JPH01279781A - セラミック被覆耐熱部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は高温あるいは高温腐食環境下で用いられる耐熱
部材に関する。

〔従来の技術〕

発電用ガスタービンプラントの発電効率を向上すること
を目的として、ガスタービンの高温化技術が検討されて
いる。又、石炭ガス化ガスタービンでは効率向上のため
に高温化技術の確立は必須である。このようにガスター
ビンプラントの高温化志向に伴って、部材の耐熱温度の
向上が望まれている。その方法としては部材を構成する
材料開発が主たるものであるが、金属材料ではＮｉある
いはＣＯ基超超合金も約８５０℃程度である。他方、セ
ラミックスは耐熱温度は十分高いが、特に高速回転体で
ある動翼等では靭性等の問題点がある。従って、高温化
技術の他の方法として部材が高温にならないようにする
方法がある。この方法として、部材の冷却と熱伝導率の
小さいセラミックのコーティングを組み合せたものがあ
る。このようなコーティングは熱遮へいコーティング（
Ｔｈｅｒｍａｌ　Ｂａｒｒｉｅｒ　Ｃｏａｔｉｎｇ　；
以下ＴＢＣと略す）と呼ばれる。ＴＢＣは基材を構成す
る耐熱合金と物性値が異なるセラミック被覆層を組み合
わせたものであるため、ＴＢＣの技術課題としては基材
とセラミック被覆層との物性値の相異によって生じる熱
応力の緩和が重要になる。特にガスタービン等では起動
−停止等の熱サイクルに基づく熱応力により、セラミッ
ク被覆層にはく離等の損傷が生じる。このような熱応力
の緩和作用としてはセラミック被覆層と耐熱合金から成
る基材との間に熱膨張率の差を緩和する中間層を設ける
ことが知られている。例えば特開昭６２−２１１３６２
号公報参照。

中間層は、一般にセラミックと金属を混合したものであ
る。このような混合物被覆層の熱膨張率は混合比により
異なるが、一般には混合物被覆層を構成しているセラミ
ックと金属のそれぞれの熱膨張率の中間の値をもつと考
えられる。この種の中間層をセラミック層と基材との間
に設けた場合、轟然熱応力の緩和作用が期待されうる。

他方、ＴＢＣに用いられるセラミック被覆層は主に溶射
で作製したもので多孔質体である。この多孔質体である
セラミック被覆層は、その多孔質構造により自身で熱応
力を緩和しうるちのである。

しかし、ＴＢＣは高温、腐食条件下で用いられるため、
多孔質体であるセラミック被覆層を通じて、セラミック
被覆層の下部にある中間層に高温酸化、あるいは高温腐
食が生じる。そこで本発明者らはセラミックと金属を混
合した被覆層の酸化試験を実施した。試験片は基材の表
面に混合物被覆層を作製した後、基材を除去し、混合物
からなる試料を取り出した。その後、１０００℃、１０
００ｈの大気中加熱による酸化試験を実施した。その結
果、酸化試験では混合物からなる試料は著しい内部酸化
が進行した。この原因としては、セラミック粉末と金属
粉末を混合した被覆層はそれらの２種類の粉末を溶射に
より積層したものにすぎず、それらの境界部には欠陥が
存在するため、それらの欠陥を通じて内部酸化が進行す
るものと考えられる。このような中間層の内部酸化はセ
ラミック被覆層、混合物からなる中間層、基材の構成か
ら成るセラミックコーティングを行なった試験片でも著
しく進行していた。そしてこのようなセラミックコーテ
ィングでは高温酸化試験（１０００℃。

１０００ｈ）後、セラミック層ははく離していた。

このように、本来熱応力を緩和する目的で設けた混合物
から成る中間層は、本来の目的を発揮しない。この原因
としては、中間層自体の内部酸化により、中間層が新ら
たな熱応力を生じるものとなり、更に、セラミック被覆
層と中間層の境界部の中間層が酸化することによりセラ
ミック被覆層と中間層との密着力が低下することが原因
としてあげられる。このような問題点はＴＢＣの信頼性
を低下させるものである。一方、ガスタービンの高温化
に伴って、ＴＢＣに要求される遮熱効果は大きくなる。

すなわち、遮熱効果を大きくするためにはセラミック被
覆層の厚さを厚くする必要がある。この場合、熱サイク
ル等により生じる熱応力は当然大きくなる。熱サイクル
等でセラミック被覆層に生じる熱応力を緩和し、セラミ
ックコーティングの耐久性を向上させる必要がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

以上述べたように中間層を設けたＴＢＣは、セラミック
被覆層と基材との間に生じる熱応力の緩和作用を目的と
したものであるが、中間層の高温耐酸化性が十分でない
ために、高温条件下では中間層の熱応力緩和作用は必ず
しも十分なものではなかった。中間層は、高温耐食性に
ついても必ずしも十分でない。本発明の目的は、セラミ
ックと金属の混合層である中間層の本来の目的である熱
応力の緩和作用を高温酸化、高温腐食条件下でも十分発
揮しうるようにしたセラミック被覆耐熱部材を提供する
ことにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、セラミック被覆層とセラミック・金属との混
合層からなる中間層の間に高温耐酸化性及び高温耐食性
に優れた合金からなる合金層を設けたことを特徴とする
。

本発明によれば、セラミック・金属の混合層の高温酸化
・高温腐食は、セラミック被覆層と混合層の間に設けた
合金層によって防止される。その結果、混合層は高温酸
化、高温腐食条件下においても安定であり、混合層の本
来の作用であるセラミック被覆層と基材との間の熱応力
の緩和を十分に発揮しうる。

このように熱応力緩和作用が高温酸化、高温腐食条件下
でも安定しているセラミックコーティングでは、従来の
セラミックコーティングに比べ耐久性が向上するととも
に、セラミック被覆層の厚さを厚くしてもその耐久性の
低下は少なくなる。

又、セラミック被覆層と混合物から成る中間層との間に
前記合金層を設けるとともに、更に、合金層とセラミッ
ク被覆層との境界部にＡｎを主成分とする酸化物層を設
けることによっても同様の効果が得られる。更に、Ａｆ
ｌを主成分とする酸化物層を設けることにより、セラミ
ック被覆層と合金層との密着力の向上も期待される。セ
ラミック被覆層の厚さが厚いセラミックコーティングは
、コーティングの本来の目的である遮熱効果が大きくな
り、部材を構成する基材の温度低減化に大きく寄与する
。

〔作用〕

本発明において、セラミック被覆層とセラミック・金属
の混合物から成る中間層の間に設けた合金層は、多孔質
なセラミック被覆層を通じて進行する酸化及び腐食に対
して中間層を保護する作用を有する。すなわち、中間層
はセラミック粒子と金属粒子の混合物からなり、その線
膨張率はセラミックと金属の中間の値となり、セラミッ
ク被覆層と基材との間の熱応力を緩和する作用を有して
いる。しかし、この混合物からなる中間層は高温耐酸化
、高温耐食性に劣るため、中間層を設けた熱応力緩和型
セラミックコーティングでは、中間層の高温耐酸化、高
温耐食性を向上させる必要性がある。本発明のセラミッ
クコーティングは、合金層の存在により中間層の高温酸
化、高温腐食を進行しにくくするため、高温耐酸化、高
温耐食性を改善することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の詳細について実施例を用いて説明する。

第１図は本発明の一実施例であるセラミックコーティン
グの断面の模式図を示す。第２図及び第３図は従来のセ
ラミックコーティングの断面模式図を示す。第１図〜第
３図で１はセラミック被覆層、２は基材、３は基材より
高温耐酸化。

高温耐食性に優れた合金からなる合金層、４は前記合金
と前記セラミックの混合層である。セラミック被覆層１
を構成する材料は熱伝導率が小さいｚｒＯｚ　を主成分
とし、Ｙ２０ａ、ＭｇＯ，ＣａＯ等を添加したＺｒＯｘ
系セラミックである。合金層３を構成する材料は、Ｃｏ
或いはＮｉのいずれか一方、もしくはそれらを組み合せ
たものに、Ｃｒ、ＡＱを含み、更に、Ｈｆ、Ｔａ、Ｙ、
Ｓｉ。

Ｚｒの１つ以上を含有したものからなる合金材料である
。混合層４は、上記のＺｒＯ２系セラミックと合金材料
の混合した材料からなる。第１図の本発明において、２
ケ所の合金層３の成分は同一のものでも、或いはそれぞ
れ異なった成分の合金からなるものでも良い。又、これ
らのそれぞれの被覆層の形成方法については特に制約は
ないが、成膜速度が大きいことと作業性の上からプラズ
マ溶射法が望ましい。なお、合金層等の比較的薄い被覆
層を形成する方法として電子ビーム゛蒸着法、或いはス
パッタリング法を用いてもよい。表１は本発明のセラミ
ックコーティング及び比較の為に行なった従来のセラミ
ックコーティングに関し、熱サイクル試験を行なった結
果を示す。表１中のＮＱＩ〜Ｎα８は従来のセラミック
コーティング、Ｎα９〜Ｎα２３は本発明のセラミック
コーティングである。熱サイクル試験は１７０℃と１０
００℃の繰り返しであり、セラミックコーティングの損
傷の有無で判定した。ここで、本発明のセラミック表　
１　熱サイクル試験結果 コーティングにおいて、セラミック被覆層の厚さは１．
０ｍｍ以下が望ましい。表１中のＨａ　１３のようにセ
ラミック被覆層の厚さが１ｍｍ以上では熱サイクル試験
による耐久性が低下する傾向にある。

セラミック被覆層１と混合層の間の合金層（表１中の合
金層Ｉ）の厚さは０．０３〜０，５ｎ＋ｍの範囲が望ま
しい。表１中のＮα１４．Ｎα１８のように合金ＨＩの
厚さが上記範囲外の場合には熱サイクル試験による耐久
性が低下する傾向にある。合金層■の厚さが薄い場合、
セラミック被覆層を通じての酸化或いは腐食を防止する
層として十分なものでなくなる。一方、合金層■の厚さ
が厚すぎる場合には、合金層自体が新らたな熱応力を生
じる層となり、混合層４による熱応力緩和作用を打ち消
すようになる６次に、混合層４の厚さは０．０３〜０．
５ｍｍの範囲が望ましい。表１中の魔１９゜Ｎα２３の
ように混合層の厚さが上記範囲外の場合、熱サイクル試
験による耐久性は低下する。混合層の厚さが薄い場合、
混合層による熱応力の緩和作用が不十分となる。一方、
厚すぎる場合、混合暦自体の強度は合金層等に比べ比較
的小さいため。

混合層が厚くなることにより生じる混合層内の熱応力に
耐えられなくなる。又表１中の合金層■の厚さに関して
は特に制限は無いが０．０３〜０．５ｍｃの範囲である
ことが好ましい。その理由は表１中の合金層Ｉとほぼ同
様である。

なお、セラミックと金属との混合層において、その混合
比は特に制限はない。表１中の混合層の混合比は断面組
織観察による面積比で金ｒ７！Ｌ／セラミックの割合が
２７１である。本発明者らは他の混合比の混合層につい
ても検討したが、その結果は他の混合比においても表１
とほぼ同様であった。

又、本発明から類推されうる方法である混合層の混合比
を金属の多いものからセラミックの多いものに順次変化
させたものについても検討したが。

その効果はほとんど明確ではなく、均一な混合比の混合
層を設けたものとほぼ同等であった。

次に、高温酸化試験を行なった後、同様の熱サイクル試
験を実施した。高温酸化試験は１０００’Ｃ，５００ｈ
である。その結果、表１中のＮα５〜８のセラミックコ
ーティングを行なった試験片は酸化試験でセラミック被
覆層が損傷しはく離した。

一方、その他の試験片は熱サイクル試験の結果、Ｎａｌ
〜４の試験片はセラミックコーティングの損傷発生回数
は２０〜４０％程度少なくなり、耐久性は低下していた
。表１中の本発明の範囲のセラミックコーティングは、
表１の結果と比べ、はぼ同等で、一部の試験片ではむし
ろセラミックコーティングの損傷発生するまでの回数が
増加しているのも認められた。

次に、溶融塩塗布法による高温腐食試験を実施した。試
験方法は２５％ＮａＣＱ−７５％Ｎａ２５Ｏ＋溶融塩を
塗布し、大気中で８５０℃、３００時間加熱する方法で
ある。その後、同様の熱サイクル試験を実施した。その
結果、表１中のＮａ　５〜８の試験片は高温腐食試験後
、セラミックコーティングは損傷した。一方、表１中の
ＮＬ１１〜４の試験片は、熱サイクル試験の結果、セラ
ミックコーティングの損傷発生回数は２０〜４０％程度
少なくなり、耐久性は若干低下していた。表１中の本発
明の範囲のセラミックコーティングは、表１の結果に比
べ、セラミックコーティングの損傷発生回数はほぼ同等
で、特に耐久性の低下は認められないものであった。

次に、第４図、第５図、第６図は本発明の他の実施例を
示す。これらの各実施例において、１はセラミック被覆
層、２は基材、３は合金層、４は混合層、５はＡＱを主
成分とする酸化物層である。

第４図、第６図の実施例においてＡＱを主成分とする酸
化物層はセラミックコーティング部材を熱処理すること
によって形成されうる。熱処理の条件としては、６’Ｏ
Ｏ℃〜１２００℃の温度範囲で１時間〜２００時間、大
気中で加熱処理をするのが望ましい。酸化物層の厚さは
、０．１μｍ〜２０μｍの範囲が望ましい。酸化物層の
厚さが薄い場合、酸化物層の効果が少なくなり、又、厚
い場合、酸化物層が新らたな熱応力を生じる部分となっ
てしまう。第５図、第６図においては、混合層と基材と
が直接接する構造になっている。本発明のセラミックコ
ーティングでは混合層による熱応力緩和作用が、高温酸
化、高温腐食条件下において安定して維持されるため、
混合層と基材との間の合金層を省略した場合でも特に問
題はない。

又、以上の本発明のいずれのセラミックコーティングに
おいても、合金層の作製方法に特に制限はないが、プラ
ズマジェット周辺の雰囲気を保護ガス、不活性ガスとし
、かつ、その雰囲気を大気圧以下にした減圧雰囲気中プ
ラズマ溶射法を用いるのが望ましい。又、セラミックと
金属の混合層に関しても同様である。減圧雰囲気中プラ
ズマ溶射法で形成した合金層は、溶射中の合金粉末の酸
化等が生じにくく、合金層は酸化物被膜等の汚染物が混
入しない緻密な構造の被覆層となる。又、混合層におい
ても、混合物を構成する合金粉末の酸化等が生じ難く、
混合層中の金属部分は酸化物被膜等の汚染物が混入しな
い被覆層となる。

又、第１図、第５図の本発明の実施例において、高温酸
化条件下で長時間使用した場合、使用中に、セラミック
被覆層と合金層との境界部にＡＱを主成分とする酸化物
層が形成される。

以上のように、従来の公知のセラミックコーティングで
は金属とセラミックの混合物からなる中間層はその主た
る作用であるセラミック被覆層と基材との間に生じる熱
応力の緩和に対し、高温或いは高温腐食条件下では、高
温酸化、高温腐食により中間層自体が損傷し、その主た
る熱応力緩和作用を発揮することができず、むしろ、新
らたな熱応力を発生させることになり、例えば熱サイク
ル試験においては中間層を設けないセラミックコーティ
ングよりもその耐久性は低下する。一方、本発明のセラ
ミックコーティングでは、混合層は高温或いは高温腐食
条件下でも熱応力緩和作用は安定して維持され、セラミ
ックコーティングの耐久性を向上させるのに有効なもの
になる６又、セラミック被覆層の厚さを厚くした場合も
、その耐久性の低下は少なく、遮熱効果の大きい高性能
なセラミックコーティングとなる。以下本発明の実施例
について詳細に説明する。

実施例１ 基材として、Ｎｉ基合金であるｌＮ−７３８を用い、そ
の表面を脱脂後、アルミナ製のグリッドを用いてプラス
チングし、しかる後、プラズマ溶射を行ない、３２重量
％Ｎｉ−２１重量％Ｃｒ−８重量％ＡＱ−０，５重量％
Ｙ−残部ＣＯからなる合金材料の被覆層を形成した。プ
ラズマ溶射は２００Ｔｏｒｒの圧力のＡｒｊｌ囲気中で
行なった。プラズマの出力は４０ｋＷである。このよう
な条件で厚さ０．１ｍｍの合金被覆層を形成し合金層と
した。しかる後、合金層の上にＺｒ０ｚ　−８重量％Ｙ
２Ｏ３の成分のセラミック粉末と前述の組成の合金粉末
を混合したものを溶射した。混合比は表２中に示す。又
、溶射条件も前述の合金層の形成条件と同様である。こ
のようにして、合金層の上にセラミックと金属の混合物
からなる被覆層を形成し混合層とした。この混合層の厚
さは０．２ｍｍである。溶射条件は前記の合金層作製時
と同様である。その後、混合層の上に、前述の組成の合
金粉末を前述の合金層作成条件と同様で溶射し、厚さ０
．１＋＊ｍの合金層を形成した。更に、その合金層の上
に、Ｚｒ０ｘ−８重量％Ｙ２Ｏ３粉末を溶射し表　２　
セラミックコーティングの損傷発生回数１）熱サイクル
試験：　１０００℃→　１７０℃２）高温酸化試験：１
０００℃、５００ｈ　（大気中加熱） ３）高温腐食試験：８５０℃、３００ｈ　（２５％Ｎａ
ＣＱ＋７５％ＮａｚＳＯ＋） ４）Ｍ／Ｃ：金属／セラミックの体積比た。溶射条件は
プラズマ出力５０ｋＷで、大気中溶射である。Ｚｒ０ｚ
−８重量％Ｙ２Ｏ３被覆暦の厚さは０．４＋＊−である
、その後、１１２０℃。

２ｈの真空中加熱処理を行ない、基材と接する合金層と
基材との拡散処理を行なった。

このような方法によって作製した本発明のセラミック被
覆耐熱部材について、前述と同様の熱サイクル試験を実
施した。その結果、セラミックコーティングが損傷する
までの繰り返し数は表２中に示すようであった。又、１
０００℃、５００ｈの大気中加熱による高温酸化試験に
おいても、試験後、いずれのセラミックコーティングも
損傷は認められなかった。更に、これらの試駄片を用い
て前述と同様の熱サイクル試験を実施した結果、セラミ
ックコーティングが損傷にいたるまでの繰り返し数は表
２中のようであった。次に、２５％ＮａＣＱ＋７５％Ｎ
ａｚＳＯ＋溶融塩を塗布し、８５０℃、３００ｈの大気
中加熱を行なった高温腐食試験後も、いずれのセラミッ
クコーティングにも損傷は認められなかった。更に、高
温腐食試験後の試験片を用い、前述と同様の熱サイクル
試験を行なった結果、セラミックコーティングの損傷に
至るまでの繰り返し数は表２中に示すようであった。一
方、比較の為に作成した従来のセラミックコーティング
は表１中のＮα１〜８とほぼ同様の結果であった。この
ように、本発明のセラミックコーティングは従来のもの
に比べ、高温耐酸化性、高温耐食性に優れかつ、耐熱衝
撃性に優れた耐久性に富むものである。

実施例２ 基材として、Ｎｉ基合金であるｌＮ７３８を用い実施例
１と同様の方法により前処理を行なった後、実施例１と
同様の材料を用い、同様の方法で合金層と混合層を形成
した。なお、混合層のセラミックと金属の混合比は１：
１である。それぞれの厚さも同様である。しかる後、３
２重量％Ｎｉ−２１重量％Ｃｒ−８重量％ＡＱ−０，５
重量％Ｙ−残部Ｃｏから成る合金材料をターゲットとし
て、スパッタリングにより、前述の中間層の上に厚さ０
．０２ｍｍの合金層を形成した。スパッタリング条件は
印加電圧２ｋＶで処理時間は２．Ｏｈである。しかる後
、実施例１と同様にセラミック被覆層を形成した。その
後、１１２０℃、２ｈの真空中加熱処理を行ない拡散処
理とした。このようにして作製した本発明のセラミック
被覆耐熱部材について実施例１と同様の耐久性試験を実
施した結果、はぼ同様の結果が得られた。

実施例３ 実施例１と同様の材料を用い、実施例１と同様の方法で
セラミック被覆耐熱部材を作製した。しかる後、９５０
℃、２０時間の大気中加熱を行ない、セラミック被覆層
と合金層との境界部にＡＱｚＯｓを主成分とする酸化物
層を形成した。試験片の断面組織観察の結果、その厚さ
は約５μｍであった。又、ＸＭＡ観察の結果、酸化物層
に対応する部分には、Ａ０．Ｏの存在が多く認められ、
一部Ｃｒも認められた。このようにして作製したセラミ
ック被覆耐熱部材を用いて実施例１と同様の耐久性試験
を実施した。その結果、実施例１とほぼ同等の性能が得
られた。

実施例４ 基材としてＣｏ基合金であるＦＳＸ４１４を用い、実施
例１と同様の前処理を行ない、実施例１と同様の材料を
用いてセラミック被覆耐熱部材を作製した０作製方法は
、基材の表面に、金属とセラミックの混合比が１対１の
混合粉末を溶射した。溶射は２００Ｔｏｒｒの圧力のＡ
ｒ雰囲気中で行なった。

プラズマ出力は４０ｋＷである。混合層の厚さは０．３
ｍ＋ａである。しかる後、混合層の上に、合金層を形成
した。溶射条件は混合層作製時と同様である。又、合金
層の厚さは０　、１　ｒａｍである。その後、合金層の
上に、セラミック被覆層を形成した。

溶射条件はプラズマ出力５０ｋＷで、大気中溶射である
。又、セラミック被覆層の厚さは０　、４　ｎ＋ｍであ
る。このような方法で作製した本発明のセラミック被覆
耐熱部材について、実施例１と同様の耐久性試験を行な
った。その結果、実施例１とほぼ同様の結果が得られた
。

実施例５ 実施例４と同様の材料を用い、実施例４と同様の方法で
本発明のセラミック被覆耐熱部材を作製した。しかる後
、１０００℃、１５時間の大気中加熱を行ない、セラミ
ック被覆層と合金層との境界部にＡｕ２０ｇを主成分と
する酸化物層を形成した。試験片の断面組織観察の結果
、その厚さは約７μｍであった。又、ＸＭＡｗｔ察の結
果、酸化物層に対応する部分には、Ａ０．○の存在が多
く認められ、一部Ｃｒｔ認められた。このようにして作
製した本発明のセラミック被覆耐熱部材を用いて実施例
１と同様の耐久性試験を行なった結果、はぼ同等の結果
が得られた。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、セラミック・金属
の混合層の高温酸化、高温腐食の進行を防止できる。こ
のため混合層の主たる目的である熱応力の緩和作用が高
温酸化、高温腐食条件下でも安定して維持できるように
なり、セラミック被覆部材が長時間にわたり信頼性の高
いものになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すセラミック被覆耐熱部
材の断面模式図、第２図及び第３図は従来のセラミック
被覆耐熱部材の断面模式図、第４図〜第６図は本発明の
他の実施例を示すセラミック被覆耐熱部材の断面模式図
である。 １・・・セラミック被覆層、２・・・基材、３・・・合
金層、第１図　　　第２図　　本３図 １、　　寒露　　光６因

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ニッケルとコバルトと鉄の少なくとも一種を主成分
   とする耐熱合金基材の表面にセラミック被覆層を有し、
   該セラミック被覆層の下部にセラミックと金属の混合層
   を有するセラミック被覆耐熱部材において、前記セラミ
   ック被覆層と前記混合層の間に、前記基材よりも高温耐
   酸化性及び高温耐食性のすぐれた合金層を設けたことを
   特徴とするセラミック被覆耐熱部材。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記セラミック被
   覆層がＺｒＯ＿２系セラミックよりなることを特徴とす
   るセラミック被覆耐熱部材。 ３、ニッケルとコバルトと鉄の少なくとも１種を主成分
   とする基材上にセラミックと金属の混合層を有し、該混
   合層上にセラミック被覆層を有するセラミック被覆耐熱
   部材において、前記セラミック被覆層と前記混合層との
   間に、前記基材よりも高温耐酸化、高温耐食性に優れた
   合金材料からなる合金層を設け、かつ、該合金層と前記
   セラミック被覆層との境界部にアルミニウムを主成分と
   する酸化物層を設けたことを特徴とするセラミック被覆
   耐熱部材。 ４、ニッケルとコバルトと鉄の少なくとも１種を主成分
   とする基材上に、該基材よりも高温耐酸化性及び高温耐
   食性のすぐれた合金層を有し、その上にセラミック被覆
   層を有し、更に、前記合金層とセラミック被覆層との間
   にセラミックと金属の混合物から成る混合層を有した部
   材において、前記セラミック被覆層と前記混合層との間
   に基材よりも高温耐酸化、高温耐食性に優れた合金材料
   から成る合金層を設けたことを特徴とするセラミック被
   覆耐熱部材。 ５、ニッケルとコバルトと鉄の少なくとも１種を主成分
   とする基材上に、セラミック被覆層と、基材よりも高温
   耐酸化、高温耐食性に優れた合金材料から成る合金層を
   有し、更に、前記合金層とセラミック被覆層との間にセ
   ラミックと金属の混合物から成る混合層を有した部材に
   おいて、前記セラミック被覆層と混合層との間に基材よ
   りも高温耐酸化、高温耐食性に優れた合金材料から成る
   合金層を設け、かつ、前記合金層とセラミック被覆層と
   の境界部にアルミニウムを主成分とする酸化物層を設け
   たことを特徴とするセラミック被覆耐熱部材。 ６、特許請求の範囲第１項において、前記セラミック被
   覆層及び混合層を形成するセラミック材料がＺｒＯ＿２
   を主成分とし、ＣａＯとＹ＿２Ｏ＿３とＭｇＯの少なく
   とも１つを含むことを特徴とするセラミック被覆耐熱部
   材。 ７、特許請求の範囲第１項において、前記合金層を構成
   する材料は、コバルトあるいはニッケルの少なくとも１
   つとクロムとアルミニウムを含み、更にハフニウムとタ
   ンタルとイットリウムとシリコン及びジルコニウムの少
   なくとも１つを含むことを特徴とするセラミック被覆耐
   熱部材。 ８、特許請求の範囲第１項において、前記セラミック被
   覆層の厚さが０．０５〜１．０ｍｍ、前記合金層の厚さ
   が０．０３〜０．５ｍｍ、前記混合層の厚さが０．０３
   〜０．５ｍｍであることを特徴とするセラミック被覆耐
   熱部材。 ９、特許請求の範囲第３項において、前記アルミニウム
   を主成分とする酸化物層の厚さが、０．１〜２０μｍで
   あることを特徴とするセラミック被覆耐熱部材。