JPH01205959A - Xyテーブルの微細位置決め方法 - Google Patents
Xyテーブルの微細位置決め方法Info
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- JPH01205959A JPH01205959A JP2576188A JP2576188A JPH01205959A JP H01205959 A JPH01205959 A JP H01205959A JP 2576188 A JP2576188 A JP 2576188A JP 2576188 A JP2576188 A JP 2576188A JP H01205959 A JPH01205959 A JP H01205959A
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Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は、プリント板など比較的に小型な部品を載置し
て穴あけなどの加工位置に精密移動するXY子テーブル
微細位置決め方法に関するものである。
て穴あけなどの加工位置に精密移動するXY子テーブル
微細位置決め方法に関するものである。
[従来の技術]
電子装置用のプリント板の製造工程において、高精度で
数百箇の***を穴あけすることがある。
数百箇の***を穴あけすることがある。
そのためにボール盤を固定し、プリント板をXY子テー
ブル可動テーブルに載置して可動テーブルの位置をプロ
グラム制御することが行われる。
ブル可動テーブルに載置して可動テーブルの位置をプロ
グラム制御することが行われる。
第4図は、XY子テーブル使用した穴あけ装置の一例の
斜視図であって、1は加工される試料としてのプリント
板、2はX!1llIY軸をパルスモータによって晩動
するXY子テーブル2aはXY子テーブルの可動テーブ
ル、2bは可動テーブル2a上でのプリント板1の載置
場所を特定するためのストッパ、3はXY子テーブルを
制御するステージコントローラ、3aは人手操作によっ
てステージコントローラ3に命令を入力するトラックボ
ール、4はプリント板を穴あけするボール盤である。
斜視図であって、1は加工される試料としてのプリント
板、2はX!1llIY軸をパルスモータによって晩動
するXY子テーブル2aはXY子テーブルの可動テーブ
ル、2bは可動テーブル2a上でのプリント板1の載置
場所を特定するためのストッパ、3はXY子テーブルを
制御するステージコントローラ、3aは人手操作によっ
てステージコントローラ3に命令を入力するトラックボ
ール、4はプリント板を穴あけするボール盤である。
このXY子テーブル使用した穴あけ装置の動作は、可動
テーブル2a上に、ストッパ2bをガイドとしてプリン
ト板1を所定位置に設置したのち、ステージコントロー
ラ3の加工開始キーを操作者が押すと、ステージコント
ローラ3が予め与えられている加ニブログラムに従って
、XY子テーブルのX軸およびY軸パルスモータにパル
ス指令が出され、可動テーブル2のボール盤4の直下位
置が目的のプリント板加工位置となるようにされて、そ
の後、ステージコントローラ3からボール盤4に穴あけ
指令が出され、加工が行われる。ついで次の加工命令が
あるか調べられ、あれば新たな位置指令がXY子テーブ
ル出され穴あけが繰り返される。
テーブル2a上に、ストッパ2bをガイドとしてプリン
ト板1を所定位置に設置したのち、ステージコントロー
ラ3の加工開始キーを操作者が押すと、ステージコント
ローラ3が予め与えられている加ニブログラムに従って
、XY子テーブルのX軸およびY軸パルスモータにパル
ス指令が出され、可動テーブル2のボール盤4の直下位
置が目的のプリント板加工位置となるようにされて、そ
の後、ステージコントローラ3からボール盤4に穴あけ
指令が出され、加工が行われる。ついで次の加工命令が
あるか調べられ、あれば新たな位置指令がXY子テーブ
ル出され穴あけが繰り返される。
〔解決しようとする課題]
しかしながら、プリント板1等試料の端部加工精度が良
くないときはストッパ2bによる(6W決めが正確に行
えず、また、プリント板1の銅箔エツチングがプリント
板端から一定のところにないとき、ボール盤4直下位置
が正しい銅箔バタン位置とならないことがある。
くないときはストッパ2bによる(6W決めが正確に行
えず、また、プリント板1の銅箔エツチングがプリント
板端から一定のところにないとき、ボール盤4直下位置
が正しい銅箔バタン位置とならないことがある。
本発明は、上記の問題を解決しようとするもので、取付
は誤差、印刷(エツチング)誤差の影響を受けずに正確
な加工位置決めができる微細位置決め用XY子テーブル
得ることを目的とする。
は誤差、印刷(エツチング)誤差の影響を受けずに正確
な加工位置決めができる微細位置決め用XY子テーブル
得ることを目的とする。
[課題を解決するための手段]
本発明のXY子テーブル微細位置決め方法は。
XY子テーブル載置固定された試料をa察する顕微鏡と
、同顕微鏡の映像を撮影するテレビカメラと、同テレビ
カメラの生成する映像信号を表示するテレビモニタと、
前記XY子テーブルX軸の位置量を計測し信号出力する
X軸位置計測器と、前記Y軸の位置量を計測し信号出力
するY軸位置計測器とを設け、前記試料上に予め設定さ
れているxy座標の原点位置の映像が前記テレビモニタ
の画面所定位置に合致するように前記X軸およびY軸を
手動操作したときのX軸位置計測器の信号値をAx、Y
軸位置計測器の信号値をAyとし、前記試料上の座標の
X軸上で原点とは重ならない所定点の映像が前記テレビ
モニタの画面所定位置に合致するように前記X軸および
Y軸を手動操作したときのX軸位置計測器の信号値をB
x、Y軸位置計測器の信号値をByとして、前記Ax、
Ay。
、同顕微鏡の映像を撮影するテレビカメラと、同テレビ
カメラの生成する映像信号を表示するテレビモニタと、
前記XY子テーブルX軸の位置量を計測し信号出力する
X軸位置計測器と、前記Y軸の位置量を計測し信号出力
するY軸位置計測器とを設け、前記試料上に予め設定さ
れているxy座標の原点位置の映像が前記テレビモニタ
の画面所定位置に合致するように前記X軸およびY軸を
手動操作したときのX軸位置計測器の信号値をAx、Y
軸位置計測器の信号値をAyとし、前記試料上の座標の
X軸上で原点とは重ならない所定点の映像が前記テレビ
モニタの画面所定位置に合致するように前記X軸および
Y軸を手動操作したときのX軸位置計測器の信号値をB
x、Y軸位置計測器の信号値をByとして、前記Ax、
Ay。
Bx、Byから既述(1)式により前記プログラム中の
加工位置座標(x x + y x )を修正演算した
X軸位置Xi 、Y軸位置YiをXY子テーブル指令す
ることを特徴としている。
加工位置座標(x x + y x )を修正演算した
X軸位置Xi 、Y軸位置YiをXY子テーブル指令す
ることを特徴としている。
[作用]
小物部品の精密加工においては、顕微鏡を覗きながらの
作業となることが多いが、顕微fATA察は疲労しやす
く、特に高齢者にとっては苛酷な作業となる。
作業となることが多いが、顕微fATA察は疲労しやす
く、特に高齢者にとっては苛酷な作業となる。
本発明は、機械的な位置合わせの精度が問題となる場合
に、テレビモニタ上の顕微鏡映像によって位置合わせを
行おうとするもので、加工される試料上には予めxy座
標原点と、X軸上の1点とをバタン表示しておき、また
、加ニブログラムも加工位置を前記xy座標上の位置(
相対座標の位置)として定義しておく。
に、テレビモニタ上の顕微鏡映像によって位置合わせを
行おうとするもので、加工される試料上には予めxy座
標原点と、X軸上の1点とをバタン表示しておき、また
、加ニブログラムも加工位置を前記xy座標上の位置(
相対座標の位置)として定義しておく。
加工の際に、試料が多少ずれてXY子テーブル取付けら
れても正確な位置加工ができるように、試料上の前記バ
タン表示2点をテレビカメラを取付けた顕微鏡で撮影し
、その映像をテレビモニタで確認したときに前記2点が
XY子テーブルXY座標上でどんな位置量となるかを計
測し、その計測量によって前記加ニブログラム中の加工
位置データ(x i+ y x )を修正してXY子テ
ーブル座標(Xi、 Yi)とし、XY子テーブル置を
制御している。
れても正確な位置加工ができるように、試料上の前記バ
タン表示2点をテレビカメラを取付けた顕微鏡で撮影し
、その映像をテレビモニタで確認したときに前記2点が
XY子テーブルXY座標上でどんな位置量となるかを計
測し、その計測量によって前記加ニブログラム中の加工
位置データ(x i+ y x )を修正してXY子テ
ーブル座標(Xi、 Yi)とし、XY子テーブル置を
制御している。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を図面により詳細に説明する。
なお、既述の符号は同一の部分を示しており説明を省略
する。
する。
第1図は一実施例としてのXY子テーブル微細位置決め
方法による微細位置決め用XY子テーブル斜視図であっ
て、5は穴あけ加工時のボール盤4と同一位置にあって
プリント板1を拡大観察する顕微鏡、6は顕微鏡5の映
像を撮影するテレビカメラとしてのCCDカメラ、7は
CCDカメラ6の生成する映像信号を表示するテレビモ
ニタである。
方法による微細位置決め用XY子テーブル斜視図であっ
て、5は穴あけ加工時のボール盤4と同一位置にあって
プリント板1を拡大観察する顕微鏡、6は顕微鏡5の映
像を撮影するテレビカメラとしてのCCDカメラ、7は
CCDカメラ6の生成する映像信号を表示するテレビモ
ニタである。
なお、X軸位置計測器の機能は本実施例の場合、ステー
ジコントローラ3の内部においてソフトウェア的にパル
スモータの陳動パルス数をカウントすることによって実
現されている。Y軸位置計測器についても同様である。
ジコントローラ3の内部においてソフトウェア的にパル
スモータの陳動パルス数をカウントすることによって実
現されている。Y軸位置計測器についても同様である。
また、顕微鏡5とボール盤4(図示せず)とは1方が動
作状態にあるとき他方は別位置で待機するように構成さ
れている。
作状態にあるとき他方は別位置で待機するように構成さ
れている。
第2図はステージコントローラ3の本実施例における制
御プログラムで、 ステップ31では、加工試料1をストッパー2bにセッ
トする。
御プログラムで、 ステップ31では、加工試料1をストッパー2bにセッ
トする。
ステップ32では、試料上のxy座標原点1aが顕微鏡
5の直下にくるまで可動テーブル2aをトラックボール
3aの手動操作で移動させる。
5の直下にくるまで可動テーブル2aをトラックボール
3aの手動操作で移動させる。
ステップ33では、モニタテレビ7の基準点7bにxy
座標原点1aの映像が来るよう、トラックボール3aの
手動操作で可動テーブル2aの微動移動を行う。
座標原点1aの映像が来るよう、トラックボール3aの
手動操作で可動テーブル2aの微動移動を行う。
ステップ34では、ステージコントローラ3の位置記憶
設定キーを押す。これによりコントローラ3のメモリに
、xy座標原点1aの、XY子テーブルY座標での位a
(Ax、 Ay)が記憶される。
設定キーを押す。これによりコントローラ3のメモリに
、xy座標原点1aの、XY子テーブルY座標での位a
(Ax、 Ay)が記憶される。
ステップ35では、試料xy座標のx!i[ll線上の
所定点1bが顕微鏡5の直下にくるようにトラックボー
ル3aの手動操作で可動テーブル2aを移動する。
所定点1bが顕微鏡5の直下にくるようにトラックボー
ル3aの手動操作で可動テーブル2aを移動する。
ステップ36では、モニタテレビ7の1点7bにX軸線
上の所定点1bの映像が来るよう、トラックボール3a
の手動操作で可動テーブル2aの微動移動を行う。
上の所定点1bの映像が来るよう、トラックボール3a
の手動操作で可動テーブル2aの微動移動を行う。
ステップ37では、ステージコントローラ3の位置記憶
設定キーを押す。これによりコントローラ3のメモリに
、X軸線上の所定点1bの、XY子テーブルY座標での
位置(Bx、 By)が記憶される。
設定キーを押す。これによりコントローラ3のメモリに
、X軸線上の所定点1bの、XY子テーブルY座標での
位置(Bx、 By)が記憶される。
ステップ38では、ステージコントローラ3で取付は傾
き角度θの計算を行う。
き角度θの計算を行う。
θ=jan−1((By Ay)/(Bx−Ax))
ステップ39では、ステージコントローラ3は加ニブロ
グラムの読込みを行い、命令ポインタiを1とする。
ステップ39では、ステージコントローラ3は加ニブロ
グラムの読込みを行い、命令ポインタiを1とする。
ステップ40では、i番目の命令の位置データ(xx、
yi)をxy子テーブル上XY/I標の位置量(Xi
、 Yi)に修正演算する。
yi)をxy子テーブル上XY/I標の位置量(Xi
、 Yi)に修正演算する。
ステップ41では、ステージコントローラ3は演算した
位置量Xi、YiをXY子テーブルに指令出力する。
位置量Xi、YiをXY子テーブルに指令出力する。
ステップ42では、ステージコントローラ3はボール盤
に穴あけ指令する。
に穴あけ指令する。
ステップ43では、命令ポインタiを+1する。
ステップ44では、プログラムに次の命令があるか調べ
て、あればステップ40に戻り、なければ終了する。
て、あればステップ40に戻り、なければ終了する。
本発明のXY子テーブル微細位置決め方法による装置は
このように構成されており、次のように動作する。
このように構成されており、次のように動作する。
操作者はまず、プリント板1を可動テーブル2aの上に
置き、ストッパ2bの内側コーナにプリント板の所定の
角部を押し付は図示しない保持装置でプリント板1を可
動テーブル2aに固定する。
置き、ストッパ2bの内側コーナにプリント板の所定の
角部を押し付は図示しない保持装置でプリント板1を可
動テーブル2aに固定する。
この時のプリント板の設定状況を第3図に例示する。
第3図は可動テーブルへのプリント板の取り付けがやや
不正確であるときの状況を示す図で、X軸とX軸とが並
行でない場合である。同図中には後述する(Ax、Ay
)+ (Bx、By)+ (Xll ylL(Xi、
Yi)各点を表示している。
不正確であるときの状況を示す図で、X軸とX軸とが並
行でない場合である。同図中には後述する(Ax、Ay
)+ (Bx、By)+ (Xll ylL(Xi、
Yi)各点を表示している。
次に操作者は、プリント板1上のxy座標の原点1aの
位置をステージコントローラ3に入力する。それには3
aによってステージコントローラ3経由でXY子テーブ
ルを手動操作し、原点の映像を顕微鏡5→CCDカメラ
6→の経路でテレビモニタ7に写し出し、モニタ画面上
の十字カーソル7aの交点7bに重なるようにXY子テ
ーブルを調整して、その時のxY子テーブルのX軸、Y
軸の位置量をX軸位置計測器、Y軸位置計測器の機能(
パルスモータ恥動パルスのカウント)によって知り、A
x、Ayとして記憶する。
位置をステージコントローラ3に入力する。それには3
aによってステージコントローラ3経由でXY子テーブ
ルを手動操作し、原点の映像を顕微鏡5→CCDカメラ
6→の経路でテレビモニタ7に写し出し、モニタ画面上
の十字カーソル7aの交点7bに重なるようにXY子テ
ーブルを調整して、その時のxY子テーブルのX軸、Y
軸の位置量をX軸位置計測器、Y軸位置計測器の機能(
パルスモータ恥動パルスのカウント)によって知り、A
x、Ayとして記憶する。
次に操作者は、プリント板1上のxy座標のX軸上の所
定点1bの位置をステージコントローラ3に入力し、B
x、Byとする。操作はxy座標の原点1aのときと同
様である。
定点1bの位置をステージコントローラ3に入力し、B
x、Byとする。操作はxy座標の原点1aのときと同
様である。
このあと顕微鏡5が別位置に待避し、これまで顕微鏡5
が位置していたところにボール盤4(図示せず)が移動
配置される。
が位置していたところにボール盤4(図示せず)が移動
配置される。
ステージコントローラ3は加ニブログラムの読込みを行
ってxy座標上の位置量として記述されている加工位置
データ(x x r y i)を1つ取出す。
ってxy座標上の位置量として記述されている加工位置
データ(x x r y i)を1つ取出す。
ついで、上記プリント板1上の座標表現の位置量(xi
、 yi)は、(1)式によりxy子テーブル上XY座
標位置量(X i 、 Y i )に変換され、XY子
テーブルへの制御指令となる。
、 yi)は、(1)式によりxy子テーブル上XY座
標位置量(X i 、 Y i )に変換され、XY子
テーブルへの制御指令となる。
ついで、ボール盤に穴あけ指令が出され加工が行われる
。
。
加ニブログラムにしたがって所定数の穴あけ作業が繰り
返される。
返される。
このようにして、本実施例のXY子テーブル微細位置決
め方法により、ストッパへのプリント板の載置時の誤差
あるいはプリント板エツジと二ノチングバタンとのずれ
に影響されることなく、正確な穴あけ作業を行って、歩
留まり向上を図ることができる。
め方法により、ストッパへのプリント板の載置時の誤差
あるいはプリント板エツジと二ノチングバタンとのずれ
に影響されることなく、正確な穴あけ作業を行って、歩
留まり向上を図ることができる。
なお、本実施例では、Ax、Ay、Bx、Byの位置計
測後、顕微篤5とボール盤4を機械的に位置交替したが
、両者並列しての固定設置とし両者間の位置差を加算し
て、加工時のXYテーブル位置量Xi、Yiを計算する
ようにしてもよい。
測後、顕微篤5とボール盤4を機械的に位置交替したが
、両者並列しての固定設置とし両者間の位置差を加算し
て、加工時のXYテーブル位置量Xi、Yiを計算する
ようにしてもよい。
[発明の効果コ
本発明のxy子テーブル微細位置決め方法は、XY子テ
ーブル載置固定された試料を観察する顕微鏡と、同顕微
鏡の映像を撮影するテレビカメラと、同テレビカメラの
生成する映像信号を表示するテレビモニタと、前記XY
子テーブルX軸の位置量を計測し信号出力するX軸位置
計測器と、前記Y軸の位置量を計測し信号出力するY軸
位置計測器とを設け、前記試料上に予め設定されている
xy座標の原点位置の映像が前記テレビモニタの画面所
定位置に合致するように前記X軸およびY軸を手動操作
したときのX軸位置計測器の信号値をAx、Y軸位置計
測器の信号値をAyとし、前記試料上の座標のX軸上で
原点とは重ならない所定点の映像が前記テレビモニタの
画面所定位置に合致するように前記X軸およびY軸を手
動操作したときのX軸位置計測器の信号値をBx、Y軸
位置計測器の信号値をByとして、前記Ax、Ay。
ーブル載置固定された試料を観察する顕微鏡と、同顕微
鏡の映像を撮影するテレビカメラと、同テレビカメラの
生成する映像信号を表示するテレビモニタと、前記XY
子テーブルX軸の位置量を計測し信号出力するX軸位置
計測器と、前記Y軸の位置量を計測し信号出力するY軸
位置計測器とを設け、前記試料上に予め設定されている
xy座標の原点位置の映像が前記テレビモニタの画面所
定位置に合致するように前記X軸およびY軸を手動操作
したときのX軸位置計測器の信号値をAx、Y軸位置計
測器の信号値をAyとし、前記試料上の座標のX軸上で
原点とは重ならない所定点の映像が前記テレビモニタの
画面所定位置に合致するように前記X軸およびY軸を手
動操作したときのX軸位置計測器の信号値をBx、Y軸
位置計測器の信号値をByとして、前記Ax、Ay。
Bx、Byから既述(1)式により前記プログラム中の
加工位置座標Cxx+ yj)を修正演算したX軸位置
Xi、Y軸位置YiをXY子テーブル指令するので、プ
リント板等の微細加工、検査において、機械的に座標合
わせを行うことが不要になり、相対座標系のNCデータ
より自動位置決めが可能となって加ニブログラムの作成
が容易になり、加工精度の向上とあわせて大きな経済効
果が得られる。
加工位置座標Cxx+ yj)を修正演算したX軸位置
Xi、Y軸位置YiをXY子テーブル指令するので、プ
リント板等の微細加工、検査において、機械的に座標合
わせを行うことが不要になり、相対座標系のNCデータ
より自動位置決めが可能となって加ニブログラムの作成
が容易になり、加工精度の向上とあわせて大きな経済効
果が得られる。
第1図は一実施例としてのXY子テーブル微細位置決め
方法による微細位置決め用XY子テーブル斜視図、第2
図は同実施例のXY子テーブルステージコントローラの
制御プログラム、第3図は可動テーブルへのプリント板
の取付は状況を示す図、第4図は従来のXY子テーブル
使用した穴あけ装置の斜視図である。 1・・・・・・試料としてのプリント板、2・・・・・
・XY子テーブル2a・・・・・可動テーブル、2b・
・・・・ストッパ、3・・・・・・ステージコントロー
ラ、3a・・・・トラックボール、4・・・・・ボール
盤、5・・・・・・顕微鏡、6・・・・・・テレビカメ
ラとしてのCCDカメラ、7・・・・・・テレビモニタ
。 特許出願人 神鋼電機株式会社 代理人 弁理士 小 林 傅 第1図 1−−−プリンF才反 2−一−XYキブ)し 3−一−ス形グコントローラ 30−m−トラ・7ワボ°−ル 5−−一顕微4艷 6−−−CCD刀メつ 7−−−肌ビ七ニダ 第3図 Y軸 第4図 2G−一一可tfJテーブル 2b −一一ス ト・ソノで 4 −−4ぐ一ルル13゜
方法による微細位置決め用XY子テーブル斜視図、第2
図は同実施例のXY子テーブルステージコントローラの
制御プログラム、第3図は可動テーブルへのプリント板
の取付は状況を示す図、第4図は従来のXY子テーブル
使用した穴あけ装置の斜視図である。 1・・・・・・試料としてのプリント板、2・・・・・
・XY子テーブル2a・・・・・可動テーブル、2b・
・・・・ストッパ、3・・・・・・ステージコントロー
ラ、3a・・・・トラックボール、4・・・・・ボール
盤、5・・・・・・顕微鏡、6・・・・・・テレビカメ
ラとしてのCCDカメラ、7・・・・・・テレビモニタ
。 特許出願人 神鋼電機株式会社 代理人 弁理士 小 林 傅 第1図 1−−−プリンF才反 2−一−XYキブ)し 3−一−ス形グコントローラ 30−m−トラ・7ワボ°−ル 5−−一顕微4艷 6−−−CCD刀メつ 7−−−肌ビ七ニダ 第3図 Y軸 第4図 2G−一一可tfJテーブル 2b −一一ス ト・ソノで 4 −−4ぐ一ルル13゜
Claims (1)
- (1)可動テーブル上に試料を載置し固定し、同可動テ
ーブルのX軸およびY軸の位置をプログラム制御して前
記試料を加工位置に移動させるXYテーブルの位置決め
方法において、前記の載置固定された試料を観察する顕
微鏡と、同顕微鏡の映像を撮影するテレビカメラと、同
テレビカメラの生成する映像信号を表示するテレビモニ
タと、前記X軸の位置量を計測し信号出力するX軸位置
計測器と、前記Y軸の位置量を計測し信号出力するY軸
位置計測器とを設け、前記試料上に予め設定されている
xy座標の原点位置の映像が前記テレビモニタの画面所
定位置に合致するように前記X軸およびY軸を手動操作
したときのX軸位置計測器の信号値をA_x,Y軸位置
計測器の信号値をA_yとし、前記試料上の座標のx軸
上で原点とは重ならない所定点の映像が前記テレビモニ
タの画面所定位置に合致するように前記X軸およびY軸
を手動操作したときのX軸位置計測器の信号値をB_x
、Y軸位置計測器の信号値をB_yとして、前記A_x
,A_y,B_x,B_yから下記(1)式により前記
プログラム中の加工位置座標(x_i,y_i)を修正
演算したX軸位置X_i、Y軸位置Y_iをXYテーブ
ルに指令することを特徴とするXYテーブルの微細位置
決め方法。 X_i=(x_i・cosθ−y_i・sinθ)+A
_x…(1) Y_i=(x_i・sinθ+y_i・cosθ)+A
_y…(1) ただし θ=Tan^−^1[(B_y−A_y)/(B_x−
A_x)]
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2576188A JPH01205959A (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | Xyテーブルの微細位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2576188A JPH01205959A (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | Xyテーブルの微細位置決め方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01205959A true JPH01205959A (ja) | 1989-08-18 |
Family
ID=12174816
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2576188A Pending JPH01205959A (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | Xyテーブルの微細位置決め方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01205959A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP0732637A2 (en) * | 1992-04-30 | 1996-09-18 | Becton, Dickinson and Company | Method and apparatus for controlling coordinate displacements of a platform |
US7820940B2 (en) * | 2006-12-29 | 2010-10-26 | Shenzhen Futaihong Precision Industry Co., Ltd. | Laser engraving mechanism and engraving method of using the same |
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1988
- 1988-02-08 JP JP2576188A patent/JPH01205959A/ja active Pending
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