JP2604061B2 - Slicing equipment - Google Patents
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- JP2604061B2 JP2604061B2 JP2262117A JP26211790A JP2604061B2 JP 2604061 B2 JP2604061 B2 JP 2604061B2 JP 2262117 A JP2262117 A JP 2262117A JP 26211790 A JP26211790 A JP 26211790A JP 2604061 B2 JP2604061 B2 JP 2604061B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ワーク、例えば半導体インゴット等を切断
して薄片、例えば半導体ウエハ等を切出すスライシング
装置に関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a slicing apparatus for cutting a work, for example, a semiconductor ingot or the like, to cut a thin piece, for example, a semiconductor wafer or the like.
従来より、スライシング装置として、円形状の内周刃
を持つブレードな内側にワークの一端部を臨ませ、前記
ブレードを回転させながら、前記ブレードまたはワーク
を前記ブレードの半径方向に切断送りすることにより、
前記ワークの一端部を切断して薄片を切り出すように構
成されたものが知られている。しかし、このスライシン
グ装置は、ブレードが切断中に撓み易く、これによって
加工精度の低下を招くという問題点がある。Conventionally, as a slicing device, by facing one end of a work inside a blade having a circular inner peripheral blade, cutting and feeding the blade or the work in the radial direction of the blade while rotating the blade. ,
There is known a configuration in which one end of the work is cut to cut out a thin piece. However, this slicing device has a problem that the blade is easily bent during cutting, which causes a reduction in processing accuracy.
そこで、例えば実開昭62−70904号公報、特開平１−1
82011号公報等に示されるように、ブレードの撓み量を
検出するブレード撓み量検出センサと、このブレード撓
み量検出センサの検出結果に基づいてブレード全体の撓
みを軸方向に調整するブレード撓み調整手段とを設け、
ブレードに撓みが生じたときに、その撓みをブレード撓
み量検出センサで検出してブレード撓み調整手段で修正
できるようにしたものが開発されている。Therefore, for example, Japanese Utility Model Laid-Open No. Sho 62-70904,
As shown in JP-A-82011 and the like, a blade deflection amount detection sensor for detecting the amount of blade deflection, and blade deflection adjusting means for axially adjusting the deflection of the entire blade based on the detection result of the blade deflection amount detection sensor And
There has been developed a type in which when the blade is bent, the deflection is detected by a blade deflection amount detection sensor and corrected by blade deflection adjusting means.
第５図に示すように、上記従来の装置は、いずれもブ
レード撓み量検出センサ29を、ワーク30が切断送りによ
って移動する軌跡Ｃ上を避けた位置で、かつブレード10
をワーク切断部位（P1〜P2）の入口部P1近傍、つまり回
転方向（図中、矢印Ｂ方向）上流端P1近傍に設け、この
ブレード撓み量検出センサ29の検出結果に基づいてブレ
ード10全体の撓みを軸方向に調整するようにしている。As shown in FIG. 5, each of the above-mentioned conventional apparatuses detects the blade deflection amount sensor 29 at a position avoiding the locus C where the work 30 moves by cutting and feeding, and the blade 10
The inlet portion P 1 near the workpiece cleavage site (P 1 to P 2), i.e. (in the figure, the direction of arrow B) rotation direction provided to the upstream end P 1 near, based on the detection result of the blade deflection amount detecting sensor 29 The deflection of the entire blade 10 is adjusted in the axial direction.
切断中、ブレード10は、ワーク切断部位の入口部P1近
傍でほとんど撓んでいなくとも、ワーク切断部位の中央
部（回転方向上流端P1から回転方向下流端P2までの中間
部分）P3近傍で大きく撓んでいる場合がある。ブレード
10のワーク切断部位の中央部P1近傍は、ワーク30を切断
し始めてから切断し終わるまでの間、ワーク30を最も長
く切断し続ける部分である。したがって、加工精度に対
しては、上記中央部P3近傍の撓みが大きく影響する。す
なわち、加工精度を向上させるためには、上記中央部P3
近傍の撓み量を精度良く検出し、その検出結果に基づい
てブレード10全体の撓みを軸方向に調整する必要があ
る。During cutting, the blade 10 is not necessarily not most deflected by the inlet portion P 1 near the workpiece cleavage site, (middle portion of the rotation direction upstream end P 1 to the rotational-direction downstream end P 2) central portion of the workpiece cleavage site P There is a case where it is greatly bent near 3 . blade
Central portion P 1 near the workpiece cleavage site 10 is a portion between keeps longest cutting the workpiece 30 until it has cut from the start of cutting the workpiece 30. Thus, for machining precision, the central portion P 3 in the vicinity of the deflection is greatly influenced. That is, in order to improve the processing accuracy, the central part P 3
It is necessary to accurately detect the amount of deflection in the vicinity and adjust the deflection of the entire blade 10 in the axial direction based on the detection result.
しかしながら、上記従来の装置の構成では、中央部P3
近傍から遠く離れた入口部P1近傍の撓み量を検出し、そ
の検出結果に基づいてブレード10全体の撓みを軸方向に
調整するようにしていたために、ブレード10全体の撓み
を正しく修正することができず、加工精度の低下を招い
ていた。However, in the configuration of the above-described conventional device, the central portion P 3
Detecting the amount of deflection of remote inlet portion P 1 near the vicinity of the deflection of the blade 10 as a whole on the basis of the detection results to have so as to adjust the axial direction, to correct the deflection of the entire blade 10 properly And the processing accuracy was reduced.
また、上記従来の装置では、内周刃11の切れ味が低下
してもブレード10の撓みが大きくなり、加工精度が悪く
なるため、ドレス装置（図示省略）を設けて、ブレード
10の撓みが大きくなれば内周刃11をドレスして内周刃11
の切れ味を回復させるようにしている。しかしながら、
従来は、上記ドレス装置でドレスを行う時期（ドレスタ
イミング）も入口部P1近傍に設けたブレード撓み量検出
センサ29の検出結果に基づいて制御していたため、必要
な時にドレスが行なわれなかったり、必要以上にドレス
が行なわれたりするという問題が発生していた。Further, in the above-described conventional apparatus, even if the sharpness of the inner peripheral blade 11 is reduced, the bending of the blade 10 increases, and the processing accuracy deteriorates. Therefore, a dressing device (not shown) is provided.
If the deflection of 10 becomes large, the inner peripheral blade 11 is dressed and the inner peripheral blade 11 is dressed.
I try to restore the sharpness. However,
Conventionally, the time to perform the dress above dresser for that controlled on the basis of (dress timing) is also a detection result of the blade deflection amount detecting sensor 29 provided at the inlet portion P 1 near or not dress is performed when needed However, there has been a problem that dresses are made more than necessary.
以上の事情に鑑みて、本発明は、加工精度を向上させ
ることができ、しかも、適正な時期にドレスを行わせる
ことができるスライシング装置を提供しようとするもの
である。In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a slicing device that can improve the processing accuracy and can perform dressing at an appropriate time.
本発明にかかるスライシング装置は、円形状の内周刃
を持つブレードの内側にワークの一端部を臨ませ、前記
ブレードを回転させながら、前記ブレードまたはワーク
を前記ブレードの半径方向に切断送りすることにより、
前記ワークの一端部を切断して薄片を切り出すスライシ
ング装置において、前記ブレードの撓み量を検出するブ
レード撓み量検出手段と、このブレード撓み量検出手段
の検出結果に基づいて前記ブレード全体の撓みを軸方向
に調整するブレード撓み調整手段とを備え、前記ブレー
ド撓み量検出手段を、前記ワークが切断送りによって移
動する軌跡上であって、前記ブレードの薄片切出し側の
面に対向する位置で、ワークを切断する際にワークの一
端面に近接する位置に設けるとともに、ワークの切断送
り位置を検出する切断送り位置検出手段と、この切断送
り位置検出手段で検出された切断送り位置に基づいてワ
ークの切断送り位置が所定の範囲内であるか否かを判定
する切断送り位置判定手段と、この切断送り位置判定手
段の判定結果に応じてドブレード撓み調整手段に命令信
号を出力する命令手段とを備えたものである（請求項
１）。The slicing apparatus according to the present invention, wherein one end of a work is faced inside a blade having a circular inner peripheral blade, and the blade or the work is cut and fed in a radial direction of the blade while rotating the blade. By
In a slicing apparatus that cuts one end of the work and cuts a thin piece, a blade bending amount detecting unit that detects a bending amount of the blade, and a bending of the entire blade based on a detection result of the blade bending amount detecting unit. Blade deflection adjusting means for adjusting the workpiece in the direction, the blade deflection amount detecting means, the workpiece on a locus on the trajectory that the workpiece moves by cutting feed, facing the surface of the blade on the slice cutting side, A cutting feed position detecting means for detecting a cutting feed position of the work and a cutting feed position detected by the cutting feed position detecting means. Cutting feed position determining means for determining whether the feed position is within a predetermined range, and responding to the determination result of the cutting feed position determining means. Those having an instruction means for outputting a command signal to Doburedo deflection adjusting means Te (claim 1).
さらに、ブレードの内周刃をドレスするドレス手段
と、ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいて前記
ドレス手段のドレスタイミングを制御するドレスタイミ
ング制御手段とを備えるようにしてもよい（請求項
２）。The dressing device may further include dressing means for dressing the inner peripheral blade of the blade, and dress timing control means for controlling dress timing of the dressing device based on a detection result of the blade deflection amount detecting means. ).
請求項１記載の装置によれば、ブレード撓み量検出手
段の検出位置をブレードのワーク切断部位の中央部近傍
に近づけることができ、ブレードのワーク切断部位の中
央部近傍の撓み量に近似した検出結果に基づいてブレー
ド全体の撓みを調整することができるために、ブレード
全体の撓みを精度良く調整することができる。According to the apparatus of the first aspect, the detection position of the blade deflection amount detecting means can be made closer to the vicinity of the central portion of the workpiece cutting portion of the blade, and the detection approximates the deflection amount of the blade near the central portion of the workpiece cutting portion. Since the deflection of the entire blade can be adjusted based on the result, the deflection of the entire blade can be accurately adjusted.
しかも、ワークの切断送り位置を検出する切断送り位
置検出手段と、この切断送り位置検出手段で検出された
切断送り位置に基づいてワークの切断送り位置が所定の
範囲内であるか否かを判定する切断送り位置判定手段
と、この切断送り位置判定手段の判定結果に応じてブレ
ード撓み調整手段に命令信号を出力する命令手段とを備
えているので、例えばワークの切断送り方向下流側の外
周部分に固着されたスライスベースの影響でブレード撓
み量検出手段が誤作動し、その検出結果が不正確になる
範囲を避けて、ブレード撓み調整手段の撓み調整を行わ
せることができる。In addition, a cutting feed position detecting means for detecting a cutting feed position of the work, and a determination as to whether the cutting feed position of the work is within a predetermined range based on the cutting feed position detected by the cutting feed position detecting means. Cutting feed position judging means, and command means for outputting a command signal to the blade deflection adjusting means in accordance with the judgment result of the cutting feed position judging means. The blade deflection adjusting means can adjust the deflection by avoiding a range in which the blade deflection amount detecting means malfunctions due to the influence of the slice base fixed to the blade and the detection result becomes inaccurate.
さらに、請求項２記載の装置によれば、ブレードのワ
ーク切断部位の中央部近傍の撓み量に近似した検出結果
に基づいてドレスタイミングが精度良く制御されること
となる。Furthermore, according to the apparatus of the second aspect, the dress timing is accurately controlled based on the detection result approximate to the amount of deflection near the center of the workpiece cutting portion of the blade.
第１図から第３図は、本発明にかかるスライシング装
置の一実施例を示している。1 to 3 show an embodiment of the slicing apparatus according to the present invention.
第１図および第２図に示すように、このスライシング
装置は、基台１上に設置されたガイドレール２と、この
ガイドレール２に沿ってスライド自在に支持されたスラ
イドテーブル（第２のブレード撓み調整手段の一部）３
と、このスライドテーブル３に対向して上記基台１上に
設置された主軸台４とを有してる。As shown in FIGS. 1 and 2, the slicing apparatus includes a guide rail 2 installed on a base 1 and a slide table (second blade) slidably supported along the guide rail 2. Part of the deflection adjusting means) 3
And a headstock 4 installed on the base 1 so as to face the slide table 3.
主軸台４の上部には主軸受け4aが設けられ、この主軸
受け4aには、主軸６が回転自在に支持されているととも
に、ベルト伝動機構７を介して主軸６を回転駆動する主
軸駆動モータ８が取付けられている。主軸６の先端部に
はテンションディスク（第１のブレード撓み調整手段の
一部）９が固着され、このテンションディスク９は、主
軸６、ベルト伝動機構７および主軸駆動モータ８からな
る回転駆動手段（第１のブレード撓み調整手段の一部）
５により、回転駆動されるように構成されている。A main bearing 4a is provided on the upper part of the headstock 4. A main shaft 6 is rotatably supported on the main bearing 4a, and a main shaft drive motor 8 for driving the main shaft 6 to rotate via a belt transmission mechanism 7. Is installed. A tension disk (part of the first blade deflection adjusting means) 9 is fixed to the tip end of the main shaft 6, and the tension disk 9 is a rotation drive unit (a rotary drive unit including a main shaft 6, a belt transmission mechanism 7 and a main shaft drive motor 8). Part of first blade deflection adjusting means)
5 is configured to be driven to rotate.
上記テンションディスク９の周縁部にはドーナツ状の
薄板からなるブレード10が装着され、このブレード10の
内周縁にはダイヤモンド粒子等からなる内周刃11が固着
され、このブレード10は、テンションディスク９が回転
して、その回転数Ｎが変化することにより、回転数Ｎに
応じて主軸６の軸方向（ブレード10の回転軸方向）に変
位するように構成されている。つまり、テンションディ
スク９が回転すると、テンションディスク９の周縁部に
回転数Ｎに応じた遠心力が作用し、これによってテンシ
ョンディスク９からブレード10に付与される回転軸方向
の変位の大きさおよび方向が決定されるようになってい
る。A blade 10 made of a donut-shaped thin plate is mounted on the periphery of the tension disc 9, and an inner periphery 11 made of diamond particles or the like is fixed to the inner periphery of the blade 10. Are rotated to change the number of rotations N, so that they are displaced in the axial direction of the main shaft 6 (the direction of the rotation axis of the blade 10) according to the number of rotations N. That is, when the tension disk 9 rotates, a centrifugal force corresponding to the rotation speed N acts on the peripheral edge of the tension disk 9, whereby the magnitude and direction of the displacement in the rotation axis direction applied to the blade 10 from the tension disk 9. Is to be determined.
上記スライドテーブル３上には保持部材15が主軸６の
軸方向にスライド可能に載置され、保持部材15にはシリ
コンからなる半導体インゴット（ワーク30）が保持され
ている。保持部材15は、ボールねじ16と、このボールね
じ16を回転駆動する保持部材駆動モータ17とを有する割
出し送り手段18により、上記主軸６の軸方向にスライド
駆動されるように構成されている。このため、保持部材
15を主軸６側にスライドさせることによって、ワーク30
の一端部をブレード10の表面10a側（ワーク保持側）か
らブレード10の内側に挿通してブレード10の裏面10b側
（薄片切出し側）へ微小量突出させることができるよう
になっている。A holding member 15 is mounted on the slide table 3 so as to be slidable in the axial direction of the main shaft 6, and a semiconductor ingot (work 30) made of silicon is held on the holding member 15. The holding member 15 is configured to be slid in the axial direction of the main shaft 6 by indexing and feeding means 18 having a ball screw 16 and a holding member drive motor 17 for rotationally driving the ball screw 16. . For this reason, the holding member
By sliding the workpiece 15 toward the spindle 6, the workpiece 30
Can be inserted from the front surface 10a side (work holding side) of the blade 10 into the inside of the blade 10 to project a minute amount toward the back surface 10b side (slice cutting side) of the blade 10.
また、上記スライドテーブル３には、内周刃11をドレ
スするドレス装置（ドレス手段）19がその工具先端をブ
レード10の内側に臨ませるようにして設けられている。The slide table 3 is provided with a dressing device (dressing means) 19 for dressing the inner peripheral blade 11 so that the tool tip faces the inside of the blade 10.
上記スライドテーブル３は、ボールねじ12と、このボ
ールねじ12を回転駆動する切断送りモータ13とを有する
切断送り手段（第２のブレード撓み調整手段の一部）14
により、上記ガイドレール２に沿って主軸６と直交する
方向にスライド駆動されるように構成されている。この
ため、スライドテーブル３を第１図の向う側にスライド
駆動させることによって、ワーク30をブレード10の半径
方向（第２図中、矢印Ａ方向）に切断送りすることがで
きるようになっている。そして、ブレード10を回転させ
つつ、ブレード10の内側に一端部を臨ませたワーク30を
ブレード10の半径方向に切断送りすることにより、ワー
ク30の一端部を内周刃11によってスライスしてウェハ
（薄片）を切出すことができるようになっている。The slide table 3 includes a cutting feed unit (part of the second blade deflection adjusting unit) 14 having a ball screw 12 and a cutting feed motor 13 for driving the ball screw 12 to rotate.
As a result, it is configured to be slid in the direction orthogonal to the main shaft 6 along the guide rail 2. For this reason, the work 30 can be cut and fed in the radial direction of the blade 10 (the direction of arrow A in FIG. 2) by sliding the slide table 3 to the side opposite to FIG. Then, while rotating the blade 10, the work 30 having one end facing the inside of the blade 10 is cut and fed in the radial direction of the blade 10, so that one end of the work 30 is sliced by the inner peripheral blade 11, and the wafer 30 is sliced. (Slices) can be cut out.
ワーク30の切断送り方向下流側の外周部分、すなわち
内周刃11で最終的に切断されるワーク30部分には、カー
ボン等からなるスライスベース31が固着されている。こ
のスライスベース31は、ワーク30を切断し終わる時にブ
レード10に掛かる切断抵抗が急に解放される結果、上記
ワーク30の最終切断部分が欠けるのを防止するために設
けられたものである。A slice base 31 made of carbon or the like is fixed to an outer peripheral portion of the workpiece 30 on the downstream side in the cutting feed direction, that is, a portion of the workpiece 30 finally cut by the inner peripheral blade 11. The slice base 31 is provided to prevent the final cutting portion of the work 30 from being chipped as a result of sudden release of the cutting resistance applied to the blade 10 when the work 30 has been cut.
ブレード10の近傍には、ブレード10の撓み量を検出す
る磁気センサ等の非接触型のブレード撓み量検出センサ
（ブレード撓み量検出手段）24が設けられている。In the vicinity of the blade 10, a non-contact type blade deflection detection sensor (blade deflection detection means) 24 such as a magnetic sensor for detecting the deflection of the blade 10 is provided.
このブレード撓み量検出センサ24は、ワーク30が切断
送りによって移動する軌跡Ｃ上であって、ブレード10の
裏面10bに対向する位置に配置されている。しかも、こ
のブレード撓み量検出センサ24は、ワーク30を切断する
際にワーク30の一端面に近接する位置であって、ブレー
ド10のワーク切断部位（P1〜P2）の中央部P3近傍、つま
り回転方向（第２図中、矢印Ｂ方向）上流端P1から回転
方向下流端P2までの中間部分P3近傍に配置されている。
すなわち、切断されるウェハ状のワーク30越しにブレー
ド10の撓み量を検出するように配置されている。The blade deflection amount detection sensor 24 is disposed on a trajectory C on which the workpiece 30 moves by cutting and feeding, and at a position facing the back surface 10b of the blade 10. Moreover, the blade deflection amount detecting sensor 24, the central portion P 3 vicinity of a position close to one end face of the workpiece 30 when cutting the workpiece 30, the workpiece cleavage site of the blade 10 (P 1 ~P 2) , i.e. (in FIG. 2, arrow B) the rotation direction is disposed in the intermediate portion P 3 near the upstream end P 1 to the rotational-direction downstream end P 2.
That is, the blade 10 is arranged to detect the amount of deflection of the blade 10 over the wafer-shaped work 30 to be cut.
第３図は、このスライシング装置の制御部40の構成を
示している。FIG. 3 shows the configuration of the control unit 40 of the slicing apparatus.
この制御部40は、中央部基準変位記憶装置41、主軸駆
動モータ制御装置（第１のブレード撓み調整手段の一
部）49、切断送りモータ制御装置（第２のブレード撓み
調整手段の一部）52、ドレス制御装置（ドレスタイミン
グ制御手段の一部）62等を有している。The control unit 40 includes a central portion reference displacement storage device 41, a spindle drive motor control device (a part of the first blade deflection adjusting device) 49, and a cutting feed motor control device (a part of the second blade deflection adjusting device). 52, a dress control device (part of dress timing control means) 62 and the like.
中央部基準変位記憶装置41には、上記中央部P3近傍に
設けられたブレード撓み量検出センサ24の検出結果が入
力される。この中央部基準変位記憶装置41は、切断送り
モータ13によってワーク30が切断開始直前の位置（第２
図に左側の二点鎖線で示す位置よりも僅かに左寄りの位
置）に移動させられた時にブレード撓み量検出センサ24
で検出される中央部P3近傍のブレード10の撓み量を中央
部基準撓み量Sa3として記憶するように構成されてい
る。なお、ワーク30が切断開始直前の位置に移動させら
れたことは、後述する切断送りモータ制御装置52の切断
送り位置検出手段521によって検出されるようになって
いる。In the center reference displacement storage device 41, the detection result of the blade deflection amount detecting sensor 24 provided in the central portion P 3 vicinity are input. The central reference displacement storage device 41 stores the position (second
When the blade 24 is moved to a position slightly to the left of the position shown by the two-dot chain line on the left in the figure),
And an in deflection of the central portion P 3 near the blade 10 to be detected is configured to store as the central reference flexure amount Sa 3. The fact that the workpiece 30 has been moved to a position immediately before the start of cutting is detected by a cutting feed position detecting means 521 of the cutting feed motor control device 52 described later.
中央部基準変位記憶装置41に記憶された中央部基準撓
み量Sa3は、中央部変位比較器42に出力される。中央部
変位比較器42には、上記中央部基準撓み量Sa3の他に、
切断中、ブレード撓み量検出センサ24で検出される中央
部P3近傍のブレード10の現在撓み量Sb3が入力され、こ
の中央部変位比較器42は、上記中央部現在撓み量Sb3か
ら中央部基準撓み量Sa3を差し引いて真の中央部撓み量
（切断によって実際にブレード10の中央部P3近傍が撓ん
だ量）S3を検出するように構成されている。The central reference deflection amount Sa 3 stored in the central reference displacement storage device 41 is output to the central displacement comparator. The central portion displacement comparator 42 has, in addition to the central portion reference deflection amount Sa 3 ,
During cutting, the current deflection amount Sb 3 of the blade 10 near the central portion P 3 detected by the blade deflection amount detection sensor 24 is input, and the central portion displacement comparator 42 calculates the center from the central portion current deflection amount Sb 3 by subtracting the part reference deflection amount Sa 3 is configured to detect (central portion P 3 amount flexed near the actual blade 10 by the cutting) S 3 true central deflection amount.
中央部変位比較器42で検出された中央部撓み量S3は、
回転数演算装置（第１のブレード撓み調整手段の一部）
48、切断送り速度演算装置（第２のブレード撓み調整手
段の一部）51およびドレスタイミング判定装置（ドレス
タイミング制御手段の一部）61にそれぞれ出力される。The central part deflection amount S 3 detected by the central part displacement comparator 42 is
Rotational speed calculation device (part of first blade deflection adjusting means)
48, output to the cutting feed speed calculating device (part of the second blade deflection adjusting means) 51 and the dress timing determining device (part of the dress timing control means) 61.
回転数演算装置48は、後述する切断送りモータ制御装
置52の命令手段523から駆動命令信号を受けたときに、
現在のテンションディスク９の回転数Ｎと中央部変位比
較器42で検出された中央部撓み量S3とに基づいて、上記
中央部撓み量S3を零にするために必要なテンションディ
スク９の目標回転数Naを演算し、その演算結果に対応し
た信号を主軸駆動モータ制御装置49に出力するように構
成されている。When receiving a drive command signal from the command means 523 of the cutting feed motor control device 52, which will be described later,
Based on the current rotational speed N and the central displacement comparator 42 central flexure amount S 3 detected by the tension disk 9, the tension disk 9 required to zero the central portion bending amount S 3 The target rotation speed Na is calculated, and a signal corresponding to the calculation result is output to the spindle drive motor control device 49.
主軸駆動モータ制御装置49は、回転数演算装置48から
信号を受けたときにはテンションディスク９の回転数Ｎ
が回転数演算装置49で求められた目標回転数Naとなるよ
うに、それ以外は予め設定記憶された基本回転数N0とな
るように主軸駆動モータ８を制御するように構成されて
いる。When the spindle drive motor control device 49 receives a signal from the rotation speed calculation device 48, the rotation speed N of the tension disk 9 is
So it becomes the target revolution speed Na obtained in revolution speed computing unit 49, and the other is configured to control the spindle drive motor 8 such that the basic rotation speed N 0 in advance set and stored.
切断送り速度演算装置51は、切断送りモータ制御装置
52の命令手段523から駆動命令信号を受けたときに、中
央部変位比較器42で検出された中央部撓み量S3に基づい
て、その中央部撓み量S3を零にするために必要な目標切
断送り速度Vaを演算し、その演算結果に対応した信号を
切断送りモータ制御装置52に出力するように構成されて
いる。The cutting feed speed calculating device 51 is a cutting feed motor control device.
Upon receiving a drive command signal from the 52 instruction means 523, based on the detected central displacement comparator 42 central flexure amount S 3, necessary for the central unit deflection amount S 3 to zero The target feed speed Va is calculated, and a signal corresponding to the calculation result is output to the cut feed motor control device 52.
上記目標切断送り速度Vaの演算は、例えば下記式に
よって行われる。The calculation of the target cutting feed speed Va is performed, for example, by the following equation.
Va＝V0−kS3 ・・・ ここで、V0は予め設定記憶された基本切断送り速度、
ｋは演算係数を示す。Va = V 0 −kS 3 ... Here, V 0 is a basic cutting feed speed set and stored in advance,
k indicates an operation coefficient.
また、切断送り速度演算装置51は、中央部撓み量S3に
基づいて所定の切断送り速度演算条件であるか否かを判
定し、その結果、所定の切断送り速度演算条件でない場
合（S3が所定の値以下のとき）には、上記目標切断送り
速度Vaの演算を行わず、切断送りモータ制御装置52に信
号を出力しないようにも構成されている。Further, the cutting feed speed calculation device 51, based on the central portion flexure amount S 3 determines whether the predetermined cutting feed speed operation conditions, as a result, if not predetermined cutting feed speed operation condition (S 3 Is smaller than or equal to a predetermined value), the target cutting feed speed Va is not calculated, and no signal is output to the cutting feed motor control device 52.
切断送りモータ制御装置52は、切断送り速度演算装置
51から信号を受けたときには切断送り速度Ｖが切断送り
速度演算装置51で求められた目標切断送り速度Vaとなる
ように、それ以外は基本切断送り速度V0となるように切
断送りモータ13を制御するように構成されている。The cutting feed motor control device 52 is a cutting feed speed calculating device.
As 51 the cutting feed speed V when the received signals from the target cutting feed speed Va obtained in the cutting feed speed calculation device 51, the cutting feed motor 13 so that the base cutting feed speed V 0 otherwise It is configured to control.
また、この切断送りモータ制御装置52は、切断送り位
置検出手段521、切断送り位置判定手段522および命令手
段523を有している。上記切断送り位置検出手段521は切
断送りモータ13から検出されるパルス信号に基づいてワ
ーク30の切断送り位置（切断送り方向の位置）を検出
し、上記切断送り位置判定手段522は切断送り位置検出
手段521で検出された切断送り位置に基づいてワーク30
の切断送り位置が切断開始位置（第２図に左側の二点鎖
線で示す位置）からスライスベース31を含まないワーク
30のみの切断終了位置（第２図に右側の二点鎖線で示す
位置）までの範囲Ｌ内であるか否かを判定するように構
成されている。また、上記命令手段523は、切断送り位
置判定手段522でワーク30の切断送り位置が範囲Ｌ内で
あると判定したときには駆動命令信号を、範囲Ｌ外であ
ると判定したときには停止命令信号を回転数演算装置4
8、切断送り速度演算装置51およびドレスタイミング判
定装置61にそれぞれ出力するように構成されている。Further, the cutting feed motor control device 52 has a cutting feed position detecting means 521, a cutting feed position determining means 522, and a command means 523. The cutting feed position detecting means 521 detects the cutting feeding position (position in the cutting feeding direction) of the work 30 based on the pulse signal detected from the cutting feeding motor 13, and the cutting feed position determining means 522 detects the cutting feed position. Work 30 based on the cutting feed position detected by means 521
The cutting feed position of the workpiece does not include the slice base 31 from the cutting start position (the position indicated by the two-dot chain line on the left side in FIG. 2).
It is configured to determine whether or not it is within the range L up to the cutting end position of only 30 (the position indicated by the two-dot chain line on the right side in FIG. 2). The command means 523 rotates the drive command signal when the cutting feed position determining means 522 determines that the cutting feed position of the workpiece 30 is within the range L, and rotates the stop command signal when determining that the cutting feed position is outside the range L. Arithmetic unit 4
8. It is configured to output to the cutting feed speed calculating device 51 and the dress timing determining device 61, respectively.
ドレスタイミング判定装置61は、切断送りモータ制御
装置52の命令手段523から駆動命令信号を受けたとき
に、ドレスをドレス装置19に行わせる時期か否かを中央
部撓み量S3に基づいて判定するように構成されている。Dress timing determination unit 61, when receiving a drive command signal from the instruction means 523 of the cutting feed motor controller 52, determines based on whether the time to perform the dress dress device 19 in central deflection amount S 3 It is configured to be.
ドレス制御装置62は、ドレスタイミング判定装置61で
ドレスタイミングであると判定した場合（後で詳述す
る）に、所定の時期にドレス装置19にドレス指令信号を
出力するように構成されている。The dress control device 62 is configured to output a dress command signal to the dress device 19 at a predetermined time when the dress timing determination device 61 determines that it is the dress timing (described in detail later).
なお、制御部40では、ワーク30をブレード10に対して
割出送りするための保持部材駆動モータ17等の制御も行
なわれるようになっている。The control unit 40 also controls the holding member drive motor 17 and the like for indexing and feeding the work 30 to the blade 10.
ここに、スライシング加工を行うときの上記制御部40
の制御の具体例を第４図に示す。Here, when performing the slicing process, the control unit 40
FIG. 4 shows a specific example of the above control.
この制御を開始するに当たっては、先ず、回転駆動手
段５の主軸駆動モータ８を駆動させて、テンションディ
スク９を基本回転数N0で回転させる（ステップS2）とと
もに、割出し送り手段18の保持部材駆動モータ17を駆動
させて、保持部材15に保持したワーク30を主軸６側にス
ライドさせる（ステップS1）。これにより、ワーク30の
一端部がブレード10の表面10a側からブレード10の内側
に挿通され、ブレード10の裏面10b側へ微小量突出す
る。To start this control, first, the spindle drive motor 8 of the rotary drive means 5 is driven to rotate the tension disk 9 at the basic rotation speed N 0 (step S 2 ), and at the same time, the index feed means 18 is held. The member drive motor 17 is driven to slide the work 30 held by the holding member 15 toward the main shaft 6 (step S 1 ). As a result, one end of the work 30 is inserted from the front surface 10a side of the blade 10 to the inside of the blade 10, and projects a small amount toward the back surface 10b side of the blade 10.
次に、切断送り手段14の切断送りモータ13を駆動させ
て、ワーク30をブレード10の半径方向に基本切断送り速
度V0で移動させる（ステップS3）。Next, by driving the cutting feed motor 13 of the cutting feed means 14 moves the workpiece 30 in the radial direction of the blade 10 in the basic cutting feed speed V 0 (Step S 3).
上記ワーク30の移動と同時に、切断送り位置検出手段
521でワーク30の切断送り位置を検出する（ステップ
S4）とともに、ブレード撓み量検出センサ24で中央部現
在撓み量Sb3の検出を行う（ステップS5）。そして、切
断送り位置検出手段521でワーク30が切断開始直前の位
置を越えているか否かを判定し（ステップS6）、ここで
切断開始直前位置を越えていないと判定した場合は、さ
らに切断送り位置検出手段521で切断開始直前位置に移
動したか否かを判定し（ステップS7）、このステップS7
で切断開始直前位置に移動したと判定（「YES」と判
定）されるまでステップS4以降を繰返す。Simultaneously with the movement of the work 30, the cutting feed position detecting means
521 detects the cutting feed position of the work 30 (step
With S 4), to detect the central portion current deflection of Sb 3 blade deflection amount detecting sensor 24 (step S 5). Then, it is determined by the cutting feed position detecting means 521 whether or not the work 30 has exceeded the position immediately before the start of cutting (step S 6 ). it is judged whether or not the moved to the cutting start position immediately before at the feed position detecting means 521 (step S 7), the step S 7
In repeated steps S 4 and subsequent until it is determined to have moved to the cutting start position immediately before (determination of "YES").
このステップS7で切断開始直前位置に移動した、つま
り切断が開始される直前であると判定すると、「YES」
と判定する直前に検出された中央部現在撓み量Sb3を中
央部基準撓み量Sa3として中央部基準変位記憶装置41で
記憶（ステップS8）した後、中央部変位比較器42で中央
部撓み量S3を検出する（ステップS9）。Moved to the cutting start position immediately before at step S 7, that is, when determined to be immediately before the cutting is started, "YES"
The center current deflection amount Sb 3 detected immediately before the determination is stored in the center portion reference displacement storage device 41 as the center portion reference deflection amount Sa 3 (step S 8 ), and then the center portion displacement comparator 42 detecting the amount of deflection S 3 (step S 9).
一方、ステップS6で切断開始直前位置（後述する切断
開始位置に達していない位置）を越えていると判定した
場合は、ステップS7およびステップS8を飛ばして上記ス
テップS9を実行する。On the other hand, if it is determined to be above the cutoff start position immediately before in Step S 6 (position not yet reached the cutting start position to be described later), it executes the steps S 9 skips steps S 7 and step S 8.
ステップS9実行後は、切断送り位置検出手段521でワ
ーク30が切断開始位置を越えているか否かを判定する
（ステップS10）。このステップS10でワーク30が切断開
始位置を越えていると判定した場合は、ステップS11の
判定を飛ばして、後述のステップS12およびステップS13
を実行する。Step S 9 after execution determines whether the work 30 exceeds the cutoff start position at the cutting feed position detecting means 521 (Step S 10). If it is determined that the workpiece 30 exceeds the cutting start position in step S 10, skipping the determination in step S 11, step S 12 and step S 13 described later
Execute
一方、上記ステップS10でワーク30が切断開始位置を
越えていないと判定した場合は、さらに切断送り位置検
出手段521で切断開始位置に移動したか否かを判定し
（ステップS11）、このステップS11で切断開始位置に移
動したと判定（「YES」と判定）されるまでステップS4
以降を繰返す。そして、ステップS11で切断開始位置に
移動した、つまり切断が開始されたと判定すると、回転
数演算装置48で中央部撓み量S3に基づいてテンションデ
ィスク９の目標回転数Naを演算し（ステップS12）、主
軸駆動モータ制御装置49でテンションディスク９の回転
数Ｎが目標回転数Naとなるように主軸駆動モータ８を制
御する（ステップS13）。これにより、テンションディ
スク９の回転数Ｎが目標回転数Naに制御され、その目標
回転数Naに応じてブレード10が軸方向に変位して、ブレ
ード10の中央部P3近傍の撓み量が零となるようにブレー
ド10全体の撓みが調整される。On the other hand, if it is determined that the workpiece 30 in step S 10 does not exceed the cutting start position, it is judged whether or not the moved further to the cutting start position in the cutting feed position detecting means 521 (Step S 11), this determined to have moved to the cutting start position in step S 11 step S 4 until (determination of "YES")
Repeat the following. Then, it moved to the cutting start position in step S 11, that is, when it is determined that the cutting has been started, and calculates a target rotational speed Na of the tension disk 9 on the basis of a rotational speed arithmetic unit 48 in central flexure amount S 3 (step S 12), and controls the spindle motor 8 so that the rotation speed N of the tension disk 9 becomes equal to the target rotational speed Na in the spindle drive motor controller 49 (step S 13). Thus, the rotational speed N of the tension disk 9 is controlled to the target revolution speed Na, the target speed blade 10 in response to Na is displaced in the axial direction, the central portion P 3 deflection amount in the vicinity of the blade 10 is zero The deflection of the entire blade 10 is adjusted so that
上記ステップS12およびステップS13を実行するとき
に、その実行に並行して、切断送り速度演算装置51で所
定の切断送り速度演算条件であるか否かが判定される
（ステップS14）。すなわち、中央部撓み量S3の絶対値
が予め設定した許容の限界値R1を上回っているか否かが
判定される。When executing the above steps S 12 and step S 13, in parallel with the execution, whether or not predetermined cutting feed speed operation condition is determined by the cutting feed speed calculation device 51 (step S 14). That is, whether the absolute value of the central portion bending amount S 3 is greater than the limit value R 1 of acceptable preset is determined.
ステップS14で切断送り速度演算条件である、つまりR
1＜|S3|であると判定した場合は、同じく切断送り速度
演算装置51で中央部撓み量S3に基づいて目標切断送り速
度Vaを演算し（ステップS15）、切断送りモータ制御装
置52で切断送り速度Ｖが目標切断送り速度Vaとなるよう
に切断送りモータ13を制御する（ステップS16）。これ
により、切断送り速度Ｖが目標切断送り速度Vaに制御さ
れ（切断送り速度Ｖが低下し）、切断抵抗が減少して、
ブレード10の弾性復元力によってブレード10の中央部P3
近傍の撓みが小さくなるようにブレード10全体の軸方向
の撓みが調整される。A cutting feed rate computing condition in step S 14, that is R
1 <| S 3 | If it is determined that calculates a target cutting feed speed Va and also based on the central flexure amount S 3 at a cutting feed rate computing unit 51 (step S 15), the cutting feed motor controller cutting feed speed V at 52 to control the cutting feed motor 13 so that the target cutting feed speed Va (step S 16). As a result, the cutting feed speed V is controlled to the target cutting feed speed Va (the cutting feed speed V decreases), and the cutting resistance decreases.
The central portion P 3 of the blade 10 due to the elastic restoring force of the blade 10
The axial bending of the entire blade 10 is adjusted so that the bending in the vicinity becomes small.
一方、ステップS14で切断送り速度演算条件でない、
つまりR1≧|S3|であると判定した場合は、ステップS15
およびステップS16を行わずに、ステップS17を行う。On the other hand, not cutting feed speed operation condition in step S 14,
That is, when it is determined that R 1 ≧ | S 3 |, step S 15
And without step S 16, performs the step S 17.
ステップS17では、ドレスタイミング判定装置61で中
央部撓み量S3に基づいて所定のドレスタイミング条件で
あるか否かを判定する。すなわち、中央部撓み量S3の絶
対値が限界値R2（＞R1）を上回っているか否かを判定す
る。In step S 17, it determines whether the predetermined address timing conditions on the basis of the central portion flexure amount S 3 dress timing determination device 61. That is, it is determined whether the absolute value of the central portion bending amount S 3 exceeds the limit value R 2 (> R 1).
ステップS17でドレスタイミング条件である、つまりR
2＜|S3|であると判定した場合は、ドレス制御装置61が
ドレス装置19にドレス指令する（ステップS18）。これ
により、現在切断中のワーク30の加工が完了した後にド
レス装置19によってドレスが行われる。上記ステップS
18実行後は、ステップS19を行う。A dress timing condition at step S 17, that is R
2 <| S 3 | If it is determined that the dress controller 61 dress instructs the dresser 19 (step S 18). Thus, dressing is performed by the dressing device 19 after the processing of the work 30 currently being cut is completed. Step S above
18 after execution performs the step S 19.
一方、ステップS17でドレスタイミング条件でない、
つまりR2≧|S3|であると判定した場合は、ステップS18
を行わずにステップS19を行う。On the other hand, is not the dress timing conditions in step S 17,
That is, if it is determined that R 2 ≧ | S 3 |, step S 18
The performing the step S 19 is not performed.
ステップS19では、切断送り位置検出手段521でワーク
30が切断終了位置（第２図に右側の二点鎖線で示す位
置）に達したか否かを判定し、切断終了位置に達してい
ないと判定した場合は、切断終了位置に達したと判定さ
れるまでステップS4以降を繰返し、切断終了位置に達し
たと判定した場合は、テンションディスク９の回転数Ｎ
を基本回転数N0に切換える（ステップS20）とともに、
切断送り速度Ｖを基本切断送り速度V0に切換えた後（ス
テップS21）、ステップS22を行う。In step S 19, the workpiece at the cutting feed position detecting means 521
It is determined whether 30 has reached the cutting end position (the position indicated by the two-dot chain line on the right side in FIG. 2), and if it is determined that the cutting end position has not been reached, it is determined that the cutting end position has been reached. If it is determined in step S 4 repeated after reached the cutting end position until the rotational speed N of the tension disk 9
Is switched to the basic rotation speed N 0 (step S 20 ),
After switching the cutting feed speed V to the basic cutting feed speed V 0 (step S 21), performs the steps S 22.
すなわち、ステップS22では、切断送り位置検出手段5
21でワーク30が全切断完了位置（第２図に右側の二点鎖
線で示す位置よりもさらに右側に寄った位置で、スライ
スベース31も完全に切断される位置）に達したか否かを
判定し、全切断完了位置に達していないと判定した場合
は、全切断完了位置に達したと判定するまでこのステッ
プS22を繰返し、全切断完了位置に達したと判定した場
合は、所定の切断完了動作を行った後、この制御を終了
する。That is, in step S 22, the cutting feed position detecting means 5
At 21 it is determined whether or not the workpiece 30 has reached the full cutting completion position (a position closer to the right side than the position indicated by the two-dot chain line on the right side in FIG. 2 and at which the slice base 31 is also completely cut). judgment, if it is determined not to have reached the total cutting completion position, until it is determined to have reached the total cutting completion position Repeat this step S 22, if it is determined to have reached the total cutting completion position prescribed After performing the cutting completion operation, the control is terminated.
このスライシング装置の構成では、ワーク30の切断が
開始されてからワーク30のみの切断が終了するまで、回
転駆動手段５、テンションディスク９、回転数演算装置
48および主軸駆動モータ制御装置49からなる第１のブレ
ード撓み調整手段によって、ブレード撓み量検出センサ
24の検出結果に基づいてテンションディスク９の回転数
Ｎが制御されてブレード10全体の撓みが調整される。こ
のため、切断中、常にブレード10の撓みを抑制すること
ができ、ワーク30を精度良く加工することができる。In the configuration of the slicing device, the rotation driving means 5, the tension disk 9, the rotation speed calculating device, and the like are provided from the start of cutting the work 30 to the end of cutting of only the work 30.
A blade deflection amount detection sensor is provided by a first blade deflection adjusting means including a spindle motor control device 48 and a spindle drive motor control device 49.
The rotational speed N of the tension disk 9 is controlled based on the detection result of 24, and the deflection of the entire blade 10 is adjusted. Therefore, the bending of the blade 10 can be suppressed at all times during cutting, and the work 30 can be machined with high accuracy.
しかも、このスライシング装置の構成では、上記第１
のブレード撓み調整手段によってブレード10全体の撓み
を調整していてもなお、ブレード10に所定値を越える撓
みが生じている場合（中央部撓み量S3の絶対値が限界値
R1を越えている場合）には、切断送り手段14、切断送り
モータ制御装置52および切断送り速度演算装置51からな
る第２のブレード撓み調整手段によって、ブレード撓み
量検出センサ24の検出結果に基づいて切断送り速度Ｖも
制御されてブレード10全体の撓みが調整される。このた
め、切断中、ブレード10の撓みをより確実に除去するこ
とができる。In addition, in the configuration of the slicing device, the first
Even if the blade deflection adjusting means has adjusted the deflection of the entire blade 10 Note that when the deflection exceeds a predetermined value to the blade 10 is generated (the absolute value is a limit value of the center portion bending amount S 3
In this case) that exceeds the R 1, the second blade deflection adjusting means comprising a cutting feed means 14, the cutting feed motor controller 52 and the cutting feed speed calculation device 51, the detection result of the blade deflection amount detecting sensor 24 The cutting feed speed V is also controlled on the basis of this, and the deflection of the entire blade 10 is adjusted. Therefore, the bending of the blade 10 can be more reliably removed during cutting.
さらに、このスライシング装置の構成では、上記第１
および第２のブレード撓み調整手段によってブレード10
全体の撓みを調整していてもなお、ブレード10に所定値
を越える撓みが生じた場合（中央部撓み量S3の絶対値が
限界値R2を越えた場合）には、ドレス制御装置62および
ドレスタイミング演算装置61からなるドレスタイミング
制御手段が内周刃11の切れ味が悪くなったためにブレー
ド10の撓みが大きくなったと判断して、ドレス装置19が
ドレスを行うようになっている。このため、切断中、内
周刃11の切れ味を良好な状態に保つことができ、ブレー
ド10の撓みを軽減することができる。Further, in the configuration of the slicing device, the first
And the second blade deflection adjusting means
Also be adjusted the overall deflection of Incidentally, when the blade 10 is deflected beyond a predetermined value has occurred (when the absolute value of the central portion bending amount S 3 exceeds the limit value R 2) Dress the controller 62 The dress timing control means including the dress timing calculation device 61 determines that the bending of the blade 10 has increased due to the poor sharpness of the inner peripheral blade 11, and the dress device 19 dresses. Therefore, during cutting, the sharpness of the inner peripheral blade 11 can be maintained in a good state, and the bending of the blade 10 can be reduced.
また、このスライシング装置の構成では、ブレード撓
み量検出センサ24を、ワーク30が切断送りによって移動
する軌跡Ｃ上であって、ブレード10の裏面10bに対向す
る位置で、ワーク30を切断する際にワーク30の一端面に
近接する位置に設けているために、ブレード撓み量検出
センサ24の検出位置をブレード10のワーク切断部位の中
央部P3近傍に近づけることができる。Further, in the configuration of the slicing device, when the blade 30 is cut at a position on the trajectory C where the work 30 moves by cutting feed and facing the back surface 10b of the blade 10, to is provided at a position close to one end face of the workpiece 30, it is possible to make the detection position of the blade deflection amount detecting sensor 24 in the center portion P 3 near the workpiece cleavage site of the blade 10.
ブレード10のワーク切断部位の中央部P3近傍は、ワー
ク30を切断し始めてから切断し終わるまでの間、ワーク
30を最も長く切断し続ける部分であり、加工精度に最も
影響を及ぼす部分である。したがって、このスライシン
グ装置のように、ブレード撓み量検出センサ24の検出位
置を中央部P3近傍に近づけることができれば、中央部P3
近傍の撓み量に近似した撓み量を検出することができ、
この中央部P3近傍の撓み量に近似した検出結果に基づい
て第１のブレード撓み調整手段および第２のブレード撓
み調整手段でブレード全体の撓みを調整することができ
るとともに、ドレスタイミング制御手段でドレス装置19
のドレスタイミングを制御することができる。このた
め、ブレード10全体の撓みを精度良く調整することがで
き、加工精度を向上させることができるとともに、ドレ
スタイミングを精度良く制御することができ、適正な時
期にドレスを行わせることができる。Central portion P 3 near the workpiece cleavage site of the blades 10, until finish cutting from beginning to cut the workpiece 30, the workpiece
This is the part that keeps cutting 30 for the longest, and is the part that most affects the processing accuracy. Therefore, as in this slicing machine, if it is possible to approximate the detected position of the blade deflection amount detecting sensor 24 in the center portion P 3 near the central part P 3
It is possible to detect the amount of bending that is close to the amount of bending in the vicinity,
It is possible to adjust the deflection of the entire blade in the first blade deflection adjusting means and the second blade deflection adjusting means based on a detection result of approximating the amount of deflection of the central portion P 3 vicinity, dress timing control means Dressing equipment 19
Can be controlled. For this reason, the deflection of the entire blade 10 can be adjusted with high accuracy, the processing accuracy can be improved, and the dress timing can be accurately controlled, and the dress can be performed at an appropriate time.
特に、このスライシング装置では、ブレード撓み量検
出センサ24を中央部P3近傍に配置しているために、加工
精度をより一層向上させることができるとともに、ドレ
スをより適正な時期に行わせることができる。しかも、
切断送り位置検出手段521、切断送り位置判定手段522お
よび命令手段523を設けて、第１および第２のブレード
撓み調整手段による撓み調整とドレスタイミング制御手
段によるドレスタイミング制御とを行う範囲を切断開始
位置から切断終了位置までの範囲Ｌに限定しているため
に、次のような利点がある。In particular, in this slicing machine, because it is arranged blade deflection amount detecting sensor 24 in the center portion P 3 vicinity, it is possible to further improve the processing accuracy, is possible to perform the dress more appropriate time it can. Moreover,
A cutting feed position detecting unit 521, a cutting feed position determining unit 522, and a command unit 523 are provided to start cutting a range in which the first and second blade deflection adjusting units perform the deflection adjustment and the dress timing control unit perform the dress timing control. The limitation to the range L from the position to the cutting end position has the following advantages.
すなわち、ブレード撓み量検出センサ24がブレード10
のワーク切断部位の中央部P3近傍に設けられているた
め、ワーク30が切断終了位置を過ぎると、スライスベー
ス31がブレード撓み量検出センサ24の検出範囲に入る。
スライスベース31は、カーボン等の導体で形成されてい
る。このため、スライスベース31がブレード撓み量検出
センサ24の検出範囲に入ると、ブレード撓み量検出セン
サ24が誤作動し、ブレード撓み量検出センサ24の検出結
果が狂うようになる。したがって、上記ブレード10の撓
み調整とドレスタイミング制御とを行う範囲を範囲Ｌに
限定すれば、ブレード撓み量検出センサ24の不正確な検
出結果に基づいてブレード10の撓み調整とドレスタイミ
ング制御とが行なわれるのを防止することができる。That is, the blade deflection amount detection sensor 24
Because provided in the center portion P 3 near the workpiece cleavage site, the workpiece 30 passes the cutting end position, the slice base 31 enters the detection range of the blade deflection amount detecting sensor 24.
The slice base 31 is formed of a conductor such as carbon. Therefore, when the slice base 31 enters the detection range of the blade deflection amount detection sensor 24, the blade deflection amount detection sensor 24 malfunctions, and the detection result of the blade deflection amount detection sensor 24 becomes erratic. Therefore, if the range in which the deflection adjustment of the blade 10 and the dress timing control are performed is limited to the range L, the deflection adjustment and the dress timing control of the blade 10 are performed based on the incorrect detection result of the blade deflection amount detection sensor 24. Can be prevented.
ブレード撓み調整手段は、上記実施例で示したものの
他に、例えばテンションディスク９を回転軸方向に移動
させることによりブレード10全体の撓み量を調整するも
のであってもよい。The blade deflection adjusting means may adjust the amount of deflection of the entire blade 10 by, for example, moving the tension disk 9 in the direction of the rotation axis, in addition to the means described in the above embodiment.
切断送りは、ワーク30の代りに、ブレード10をその半
径方向に移動させるようにして行ってもよい。The cutting and feeding may be performed by moving the blade 10 in the radial direction instead of the work 30.
さらに、ブレード10の全体的な撓み調整は、第１およ
び第２のブレード撓み調整手段のいずれか一方のみによ
って行うようにしてもよい。Further, the overall deflection of the blade 10 may be adjusted by only one of the first and second blade deflection adjusting means.
以上のように本発明は、スライシング装置において、
ブレード撓み量検出手段を、ワークが切断送りによって
移動する軌跡上であって、ブレードの薄片切出し側の面
に対向する位置で、ワークを切断する際にワークの一端
面に近接する位置に設けたものであるので、ブレード撓
み量検出手段の検出位置をブレードのワーク切断部位の
中央部近傍に近づけることができる。このため、ブレー
ドのワーク切断部位の中央部近傍の撓み量に近似した検
出結果に基づいてブレード全体の軸方向の撓みを精度良
く調整することができ、加工精度を向上させることがで
きる。しかも、ワークの切断送り位置を検出する切断送
り位置検出手段と、この切断送り位置検出手段で検出さ
れた切断送り位置に基づいてワークの切断送り位置が所
定の範囲内であるか否かを判定する切断送り位置判定手
段と、この切断送り位置判定手段の判定結果に応じてブ
レード撓み調整手段に命令信号を出力する命令手段とを
備えているので、ブレード撓み量検出手段の検出結果に
基づくブレード撓み調整手段の撓み調整を、ブレード撓
み量検出手段が何等かの影響で誤作動し、その検出結果
が不正確になる範囲を避けて行わせることができる効果
がある。As described above, the present invention provides a slicing apparatus
The blade deflection amount detecting means is provided on a trajectory on which the work moves by the cutting feed, at a position opposed to a surface on the side of cutting the blade, and at a position close to one end surface of the work when cutting the work. Therefore, the detection position of the blade deflection amount detecting means can be brought closer to the vicinity of the center of the workpiece cutting portion of the blade. For this reason, the axial deflection of the entire blade can be accurately adjusted based on the detection result approximating the amount of deflection near the center of the workpiece cutting portion of the blade, and the processing accuracy can be improved. In addition, a cutting feed position detecting means for detecting a cutting feed position of the work, and a determination as to whether the cutting feed position of the work is within a predetermined range based on the cutting feed position detected by the cutting feed position detecting means. A cutting feed position determining means for performing the cutting feed position determining means, and a command means for outputting a command signal to the blade bending adjusting means in accordance with the determination result of the cutting feed position determining means. There is an effect that the deflection adjustment of the deflection adjusting means can be performed in a range in which the blade deflection amount detecting means malfunctions due to some influence and the detection result is inaccurate.
さらに、ブレードの内周刃をドレスするドレス手段
と、ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいてドレ
ス手段のドレスタイミングを制御するドレスタイミング
制御手段とを備えることにより、ブレードのワーク切断
部位の中央部近傍の撓み量に近似した検出結果に基づい
てドレスタイミングを精度良く制御することができ、適
正な時期にドレスを行わせることができる効果が得られ
る。Further, by providing dressing means for dressing the inner peripheral blade of the blade, and dress timing control means for controlling dress timing of the dressing means based on the detection result of the blade deflection amount detecting means, the center of the workpiece cutting portion of the blade is provided. The dress timing can be accurately controlled based on the detection result approximating the amount of deflection in the vicinity of the portion, and an effect that the dress can be performed at an appropriate time can be obtained.
第１図は本発明にかかるスライシング装置の一実施例を
示す一部断面正面図、第２図は第１図のII−II線断面
図、第３図は制御部を示すブロック線図、第４図は制御
部の制御の具体例を示すフローチャート、第５図は従来
のスライシング装置におけるブレード撓み量検出手段の
設置位置を示す断面図である。 5,9,48,49……第１のブレード撓み調整手段、10……ブ
レード、10b……ブレードの薄片切出し側の面、11……
内周刃、14,51,52……第２のブレード撓み調整手段、19
……ドレス手段、24……ブレード撓み量検出手段、30…
…ワーク、31……スライスベース、61,62……ドレスタ
イミング制御手段、521……切断送り位置検出手段、522
……切断送り位置判定手段、523……命令手段、Ｃ……
ワークが切断送りによって移動する軌跡、Ｄ……スライ
スベースの切断送りによる移動軌跡、Ｌ……所定の範
囲。FIG. 1 is a partially sectional front view showing one embodiment of a slicing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II of FIG. 1, FIG. FIG. 4 is a flowchart showing a specific example of control by the control unit, and FIG. 5 is a sectional view showing an installation position of a blade deflection detecting means in a conventional slicing device. 5, 9, 48, 49… first blade deflection adjusting means, 10… blade, 10 b… surface on the slice cutting side of the blade, 11…
Inner peripheral blade, 14, 51, 52 ... second blade deflection adjusting means, 19
... dress means, 24 ... blade deflection amount detection means, 30 ...
... Work, 31 ... Slice base, 61,62 ... Dress timing control means, 521 ... Cutting feed position detection means, 522
... Cutting feed position determination means, 523 ... Command means, C ...
A trajectory of the workpiece moving by the cutting feed, D: a trajectory of the slice-based cutting feed, L: a predetermined range.
フロントページの続き (72)発明者 山崎 幸雄 広島県広島市南区宇品東５丁目３番38号 トーヨーエイテック株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−167703（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−159159（ＪＰ，Ｕ)Continuation of front page (72) Inventor Yukio Yamazaki 5-38-3 Ujinahigashi, Minami-ku, Hiroshima-shi, Hiroshima Toyo A-Tech Co., Ltd. −159159 (JP, U)
Claims (2)
ークの一端部を臨ませ、前記ブレードを回転させなが
ら、前記ブレードまたはワークを前記ブレードの半径方
向に切断送りすることにより、前記ワークの一端部を切
断して薄片を切り出すスライシング装置において、前記
ブレードの撓み量を検出するブレード撓み量検出手段
と、このブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいて
前記ブレード全体の撓みを軸方向に調整するブレード撓
み調整手段とを備え、前記ブレード撓み量検出手段を、
前記ワークが切断送りによって移動する軌跡上であっ
て、前記ブレードの薄片切出し側の面に対向する位置
で、ワークを切断する際にワークの一端面に近接する位
置に設けるとともに、ワークの切断送り位置を検出する
切断送り位置検出手段と、この切断送り位置検出手段で
検出された切断送り位置に基づいてワークの切断送り位
置が所定の範囲内であるか否かを判定する切断送り位置
判定手段と、この切断送り位置判定手段の判定結果に応
じてブレード撓み調整手段に命令信号を出力する命令手
段とを備えたことを特徴とするスライシング装置。An end of a work is faced inside a blade having a circular inner peripheral blade, and the blade or the work is cut and fed in a radial direction of the blade while rotating the blade. In a slicing device that cuts one end of a work to cut a thin piece, a blade bending amount detecting unit that detects a bending amount of the blade, and bending of the entire blade based on a detection result of the blade bending amount detecting unit is performed in an axial direction. Blade deflection adjustment means for adjusting the blade deflection amount detection means,
At the position on the trajectory where the work moves by the cutting feed and facing the surface of the blade at the slice cutting side, the work is provided at a position close to one end surface of the work when cutting the work. Cutting feed position detecting means for detecting the position, and cutting feed position determining means for determining whether or not the cutting feed position of the workpiece is within a predetermined range based on the cutting feed position detected by the cutting feed position detecting means And a commanding means for outputting a command signal to the blade deflection adjusting means in accordance with the result of the determination by the cutting / feeding position determining means.
て、ブレードの内周刃をドレスするドレス手段と、ブレ
ード撓み量検出手段の検出結果に基づいて前記ドレス手
段のドレスタイミングを制御するドレスタイミング制御
手段とを備えたことを特徴とするスライシング装置。2. A slicing apparatus according to claim 1, wherein the dressing means dresses the inner peripheral blade of the blade, and the dress timing control means controls the dress timing of the dressing means based on a detection result of the blade deflection amount detecting means. A slicing device comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2262117A JP2604061B2 (en) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Slicing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2262117A JP2604061B2 (en) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Slicing equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04138210A JPH04138210A (en) | 1992-05-12 |
| JP2604061B2 true JP2604061B2 (en) | 1997-04-23 |
Family
ID=17371286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2262117A Expired - Fee Related JP2604061B2 (en) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Slicing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2604061B2 (en) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61159159U (en) * | 1985-03-27 | 1986-10-02 | ||
| JPH0813457B2 (en) * | 1988-12-21 | 1996-02-14 | 三菱マテリアル株式会社 | Semiconductor cutting equipment |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP2262117A patent/JP2604061B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04138210A (en) | 1992-05-12 |
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|---|---|---|---|
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