JPH01246505A - 固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子Info
- Publication number
- JPH01246505A JPH01246505A JP63073080A JP7308088A JPH01246505A JP H01246505 A JPH01246505 A JP H01246505A JP 63073080 A JP63073080 A JP 63073080A JP 7308088 A JP7308088 A JP 7308088A JP H01246505 A JPH01246505 A JP H01246505A
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- JP
- Japan
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- resin
- transparent
- color filter
- image pickup
- pickup element
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- Pending
Links
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、オンチップカラーフィルタをイｆする固体
撮像素子に関するものである。
撮像素子に関するものである。
従来のオンチップカラーフィルタを有する固体撮像素子
は、例えば、第４図に示すように、画素と呼ばわる光電
変換素子（シリコンフォトダイオード）３と、電荷を転
送もしくは走査する回路（図示せず）とからなる受光部
の表面に、そわそれの画素に対応する染料により着色さ
れた微小なモザイク状またはストライブ状の着色樹脂層
を単層あるいは複数層組み合せたカラーフィルタ６゜７
．８が付設された構造になっている。
は、例えば、第４図に示すように、画素と呼ばわる光電
変換素子（シリコンフォトダイオード）３と、電荷を転
送もしくは走査する回路（図示せず）とからなる受光部
の表面に、そわそれの画素に対応する染料により着色さ
れた微小なモザイク状またはストライブ状の着色樹脂層
を単層あるいは複数層組み合せたカラーフィルタ６゜７
．８が付設された構造になっている。
ここにいうカラーフィルタ６．７．８は、この例では、
それぞれＲ，Ｇ、Ｈの３色で構成されている。なお、１
はシリコンウェハ、２はアルミ配線、４は５１０２Ｍ、
５はカラーフィルタ６〜８の保護膜である。
それぞれＲ，Ｇ、Ｈの３色で構成されている。なお、１
はシリコンウェハ、２はアルミ配線、４は５１０２Ｍ、
５はカラーフィルタ６〜８の保護膜である。
上記カラーフィルタ６〜８を付設する方法としては、ガ
ラス上に形成したカラーフィルタを受光部上に接着剤で
貼り付ける方法と、受光部に直接カラーフィルタを積層
してオンチップカラーフィルタとする方法かある。
ラス上に形成したカラーフィルタを受光部上に接着剤で
貼り付ける方法と、受光部に直接カラーフィルタを積層
してオンチップカラーフィルタとする方法かある。
このうち、後者のカラーを積層する方法は、撮像素ｒと
の位置合わせを粒度よ〈行えるので、量産性に優れてい
る。
の位置合わせを粒度よ〈行えるので、量産性に優れてい
る。
しかし、従来のカラーフィルタを積層する方法では、カ
ラーフィルタ表面が平坦でないため、カラーフィルタか
レンズと同様な効果をもってしまい、設計上の画素と見
かけ上の画素とがずれる。しかも、このずｈ ｈｌを制
御するのは困難であるため、画素ごとにずれ＋７１が異
なる。このことは、画素によりＭ Ｔ Ｆ （Ｍｏｄｕ
ｌａｔｉｏｎ ＴｒａｎｓｆｅｒＦｕｎｃｔｉｏｎ）が
異なること、および画素中心が等間隔にならんでいない
ので、ＭＴＦの折り返し周波数が多数存在することを意
味している。したがって、従来の固体撮像素子では、そ
の出力信号に多くの折り返し歪をもっているという欠点
があった。
ラーフィルタ表面が平坦でないため、カラーフィルタか
レンズと同様な効果をもってしまい、設計上の画素と見
かけ上の画素とがずれる。しかも、このずｈ ｈｌを制
御するのは困難であるため、画素ごとにずれ＋７１が異
なる。このことは、画素によりＭ Ｔ Ｆ （Ｍｏｄｕ
ｌａｔｉｏｎ ＴｒａｎｓｆｅｒＦｕｎｃｔｉｏｎ）が
異なること、および画素中心が等間隔にならんでいない
ので、ＭＴＦの折り返し周波数が多数存在することを意
味している。したがって、従来の固体撮像素子では、そ
の出力信号に多くの折り返し歪をもっているという欠点
があった。
この発明は、このような従来の問題点を解決するために
なされたもので、出力信号の折り返し歪を低減できる固
体撮像素子を提供することを目的とする。
なされたもので、出力信号の折り返し歪を低減できる固
体撮像素子を提供することを目的とする。
この発明に係る固体撮像素子は、（１）オンチップカラ
ーフィルタの上に表面が平坦な透明被覆層を設けたもの
である。また、（２）その透明被覆層の北に、さらに画
素と同じ形状のオンチップレンズを設けたものである。
ーフィルタの上に表面が平坦な透明被覆層を設けたもの
である。また、（２）その透明被覆層の北に、さらに画
素と同じ形状のオンチップレンズを設けたものである。
〔作用）
透明被覆層の表面を平坦にしたので、また、その上に画
素と同じ形状のオンチップレンズを設けたので、見かけ
上の画素がすべての画素で同じになり、固体撮像素子の
出力信号の折り返し歪が減少する。
素と同じ形状のオンチップレンズを設けたので、見かけ
上の画素がすべての画素で同じになり、固体撮像素子の
出力信号の折り返し歪が減少する。
以下、この発明の実施例を図面によって説明する。
（実施例１）
第１図は、この発明の第１実施例を示す。この実１６例
は、もとになる固体撮像素子として第４図に示す従来の
素子を用い、その一番犬面にある保：ｌＡｌ１５！５の
−Ｅに、透明な樹脂を塗布し、その表面を熱処理等によ
り平坦にして硬化させたものである。すなわち、このよ
うにしてオンチップカラーフィルタ６．７．８の上に、
表面が平坦な樹脂製の透明被覆層９を設けたものである
。
は、もとになる固体撮像素子として第４図に示す従来の
素子を用い、その一番犬面にある保：ｌＡｌ１５！５の
−Ｅに、透明な樹脂を塗布し、その表面を熱処理等によ
り平坦にして硬化させたものである。すなわち、このよ
うにしてオンチップカラーフィルタ６．７．８の上に、
表面が平坦な樹脂製の透明被覆層９を設けたものである
。
このように、表面が平坦で透明被覆層９を設けたことに
より、見かけ上の画素はシリコンフォトダイオード３そ
のものとなり、はぼ設計どうりとなる。したがって、各
画素の大きさと間隔は一定となり折り返し歪は減少する
。
より、見かけ上の画素はシリコンフォトダイオード３そ
のものとなり、はぼ設計どうりとなる。したがって、各
画素の大きさと間隔は一定となり折り返し歪は減少する
。
（実施例２）
第２図は第２実施例を示す。この実施例は、第４図に示
す従来の素子の一番表面にある保護膜５上に、接着剤Ｉ
Ｏで表面が平面となったガラス板１１を貼り付けて透明
被覆層１２を設けた例である。この構造は、−見、ガラ
ス上にフィルタを作成して貼りあわせたように見える。
す従来の素子の一番表面にある保護膜５上に、接着剤Ｉ
Ｏで表面が平面となったガラス板１１を貼り付けて透明
被覆層１２を設けた例である。この構造は、−見、ガラ
ス上にフィルタを作成して貼りあわせたように見える。
しかし、カラーフィルタはオンチップですでに形成され
ており、その上にガラスを貼り付けるので、貼り付けの
精度はあまり必要としない。作用効果は第１実施例と木
質的に同じである。
ており、その上にガラスを貼り付けるので、貼り付けの
精度はあまり必要としない。作用効果は第１実施例と木
質的に同じである。
（実施例３）
第３図は第３実施例を示す。これは第１実施例の透明被
覆層９の上に、さらにオンチップレンズ１３を形成した
例である。
覆層９の上に、さらにオンチップレンズ１３を形成した
例である。
すなわち、第１実施例と同線に、塗布した樹脂の表面を
一旦平坦にしたのち、その上に第２の透明な感光性樹脂
を塗布し、フォトダイオード３に対応する部分に樹脂層
か残るように露光、現像する。そして、さらに、熱処理
して前記樹脂層をカマボコ型のオンチップレンズ１３と
した例である。このオンチップレンズ１３は、熱処理に
よる樹脂流動をすべての画素で同じになるようにコント
ロールすることにより、すべての画素上に同じ形状で形
成することができる。
一旦平坦にしたのち、その上に第２の透明な感光性樹脂
を塗布し、フォトダイオード３に対応する部分に樹脂層
か残るように露光、現像する。そして、さらに、熱処理
して前記樹脂層をカマボコ型のオンチップレンズ１３と
した例である。このオンチップレンズ１３は、熱処理に
よる樹脂流動をすべての画素で同じになるようにコント
ロールすることにより、すべての画素上に同じ形状で形
成することができる。
この例では、見かけ上の画素の大きさや間隔がすべての
画素て同じになっているだけでなく、見かけ上の画素が
フォトダイオード３より大きくなるので固体撮像素子の
感度が向上する。
画素て同じになっているだけでなく、見かけ上の画素が
フォトダイオード３より大きくなるので固体撮像素子の
感度が向上する。
上記各実施例では、Ｒ，Ｇ、Ｂのオンチップカラーフィ
ルタを用いて説明したが、純色あるいは補色等の色には
関係なく、またモザイク、ストライプ等その配置にも関
係なく、すべてのオンチップカラーフィルタを用いて同
様に説明することかできる。また、もとになる固体撮像
素子には、ＭＯＳ型、インターライン型、あるいはフレ
ームトランスファー型等すべての固体撮像素子を用いる
ことかできる。
ルタを用いて説明したが、純色あるいは補色等の色には
関係なく、またモザイク、ストライプ等その配置にも関
係なく、すべてのオンチップカラーフィルタを用いて同
様に説明することかできる。また、もとになる固体撮像
素子には、ＭＯＳ型、インターライン型、あるいはフレ
ームトランスファー型等すべての固体撮像素子を用いる
ことかできる。
以上説明したように、この発明によれば、見かけ上の画
素がすべての画素で同じになるようにしたので、出力信
号の折り返し歪を低減できる。
素がすべての画素で同じになるようにしたので、出力信
号の折り返し歪を低減できる。
第１〜３図はこの発明の第１〜第３実施例を示す断面図
、第４図は従来の固体撮像素子の断面図である。 １・・・・・・シリコンウェハ ２・・・・・・アルミ配線 ３・・・・・・シリコンフォトダイオード４・・・・・
・ＳｉＯ□膜 ５・・・・・・カラーフィルタの保護膜６−−−−−・
Ｒのカラーフィルタ ７・・・・−Ｇのカラーフィルタ ８・・・・・・Ｂのカラーフィルタ ９・・・・・・透明被覆層 １１′０・・・・・・接着剤層 １１・・・・・・ガラス板 １２・・・・・・透明被覆層 １３・・・・・・オンチップレンズ
、第４図は従来の固体撮像素子の断面図である。 １・・・・・・シリコンウェハ ２・・・・・・アルミ配線 ３・・・・・・シリコンフォトダイオード４・・・・・
・ＳｉＯ□膜 ５・・・・・・カラーフィルタの保護膜６−−−−−・
Ｒのカラーフィルタ ７・・・・−Ｇのカラーフィルタ ８・・・・・・Ｂのカラーフィルタ ９・・・・・・透明被覆層 １１′０・・・・・・接着剤層 １１・・・・・・ガラス板 １２・・・・・・透明被覆層 １３・・・・・・オンチップレンズ
Claims (2)
- （１）オンチップカラーフィルタの上に表面が平坦な透
明被覆層を有する固体撮像素子。 - （２）オンチップカラーフィルタの上に表面が平坦な透
明被覆層を有し、さらにその上に画素と同じ形状のオン
チップレンズを有する固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63073080A JPH01246505A (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63073080A JPH01246505A (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | 固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01246505A true JPH01246505A (ja) | 1989-10-02 |
Family
ID=13507994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63073080A Pending JPH01246505A (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01246505A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0226071A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像装置 |
| JPH03230101A (ja) * | 1990-02-05 | 1991-10-14 | Matsushita Electron Corp | カラー固体撮像装置およびその製造方法 |
| DE4120966A1 (de) * | 1991-01-10 | 1992-07-16 | Samsung Electronics Co Ltd | Farbfilter und verfahren zur herstellung desselben |
| JPH04234705A (ja) * | 1990-12-31 | 1992-08-24 | Samsung Electron Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JPH04234707A (ja) * | 1990-12-31 | 1992-08-24 | Samsung Electron Co Ltd | カラーフィルタ及びその製造方法 |
| EP0704718A1 (en) | 1989-12-01 | 1996-04-03 | Tosoh Corporation | Positive photosensitive composition for forming lenses |
| JP2006229110A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Sanyo Electric Co Ltd | 撮像装置及び撮像装置の製造方法 |
-
1988
- 1988-03-29 JP JP63073080A patent/JPH01246505A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0226071A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像装置 |
| EP0704718A1 (en) | 1989-12-01 | 1996-04-03 | Tosoh Corporation | Positive photosensitive composition for forming lenses |
| JPH03230101A (ja) * | 1990-02-05 | 1991-10-14 | Matsushita Electron Corp | カラー固体撮像装置およびその製造方法 |
| JPH04234705A (ja) * | 1990-12-31 | 1992-08-24 | Samsung Electron Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JPH04234707A (ja) * | 1990-12-31 | 1992-08-24 | Samsung Electron Co Ltd | カラーフィルタ及びその製造方法 |
| DE4120966A1 (de) * | 1991-01-10 | 1992-07-16 | Samsung Electronics Co Ltd | Farbfilter und verfahren zur herstellung desselben |
| JP2006229110A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Sanyo Electric Co Ltd | 撮像装置及び撮像装置の製造方法 |
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