移動体の移動検出装置
US5293125A (en) * 1992-01-17 1994-03-08 Lake Shore Cryotronics, Inc. Self-aligning tachometer with interchangeable elements for different resolution outputs
US5336994A (en) * 1992-11-20 1994-08-09 Lake Shore Cryotronics, Inc. Magneto-resistive tachometer assembly with reversible cover and related method
US5495758A (en) * 1993-06-17 1996-03-05 Lake Shore Cryotronics, Inc. Tachometer assembly with integral internal wrench
US5514955A (en) * 1994-03-11 1996-05-07 Lake Shore Cryotronics, Inc. Slim profile digital tachometer including planar block and rotor having spokes and clamp
US5545985A (en) * 1994-03-16 1996-08-13 Campbell; Peter Magnetoresistive position sensor including an encoder wherein the magnetization extends greater than 0.5 times the pole pitch below the surface
WO1995028649A1 (en) * 1994-04-15 1995-10-26 Philips Electronics N.V. A magnetic field sensor, an instrument comprising such a sensor and a method of manufacturing such a sensor
JP3344605B2 (ja) * 1994-06-17 2002-11-11 ソニー株式会社 磁気抵抗センサ
JP3367230B2 (ja) * 1994-10-25 2003-01-14 ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 位置検出装置
US6246233B1 (en) 1994-12-30 2001-06-12 Northstar Technologies Inc. Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter and temperature compensation
US5886520A (en) * 1995-01-24 1999-03-23 Canon Kabushiki Kaisha Position sensor having magnetic resistance effect devices for detecting a position of an object
JP3306305B2 (ja) * 1996-04-25 2002-07-24 株式会社三協精機製作所 モータ
US5929631A (en) * 1997-07-02 1999-07-27 Ford Global Technologies, Inc. Method of position sensing utilizing giant magneto resistance elements and solid state switch array
JP2002510109A (ja) * 1998-03-30 2002-04-02 ストーリッジ テクノロジー コーポレーション スプリット型上側磁極を備えた薄膜テープヘッド
JP2000134977A (ja) * 1998-10-29 2000-05-12 Alps Electric Co Ltd 多相モータの駆動装置
WO2004048885A1 (fr) * 2002-11-08 2004-06-10 Beijing Aerospace Feng Guang Electronic Technical Corp. Ltd. Dispositif de mesure à déplacement magnétique
ES2364572T3 (es) * 2005-02-14 2011-09-07 Byk-Chemie Gmbh Polisiloxanos modificados por organosilanos, para la utilización en la modificación de superficies.
US11846529B2 (en) 2021-04-19 2023-12-19 Joral Llc Magnetic rack and pinion linear magnetic encoder and position sensing system

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5622961A (en) * 1979-08-02 1981-03-04 Hitachi Ltd Rotary sensor
JPS5687862A (en) * 1979-12-19 1981-07-16 Hitachi Ltd Magnetic head of revolution detector

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4039936A (en) * 1976-04-05 1977-08-02 International Business Machines Corporation Interleaved magnetoresistive displacement transducers
US4418372A (en) * 1979-08-02 1983-11-29 Hitachi, Ltd. Magnetic rotary encoder

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5622961A (en) * 1979-08-02 1981-03-04 Hitachi Ltd Rotary sensor
JPS5687862A (en) * 1979-12-19 1981-07-16 Hitachi Ltd Magnetic head of revolution detector

Also Published As

Publication number Publication date
JPS58158017A (ja) 1983-09-20
DE3377520D1 (en) 1988-09-01
EP0089059A3 (en) 1985-04-03
US4639807A (en) 1987-01-27
EP0089059B1 (en) 1988-07-27
EP0089059A2 (en) 1983-09-21
CA1226645A (en) 1987-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0140931B2 (ja)
JPS6047988B2 (ja) 磁気ヘツド
EP0372134B1 (en) Magnetoresistive sensor having interleaved elements
JP3271162B2 (ja) 回転検出装置
JPS6363050B2 (ja)
JPS59147213A (ja) 磁気回転センサ
JPH0226166B2 (ja)
JPH0562282B2 (ja)
JP3271204B2 (ja) 回転検出装置
JPH0469348B2 (ja)
JP3016468B2 (ja) 磁電変換装置
JPH0326324B2 (ja)
JP2526913B2 (ja) 回転検出装置
JPS62162216A (ja) 磁気ヘツド
JP3170806B2 (ja) 磁電変換器
JPH07104180B2 (ja) 磁気回転エンコーダ系
JP2539470B2 (ja) 磁気的に位置や速度を検出する装置
JP3336661B2 (ja) 回転検出装置
JP2968924B2 (ja) 磁気検出装置
JPS58202873A (ja) 光学的回転検出装置
JPS62247214A (ja) 磁気エンコーダ
JPS60117108A (ja) 磁性回転センサ
JPS5814011A (ja) 磁気エンコ−ダ
JPH08304108A (ja) 磁気センサ
JPS5927217A (ja) 磁気回転センサ