JPH01223751A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
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- JPH01223751A JPH01223751A JP4883688A JP4883688A JPH01223751A JP H01223751 A JPH01223751 A JP H01223751A JP 4883688 A JP4883688 A JP 4883688A JP 4883688 A JP4883688 A JP 4883688A JP H01223751 A JPH01223751 A JP H01223751A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体装置の製造方法、特に多層配線形成に
関するものである。
関するものである。
第2図は従来の半導体装置における多層配線の一例の構
造形成法金示す断面図である。
造形成法金示す断面図である。
第2図Aに示すように、シリコン基板Ill上に絶縁膜
(21、例えばシリコン酸化便を、CVD法スパッタ法
などにより形成し、その上に蒸着法、スパッタ法などに
より金属膜、例えばアルミニウム合金を形成し、4真製
版及びエツチング法などによりパターニングを施し下層
配線犬3;を形成する。次に第2図BVC示すように上
層配線131上に絶縁膜(41、例えばシリコン酸化備
倉CVD法、スパッタ法などにより形成し、写真製版、
エツチング法などによりパター二ングヲ抱シ、スルーホ
ール161を形成する。
(21、例えばシリコン酸化便を、CVD法スパッタ法
などにより形成し、その上に蒸着法、スパッタ法などに
より金属膜、例えばアルミニウム合金を形成し、4真製
版及びエツチング法などによりパターニングを施し下層
配線犬3;を形成する。次に第2図BVC示すように上
層配線131上に絶縁膜(41、例えばシリコン酸化備
倉CVD法、スパッタ法などにより形成し、写真製版、
エツチング法などによりパター二ングヲ抱シ、スルーホ
ール161を形成する。
次に第2図Cに示すように金属膜17)、例えばタング
ステン1i111に、六ふつ化タングステンヲ原材料ガ
スとしてCVD法により選択的にスルーホールに成長さ
せ埋め込む。次に第8図D YC示でように蒸着法、ス
パッタ法などにより金@摸、例えばアルミニウム合金を
形成し、写真製版、エツチング法などによりパターニン
グし上層配線(8)を形成する。
ステン1i111に、六ふつ化タングステンヲ原材料ガ
スとしてCVD法により選択的にスルーホールに成長さ
せ埋め込む。次に第8図D YC示でように蒸着法、ス
パッタ法などにより金@摸、例えばアルミニウム合金を
形成し、写真製版、エツチング法などによりパターニン
グし上層配線(8)を形成する。
従来の半導体装置では第2図Cに示すように、金属膜を
CVD法により形成した場合、アルミニウムのぶつ化物
が界面に形成され、電気的に絶縁されてしまうという課
題があった。
CVD法により形成した場合、アルミニウムのぶつ化物
が界面に形成され、電気的に絶縁されてしまうという課
題があった。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、金属膜と下層配線とに電気的に接触させること
?目的とする。
もので、金属膜と下層配線とに電気的に接触させること
?目的とする。
この発明に係る半導体装置は、CVD法によIけ形成硬
、イオン注入全し安定な電気的接鴨ケ実現したものであ
る。
、イオン注入全し安定な電気的接鴨ケ実現したものであ
る。
この発明において、CVD法によって金属膜?形成した
際、界面に形成されたアルミニウムのぶつ化層にイオン
注入を行い、イオン注入による衝撃?加え−1破壊し、
下層の配線膜と、CVD法により形成される金属膜とを
電気的に接続するものである。
際、界面に形成されたアルミニウムのぶつ化層にイオン
注入を行い、イオン注入による衝撃?加え−1破壊し、
下層の配線膜と、CVD法により形成される金属膜とを
電気的に接続するものである。
以下、この発明の一実施−1r区jについて説明する。
第1図A−Eけ本発明の一実施例による半導体装置の製
造方法を製造工程順に示し、第1図A及び第1図Bdそ
れぞれ従来法で示した第2図A及び第2図Bと同一状態
である。偏1図Bの後、第1図Cに示すように、金属膜
(9)、例えばタングステン喚を六ふつ化タングステン
?原料としてCVD法l(より選択的にスルーホール1
6)の1氏邪に、博く形成し、その後、イオンをアルミ
ニウムのぶつ化物(6)中に充分達するエネルギーで注
入する。次に第1図りに示すように、金属膜、101、
例えばタングステン膜をCVD法によりスルーホール1
5)中に埋め込む。
造方法を製造工程順に示し、第1図A及び第1図Bdそ
れぞれ従来法で示した第2図A及び第2図Bと同一状態
である。偏1図Bの後、第1図Cに示すように、金属膜
(9)、例えばタングステン喚を六ふつ化タングステン
?原料としてCVD法l(より選択的にスルーホール1
6)の1氏邪に、博く形成し、その後、イオンをアルミ
ニウムのぶつ化物(6)中に充分達するエネルギーで注
入する。次に第1図りに示すように、金属膜、101、
例えばタングステン膜をCVD法によりスルーホール1
5)中に埋め込む。
次に第1図Eに示すように蒸着法、スパッタ法などによ
り金属膜、例えばアルミニウム合金を形成し、写真製版
、エツチング法などによりパターニングし上層配線(8
)を形成する。
り金属膜、例えばアルミニウム合金を形成し、写真製版
、エツチング法などによりパターニングし上層配線(8
)を形成する。
以上のようにこの発明によれば、下層配線と上層配線(
r−絶縁する絶縁物の層を破壊したことにより、容易に
電気的接続が可能となり、信・槓性の晶い半導体を得る
ことができる。
r−絶縁する絶縁物の層を破壊したことにより、容易に
電気的接続が可能となり、信・槓性の晶い半導体を得る
ことができる。
第1図はこの発明の一実施ダjによる半導体装、宜の製
造方法を示す断面図、第2図は従来の半導体装置の製造
方法を示す断面図である。。 図中、III riシリコン基板、121 、 l+l
l’j絶縁膜、(31は下層配線膜、+51 汀スルー
ホール、(6)はアルミニウムのぶつ化物、(8)汀上
層配線膜、+91 、1101 u金属膜である。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
造方法を示す断面図、第2図は従来の半導体装置の製造
方法を示す断面図である。。 図中、III riシリコン基板、121 、 l+l
l’j絶縁膜、(31は下層配線膜、+51 汀スルー
ホール、(6)はアルミニウムのぶつ化物、(8)汀上
層配線膜、+91 、1101 u金属膜である。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 第1金属配線膜と、この上に形成された絶縁膜と、こ
の絶縁膜にあけられたスルーホールと、このスルーホー
ルに、高融点金属のハロゲン化合物を原料ガスとして用
いるCVD法により埋め込まれた金属又は金属硅化物と
、その上に第2金属配線膜とを有する半導体装置におい
て、上記CVD法による膜形成の工程以後に、イオン注
入をスルーホール部を含む領域に施すことを特徴とする
半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4883688A JPH01223751A (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4883688A JPH01223751A (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01223751A true JPH01223751A (ja) | 1989-09-06 |
Family
ID=12814330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4883688A Pending JPH01223751A (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01223751A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01300540A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-05 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
1988
- 1988-03-02 JP JP4883688A patent/JPH01223751A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01300540A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-05 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法 |
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