JPS61120915A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
- Publication number
- JPS61120915A JPS61120915A JP59242877A JP24287784A JPS61120915A JP S61120915 A JPS61120915 A JP S61120915A JP 59242877 A JP59242877 A JP 59242877A JP 24287784 A JP24287784 A JP 24287784A JP S61120915 A JPS61120915 A JP S61120915A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- elements
- temperature
- output
- magnetic sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ビデオテープレコーダやプリンタやポテンシ
目メータ等に用いることができる周波数ジヱネレータ用
としての磁気センサに関するものである。
目メータ等に用いることができる周波数ジヱネレータ用
としての磁気センサに関するものである。
従来例の構成とその問題点
一般に磁気センサを用いて周波数ジエネレータヲ構成す
るにあたり、第1図に示すように強磁性薄膜抵抗エレメ
ント対は第1センサ出力を得るためのエレメント1aと
1bの有する第1対称軸と、第2センサ出力を得るため
のエレメント2aと2bの有する第2対称軸とが異なる
位置に存在していた。このため、端子4aと4Cに電源
を接続すると、センナの温変分布は第2図に示すごとく
なり、エレメント対はそれぞれ異なった温度に位置して
いた。例えば第1センサ出力を決定するエレメント1a
と1bはそれぞれT2 とT1 の異なる視度を有す
る。このため、端子4bの電位は導度差(T2−T1)
に相等するバランスのくずれを生じる。
るにあたり、第1図に示すように強磁性薄膜抵抗エレメ
ント対は第1センサ出力を得るためのエレメント1aと
1bの有する第1対称軸と、第2センサ出力を得るため
のエレメント2aと2bの有する第2対称軸とが異なる
位置に存在していた。このため、端子4aと4Cに電源
を接続すると、センナの温変分布は第2図に示すごとく
なり、エレメント対はそれぞれ異なった温度に位置して
いた。例えば第1センサ出力を決定するエレメント1a
と1bはそれぞれT2 とT1 の異なる視度を有す
る。このため、端子4bの電位は導度差(T2−T1)
に相等するバランスのくずれを生じる。
さらに端子4aと4C間に印加する電圧が増大すればす
るほど各エレメントの自己発熱量が増しエレメント1a
と1bの温度差が増大する。同様に第2センサ出力端子
4dにおいてもエレメント対の温度差成分のバランスの
くずれを生ずる。すなわち、従来例による磁気センサの
出力は、センサエレメントの自己発熱にエリ、エレメン
ト対の温度差を生じて中点電位の温度ドリフトを生じる
問題を有している。
るほど各エレメントの自己発熱量が増しエレメント1a
と1bの温度差が増大する。同様に第2センサ出力端子
4dにおいてもエレメント対の温度差成分のバランスの
くずれを生ずる。すなわち、従来例による磁気センサの
出力は、センサエレメントの自己発熱にエリ、エレメン
ト対の温度差を生じて中点電位の温度ドリフトを生じる
問題を有している。
このため従来の磁気センナにおいては信号処理回路にD
Cアンプ(直結型増幅器)を用いると温間ドリフトによ
り周波数ジェネレータセンサ出力が歪むという問題を有
していた。
Cアンプ(直結型増幅器)を用いると温間ドリフトによ
り周波数ジェネレータセンサ出力が歪むという問題を有
していた。
発明の目的
本発明はこのような従来の欠点を除去するものであり、
温嵯ドリフトの極めて小さな磁気センサを提供すること
を目的とするものである。
温嵯ドリフトの極めて小さな磁気センサを提供すること
を目的とするものである。
発明の構成
本発明の磁気センサは、第3図に示すごとく第1センサ
出力を得るためのニッケル合金を材料とする強磁性薄膜
抵抗体よりなるセンサエレメント6aと6bの第1対称
軸と第2センサ出力を得るだめのセンナエレメント5a
と6bの第2対称軸を同じ位置に設けることにより、第
4図に示すごとくエレメント6aと6bけτ3という同
じ温度を有し、さらに5aと5bもT4という同じ温度
を有し、それぞれの出力は温度ドリフトがほぼな電圧、
v8 を端子4aと4Cに印加した場合の端子4bと4
dの出力雷、圧をv4bとv4dとする。
出力を得るためのニッケル合金を材料とする強磁性薄膜
抵抗体よりなるセンサエレメント6aと6bの第1対称
軸と第2センサ出力を得るだめのセンナエレメント5a
と6bの第2対称軸を同じ位置に設けることにより、第
4図に示すごとくエレメント6aと6bけτ3という同
じ温度を有し、さらに5aと5bもT4という同じ温度
を有し、それぞれの出力は温度ドリフトがほぼな電圧、
v8 を端子4aと4Cに印加した場合の端子4bと4
dの出力雷、圧をv4bとv4dとする。
Ra(Ta) =Ra(T=20°C)×(1+α・Δ
T、) 、・・・・剃Rb(Tb)=Rb(T=20
″C)×(1+α・Δ’rb) −−−−−−<1
αはエレメントの有する温度係数であり、同一素材によ
り構成されたエレメントはほぼ同じ温度係数値を有する
。
T、) 、・・・・剃Rb(Tb)=Rb(T=20
″C)×(1+α・Δ’rb) −−−−−−<1
αはエレメントの有する温度係数であり、同一素材によ
り構成されたエレメントはほぼ同じ温度係数値を有する
。
式(1)〜(′4より
v4b(T〉20)=
Rb(T=2σC)×(1+α・ΔTb)Ra(T=2
0°C)×(1+α・ΔTa)+Rb(T−!σC)X
(1−)−+2・ΔTbxV、 ・・・・・・・
・・・・・(4なる式を得る。
0°C)×(1+α・ΔTa)+Rb(T−!σC)X
(1−)−+2・ΔTbxV、 ・・・・・・・
・・・・・(4なる式を得る。
本発明の実施例においては、第4図からエレメント対の
有する温度は等しく、ΔTa=ΔTbとなる。
有する温度は等しく、ΔTa=ΔTbとなる。
従って、第(4式は次式のごとくなる。
すなわち、v4bの電位は、自己発熱による温度ドリフ
ト成分が除去され、T=20″Cのときの電位と同じ値
を有することがわかる。
ト成分が除去され、T=20″Cのときの電位と同じ値
を有することがわかる。
逆に従来例では第(4式において、ΔTa\ΔTbが第
2図から明らかとなり、v4b(T=20)\v4b(
T>20)となる。
2図から明らかとなり、v4b(T=20)\v4b(
T>20)となる。
以下本発明の具体例を図面を参照して説明する。
第6図に示すごとく、第1センナ出力を構成するエレメ
ント対6aと6bの対称軸と、第2センサ出力を構成す
るエレメント対5&と6bの対称軸とを同じ位置に重ね
た後、さらに基板3の対称軸に重ねる。この後端子4a
と40に電圧を供給し、出力を端子4bと4dからとり
だす。
ント対6aと6bの対称軸と、第2センサ出力を構成す
るエレメント対5&と6bの対称軸とを同じ位置に重ね
た後、さらに基板3の対称軸に重ねる。この後端子4a
と40に電圧を供給し、出力を端子4bと4dからとり
だす。
このようにして、構成された磁気センサは第4図に示す
温度分布を有するため、各出力を構成するエレメント対
は等温分布曲線上に位置しエレメント対の対称軸が温度
分布の対称軸とほぼ同一となる。
温度分布を有するため、各出力を構成するエレメント対
は等温分布曲線上に位置しエレメント対の対称軸が温度
分布の対称軸とほぼ同一となる。
なお本実施例では出力を第1と第2に限定したが、第3
以降の多出力にも対応可能であることがうかがえる。さ
らに考察を加えるならば、エレメント対以外の電極とり
まわし部による@度分布の乱れを生じることがあり、電
極とりまわし部の対称軸もエレメント対の対称軸に重ね
ることが好ましい。
以降の多出力にも対応可能であることがうかがえる。さ
らに考察を加えるならば、エレメント対以外の電極とり
まわし部による@度分布の乱れを生じることがあり、電
極とりまわし部の対称軸もエレメント対の対称軸に重ね
ることが好ましい。
発明の効果
以上のように本発明は、温度ドリフトの極めて小さな磁
気センサを供給可能としたものである。
気センサを供給可能としたものである。
第5図に示すごとく、従来の磁気センサにおいては、印
加電圧を増大してゆくと自己発熱量が増大してセンサ出
力端子の電位は初期状態のバランスから大きくズレを生
じている。(このときのバランスとは中点電位の変化量
を印加電圧で割算した値)。これに対し本発明の実施例
では極めて小さなバランスのズレしか生じない。このた
めDCカップリング型のアンプで信号処理が容易に行え
るようになり、加えてエンコーダ等の周波数ジェネレー
タとして用いた場合の位置情報検出精度が高まることが
理解できる。
加電圧を増大してゆくと自己発熱量が増大してセンサ出
力端子の電位は初期状態のバランスから大きくズレを生
じている。(このときのバランスとは中点電位の変化量
を印加電圧で割算した値)。これに対し本発明の実施例
では極めて小さなバランスのズレしか生じない。このた
めDCカップリング型のアンプで信号処理が容易に行え
るようになり、加えてエンコーダ等の周波数ジェネレー
タとして用いた場合の位置情報検出精度が高まることが
理解できる。
第1図は従来例の磁気センサの基本構造図、第2図は従
来例の磁気センサの温度分布図、第3図は本発明の磁気
センサの基本構造図、第4図は本発明の磁気セ/すの温
度分布図、第5図は、従来例と本発明実施例の特性比較
図、第6図は本発明の磁気センナの一実施例における平
面パターン形状図である。 1a、1b、2a、2b・・・・・・強磁性薄膜抵抗エ
レメント、3−−−・基台、4a、4b、4a、4d・
・・・・出力端子、5a、5b、6a、6b・・・・・
・強磁性薄膜抵抗エレメント、T1.T2.T3.T4
・・・・・・端子4aと4cに電圧印加した場合のエレ
メントの示す温度。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名菓1
図 イン ネ【 第 3 図 第5図 7寸 ン ス pリ カ口 fcf
来例の磁気センサの温度分布図、第3図は本発明の磁気
センサの基本構造図、第4図は本発明の磁気セ/すの温
度分布図、第5図は、従来例と本発明実施例の特性比較
図、第6図は本発明の磁気センナの一実施例における平
面パターン形状図である。 1a、1b、2a、2b・・・・・・強磁性薄膜抵抗エ
レメント、3−−−・基台、4a、4b、4a、4d・
・・・・出力端子、5a、5b、6a、6b・・・・・
・強磁性薄膜抵抗エレメント、T1.T2.T3.T4
・・・・・・端子4aと4cに電圧印加した場合のエレ
メントの示す温度。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名菓1
図 イン ネ【 第 3 図 第5図 7寸 ン ス pリ カ口 fcf
Claims (1)
- 2個一対の強磁性薄膜抵抗体よりなるセンサエレメント
を直列に接続し両端を電源に接続し中点からセンサ出力
を取出すものを複数対備え、この各センサエレメントの
対称軸をほゞ同じ位置にくるように各センサエレメント
を配置してなる磁気センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59242877A JPS61120915A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59242877A JPS61120915A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 磁気センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61120915A true JPS61120915A (ja) | 1986-06-09 |
Family
ID=17095558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59242877A Pending JPS61120915A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 磁気センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61120915A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11543470B2 (en) | 2020-07-21 | 2023-01-03 | Tdk Corporation | Magnetic sensor |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58106462A (ja) * | 1981-12-18 | 1983-06-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転検出装置 |
JPS58158017A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-09-20 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツド |
-
1984
- 1984-11-16 JP JP59242877A patent/JPS61120915A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58106462A (ja) * | 1981-12-18 | 1983-06-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転検出装置 |
JPS58158017A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-09-20 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツド |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11543470B2 (en) | 2020-07-21 | 2023-01-03 | Tdk Corporation | Magnetic sensor |
US11686787B2 (en) | 2020-07-21 | 2023-06-27 | Tdk Corporation | Magnetic sensor |
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