JPH01182011A - Slicing machine and its control method - Google Patents
Slicing machine and its control methodInfo
- Publication number
- JPH01182011A JPH01182011A JP63007056A JP705688A JPH01182011A JP H01182011 A JPH01182011 A JP H01182011A JP 63007056 A JP63007056 A JP 63007056A JP 705688 A JP705688 A JP 705688A JP H01182011 A JPH01182011 A JP H01182011A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- cutting tool
- blade
- cutting
- rotational speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 100
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 85
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 20
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 20
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D5/00—Arrangements for operating and controlling machines or devices for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
- B26D5/38—Arrangements for operating and controlling machines or devices for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting with means operable by the moving work to initiate the cutting action
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q15/00—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
- B23Q15/007—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work while the tool acts upon the workpiece
- B23Q15/12—Adaptive control, i.e. adjusting itself to have a performance which is optimum according to a preassigned criterion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Forests & Forestry (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、例えば、シリコンインゴットからシリコン
ウェハを薄く切り出す際に用いられるスライシングマシ
ンおよびその制御方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a slicing machine used, for example, to slice a silicon wafer thinly from a silicon ingot, and a method for controlling the same.
［従来の技術］
一般に、スライシングマシンにおいては、種々の切断方
式が用いられており、例えば、円形状内周切刃を有する
切断工具を工具取付は第に取付けて、この切断工具を回
転駆動し、ワークに対してこの回転している切断工具を
送り移動させて切断させる技術がある。このような切断
方式においては、シリコンインゴットからシリコンウェ
ハを効率良く薄く切り出すことが可能となるものである
。[Prior Art] Generally, various cutting methods are used in slicing machines. For example, a cutting tool having a circular inner peripheral cutting edge is attached first, and this cutting tool is rotationally driven. There is a technique in which this rotating cutting tool is fed and moved relative to the workpiece to cut it. In such a cutting method, it becomes possible to efficiently cut a silicon wafer thinly from a silicon ingot.
しかしながら、このような切断方式においては、切刃と
ワークとの間の切削抵抗により、切刃が回転軸方向に沿
って変位、換言すれば、撓むことになり、切断されたワ
ークの切断面における真直度が悪くなるという問題点が
指摘されている。However, in such a cutting method, the cutting resistance between the cutting blade and the workpiece causes the cutting blade to be displaced, in other words, bent, along the rotation axis direction, resulting in the cut surface of the workpiece being cut. It has been pointed out that there is a problem that the straightness deteriorates.
このため、従来のスライシングマシンにおいては、特開
昭６１−１０６２０７号公報に示されるように、切断さ
れたウェハの面精度を向上させるために、ブレードの取
付は用中空スピンドル内に研削機構としての砥石を設け
、この砥石により、切断加工前にブレードの端面に取付
けられた切刃を研削する構成が既に知られている。この
ように、切刃を常に切断加工前に研削することにより、
切削抵抗を減して、切刃が撓まないようにし、切断面の
真直度を確保しようとするものである。For this reason, in conventional slicing machines, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-106207, in order to improve the surface accuracy of the cut wafer, the blade is mounted inside the hollow spindle as a grinding mechanism. A configuration is already known in which a grindstone is provided and the cutting edge attached to the end face of the blade is ground by this grindstone before cutting. In this way, by always grinding the cutting edge before cutting,
The purpose is to reduce cutting resistance, prevent the cutting edge from bending, and ensure the straightness of the cut surface.
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、このような従来構成においては、切刃の
研削装置を別途必要とし、構成が複雑になると共に、製
造コストの無用な上昇を招く問題点が新に指摘されてい
る。[Problems to be Solved by the Invention] However, in such a conventional configuration, a separate grinding device for the cutting blade is required, which complicates the configuration and causes a new problem that leads to an unnecessary increase in manufacturing costs. has been done.
この発明は上述した問題点に鑑みてなされたもので、こ
の発明の目的は、簡単な構成で、安価に、被加工物の加
工面の面精度を向上させることの出来るスライシングマ
シンおよびその制御方法を提供することである。This invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the invention is to provide a slicing machine and a control method thereof that can improve the surface accuracy of the machined surface of a workpiece with a simple configuration and at low cost. The goal is to provide the following.
［課題を解決するための手段］
上述した課題を解決し、目的を達成するため、この発明
に係わるスライシングマシンは、周囲に切刃を有する切
断工具と、この切断工具が取付けられ、回転駆動可能に
支持されると共に、回転数に応じて回転軸方向に沿って
変位するように支持された回転体と、前記切断工具の近
傍に、所定間隔を有して配置され、この切断工具の切断
時の変位量を検出する検出手段と、この検出手段におい
て検出された変位量を零となるような前記回転体の補正
回転数を算出する補正演算手段と、この補正演算手段で
算出された補正回転数で、上記回転体の回転数を修正す
る制御手段とを具備する事を特徴としている。[Means for Solving the Problems] In order to solve the above-mentioned problems and achieve the purpose, a slicing machine according to the present invention includes a cutting tool having a cutting edge around the periphery, and a cutting tool to which the cutting tool is attached and is rotatably driven. A rotating body supported by the rotor and displaceable along the rotational axis direction according to the rotational speed, and a rotary body disposed at a predetermined interval in the vicinity of the cutting tool, and when the cutting tool is cutting. a detection means for detecting the amount of displacement of the rotating body, a correction calculation means for calculating a corrected rotation speed of the rotating body such that the amount of displacement detected by the detection means becomes zero, and a correction rotation calculated by the correction calculation means. The present invention is characterized by comprising a control means for correcting the number of rotations of the rotating body.
また、この発明に係わるスライシングマシンは、前記回
転体に支持される切断工具に対応して、回転体の回転数
とこの回転数に応じた切断工具の変位量との相関関係が
記憶されている記憶手段を更に具備する事を特徴として
いる。Further, in the slicing machine according to the present invention, a correlation between the rotational speed of the rotary body and the displacement amount of the cutting tool according to the rotational speed is stored, corresponding to the cutting tool supported by the rotary body. It is characterized by further comprising a storage means.
また、この発明に係わるスライシングマシンは、前記補
正演算手段で算出された補正回転数が、所定回転数を越
えた時点で、切断工具のドレス信号を発するドレス時期
検出手段を更に具備する事を特徴としている。Furthermore, the slicing machine according to the present invention is characterized in that it further comprises a dressing time detection means that issues a dressing signal for the cutting tool when the corrected rotational speed calculated by the correction calculation means exceeds a predetermined rotational speed. It is said that
また、この発明に係わるスライシングマシンの制御方法
は、回転駆動可能に支持された回転体に、周囲に切刃を
有する切断工具を、回転数に応じて回転軸方向に沿って
変位するように支持し、この切断工具の切断時の変位量
を検出し、検出した変位量が零になるように、前記回転
体の回転数を制御する事を特徴としている。Further, in the control method for a slicing machine according to the present invention, a cutting tool having a cutting blade around the periphery is supported on a rotary body that is rotatably supported so as to be displaced along the rotation axis direction according to the rotation speed. The present invention is characterized in that the amount of displacement of the cutting tool during cutting is detected, and the rotation speed of the rotating body is controlled so that the detected amount of displacement becomes zero.
［作用］
以上のように構成されたこの発明に係わるスライシング
マシンにおいては、切断工具の切断時の変位が、検出手
段により検出されると、この検出手段において検出され
た変位量を零にするような回転体の補正回転数が補正演
算手段において算出され、制御手段によりこの算出され
た補正回転数で回転体の回転数が修正されることになる
。このようにして、切断工具の変位は実質的に発生しな
いように制御され、被加工物の加工面の面制度は良好に
向上されることになる。[Operation] In the slicing machine according to the present invention configured as described above, when the displacement of the cutting tool during cutting is detected by the detection means, the amount of displacement detected by the detection means is reduced to zero. A corrected rotational speed of the rotating body is calculated by the correction calculation means, and the rotational speed of the rotating body is corrected by the calculated corrected rotational speed by the control means. In this way, the displacement of the cutting tool is controlled so as not to occur substantially, and the surface accuracy of the machined surface of the workpiece is favorably improved.
［実施例］
以下に、この発明に係わるスライシングマシンおよびそ
の制御方法の一実施例を添付図面を参照して、詳細に説
明する。[Embodiment] Hereinafter, an embodiment of a slicing machine and a control method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第１図に示すように、この一実施例のスライシングマシ
ン１０は、被加工物としてのシリコンインゴットＳｌを
薄く切り出してシリコンウェハを形成するものであり、
図示しない土台上に固定された基台１２と、この基台１
２上に立設されたスタンド１４と、このスタンド１４に
並設された状態で、基台１２上にスライド可能に取り付
けられたスライド台１６とを備えている。このスライド
台１６は、スタンド１４に対して進退するように、図中
左右方向に沿ってスライドするよう構成されている。As shown in FIG. 1, the slicing machine 10 of this embodiment thinly slices a silicon ingot Sl as a workpiece to form a silicon wafer.
A base 12 fixed on a base (not shown) and this base 1
A stand 14 is installed upright on the base 12, and a slide base 16 is slidably attached to the base 12 in parallel with the stand 14. This slide stand 16 is configured to slide along the left-right direction in the figure so as to move forward and backward relative to the stand 14.
このスタンド１４の上部には、図中左右方向に離間した
状態で一対のプーリ１８ａ、１８ｂが回転自在に軸支さ
れており、これらプーリ１８ａ。A pair of pulleys 18a and 18b are rotatably supported on the upper part of the stand 14 while being spaced apart from each other in the left-right direction in the drawing, and these pulleys 18a.
１８ｂには、ワイヤ２０が懸架されている。このワイヤ
２０の図中左端には、ウェイト２２が接続され、また、
図中右端、即ち、スライド台１６側の端部には、リフト
台２４が接続されている。A wire 20 is suspended from 18b. A weight 22 is connected to the left end of the wire 20 in the figure, and
A lift stand 24 is connected to the right end in the figure, that is, the end on the slide stand 16 side.
このリフト台２４には、主軸２６が水平方向に沿って延
出した状態で、軸受機構２８を介して水平軸回りに回転
自在に軸支されている。この軸受機構２８の上部には、
主軸２６を回転駆動させるための第１の駆動モータ３０
が載置されている。A main shaft 26 is rotatably supported on the lift table 24 via a bearing mechanism 28, with the main shaft 26 extending horizontally. At the top of this bearing mechanism 28,
First drive motor 30 for rotationally driving the main shaft 26
is placed.
一方、主軸２６の端部には従動プーリ３２が同軸に固着
され、第１の駆動モータ３０の駆動軸３０ａには駆動プ
ーリ３４が同軸に固着されている。これら従動プーリ３
２と駆動プーリ３４との間には、エンドレスヘルド３６
が捲回されている。このようにして、第１の駆動モータ
３０の起動に伴ない、主軸２６は回転駆動されることに
なる。On the other hand, a driven pulley 32 is coaxially fixed to the end of the main shaft 26, and a drive pulley 34 is coaxially fixed to the drive shaft 30a of the first drive motor 30. These driven pulleys 3
2 and the drive pulley 34 is an endless heald 36.
is being wound. In this way, as the first drive motor 30 is activated, the main shaft 26 is rotationally driven.
一方、上述したリフト台２４には、上下方向に延出した
ボールねじ３８が螺合した状態で貫通しており、このボ
ールねじ３８の上端は、スタンド１４の上面に取り付け
られた第２の駆動モータ４０の駆動軸４０ａに一体的に
連結されている。On the other hand, a ball screw 38 extending in the vertical direction passes through the lift table 24 in a screwed manner, and the upper end of the ball screw 38 is connected to a second drive unit attached to the upper surface of the stand 14. It is integrally connected to the drive shaft 40a of the motor 40.
ここで、上述したウェイト２２は、リフト台２４、主軸
２６、軸受機構２８、第１の駆動モータ３０を合わせた
重量と略同じ重量に設定されている。このようにして、
第２の駆動モータ４０は、低負荷で、主軸２６を上下方
向に沿って移動駆動することが出来ることになる。Here, the weight 22 described above is set to have approximately the same weight as the combined weight of the lift table 24, the main shaft 26, the bearing mechanism 28, and the first drive motor 30. In this way,
The second drive motor 40 can drive the main shaft 26 vertically with low load.
この主軸２６の図中右端には、テンションディスク４２
が同軸に一体に取り付けられている。このテンションデ
ィスク４２のスライド台１６側の端面は、全面に渡って
開放されており、ここには円板状の薄板からなるブレー
ド４４が垂直方向に沿って延出するように、緊張された
状態で張設されている。このブレード４４は、中央部分
に開口が形成されており、所謂ドーナツツ状を呈してい
る。このブレード４４の内周縁には、全周に渡って切刃
（内周刃）４６が形成されている。このプレート４４と
切刃４６とは、シリコンインゴットＳＩを薄く切り取る
（スライス）するための切断工具を構成している。At the right end of the main shaft 26 in the figure, there is a tension disc 42.
are attached coaxially. The end face of the tension disc 42 on the side of the slide table 16 is open over the entire surface, and a blade 44 made of a disc-shaped thin plate is placed under tension so as to extend vertically. It is stretched with This blade 44 has an opening formed in its center and has a so-called donut shape. A cutting edge (inner peripheral edge) 46 is formed on the inner peripheral edge of this blade 44 over the entire circumference. The plate 44 and the cutting blade 46 constitute a cutting tool for thinly cutting (slicing) the silicon ingot SI.
一方、前述したスライド台１６上には、シリコンインゴ
ットＳＩが支持されるスライドテーブル４８が、図中左
右方向に沿ってスライド自在にか取り付けられている。On the other hand, a slide table 48 on which the silicon ingot SI is supported is attached to the slide table 16 described above so as to be slidable along the left and right directions in the figure.
また、このスライド台１６の図中右端には、第３の駆動
モータ５０が載置されており、この第３の駆動モータ５
０の駆動軸５０ａは、図中左右方向に沿って延出するよ
うに設定されている。この駆動軸５０ａには、これと一
体回転するように、ボールねじ５２が接続されている。Further, a third drive motor 50 is placed on the right end of the slide table 16 in the figure.
The drive shaft 50a of No. 0 is set to extend along the left-right direction in the figure. A ball screw 52 is connected to the drive shaft 50a so as to rotate integrally therewith.
そして、このボールねじ５２は、スライドテーブル４８
に螺合している。このようにして、第３の駆動モータ５
０の起動に応じて、スライドテーブル４８は、図中左右
方向に沿って、換言すれば、切断工具に対して進退する
ように駆動されることになる。This ball screw 52 is connected to the slide table 48.
are screwed together. In this way, the third drive motor 5
0, the slide table 48 is driven along the left and right directions in the figure, in other words, to move forward and backward relative to the cutting tool.
ここで、このスライド台１６は、テンションディスク４
２への切断工具の取り外しの際に、この取り外し動作を
邪魔しないようにするために、テンションディスク４２
から離間するようにスライドされ、一方、スライドテー
ブル４８は、シリコンインゴットＳＩのスライス動作の
際に、スライド台１６を固定した状態で、スライスする
厚みに対応した距離だけ、テンションディスク４２に向
けてスライドされるものである。Here, this slide base 16 is connected to the tension disc 4
When removing the cutting tool from the cutting tool 2, the tension disc 42
On the other hand, during the slicing operation of the silicon ingot SI, the slide table 48 slides toward the tension disk 42 by a distance corresponding to the thickness to be sliced, with the slide table 16 fixed. It is something that will be done.
尚、前述した切断工具を構成するトーナッッ上のブレー
ド４４は、１ｍｍ以下の極めて薄い鋼板から形成されて
おり、内周切刃４６は、ダイヤモンド粒子をバインダを
介して焼結させたものから構成されている。The blade 44 on the toner that constitutes the cutting tool described above is made of an extremely thin steel plate of 1 mm or less, and the inner peripheral cutting edge 46 is made of diamond particles sintered through a binder. ing.
また、このブレード４４は、上述したように、極めて薄
いものであるので、例え、これをテンションディスク４
２に所定の張力で緊張させた状態で張設させたとしても
、回転軸方向に沿って変位する可能性がある。即ち、主
軸２６の下降に伴ない切刃４６がシリコンインゴットＳ
Ｉに当接し、これをスライスする際において、切刃４６
とシリコンインゴットＳＩとの間に生じる切削抵抗によ
り、ブレード４４は図中左右方向に沿って変位すること
になる。Further, as described above, this blade 44 is extremely thin, so if it is used as a tension disk 44,
2 is stretched with a predetermined tension, there is a possibility of displacement along the rotation axis direction. That is, as the main shaft 26 descends, the cutting blade 46 cuts the silicon ingot S.
When contacting I and slicing it, the cutting blade 46
The blade 44 is displaced along the left-right direction in the figure due to the cutting resistance generated between the silicon ingot SI and the silicon ingot SI.
このブレード４４の変位量を検出するため、このプレー
ト４４に対して非接触な状態で変位検出機構５４が設け
られている。この変位検出機構５４は、ブレード４４の
両側面に夫々対向するように配置された第１及び第２の
変位計５４ａ。In order to detect the amount of displacement of this blade 44, a displacement detection mechanism 54 is provided in a non-contact state with respect to this plate 44. The displacement detection mechanism 54 includes first and second displacement gauges 54a arranged to face each other on both sides of the blade 44.
５４ｂを備えている。各変位計５４ａ、５４ｂは、所謂
磁気センサから形成され、非接触の状態で、プレート４
４の対応する表面までの距離を検出するように構成され
ている。54b. Each displacement meter 54a, 54b is formed from a so-called magnetic sensor, and is in a non-contact state.
4 is configured to detect the distance to the corresponding surface.
尚、これら第１及び第２の変位計５４８゜５４ｂは、共
に減算器５６に接続されており、この減算器５６におい
て、両変位計５４ａ、５４ｂからの出力は、互いに減じ
られるよう構成されている。このようにして、例え、各
変位計５４ａ。The first and second displacement meters 548 and 54b are both connected to a subtracter 56, and the outputs from both displacement meters 54a and 54b are subtracted from each other in the subtracter 56. There is. In this way, for example, each displacement meter 54a.
５４ｂからの出力に定期的な変動要素（ノイズ）が含ま
れていたとしても、その変動要素は減算により差し引か
れ、消滅する。Even if the output from 54b contains regular fluctuation elements (noise), the fluctuation elements are subtracted by subtraction and disappear.
即ち、第１の変位計５４ａからは、第１の出力信号Ａ１
が、第２の変位計５４ｂからは、第２の出力信号Ａ２が
夫々出力される場合において、第１の出力信号Ａ１は、
Ａ１にり、＋Ｎ。That is, the first output signal A1 is output from the first displacement meter 54a.
However, when the second output signal A2 is output from the second displacement meter 54b, the first output signal A1 is
A1, +N.
第２の出力信号Ａ２は、Ａ２ ＝ Ｌ２ ＋ Ｎ で
夫々表すことが出来るものである。ここで、符合り、、
ｔ、２は、夫々本来の検出出力分（即ち、各変位計とブ
レードの対応する側面との間の距離に応じた値）であり
、符合Ｎは、上述したノイズ分を示している。The second output signal A2 can be respectively expressed as A2 = L2 + N. Here, the sign is,
t and 2 are respective original detection outputs (that is, values according to the distances between each displacement meter and the corresponding side surface of the blade), and the symbol N indicates the above-mentioned noise component.
そして、減算器５６において、Ａ ＩＡ ２の演算が実
行されることにより、この減算器５６からは、（Ｌ＋
＋Ｎ） （Ｌ２ 十Ｎ）≠Ｌ、−Ｌ２の演算結果が
出力されることになる。このように、この減算器５６か
らの出力には、ノイズ分Ｎが含まれていないものである
。Then, in the subtracter 56, the operation of A IA 2 is executed, and from this subtracter 56, (L+
+N) (L2 10N)≠L, the calculation result of -L2 will be output. In this way, the output from the subtracter 56 does not include the noise component N.
以下に、第２図を参照して、この一実施例における、ス
ライシング時でのブレード４４の撓みを一定に維持する
ためのフィードバック制御系の構成を説明する。The configuration of a feedback control system for maintaining a constant deflection of the blade 44 during slicing in this embodiment will be described below with reference to FIG. 2.
上述した減算器５６の出力端は、図示するように、較正
装置５８と、基準変位記憶装置６０と、オペアンプ６２
の反転入力端とに、各々接続されている。また、この基
準変位記憶装置６０の出力端は、オペアンプ６２の非反
転入力端に接続されている。The output terminal of the subtracter 56 described above is connected to a calibration device 58, a reference displacement storage device 60, and an operational amplifier 62, as shown in the figure.
are respectively connected to the inverting input terminals of the . Further, the output end of this reference displacement storage device 60 is connected to a non-inverting input end of an operational amplifier 62.
ここで、上述した較正装置５８には、記憶手段の一態様
であり、第１の駆動モータ３０の回転信号が入力されて
おり、この較正装置５８は、図示していないが、入力さ
れた回転信号に基づき主軸２６０回転数を検知する第１
の検知器と、減算器５６から入力された変位信号に基づ
きブレード４４の変位量を検知する第２の検知器とを備
えている。そして、この較正装置５８は、第１及び第２
の検知器からの検知結果に基づいて、ブレード４４の回
転数と撓みとの間の相関関係を示す値、換言すれば、こ
のフィードバック系における伝達係数ｋを規定して記憶
するように構成されている。Here, the above-mentioned calibration device 58 is an aspect of storage means, and the rotation signal of the first drive motor 30 is inputted, and although not shown, the calibration device 58 is configured to input the rotation signal of the first drive motor 30. The first one detects the main shaft 260 rotation speed based on the signal.
and a second detector that detects the amount of displacement of the blade 44 based on the displacement signal input from the subtractor 56. The calibration device 58 includes the first and second calibration devices.
Based on the detection result from the detector, the value indicating the correlation between the rotation speed and the deflection of the blade 44, in other words, the transmission coefficient k in this feedback system is defined and stored. There is.
即ち、ブレード４４は、回転に伴なう遠心力により撓む
（変位）ことになるが、この伝達係数ｋを知ることによ
り、逆に、−旦撓んだブレード４４を所定の初期位置ま
て復帰させるに必要な回転数の減少量を算出することが
可能となる。In other words, the blade 44 is deflected (displaced) by the centrifugal force that accompanies rotation, but by knowing this transfer coefficient k, it is possible to move the deflected blade 44 to a predetermined initial position. It becomes possible to calculate the amount of decrease in rotational speed required for recovery.
この較正装置５８における伝達係数ｋを求める較正動作
（キャリブレーション）は、シリコンインゴットＳＩを
スライスしない状態で、切断工具を空回しした際の、ブ
レード４４の回転数（即ち、主軸２６の回転数）と、撓
み量（変位量）との関係から求められるものであり、例
えば、第３図に示すように求められるものである。The calibration operation (calibration) for determining the transfer coefficient k in the calibration device 58 is performed using the rotation speed of the blade 44 (i.e., the rotation speed of the main shaft 26) when the cutting tool is idle without slicing the silicon ingot SI. It is determined from the relationship between the amount of deflection (amount of displacement) and the amount of deflection (displacement), for example, as shown in FIG.
この伝達係数には、夫々のブレード４４毎に異なるもの
であり、換言すれば、各ブレード４４が固有に有する値
であり、しかも、テンションディスク４２への取り付け
の際の張力によっても異なるものである。このようにし
て、この較正動作は、ブレード４４を付は替える毎に実
行され、それ毎に伝達係数ｋを規定し直し、記憶し直す
ようになされている。ここで、この伝達係数には、第３
図から明かなように、定数では無く、所定の関数として
表されるものである。This transmission coefficient differs for each blade 44, in other words, it is a value unique to each blade 44, and also differs depending on the tension when attached to the tension disk 42. . In this way, this calibration operation is performed each time the blade 44 is replaced, and the transmission coefficient k is redefined and stored each time. Here, this transfer coefficient includes the third
As is clear from the figure, it is not a constant but is expressed as a predetermined function.
尚、この較正装置５８の出力端は、後述する演算装置６
４に接続され、この演算装置６４に伝達係数ｋが出力さ
れるように構成されている。Note that the output terminal of this calibration device 58 is connected to an arithmetic device 6, which will be described later.
4, and is configured so that the transfer coefficient k is output to this arithmetic unit 64.
一方、上述した基準変位記憶装置６０は、シリコンイン
ゴットＳＩのスライシング動作に際して採用される回転
数、例えば、この一実施例においては、１，２００ ｊ
、ｐ、ｍ、、で主軸２６が回転される際に発生するブレ
ード４４の変位量（撓み）を記憶し、常時、オペアンプ
６２の非反転入力端子に出力するものである。即ち、実
際のスライシング動作においては、第１の駆動モータ３
０が起動して主軸２６の回転数が、この１．’２００ｒ
、ｐ、ｍ、に至った後に、第２の駆動モータ４０が起動
して、切断工具を下降させることになるが、この基準変
位量は、主軸２６の回転数が、所定の設定数に至った時
点で、第２の駆動モータ４０が起動する前の段階でのブ
レード４４の変位量から規定されるものである。On the other hand, the above-mentioned reference displacement storage device 60 stores the number of revolutions employed during the slicing operation of the silicon ingot SI, for example, 1,200 j in this embodiment.
, p, m, , the amount of displacement (deflection) of the blade 44 that occurs when the main shaft 26 is rotated is stored and always output to the non-inverting input terminal of the operational amplifier 62. That is, in the actual slicing operation, the first drive motor 3
0 starts and the rotational speed of the main shaft 26 changes to 1.0. '200r
, p, m, the second drive motor 40 is activated to lower the cutting tool, but this reference displacement amount is determined when the number of revolutions of the main shaft 26 reaches a predetermined set number. It is defined based on the amount of displacement of the blade 44 at the time when the second drive motor 40 is started.
換言すれば、スライシング動作に際して、ブレード４４
が撓むと、この基準変位量から検出変位量がずれ込むこ
とになる。そして、このずれ量を補正すべく、これに対
抗するようにブレード４４を変位させることにより、ブ
レード４４は初期状態に維持され、シリコンインゴット
ＳＩの切断面は、直立度を良好に維持された状態で形成
されることになる。In other words, during the slicing operation, the blade 44
If it bends, the detected displacement amount will deviate from this reference displacement amount. Then, by displacing the blade 44 to counteract this amount of deviation, the blade 44 is maintained in the initial state, and the cut surface of the silicon ingot SI is maintained in a state where the uprightness is well maintained. will be formed.
ここで、この一実施例においては、フレート４４のずれ
量を補正すべく、これに対抗するようにブレード４４を
変位させる手段を、主軸２６の回転数を制御することに
より実行するように構成されている。Here, in this embodiment, in order to correct the amount of deviation of the plate 44, the means for displacing the blade 44 to counteract this is executed by controlling the rotational speed of the main shaft 26. ing.
即ち、上述したように、オペアンプ６２には、基準変位
記憶装置６０と減算器５６とからの出力信号が夫々入力
されており、ここで、百出力の偏差が取られるようにな
されている。換言すれば、基準変位量と現在の検出変位
量との偏差が、このオペアンプ６２から出力されること
になる。That is, as described above, the output signals from the reference displacement storage device 60 and the subtracter 56 are respectively input to the operational amplifier 62, and a deviation of 100 outputs is taken out. In other words, the operational amplifier 62 outputs the deviation between the reference displacement amount and the currently detected displacement amount.
このオペアンプ６２の出力端は、演算装置６４に接続さ
れており、この演算装置６４は、既に基準変位量と現在
の検出変位量との偏差を減じるに必要な回転数の変化量
（補正回転数）を、較正装置６
置５８において予め規定された伝達係数ｋから演算する
よう構成されている。即ち、この演算装置６４において
は、ブレード４４を切削抵抗等により変位した量と同じ
値の変位量だけ、変位した方向とは逆方向に変位するに
必要な、主軸２６の回転数を補正するための補正回転数
が演算されることになる。The output terminal of this operational amplifier 62 is connected to a calculation device 64, and this calculation device 64 already calculates the amount of change in rotation speed (corrected rotation speed) necessary to reduce the deviation between the reference displacement amount and the currently detected displacement amount. ) is calculated from a predefined transmission coefficient k in the calibration device 6 58 . That is, in this calculation device 64, in order to correct the number of revolutions of the main shaft 26 necessary to displace the blade 44 in the opposite direction to the direction of displacement by the same amount of displacement as the amount of displacement due to cutting resistance etc. The corrected rotation speed will be calculated.
この演算装置６４の出力端は、第１の駆動モータ３０用
の制御装置６６に接続されている。この制御装置６６は
、演算装置６４において演算された所の、基準変位量と
現在の検出変位量との偏差を減じるに必要な回転数の変
化量（補正回転数）を示す信号を受けて、第１の駆動モ
ータ３０を、この変化量に応じて回転数を変化させるよ
うに回転駆動制御するように構成されている。The output end of this arithmetic device 64 is connected to a control device 66 for the first drive motor 30 . This control device 66 receives a signal indicating the amount of change in rotation speed (corrected rotation speed) required to reduce the deviation between the reference displacement amount and the currently detected displacement amount calculated by the calculation device 64, and The first drive motor 30 is configured to be rotationally controlled so as to change the rotational speed according to this amount of change.
一方、この演算装置６４には、ここで算出された補正回
転数が、所定回転数を越えた時点で、切断工具のドレス
信号を発するドレス時期検出手段としてのドレス時期検
出装置６８が接続されている。即ち、切刃４６が鈍って
くると、切削抵抗が増大し、ブレード４４が撓み易くな
る。ここで、ブレード４４の撓みが所定の限界値（閾値
）を越えた場合に、ブレード４４が塑性変形して、この
撓みが永久変形としてブレード４４の形状に残ることに
なる。従って、この撓みがブレード４４に残らないよう
にするために、撓みが閾値を越えた場合に、切刃４６の
切れ味を元に戻すために、ドレス（研ぎ直し）を実行す
るようにしなければならない。ここで、上述した所定回
転数は、この撓みの閾値に対応する回転数として規定さ
れているものである。On the other hand, a dressing time detection device 68 is connected to this arithmetic device 64 as a dressing time detection means that issues a dressing signal for the cutting tool when the corrected rotation speed calculated here exceeds a predetermined rotation speed. There is. That is, when the cutting edge 46 becomes dull, the cutting resistance increases and the blade 44 becomes easier to bend. Here, when the deflection of the blade 44 exceeds a predetermined limit value (threshold value), the blade 44 is plastically deformed, and this deflection remains in the shape of the blade 44 as a permanent deformation. Therefore, in order to prevent this deflection from remaining in the blade 44, if the deflection exceeds a threshold value, dressing (resharpening) must be performed to restore the sharpness of the cutting edge 46 to its original state. . Here, the above-mentioned predetermined rotation speed is defined as the rotation speed corresponding to the threshold value of this deflection.
このドレス時期検出装置６８からドレス信号が出力され
ることにより、図示しないドレス指示器が例えば点灯し
、操作者にこの切断工具のドレス時期が到来したことを
認識させるものである。When the dressing signal is output from the dressing time detection device 68, a dressing indicator (not shown) lights up, for example, and the operator is made aware that the dressing time for the cutting tool has arrived.
尚、このドレス動作は、図示しないホワイトストーンを
スライシングすることにより実行されるものである。Note that this dressing operation is performed by slicing a white stone (not shown).
以上のように構成されるスライシングマシン１０におけ
るブレード４４の回転軸方向に沿う変位（撓み）を制御
する制御方法について、以下に説明する。A control method for controlling the displacement (deflection) of the blade 44 along the rotation axis direction in the slicing machine 10 configured as described above will be described below.
先ず、テンションディスク４２に新なブレード４４が付
は替えられると、この付は替え動作毎に、較正動作が実
行される。First, when a new blade 44 is replaced on the tension disk 42, a calibration operation is performed each time the tension disk 42 is replaced.
即ち、スライド台１６がテンションディスク４２から大
きく引き離され、新なブレード４４がテンションディス
ク４２に装着された時点で、第１の駆動モータ３０のみ
を回転駆動し、切刃４６によりシリコンインゴットＳｌ
をスライシングしない状態で、切断工具を空回転させる
。この切断工具が空回転している状態における主軸２６
の回転数、即ち、ブレード４４０回転数と、減算器５６
からのブレード４４の回転数に応じた変位量、即ち、撓
み量との相関関係から規定される伝達係数ｋを、較正装
置５８において決定し、ここに記憶する。That is, when the slide table 16 is largely separated from the tension disk 42 and a new blade 44 is attached to the tension disk 42, only the first drive motor 30 is rotated, and the cutting blade 46 cuts the silicon ingot Sl.
Rotate the cutting tool idly without slicing. The main shaft 26 in a state where this cutting tool is idly rotating
, that is, the number of rotations of the blade 440 and the subtractor 56
A transmission coefficient k defined from a correlation with the amount of displacement corresponding to the rotational speed of the blade 44, that is, the amount of deflection, is determined in the calibration device 58 and stored therein.
また、スライシング動作において用いられる主軸２６の
回転数におけるブレード４４の変位が、基準変位として
基準変位記憶装置６０に記憶される。Further, the displacement of the blade 44 at the rotational speed of the main shaft 26 used in the slicing operation is stored in the reference displacement storage device 60 as a reference displacement.
このように較正動作、及び、基準変位の記憶が実行され
た後において、第１の駆動モータ３０が主軸２６を所定
の回転数で回転駆動したままの状態で、スライド台１６
はテンションディスク４２に近接する所定の設定位置ま
でスライドされ、第３の駆動モータ５０が起動して、シ
リコンインゴットＳｌは、所定のスライス位置まてスラ
イドされる。この後、第２の駆動モータ４０が起動して
、リフト台２４を押し下げ、主軸２６の回転に伴ない回
転している切断工具の切刃４６の上方部分が、シリコン
インゴットＳＩに上方から当接し、これをスライスする
ことになる。After the calibration operation and the storage of the reference displacement are executed in this way, the slide base 16 is rotated while the first drive motor 30 continues to rotate the main shaft 26 at a predetermined rotation speed.
is slid to a predetermined setting position close to the tension disk 42, the third drive motor 50 is activated, and the silicon ingot Sl is slid to a predetermined slicing position. Thereafter, the second drive motor 40 is activated to push down the lift table 24, and the upper part of the cutting blade 46 of the cutting tool, which is rotating as the main shaft 26 rotates, comes into contact with the silicon ingot SI from above. , this will be sliced.
ここて、このスライシング動作が実行されていくと、切
刃４６とシリコンインゴットとの間の切削抵抗等により
、ブレード４４が回転軸方向に沿って更に撓むことにな
る。しかしながら、この一実施例においては、以下に説
明するように、ブレード４４の変位に対してフィードバ
ック制御を実行しているのて、ブレード４４の変位は、
基準変位に良好に保たれ、このブレード４４に取り付け
られた切刃４６により切断されるシリコニンゴットＳＩ
の切断面の加工制度、詳細には、直立度が良好に維持さ
れることになる。As this slicing operation is performed, the blade 44 is further bent along the rotation axis direction due to cutting resistance between the cutting blade 46 and the silicon ingot. However, in this embodiment, as explained below, since feedback control is performed on the displacement of the blade 44, the displacement of the blade 44 is
The silicone Got SI is well maintained at a standard displacement and is cut by the cutting blade 46 attached to this blade 44.
The machining accuracy of the cut surface, in particular, the uprightness will be maintained well.
即ち、ブレード４４が基準変位から更に変位すると、こ
の変化は、第１及び第２の変位計５４ａ、５４ｂの出力
値に現れ、減算器５６の出力結果にそのまま反映される
ことになる。このような減算器５６からの出力信号は、
オペアンプ６２の反転入力端子に入力されており、この
結果、オペアンプ６２の出力端子からは、この減算器５
６からの現時点における変位と、基準変位との偏差が出
力されることになる。That is, when the blade 44 further displaces from the reference displacement, this change appears in the output values of the first and second displacement meters 54a and 54b, and is directly reflected in the output result of the subtracter 56. The output signal from such a subtracter 56 is
It is input to the inverting input terminal of the operational amplifier 62, and as a result, from the output terminal of the operational amplifier 62, this subtracter 5
The deviation between the current displacement from 6 and the reference displacement will be output.
そして、演算装置６４は、この偏差に基づき、この偏差
がτとなるに、換言すれば、ブレード４４の変位が基準
変位に戻ることになるのに必要な回転数の変化量（補正
回転数）を、較正装置５８からの伝達係数ｋに基づいて
算出する。この演算装置６４は、算出した補正回転数を
第１の駆動子−タ用の制御装置６６に出力し、この制御
装置６６は、この補正回転数に応じた回転数だけ、主軸
２６の回転数を変化するように、第１の駆動モータ３０
の回転駆動を制御する。Based on this deviation, the arithmetic unit 64 determines the amount of change in rotational speed (corrected rotational speed) required for this deviation to become τ, in other words, for the displacement of the blade 44 to return to the reference displacement. is calculated based on the transfer coefficient k from the calibration device 58. This calculation device 64 outputs the calculated corrected rotation speed to a control device 66 for the first drive element, and this control device 66 controls the rotation speed of the main shaft 26 by the rotation speed corresponding to the corrected rotation speed. The first drive motor 30
control the rotational drive of the
具体的には、ブレード４４は、回転に伴なう遠心力によ
り、主軸２６から離れる方向に変位することになる。一
方、例えば、ブレード４４が主軸２６から離れる方向に
変位した場合には、第１の変位計５４ａの出力が小さく
なり、第２の変位計５４ｂの出力が大きくなる。この結
果、減算器５６からの出力は小さくなる。換言すれば、
減算器５６からの出力が小さくなれば、ブレード４４が
主軸２６から離れる方向に変位していることを意味する
ことになる。Specifically, the blade 44 is displaced in a direction away from the main shaft 26 due to the centrifugal force accompanying the rotation. On the other hand, for example, when the blade 44 is displaced in a direction away from the main shaft 26, the output of the first displacement meter 54a becomes small and the output of the second displacement meter 54b becomes large. As a result, the output from subtractor 56 becomes smaller. In other words,
If the output from the subtractor 56 becomes smaller, it means that the blade 44 is displaced away from the main shaft 26.
従って、オペアンプ６２からの出力がプラス値で変化す
ることになる。このようにして、オペアンプ６２からの
出力がプラス側で変化することにより、ブレード４４が
主軸２６から離れる方向に変位していることになるので
、演算装置６４は、この変位量に応じた補正回転数だけ
、主軸２６の回転数を減じるように制御装置６６に制御
信号を出力することになる。Therefore, the output from the operational amplifier 62 changes to a positive value. In this way, when the output from the operational amplifier 62 changes to the positive side, the blade 44 is displaced in the direction away from the main shaft 26, so the arithmetic unit 64 performs a correction rotation according to this amount of displacement. A control signal is output to the control device 66 so as to reduce the rotational speed of the main shaft 26 by the same amount.
一方、ブレード４４が主軸２６に近づくように変位した
場合には、第１の変位計５４ａの出力が大きくなり、第
２の変位計５４ｂの出力が小さくなる。この結果、減算
器５６からの出力は大きくなる。従って、オペアンプ６
２がマイナス側で変化することになる。このようにして
、オペアンプ６２ＫＲＡの出力がマイナス側でで変化す
ることにより、ブレード４４が主軸２６に近づく方向に
変位していることになるので、演算装置６４は、この変
位量に応じた補正回転数だけ、主軸２６の回転数を増す
るように制御装置６６に制御信号を出力することになる
。On the other hand, when the blade 44 is displaced closer to the main shaft 26, the output of the first displacement meter 54a increases and the output of the second displacement meter 54b decreases. As a result, the output from subtractor 56 becomes larger. Therefore, op amp 6
2 will change on the negative side. In this way, since the output of the operational amplifier 62KRA changes on the negative side, the blade 44 is displaced in the direction approaching the main shaft 26, so the arithmetic unit 64 performs a correction rotation according to this amount of displacement. A control signal is output to the control device 66 so as to increase the rotational speed of the main shaft 26 by the number of rotations.
また、この一実施例においては、演算装置６４にドレス
時期検出装置６８が接続されている。そして、このドレ
ス時期検出装置６８において予め設定されている閾値を
、ブレード４４の変位量がプラス・マイナスいずれの方
向にも越えた場合には、切刃４６が鈍くなって切削抵抗
が増し、大きく偏倚するようになったものと判断して、
切刃４６のドレスを指示すべく、ドレス信号を出力する
。このようにして、この一実施例においては、切刃４６
のドレス時期が自動的に警告され、作業能率が顕著に向
上することになる効果が達成される。Further, in this embodiment, a dress time detection device 68 is connected to the arithmetic device 64. If the amount of displacement of the blade 44 exceeds a threshold value preset in this dressing time detection device 68 in either the plus or minus direction, the cutting edge 46 becomes dull and the cutting resistance increases, causing a large Judging that it has become biased,
A dressing signal is output to instruct dressing of the cutting blade 46. Thus, in this embodiment, the cutting edge 46
automatically warns when it is time to dress, achieving the effect of significantly improving work efficiency.
この発明は、上述した一実施例の構成に限定されること
なく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能
であることは言うまでもない。It goes without saying that this invention is not limited to the configuration of the one embodiment described above, and can be modified in various ways without departing from the gist of the invention.
［発明の効果］
以上詳述したように、この発明に係わるスライシングマ
シンは、周囲に切刃を有する切断工具と、この切断工具
が取付けられ、回転駆動可能に支持されると共に、回転
数に応じて回転軸方向に沿って変位するように支持され
た回転体と、前記切断工具の近傍に、所定間隔を有して
配置され、この切断工具の切断時の変位量を検出する検
出手段と、この検出手段において検出された変位量を零
となるような前記回転体の補正回転数を算出する補正演
算手段と、この補正演算手段で算出された補正回転数で
、上記回転体の回転数を修正する制御−手段とを具備す
る事を特徴としている。[Effects of the Invention] As detailed above, the slicing machine according to the present invention includes a cutting tool having a cutting edge around the periphery, this cutting tool is attached, is supported so as to be rotatable, and is rotated according to the rotational speed. a rotating body supported so as to be displaced along the rotational axis direction; a detection means disposed at a predetermined interval in the vicinity of the cutting tool, and detecting the amount of displacement of the cutting tool during cutting; A correction calculation means for calculating a correction rotation speed of the rotating body such that the amount of displacement detected by the detection means becomes zero, and a correction calculation means that calculates the rotation speed of the rotation body using the correction rotation speed calculated by the correction calculation means. It is characterized by comprising a control means for correcting.
また、この発明に係わるスライシングマシンの制御方法
は、回転駆動可能に支持された回転体に、周囲に切刃を
有する切断工具を、回転数に応じて回転軸方向に沿って
変位するように支持し、この切断工具の切断時の変位量
を検出し、検出した変位量が零になるように、前記回転
体の回転数を制御する事を特徴としている。Further, in the control method for a slicing machine according to the present invention, a cutting tool having a cutting blade around the periphery is supported on a rotary body that is rotatably supported so as to be displaced along the rotation axis direction according to the rotation speed. The present invention is characterized in that the amount of displacement of the cutting tool during cutting is detected, and the rotation speed of the rotating body is controlled so that the detected amount of displacement becomes zero.
従って、この発明によれば、簡単な構成で、安価に、被
加工物の加工面の面精度を向上させることの出来るスラ
イシングマシンおよびその制御方法が提供されることに
なる。Therefore, according to the present invention, there is provided a slicing machine and a control method thereof that can improve the surface accuracy of a machined surface of a workpiece with a simple configuration and at low cost.
また、この発明に係わるスライシングマシンは、回転体
に支持される切断工具に対応して、回転体の回転数とこ
の回転数に応じた切断工具の変位量との相関関係が記憶
されている記憶手段を更に具備している。このようにし
て、切断工具の変位を検出することにより、上記した相
関関係を用いて、変化させるべき回転数を容易に規定す
ることが出来ることになる。Further, the slicing machine according to the present invention has a memory that stores a correlation between the number of rotations of the rotating body and the amount of displacement of the cutting tool corresponding to the number of rotations, corresponding to the cutting tool supported by the rotating body. It further includes means. By detecting the displacement of the cutting tool in this way, the rotation speed to be changed can be easily specified using the above-mentioned correlation.
また、この発明に係わるスライシングマシンは、補正演
算手段で算出された補正回転数が、所定回転数を越えた
時点で、切断工具のドレス信号を発するドレス時期検出
手段を更に具備している。このようにして、切断工具の
ドレス時期が自動的に警告され、作業能率が顕著に向上
することになる。Further, the slicing machine according to the present invention further includes dressing time detection means that issues a dressing signal for the cutting tool when the corrected rotational speed calculated by the correction calculation means exceeds a predetermined rotational speed. In this way, you will be automatically warned when it is time to dress the cutting tool, significantly improving work efficiency.
第１図はこの発明に係わるスライシングマシンの一実施
例の構成を概略的に示す正面図；第２図は第１図に示す
スライシングマシンの制御系の構成を示すブロック図：
そして、第３図はブレードを空回しした際のブレードの
変位と回転数との相関関係を示す線図である。
図中、１０・・・スライシングマシン、１２・・・基台
、１４・・・スタンド、１６・・・スライド台、１８ａ
；１８ｂ・・・プーリ、２０・・・ワイヤ、２２・・・
ウェイト、２４・・・リフト台、２６・・・主軸、２８
・・・軸受機構、３０・・・第１の駆動モータ、３０ａ
・・・駆動軸、３２・・・従動プーリ、３４・・・駆動
プーリ、３６・・・エンドレスベルト、３８・・・ボー
ルねし、４０・・・第２の駆動モータ、４０ａ・・・駆
動軸、４２・・・テンションディスク、４４・・・ブレ
ード、４６・・・切刃、４８・・・スライドテーブル、
５０・・・第３の駆動モータ、５０ａ・・・駆動軸、５
２・・・ボールねじ、５４・・・変位検出機構、５４ａ
・・・第１の変位計、５４ｂ・・・第２の変位計、５６
・・・減算器、５８・・・較正装置、６０・・・基準変
位記憶装置、６２・・・オペアンプ、６４・・・演算装
置、６６・・・制御装置、６８・・・ドレス時期検出装
置である。
手続補正書 （自発）
昭和６３年 ２月１９日FIG. 1 is a front view schematically showing the configuration of an embodiment of the slicing machine according to the present invention; FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the control system of the slicing machine shown in FIG. 1:
FIG. 3 is a diagram showing the correlation between the displacement of the blade and the rotation speed when the blade is idled. In the figure, 10... slicing machine, 12... base, 14... stand, 16... slide stand, 18a
;18b...Pulley, 20...Wire, 22...
Weight, 24... Lift stand, 26... Main shaft, 28
...Bearing mechanism, 30...First drive motor, 30a
... Drive shaft, 32 ... Driven pulley, 34 ... Drive pulley, 36 ... Endless belt, 38 ... Ball screw, 40 ... Second drive motor, 40a ... Drive Shaft, 42... Tension disk, 44... Blade, 46... Cutting blade, 48... Slide table,
50...Third drive motor, 50a...Drive shaft, 5
2...Ball screw, 54...Displacement detection mechanism, 54a
...First displacement meter, 54b...Second displacement meter, 56
. . . Subtractor, 58 . . . Calibration device, 60 . . . Reference displacement storage device, 62 . It is. Procedural amendment (voluntary) February 19, 1988
Claims (4)
と共に、回転数に応じて回転軸方向に沿つて変位するよ
うに支持された回転体と、 前記切断工具の近傍に、所定間隔を有して配置され、こ
の切断工具の切断時の変位量を検出する検出手段と、 この検出手段において検出された変位量を零となるよう
な前記回転体の補正回転数を算出する補正演算手段と、 この補正演算手段で算出された補正回転数で、上記回転
体の回転数を修正する制御手段とを具備する事を特徴と
するスライシングマシン。(1) A cutting tool having a cutting edge around the periphery; A rotating body to which the cutting tool is attached and supported so as to be rotationally drivable, and also supported so as to be displaced along the rotational axis direction according to the rotational speed. , a detection means arranged near the cutting tool at a predetermined interval and detecting the amount of displacement of the cutting tool during cutting; and the rotation such that the amount of displacement detected by the detection means becomes zero. A slicing machine comprising: a correction calculating means for calculating a corrected rotational speed of the rotating body; and a control means for correcting the rotational speed of the rotary body using the corrected rotational speed calculated by the correction calculating means.
転体の回転数とこの回転数に応じた切断工具の変位量と
の相関関係が記憶されている記憶手段を更に具備する事
を特徴とする請求項第１項記載のスライシングマシン。(2) Corresponding to the cutting tool supported by the rotating body, further comprising a storage means storing a correlation between the rotational speed of the rotating body and the amount of displacement of the cutting tool according to the rotational speed. The slicing machine according to claim 1, characterized in that:
定回転数を越えた時点で、切断工具のドレス信号を発す
るドレス時期検出手段を更に具備する事を特徴とする請
求項第１項記載のスライシングマシン。(3) The cutting tool further comprises dressing time detection means for generating a dressing signal for the cutting tool when the corrected rotational speed calculated by the correction calculation means exceeds a predetermined rotational speed. The slicing machine described.
を有する切断工具を、回転数に応じて回転軸方向に沿つ
て変位するように支持し、 この切断工具の切断時の変位量を検出し、 検出した変位量が零になるように、前記回転体の回転数
を制御する事を特徴とするスライシングマシンの制御方
法。(4) A cutting tool having a cutting edge around the periphery is supported on a rotating body that is rotatably supported so as to be displaced along the rotational axis direction according to the rotational speed, and the displacement of this cutting tool during cutting A method for controlling a slicing machine, comprising: detecting a displacement amount, and controlling the rotation speed of the rotating body so that the detected displacement amount becomes zero.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63007056A JPH0671727B2 (en) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | Slicing machine and control method thereof |
| KR1019880017907A KR930010152B1 (en) | 1988-01-18 | 1988-12-30 | Slicing machine and control method thereof |
| US07/297,473 US5025593A (en) | 1988-01-18 | 1989-01-13 | Slicing machine and control method thereof |
| DE19893901236 DE3901236C2 (en) | 1988-01-18 | 1989-01-17 | Parting-off lathe for part-wise part-cutting in a predetermined thickness |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63007056A JPH0671727B2 (en) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | Slicing machine and control method thereof |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01182011A true JPH01182011A (en) | 1989-07-19 |
| JPH0671727B2 JPH0671727B2 (en) | 1994-09-14 |
Family
ID=11655410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63007056A Expired - Fee Related JPH0671727B2 (en) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | Slicing machine and control method thereof |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0671727B2 (en) |
| KR (1) | KR930010152B1 (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02134212A (en) * | 1988-11-14 | 1990-05-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Cutting method |
| JPH03173610A (en) * | 1989-02-27 | 1991-07-26 | Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh | Method of slicing rod-like work piece into sheets using inner periphery blade saw and inner periphery blade saw using said method |
| JPH04138208A (en) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Toyo A Tec Kk | Slicing device |
| JPH04138209A (en) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Toyo A Tec Kk | Slicing device |
| JPH04138212A (en) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Toyo A Tec Kk | Slicing device |
| JPH04211909A (en) * | 1990-05-10 | 1992-08-03 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Cutting method of slicing machine |
| WO2000025978A1 (en) * | 1998-10-29 | 2000-05-11 | Kulicke & Soffa Investments, Inc. | Monitoring system for dicing saws |
| US6165051A (en) * | 1998-10-29 | 2000-12-26 | Kulicke & Soffa Investments, Inc. | Monitoring system for dicing saws |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7143831B2 (en) * | 2019-10-11 | 2022-09-29 | 信越半導体株式会社 | Wafer shape measurement method |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5151082A (en) * | 1974-10-30 | 1976-05-06 | Hitachi Ltd | SET SUDANKI |
| JPS57181517A (en) * | 1981-04-16 | 1982-11-09 | Minnesota Mining & Mfg | 4-element lens assembly |
| JPS6270904U (en) * | 1985-10-22 | 1987-05-06 |
-
1988
- 1988-01-18 JP JP63007056A patent/JPH0671727B2/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-12-30 KR KR1019880017907A patent/KR930010152B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5151082A (en) * | 1974-10-30 | 1976-05-06 | Hitachi Ltd | SET SUDANKI |
| JPS57181517A (en) * | 1981-04-16 | 1982-11-09 | Minnesota Mining & Mfg | 4-element lens assembly |
| JPS6270904U (en) * | 1985-10-22 | 1987-05-06 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02134212A (en) * | 1988-11-14 | 1990-05-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Cutting method |
| JPH03173610A (en) * | 1989-02-27 | 1991-07-26 | Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh | Method of slicing rod-like work piece into sheets using inner periphery blade saw and inner periphery blade saw using said method |
| JPH04211909A (en) * | 1990-05-10 | 1992-08-03 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Cutting method of slicing machine |
| JP2505930B2 (en) * | 1990-05-10 | 1996-06-12 | 株式会社東京精密 | Cutting method of slicing machine |
| JPH04138208A (en) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Toyo A Tec Kk | Slicing device |
| JPH04138209A (en) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Toyo A Tec Kk | Slicing device |
| JPH04138212A (en) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Toyo A Tec Kk | Slicing device |
| WO2000025978A1 (en) * | 1998-10-29 | 2000-05-11 | Kulicke & Soffa Investments, Inc. | Monitoring system for dicing saws |
| US6165051A (en) * | 1998-10-29 | 2000-12-26 | Kulicke & Soffa Investments, Inc. | Monitoring system for dicing saws |
| US6168500B1 (en) | 1998-10-29 | 2001-01-02 | Kulick & Soffa Investments, Inc. | Monitoring system for dicing saws |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR890011678A (en) | 1989-08-21 |
| KR930010152B1 (en) | 1993-10-15 |
| JPH0671727B2 (en) | 1994-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0029280B1 (en) | Method and apparatus for use in detecting grinding wheel wear | |
| JPH01182011A (en) | Slicing machine and its control method | |
| JPS6350145B2 (en) | ||
| JP3195504B2 (en) | Blade displacement detection device for slicing device | |
| EP0329087A1 (en) | Method and device for dressing an inner peripheral blade in a slicing machine | |
| JP2655677B2 (en) | Slicing machine | |
| JP2651845B2 (en) | Cutting edge displacement detector of slicing machine | |
| JPH01206006A (en) | Device for detecting displacement of cutting edge of slicing machine | |
| JP3305732B2 (en) | Control method of surface grinder | |
| JPH06262620A (en) | Blade deflection detecting method and device for slicing device and blade deflection control device | |
| JP6467685B2 (en) | Grinder equipment | |
| JPH0744440Y2 (en) | Lens cutting device for ball mill | |
| JPH05177628A (en) | Method for cutting inner-diameter blade for silicon wafer | |
| JP2604061B2 (en) | Slicing equipment | |
| JP2959993B2 (en) | Wheel type polishing machine | |
| JPH10329019A (en) | Grinding device | |
| JP2703133B2 (en) | Slicing equipment | |
| JPH03252132A (en) | Detecting method of cutting resistance of slicer | |
| JPH01289661A (en) | Grinding method and grinder | |
| JPH0994821A (en) | Method and apparatus for detecting work cutting resistnace in slicing apparatus | |
| JPH0439005A (en) | Slicing machine and its control method | |
| JPH08187725A (en) | Method and apparatus for detecting blade displacement of slicing machine | |
| JP2512753B2 (en) | Grinding machine feed control device | |
| JPH06312365A (en) | Dressing device for inner circumferential blade | |
| JPH04138209A (en) | Slicing device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |