JPH04138208A - Slicing device - Google Patents
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- JPH04138208A JPH04138208A JP26211590A JP26211590A JPH04138208A JP H04138208 A JPH04138208 A JP H04138208A JP 26211590 A JP26211590 A JP 26211590A JP 26211590 A JP26211590 A JP 26211590A JP H04138208 A JPH04138208 A JP H04138208A
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Classifications
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- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
- B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
- B28D5/028—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels with a ring blade having an inside cutting edge
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ワーク、例えば半導体インゴット等を切断し
て薄片、例えば半導体ウェハ等を切出すスライシング装
置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a slicing apparatus for cutting a workpiece, such as a semiconductor ingot, into thin pieces, such as a semiconductor wafer.
従来より、スライシング装置として、円形状の内周刃を
持つブレードの内側にワークの一端部を臨ませ、前記ブ
レードを回転させながら、前記ブレードまたはワークを
前記ブレードの半径方向に切断送りすることにより、前
記ワークの一端部を切断して薄片を切比すように構成さ
れたものが知られている。Conventionally, as a slicing device, one end of the workpiece is faced inside a blade having a circular inner peripheral edge, and while the blade is rotated, the blade or the workpiece is cut and fed in the radial direction of the blade. , a device configured to cut one end of the workpiece and cut a thin piece is known.
このスライシング装置は、ブレードが切断中に撓み易く
、これによって加工精度の低下を招くという問題点があ
る。This slicing device has a problem in that the blade tends to bend during cutting, which leads to a decrease in processing accuracy.
そこで、例えば実開昭６２−７０９０４号公報、特開平
１−１８２０１１号公報等に示されるように、ブレード
の撓み凶を検出するブレード撓み量検出センサと、この
ブレード撓み滲検圧センサの検出結果に基づいてブレー
ド全体の撓みを軸方向に調整するブレード撓み調整手段
とを設け、ブレードに撓みが生じたときに、その撓みを
ブレード撓み量検出センサで検出してブレード撓み調整
手段で修正できるようにしたものが開発されている。Therefore, as shown in, for example, Japanese Utility Model Application Publication No. 62-70904, Japanese Patent Application Publication No. 1-182011, etc., a blade deflection amount detection sensor that detects the deflection of the blade and the detection results of this blade deflection leakage pressure sensor are proposed. A blade deflection adjustment means is provided to adjust the deflection of the entire blade in the axial direction based on the blade deflection, and when a deflection occurs in the blade, the deflection can be detected by a blade deflection amount detection sensor and corrected by the blade deflection adjustment means. A new one is being developed.
第５図に示すように、上記従来の装置は、いずれもブレ
ード撓み量検出センサ２９を、ワーク３０が切断送りに
よって移動する軌跡Ｃ上を避けた位置で、かつブレード
１０のワーク切断部位（Ｐ〜Ｐ２ ）の入口部Ｐ１近傍
、つまり回転方向（図中、矢印Ｂ方向）上流端Ｐ１近傍
の１か所のみに設け、このブレード撓み量検出センサ２
９の検出結果のみに基づいてブレード１０全体の撓みを
軸方向に調整するようにしている。As shown in FIG. 5, all of the above-mentioned conventional devices set the blade deflection amount detection sensor 29 at a position that avoids the trajectory C along which the workpiece 30 moves by cutting feed, and at the workpiece cutting site (P) of the blade 10. ~ P2 ), that is, near the upstream end P1 in the rotational direction (in the direction of arrow B in the figure), this blade deflection amount detection sensor 2
The deflection of the entire blade 10 is adjusted in the axial direction based only on the detection result of 9.
切断中、ブレード１０は、ワーク切断部位の入口８１１
１Ｐ１近傍でほとんど撓んでいなくとも、ワーク切断部
位の出口部（回転方向下流端）Ｐ２近傍または中央部Ｐ
３近傍で大きく撓んでいる場合がある。During cutting, the blade 10 enters the entrance 811 of the workpiece cutting site.
Even if there is almost no bending near 1P1, the exit part (downstream end in the rotational direction) of the workpiece cutting part near P2 or the center part P
In some cases, there is a large deflection near 3.
しかしながら、上記従来の装置の構成では、入口部Ｐ１
近傍の撓み量しか検出することができず、その入口部Ｐ
１近傍の検出結果のみに基づいてブレード１０全体の撓
みが軸方向に調整されるために、ブレード１０全体の撓
みを正しく修正することができず、加工Ｉｌｒ！Ｘの低
下を招いていた。However, in the configuration of the conventional device described above, the inlet portion P1
Only the amount of deflection in the vicinity can be detected, and the entrance portion P
Since the deflection of the entire blade 10 is adjusted in the axial direction based only on the detection results in one neighborhood, the deflection of the entire blade 10 cannot be corrected correctly, resulting in machining Ilr! This caused a decrease in X.
また、上記従来の装置では、内周刃１１の切れ味が低下
してもブレード１０の撓みが大きくなり、加工精度が悪
くなるため、ドレス装置Ｉ（図示省略）を設けて、ブレ
ード１０の撓みが大きくなれば内周刃１１をドレスして
内周刃１１の切れ味を回復させるようにしている。しか
しながら、従来は、上記ドレス装置でドレスを行う時期
（ドレスタイミング）も入口部Ｐ１近傍に設けたブレー
ド撓み量検出センサ２９の検出結果のみに基づいて制御
していたため、ワーク全面に対してブレード１０の撓み
を正確に反映してドレスタイミングが制御されず、必要
な時にドレスが行なわれなかったり、必要以上にドレス
が行なわれたりするという問題が発生していた。In addition, in the conventional device described above, even if the sharpness of the inner circumferential blade 11 decreases, the deflection of the blade 10 becomes large and the processing accuracy deteriorates, so a dressing device I (not shown) is provided to prevent the deflection of the blade 10. If the size increases, the inner peripheral blade 11 is dressed to restore its sharpness. However, in the past, the timing at which the dressing device performs dressing (dressing timing) was controlled only based on the detection result of the blade deflection amount detection sensor 29 provided near the entrance portion P1. The dressing timing is not controlled to accurately reflect the deflection of the cloth, causing problems such as dressing not being performed when necessary or dressing being performed more than necessary.
以上の事情に鑑みて、本発明は、加工精度を向上させる
ことができ、しかも、適正な時期にドレスを行わせるこ
とができるスライシング装置を提供しようとするもので
ある。In view of the above circumstances, it is an object of the present invention to provide a slicing apparatus that can improve processing accuracy and perform dressing at an appropriate time.
（ｌｉ！題を解決するための手段〕
本発明にかかるスライシング装置は、円形状の内周刃を
持つブレードの内側にワークの一端部を臨ませ、前記ブ
レードを回転させながら、前記ブレードまたはワークを
前記ブレードの半径方向に切断送りすることにより、前
記ワークの一端部を切断して薄片を切り出すスライシン
グ装置において、前記ブレードの撓み量を検出するブレ
ード撓み量検出手段と、前記ブレード全体の撓みを軸方
向に調整するブレード撓み調整手段とを備え、前記ブレ
ード撓み量検出手段は前記ブレードのワーク切断部位の
入口部近傍と出口部近傍との２か所にそれぞれ設けられ
、前記ブレード撓み調整手段は前記両ブレード撓み量検
出手段の検出結果に基づいてｖ］ｍされるように構成さ
れたものである（請求項１）。(Means for Solving the Problem) A slicing device according to the present invention has one end of a workpiece facing inside a blade having a circular inner circumferential edge, and while rotating the blade, cuts the blade or the workpiece. A slicing device that cuts one end of the workpiece to cut a thin piece by cutting and feeding the blade in the radial direction of the blade, the blade deflection amount detection means detecting the deflection amount of the blade, and the deflection amount detection means for detecting the deflection amount of the entire blade. a blade deflection adjusting means for adjusting in the axial direction, the blade deflection amount detecting means are provided at two locations near the inlet and the outlet of the workpiece cutting portion of the blade, and the blade deflection adjusting means According to a first aspect of the present invention, the amount of deflection of the blades is determined based on the detection results of the two blade deflection amount detection means.
好ましくは、ブレードの内周刃をドレスするドレス手段
と、このドレス手段のドレスタイミングを制御するドレ
スタイミング制御手段とを設け、このドレスタイミング
ＩｌＩＩｇ１手段を両ブレード撓み量検出手段の検出結
果に基づいて制御するように構成する（請求項２）。Preferably, a dressing means for dressing the inner peripheral edge of the blade and a dressing timing control means for controlling the dressing timing of the dressing means are provided, and the dressing timing IlIIg1 means is determined based on the detection results of both blade deflection amount detection means. (claim 2).
また、両ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいて
ブレードのワーク切断部位の中央部近傍の撓み曇を演算
する中央部撓み量演算手段を設けるようにしてもよい（
ｇ求項３）。Further, a center portion deflection amount calculation means may be provided for calculating the deflection cloud in the vicinity of the center portion of the workpiece cutting portion of the blade based on the detection results of both blade deflection amount detection means (
g term 3).
請求項１の構成によれば、ブレードのワーク切断部位の
入口部近傍および出口部近傍の撓み量をそれぞれ検出す
ることができるために、ブレード全体の撓みを精度良く
検出することができ、これによりブレード全体の撓みを
精度良く調整することができる。According to the configuration of claim 1, since the amount of deflection of the blade in the vicinity of the inlet and the outlet of the workpiece cutting portion can be detected respectively, the deflection of the entire blade can be detected with high accuracy. The deflection of the entire blade can be adjusted with high precision.
また、請求項２の構成によれば、精度良く検出したブレ
ード全体の撓みに基づいてドレスタイミングが制御され
るために、ドレスタイミングを精度良く制御することが
できる。Further, according to the second aspect of the present invention, since the dressing timing is controlled based on the deflection of the entire blade that is detected with high accuracy, the dressing timing can be controlled with high accuracy.
さらに、請求項３の構成によれば、加工精度に最も影響
を及ぼすブレードのワーク切断部位の中央部近傍の撓み
量を演算により求め、その演算結果に基づいてブレード
全体の撓み調整またはドレスタイミングの制御を行うこ
とができるために、ブレード全体の撓みをより一層精度
良く調整することができるとともに、ドレスタイミング
をより一１ｉｌｌｉ良く制御！１１ｊることができる。Furthermore, according to the third aspect of the present invention, the amount of deflection of the blade near the center of the workpiece cutting part, which has the greatest effect on machining accuracy, is determined by calculation, and the deflection of the entire blade or the dressing timing is adjusted based on the calculation result. Since it can be controlled, the deflection of the entire blade can be adjusted with even greater precision, and the dress timing can be controlled even better! 11j can be done.
第１図から第３図は、本発明にかかるスライシング装置
の一実施例を示している。1 to 3 show an embodiment of a slicing apparatus according to the present invention.
第１図および第２図に示すように、このスライシング装
置は、基台１上に設置されたガイドレール２と、このガ
イドレール２に沿ってスライド自在に支持されたスライ
ドテーブル（第２のブレード撓み調整手段の一部）３と
、このスライドテーブル３に対向して上記基台１上に設
置された主軸台４とを有している。As shown in FIGS. 1 and 2, this slicing device includes a guide rail 2 installed on a base 1, and a slide table (second blade) supported slidably along the guide rail 2. It has a part of the deflection adjusting means) 3, and a headstock 4 installed on the base 1 opposite to the slide table 3.
主軸台４の上部には主軸受け４ａが設けられ、この主軸
受け４ａには、主軸６が回転自在に支持されているとと
もに、ベルト伝動機構７を介して主軸６を回転駆動する
主軸駆動モータ８が取付けられている。主軸６の先端部
にはテンションディスク（第１のブレード撓み調整手段
の一部）９が固着され、このテンションディスク９は、
主軸６、ベルト伝動機構７および主軸駆動モータ８から
なる回転駆動手段（第１のブレード撓み調整手段の一部
）５により、回転駆動されるように構成されでいる。A main bearing 4a is provided on the upper part of the headstock 4, and a main shaft 6 is rotatably supported on the main bearing 4a.A main shaft drive motor 8 rotatably drives the main shaft 6 via a belt transmission mechanism 7. is installed. A tension disk (a part of the first blade deflection adjusting means) 9 is fixed to the tip of the main shaft 6, and this tension disk 9
It is configured to be rotationally driven by a rotational drive means (a part of the first blade deflection adjusting means) 5 consisting of a main shaft 6, a belt transmission mechanism 7, and a main shaft drive motor 8.
上記テンションディスク９の周縁部にはドーナツ状の薄
板からなるブレード１０が装着され、このブレード１０
の内周縁にはダイヤモンド粒子等からなる内周刃１１が
固着され、このブレード１０は、テンションディスク９
が回転して、その回転数Ｎが変化することにより、回転
数Ｎに応じて主軸６の軸方向（ブレード１０の回転軸方
向）に変位するように構成されている。つまり、テンシ
ョンディスク９が回転すると、テンションディスク９の
周縁部に回転数Ｎに応じた遠心力が作用し、これによっ
てテンションディスク９からブレード１０に付与される
回転軸方向の変位の大きさおよび方向が決定されるよう
になっている。A blade 10 made of a doughnut-shaped thin plate is attached to the peripheral edge of the tension disk 9.
An inner peripheral blade 11 made of diamond particles or the like is fixed to the inner peripheral edge of the tension disc 9.
is rotated and its rotational speed N changes, so that it is displaced in the axial direction of the main shaft 6 (in the rotational axis direction of the blade 10) according to the rotational speed N. In other words, when the tension disk 9 rotates, a centrifugal force is applied to the peripheral edge of the tension disk 9 according to the rotational speed N, and thereby the magnitude and direction of the displacement in the direction of the rotational axis is applied from the tension disk 9 to the blade 10. is now determined.
上記スライドテーブル３上には保持部材１５が主軸６の
軸方向にスライド可能に載置され、保持部材１５にはシ
リコンからなる半導体インゴット（ワーク３０）が保持
されている。保持部材１５は、ボールねじ１６と、この
ボールねじ１６を回転駆動する保持部材駆動モータ１７
とを有する割出し送り手段１８により、上記主軸６の軸
方向にスライド駆動されるように構成されている。この
ため、保持部材１５を主軸６側にスライドさせることに
よって、ワーク３０の一端部をブレード１０の表面１０
ａ側（ワーク保持側）からブレード１０の内側に挿通し
てブレード１０の裏面１０ｂ側へ微小量突出させること
ができるようになっている。A holding member 15 is placed on the slide table 3 so as to be slidable in the axial direction of the main shaft 6, and a semiconductor ingot (work 30) made of silicon is held on the holding member 15. The holding member 15 includes a ball screw 16 and a holding member drive motor 17 that rotationally drives the ball screw 16.
The main shaft 6 is configured to be slid in the axial direction of the main shaft 6 by an indexing and feeding means 18 having the above. Therefore, by sliding the holding member 15 toward the main shaft 6 side, one end of the workpiece 30 is held on the surface 10 of the blade 10.
It can be inserted into the inside of the blade 10 from the a side (work holding side) and protrude by a minute amount to the back surface 10b side of the blade 10.
また、上記スライドテーブル３には、内周刃１１をドレ
スするドレス装置（ドレス手段）１９がその工具先端を
ブレード１０の内側に臨ませるようにして設けられてい
る。Further, the slide table 3 is provided with a dressing device (dressing means) 19 for dressing the inner circumferential blade 11 so that its tool tip faces the inside of the blade 10.
上記スライドテーブル３は、ボールねじ１２と、このボ
ールねじ１２を回転駆動する切断送りモータ１３とを有
する切断送り手段（第２のブレード撓み調整手段の一部
）１４により、上記ガイドレール２に沿って主軸６と直
交する方向にスライド駆動されるように構成されている
。このため、スライドテーブル３を第１図の向う側にス
ライド駆動させることによって、ワーク３０をブレード
１０の半径方向く第２図中、矢印六方向）に切断送リす
ることができるようになっている。そして、ブレード１
０を回転させつつ、ブレード１０の内側に一端部を臨ま
せたワーク３０をブレード１０の半径方向に切断送りす
ることにより、ワーク３０の一端部を内周刃１１によっ
てスライスしてウェハ（１片）を切出すことができるよ
うになっている。The slide table 3 is moved along the guide rail 2 by a cutting feed means (a part of the second blade deflection adjusting means) 14 having a ball screw 12 and a cutting feed motor 13 that rotationally drives the ball screw 12. It is configured to be slidably driven in a direction perpendicular to the main shaft 6. Therefore, by sliding the slide table 3 toward the opposite side in FIG. 1, the workpiece 30 can be cut and fed in the radial direction of the blade 10 (in the six directions of arrows in FIG. 2). . And blade 1
By cutting and feeding the workpiece 30 with one end facing inside the blade 10 in the radial direction of the blade 10 while rotating the blade 10, one end of the workpiece 30 is sliced by the inner peripheral blade 11 to form a wafer (one piece). ) can be cut out.
ワーク３０の切断送り方向下流側の外周部分、すなわち
内周刃１１で最終的に切断されるワーク３０部分には、
カーボン等からなるスライスベース３１が固着されてい
る。このスライスベース３１は、ワーク３０を切断し終
わる時にブレード１０に掛かる切断抵抗が急に解放され
る結果、上記ワーク３０の最終切断部分が欠けるのを防
止するために設けられたものである。The outer peripheral part of the workpiece 30 on the downstream side in the cutting feed direction, that is, the part of the workpiece 30 that is finally cut by the inner peripheral blade 11, includes:
A slice base 31 made of carbon or the like is fixed. This slicing base 31 is provided to prevent the final cut portion of the work 30 from chipping as a result of sudden release of cutting resistance applied to the blade 10 when cutting the work 30 is finished.
ブレード１０の表面１０ａの近傍には、ブレード１０の
撓み量を検出する磁気センサ等の非接触型のブレード撓
み■検出センサ（ブレード撓み量検出手段＞２０．２１
が２か所に設けられている。Near the surface 10a of the blade 10, there is a non-contact type blade deflection detection sensor (blade deflection amount detection means>20.21) such as a magnetic sensor that detects the deflection amount of the blade 10.
are set up in two locations.
すなわち、両ブレード撓み量検出センサ２０．２１は、
共にブレード１０の表面１０ａに対向する位置であって
、ワーク３０が切断送りによって移動する軌跡Ｃ上を避
けた位置に配置されている。That is, both blade deflection amount detection sensors 20.21 are
Both are located at positions facing the surface 10a of the blade 10, and are located away from the trajectory C along which the workpiece 30 moves due to cutting feed.
しかも、一方のブレード撓み量検出センサ２０はブレー
ド１０のワーク切断部位（Ｐ１〜Ｐ２ ）の入口部Ｐ１
近傍、つまり回転方向（第２図中、矢印Ｂ方向）上流＠
Ｐ１近傍に配置され、他方のブレード撓み量検出センサ
２１はブレード１０のワーク切断部位の出口部Ｐ２近傍
、つまり回転方向下流端Ｐ２近傍に配置されている。Moreover, one blade deflection amount detection sensor 20 is connected to the inlet portion P1 of the workpiece cutting portion (P1 to P2) of the blade 10.
Nearby, that is, upstream in the rotation direction (direction of arrow B in Figure 2) @
The other blade deflection amount detection sensor 21 is arranged near the outlet P2 of the workpiece cutting portion of the blade 10, that is, near the downstream end P2 in the rotational direction.
第３図は、口のスライシング装置の制御部４０の構成を
示している。FIG. 3 shows the configuration of the control section 40 of the mouth slicing device.
この制御部４０は、入口部基準変位記憶装Ｎ４３、出口
部基準変位記憶装置４°５、主軸駆動モータ制御装置（
第１のブレード撓み調整手段の一部）４９、切断送りモ
ータＩ制御装置（第２のブレード撓み調整手段の一部）
５２、ドレス制御装置（ドレスタイミング制御手段の一
部）６２等を有している。This control unit 40 includes an inlet reference displacement storage device N43, an outlet reference displacement storage device 4°5, and a main shaft drive motor control device (
(Part of the first blade deflection adjustment means) 49, Cutting feed motor I control device (Part of the second blade deflection adjustment means)
52, a dress control device (part of the dress timing control means) 62, and the like.
入口部基準変位記憶装置
変位記憶装置４５には、上記入口部Ｐ１近傍に設けられ
たブレード撓み量検出センサ（以下、［入口部センサｊ
という）２０の検出結果および上記出口部Ｐ２近傍に設
けられたブレード撓み量検出センサ（以下、１″出口部
センサ」という）２１の検出結果がそれぞれ人力ぎれる
。入口１！！３基準変位記憶装置４３は、切断送りモー
タ１３によってワーク３０が切断開始直前の位Ｉｔ（第
２図に左側の二点鎖線で示す位置よりも僅かに左寄りの
位置）に移動させられた時に入口部センサ２０で検出さ
れる入口部Ｐ１近傍のブレード１０の撓み量を入口部基
準撓みｌ５ａｔ として記憶するように構成されている
。また、出口部基準変位記憶装置４５は、ワーク３０が
切断開始直前の位置に移動させられた時に出口部センサ
２１で検出される出口部Ｐ２近傍のブレード１０の撓み
量を出口部基準撓み量Ｓａ２として記憶するように構成
されている。Inlet section reference displacement storage device Displacement storage device 45 includes a blade deflection amount detection sensor (hereinafter referred to as [inlet section sensor j
) 20 and the detection result of the blade deflection amount detection sensor (hereinafter referred to as 1″ exit portion sensor) 21 provided near the exit portion P2 are both manually exhausted. Entrance 1! ! The three-reference displacement storage device 43 is set at the entrance when the workpiece 30 is moved by the cutting feed motor 13 to a position It just before starting cutting (a position slightly to the left of the position indicated by the two-dot chain line on the left in FIG. 2). The deflection amount of the blade 10 near the entrance section P1 detected by the section sensor 20 is stored as an entrance section reference deflection l5at. Further, the outlet reference displacement storage device 45 stores the amount of deflection of the blade 10 near the outlet P2 detected by the outlet sensor 21 when the workpiece 30 is moved to the position immediately before the start of cutting into the outlet reference deflection amount Sa2. It is configured to be stored as.
なお、ワーク３０が切１ｉ開始直前の位置に移動させら
れたことは、切断送りモータ１３と切断送りモータ制御
部［５２とによって検出されるようになっている。Note that the fact that the workpiece 30 has been moved to the position immediately before the start of cutting 1i is detected by the cutting feed motor 13 and the cutting feed motor control unit [52].
入口部基準変位記憶装置４３に記憶された入口部基準撓
みｌ５ａ１および出口部基準変位記１１装置４５に記憶
された出口部基準撓み量Ｓａ２は、それぞれ入口部変位
比較器４４および出口部変位比較器４６にそれぞれ出力
される。入口部変位比較器４４には、上記入口部基準撓
み１Ｓａ１の他に、入口部センサ２０で検出される入口
部Ｐ１近傍のブレード１ｏの瑛在撓み一８ｂｚが入力さ
れ、この入口部変位比較器４４は、上記入口部センサみ
量Ｓｂ１から入口部基準撓み量Ｓａ１を差し弓いて真の
入口部撓み量（切断によって実際にブレード１０の入口
部Ｐ１近傍が撓んだｌｌ）Ｓｌを検出するように構成さ
れている。また、出口部変位比較器４６には、上記出口
部基準撓みｌ５ａ２の他に、出口部センサ２１で検出さ
れる出口部Ｐ２近傍のブレード１０の瑛在撓み１Ｓｂ２
が入力され、この出口部変位比較器４６は、上記出口部
センサみ量Ｓｂ２から出口部基準撓み量Ｓａ２を差し引
いて真の出口部撓み量Ｓ２を検出するように構成されて
いる。The entrance section reference deflection l5a1 stored in the entrance section reference displacement storage device 43 and the exit section reference deflection amount Sa2 stored in the exit section reference displacement device 45 are stored in the entrance section displacement comparator 44 and the exit section displacement comparator, respectively. 46 respectively. In addition to the inlet reference deflection 1Sa1, the inlet deflection 8bz of the blade 1o near the inlet P1 detected by the inlet sensor 20 is input to the inlet displacement comparator 44. 44 is configured to detect the true entrance section deflection amount Sl (the actual deflection of the blade 10 in the vicinity of the entrance section P1 due to cutting) by subtracting the entrance section reference deflection amount Sa1 from the entrance section sensor sensing amount Sb1. It is composed of In addition to the outlet reference deflection 15a2, the outlet displacement comparator 46 also includes the deflection 1Sb2 of the blade 10 near the outlet P2 detected by the outlet sensor 21.
is input, and the outlet displacement comparator 46 is configured to detect the true outlet deflection amount S2 by subtracting the outlet reference deflection amount Sa2 from the outlet sensor detected amount Sb2.
入口部変位比較器４４で検出された入口部撓みｌＳ１お
よび出口部変位比較器４６で検出された出口部撓み量Ｓ
２は、共に中央部撓み量演算装置（中央部撓み量演算手
段）４７、切断送り速度演算装置（第２のブレード撓み
調整手段の一部）５１およびドレスタイミング判定装置
（ドレスタイミング制御手段の一部）６１に出力される
。Inlet deflection lS1 detected by the inlet displacement comparator 44 and outlet deflection amount S detected by the outlet displacement comparator 46
2 includes a central portion deflection amount calculation device (central portion deflection amount calculation means) 47, a cutting feed rate calculation device (a part of the second blade deflection adjustment means) 51, and a dress timing determination device (a part of the dress timing control means). section) 61.
中央部撓み量演算装置１４７は、入口部変位比較器４４
で検出された入口部撓み量Ｓ１と出口部変位比較器４６
で検出された出口部撓みｌＳ２とに基づいてブレード１
０のワーク切断部位の中央部Ｐ３ （第２図参照）近
傍の撓み量Ｓ３を演算するように構成されている。すな
わち、予め経験的に求めておいた入口部撓みｌＳ１およ
び出口部撓み量Ｓ２に対する中央部撓み量Ｓ３の関数と
、入口部撓み量Ｓ１および出口部撓み量Ｓ２とから中央
部撓み量Ｓ３を演算するようになっている。The central portion deflection amount calculating device 147 includes the entrance portion displacement comparator 44
The amount of inlet deflection S1 detected by the outlet displacement comparator 46
Blade 1 based on the outlet deflection lS2 detected at
It is configured to calculate the amount of deflection S3 in the vicinity of the central portion P3 (see FIG. 2) of the cutting portion of the workpiece. That is, the central portion deflection amount S3 is calculated from a function of the center portion deflection amount S3 with respect to the inlet portion deflection lS1 and the outlet portion deflection amount S2, which have been determined empirically in advance, and the inlet portion deflection amount S1 and the outlet portion deflection amount S2. It is supposed to be done.
中央部撓み量演算装置４７で演算された中央部撓み量Ｓ
３は、回転数演算装置（第１のブレード撓み調整手段の
一部）４８、切断送り速度演算装置５１およびドレスタ
イミング判定装置Ｉ６１にそれぞれ出力される。Central portion deflection amount S calculated by the central portion deflection amount calculating device 47
3 is output to the rotation speed calculation device (a part of the first blade deflection adjustment means) 48, the cutting feed speed calculation device 51, and the dress timing determination device I61, respectively.
回転数演算装置４８は、ワーク３０が所定の切断送り位
置に移動したときに、現在のテンションディスク９の回
転数Ｎと中央部撓み量演算装置４７で演算された中央部
撓みｌＳ３とに基づいて、上記中央部撓み量Ｓ３を零に
するために必要なテンションディスク９の目標回転数Ｎ
ａを演算し、その演算結果に対応した信号を主軸駆動モ
ータ制御１装置４９に出力するように構成されている。The rotational speed calculating device 48 calculates the rotation speed N based on the current rotational speed N of the tension disk 9 and the central portion deflection lS3 calculated by the central portion deflection amount calculating device 47 when the workpiece 30 moves to a predetermined cutting and feeding position. , the target rotational speed N of the tension disc 9 necessary to make the central portion deflection amount S3 zero
a and outputs a signal corresponding to the result of the calculation to the spindle drive motor control 1 device 49.
主軸駆動モータ制御装置４９は、回転数演粋装ｆ１４８
から信号を受けたときにはテンションディスク９の回転
数Ｎが回転数演算装置４８で求められた目標回転数Ｎａ
となるように、それ以外は予め設定記憶された基本回転
数ＮＯとなるように主軸駆動モータ８を制御するように
構成されている。The main shaft drive motor control device 49 has a rotation speed control device f148.
When a signal is received from
Other than that, the spindle drive motor 8 is controlled so that the basic rotation speed NO is set and stored in advance.
切断送り速度演算装置５１は、ワーク３０が所定の切断
送り位置に移動したときに、入口部変位比較器４４で検
出された入口部撓み量Ｓ１と出口部変位比較器４６で検
出された出口部撓み１８２と中央部撓み量演算装Ｗ４７
で演算された中央部撓み量Ｓ３とに基づいて、中央部撓
み量Ｓ３、入口部撓み−８１と中央部撓み１８３との差
または出口部撓み量Ｓ２と中央部撓み量Ｓ３との差を小
さくするために必要な目標切断送り速度Ｖ ａを演算し
、その演算結果に対応した信号を切断送りモータ制御＠
Ｍ５２に出力するように構成されている。The cutting feed speed calculating device 51 calculates the amount of inlet deflection S1 detected by the inlet displacement comparator 44 and the outlet deflection amount S1 detected by the outlet displacement comparator 46 when the workpiece 30 moves to a predetermined cutting feed position. Deflection 182 and center deflection calculation unit W47
Based on the center deflection amount S3 calculated in , reduce the center deflection amount S3, the difference between the entrance deflection -81 and the center deflection 183, or the difference between the outlet deflection amount S2 and the center deflection amount S3. The target cutting feed speed V a required for
It is configured to output to M52.
上記目標切断送り速度ｙａの演算は、例えば下記式■に
よって行われる。The calculation of the target cutting feed rate ya is performed, for example, using the following formula (2).
Ｖａ−Ｖｏ−ｋＳ・・・■
ここで、Ｖｏは予め設定記憶された基本切断送り速瓜、
ｋは演算係数を示し、ＳにはＳ３の絶対値、Ｓ＋−８３
の絶対値、８２−８３の絶対値の中で最大の値を代入す
る。Va-Vo-kS...■ Here, Vo is the basic cutting feed speed melon set and stored in advance,
k indicates the calculation coefficient, S is the absolute value of S3, S+-83
Assign the maximum value among the absolute values of 82-83.
また、切断送り速度演算装置５１は、Ｓｌ Ｓ２、Ｓ３
に基づいて所定の切断送り速度演算条件であるか否かを
判定し、その結果、所定の切断送り速度演算条件でない
場合（Ｓが所定のｉ１以下のとき）には、上記目標切断
送り速度Ｖａの演算を行わず、切断送りモータｌ１１ｔ
ｌ装置５２に信号を出力しないようにも構成されている
。Further, the cutting feed speed calculation device 51 is
Based on this, it is determined whether or not the predetermined cutting feed speed calculation condition is met, and as a result, if the predetermined cutting feed speed calculation condition is not met (when S is less than or equal to a predetermined i1), the target cutting feed speed Va The cutting feed motor l11t is not calculated.
It is also configured not to output a signal to the l device 52.
切断送りモータ制御装＠５２は、切断送り速度演算装置
５１から信号を受けたときには切断送り速度Ｖが切断送
り速度演算装置５１で求められた目標切断送り速度Ｖａ
となるように、それ以外は基本切断送り速度Ｖｏとなる
ように切断送りモータ１３を制御するように構成されて
いる。また、切断送りモータ１ｉｌＪ ｉｌｌ装置５２
は切断送り位置検出手段を有していて、この切断送り位
置検出手段は、切断送りモータ１３から検出されるパル
ス信号に基づいてワーク３０の切断送り位置く切断送り
方向の位置）を検出するように構成されている。When the cutting feed motor control device @52 receives a signal from the cutting feed speed calculation device 51, the cutting feed speed V is set to the target cutting feed speed Va calculated by the cutting feed speed calculation device 51.
Otherwise, the cutting feed motor 13 is controlled so as to maintain the basic cutting feed speed Vo. In addition, the cutting feed motor 1ilJ ill device 52
has a cutting feed position detecting means, and this cutting feed position detecting means detects the cutting feed position of the workpiece 30 (the position in the cutting feed direction) based on the pulse signal detected from the cutting feed motor 13. It is composed of
ドレスタイミング判定装置６１は、ワーク３０が所定の
切断送り位置に移動したときに、ドレスをドレス装置１
９に行わせる時期か否かを８１８２．８３に基づいて判
定するように構成されている。The dressing timing determining device 61 determines when the workpiece 30 moves to a predetermined cutting and feeding position.
8182.83 is configured to determine whether or not it is time to perform the process based on 8182.83.
ドレス制御１１８１２６２は、ドレスタイミング判定装
置６１でドレスタイミングであると判定した場合（後で
詳述する）に、所定の時期にドレス装置１９にドレス指
令信号を出力するように構成されている。The dress control 1181262 is configured to output a dress command signal to the dress device 19 at a predetermined time when the dress timing determining device 61 determines that it is the dress timing (described in detail later).
なお、制御品４０では、ワーク３０をブレード１０に対
して割出送りするための保持部材駆動モータ１７等の制
■も行なわれるようになっている１ここに、スライシン
グ加工を行うときの上記制郁部４０の制御の具体例を第
４図に示す。In addition, in the controlled product 40, the holding member drive motor 17 and the like for indexing and feeding the workpiece 30 with respect to the blade 10 are also controlled. A specific example of control of the part 40 is shown in FIG.
この制御を開始するに当たっては、先ず、回転駆動手段
５の主軸駆動モータ８を駆動させて、テンションディス
ク９を基本回転数Ｎ ｏで回転させる（ステップＳ１）
とともに、割出し送り手段１８の保持部材駆動モータ１
７を駆動させて、保持部材１５に保持したワーク３０を
主軸６側にスライドさせる（ステップＳ２ ）。これに
より、ワーク３０の一端部がブレード１０の表面１０ａ
側からブレード１０の内側に挿通させられてブレード１
０の表面１０ｂ側へ微小量突出させられる。To start this control, first, the main shaft drive motor 8 of the rotation drive means 5 is driven to rotate the tension disc 9 at the basic rotation speed No (step S1).
At the same time, the holding member drive motor 1 of the indexing and feeding means 18
7 to slide the workpiece 30 held by the holding member 15 toward the spindle 6 (step S2). As a result, one end of the workpiece 30 is attached to the surface 10a of the blade 10.
The blade 1 is inserted into the inside of the blade 10 from the side.
0 to the surface 10b side by a minute amount.
次に、切断送り手段１４の切断送りモータ１３を駆動さ
せて、ワーク３０をブレード１０の半径方向に基本切断
送り速度Ｖｏで移動させる（ステップ８３ ）。Next, the cutting feed motor 13 of the cutting feed means 14 is driven to move the workpiece 30 in the radial direction of the blade 10 at the basic cutting feed speed Vo (step 83).
上記ワーク３０の移動と同時に、切断送りモータ制御品
［５２でワーク３０切断送り位置を検出する（ステップ
Ｓ４）とともに、各センサ２０゜２１で入口部基準撓み
量Ｓｂ１および出口部現在撓みｌ５ｂ２の検出を行う（
ステップ８５ ）。そして、ワーク３０が切断開始直前
の位置を越えているか否かを判定しくステップＳ６）、
ステップＳ６で切断開始直前位置を越えていないと判定
した場合は、さらに切断開始直前位置に移動したか否か
を判定しくステップＳ７）、このステップＳ７で切断開
始直前位置に移動したと判定（ｒＹＥＳ」と判定）され
るまでステップＳ４以崎を繰返す。Simultaneously with the movement of the workpiece 30, the cutting feed motor control unit [52] detects the cutting feed position of the workpiece 30 (step S4), and the sensors 20 and 21 detect the reference deflection amount Sb1 of the entrance section and the current deflection l5b2 of the exit section. I do(
Step 85). Then, it is determined whether the workpiece 30 has exceeded the position immediately before starting cutting (step S6),
If it is determined in step S6 that the position has not exceeded the position immediately before the start of cutting, it is further determined whether the position has moved to the position immediately before the start of cutting (step S7), and it is determined in step S7 that the position has moved to the position immediately before the start of cutting (rYES). ”) is repeated in step S4.
このステップＳ７で切断開始直前位置に移動した、つま
り切断が開始される直前であると判定すると、ｒＹＥｓ
Ｊと判定する直前に検出された入口１ｇ瑛在撓みＩｓ
ｔｚおよび出口部現在撓み量Ｓｂ２を入口部基準撓みｌ
５ａ１および出口部基準撓み量Ｓ８２として入口部基準
変愉記憶装置４３および出口部基準変位記憶装Ｍ４５で
それぞれ記憶（ステップＳ８）した後、入口部変位比較
器４４および出口部変位比較器４６でそれぞれ入口部撓
み量Ｓ１および出口部撓み量Ｓ２を検出しくステップＳ
９およびステップ５１０）、中央部撓み量演算装置４７
で中央部撓み置Ｓ３を演算する（ステップ５１１）。If it is determined in this step S7 that the position has moved to the position immediately before starting cutting, that is, it is determined that cutting is immediately before starting, rYEs
Entrance 1g Ei deflection Is detected immediately before determining J
tz and the current deflection amount Sb2 of the outlet section as the standard deflection l of the inlet section.
5a1 and the outlet reference deflection amount S82 in the inlet reference variation storage device 43 and the outlet reference displacement storage device M45 (step S8), and then the inlet portion displacement comparator 44 and the outlet portion displacement comparator 46, respectively. Step S to detect the inlet deflection amount S1 and the outlet deflection amount S2.
9 and step 510), central portion deflection amount calculation device 47
The central portion deflection position S3 is calculated (step 511).
一方、ステップＳ６で切断開始直前位置く後述する切断
開始位置に達していない位＠）を越えていると判定した
場合は、ステップＳ７およびステップＳ８を飛ばして上
記ステップ８９〜ステツプＳ１１を実行する。On the other hand, if it is determined in step S6 that the position immediately before the start of cutting has exceeded the cutting start position (to be described later), steps S7 and S8 are skipped and steps 89 to S11 are executed.
ステツブＳ１１実行後は、ワーク３０が切断開始位置（
第２図に左側の二点鎖線で示す位＠）を越えているか否
かを判定する（ステップ５１２）。このステップＳ１２
でワーク３０が切断開始位■を越えていると判定した場
合は、ステップＳ１３の判定を飛ばして、後述のステッ
プＳ１４およびステップＳＴ５を実行する。After step S11 is executed, the workpiece 30 is at the cutting start position (
It is determined whether or not the value exceeds the position shown by the two-dot chain line on the left in FIG. 2 (step 512). This step S12
If it is determined that the workpiece 30 is beyond the cutting start position ■, the determination in step S13 is skipped and step S14 and step ST5, which will be described later, are executed.
一方、上記ステップＳｔ２でワーク３０が切断開始位置
を越えていないと判定した場合は、さらに切断開始位置
に移動したか否かを判定しくステップ５Ｔ３）、このス
テップＳ１３で切断開始位置に移動したと判定（ｒＹＥ
ｓＪと判定）されるまでステップＳ４以降を繰返す。そ
して、ステップＳ１３で切断開始位置に移動した、つま
り切断が開始されたと判定すると、回転数演算装置４８
で中央部撓みｆｊｋＳ３に基づいてテンションディスク
９の目標回転数Ｎａを演算しくステップＳｗ ） 、主
軸駆動モータ制御１装置４９でテンションディスク９の
回転数Ｎが目標回転数Ｎａとなるように主軸駆動モータ
８を制御する（ステップＳｓ）。これにより、テンショ
ンディスク９の回転数Ｎが目標回転数Ｎａに制御され、
その目標回転数Ｎａに応じてブレード１０が軸方向に変
位して、ブレード１０の中央部Ｐ３近傍の撓み量が零と
なるようにブレード１０全体の撓みが調整される。On the other hand, if it is determined in step St2 that the workpiece 30 has not exceeded the cutting start position, it is further determined whether or not it has moved to the cutting start position (step 5T3), and in step S13, it is determined that the workpiece 30 has moved to the cutting start position. Judgment (rYE
sJ) is repeated from step S4 onwards. When it is determined in step S13 that the cutting start position has been reached, that is, cutting has started, the rotation speed calculation device 48
In step Sw), the target rotational speed Na of the tension disk 9 is calculated based on the central portion deflection fjkS3.The main shaft drive motor control 1 device 49 controls the main shaft drive motor so that the rotational speed N of the tension disk 9 becomes the target rotational speed Na. 8 (step Ss). As a result, the rotation speed N of the tension disc 9 is controlled to the target rotation speed Na,
The blade 10 is displaced in the axial direction according to the target rotational speed Na, and the deflection of the entire blade 10 is adjusted so that the deflection amount near the central portion P3 of the blade 10 becomes zero.
上記ステップＳ％およびステップＳ１５を実行するとき
には、その実行に並行して、切断送り速度演算装置１５
１で所定の切断送り速度演算条件であるか否かが判定さ
れる（ステップＳｓ）。すなわち、上記Ｓ３の絶対値、
５ｌ−８３の絶対値および８２−８３の絶対値がそれぞ
れ予め設定した許容の限界値Ｒ１を上回っているか否か
が判定される。When executing step S% and step S15, in parallel with the execution, the cutting feed rate calculation device 15
1, it is determined whether or not a predetermined cutting feed rate calculation condition is met (step Ss). That is, the absolute value of S3 above,
It is determined whether the absolute value of 5l-83 and the absolute value of 82-83 each exceed a preset allowable limit value R1.
ステップＳｓで切断送り速度演算条件である、つまりＲ
１＜１ｓ３１であると判定した場合、Ｒ１＜ｌｓ＋ −
８３１であると判定した場合およびＲ１＜１８２−８３
１であると判定した場合は、同じく切断送り速度演算
装置５１で入口部撓み量Ｓ１、出口部撓みｌｓ２および
中央部撓みＩＳ３に基づいて目標切断送り速度Ｖａを演
算しくステップ５１７）、切断送りモータｖ１ｍ装置５
２で切断送り速度Ｖが目標切断送り速度Ｖａとなるよう
に切断送りモータ１３を制御する（ステップ５１８）。In step Ss, the cutting feed rate calculation condition, that is, R
If it is determined that 1<1s31, then R1<ls+ −
831 and R1<182-83
If it is determined that the cutting feed rate is 1, the cutting feed rate calculating device 51 similarly calculates the target cutting feed rate Va based on the entrance section deflection amount S1, the outlet section deflection ls2, and the center section deflection IS3 (step 517), and the cutting feed speed v1m device 5
2, the cutting feed motor 13 is controlled so that the cutting feed speed V becomes the target cutting feed speed Va (step 518).
これにより、切断送り速度Ｖが目標切断送り速度Ｖａに
制御され（切断送り速度■が低下し）、切断抵抗が減少
して、ブレード１０の弾性復元力によってブレード１０
の中央部撓み量Ｓ３、入口部撓み量＄１と中央部撓み量
Ｓ３との差または出口部撓み１８２と中央部撓み量Ｓ３
との差が小さくなるようにブレード１０全体の軸方向の
撓みが調整される。As a result, the cutting feed speed V is controlled to the target cutting feed speed Va (the cutting feed speed ■ is decreased), cutting resistance is reduced, and the elastic restoring force of the blade 10 causes the blade 10 to
The center portion deflection amount S3, the difference between the entrance portion deflection amount $1 and the center portion deflection amount S3, or the outlet portion deflection amount 182 and the center portion deflection amount S3
The axial deflection of the entire blade 10 is adjusted so that the difference between
一方、ステップＳ１６で切断送り速度演算条件でない、
つまりＲ１≧ｌｓ３ ｌ、Ｒｔ ≧ｌｓ＋ −８３１お
よびＲ１≧１８２−８３ ：であると判定した場合は、
ステップＳｖおよびステップ８１８を行わずに、ステッ
プＳ１９を行う。On the other hand, if it is not the cutting feedrate calculation condition in step S16,
In other words, if it is determined that R1≧ls3 l, Rt≧ls+ -831 and R1≧182-83:
Step S19 is performed without performing step Sv and step 818.
ステップＳ１９では、ドレスタイミング判定装置６１で
８＋ 、８２．８３に基づいて所定のドレスタイミング
条件であるか否かを判定する。すなわち、Ｓ３の絶対値
が限界値Ｒ２（＞Ｒ１）を上回っているか否かと、５ｌ
−８３の絶対値およびＳ２−８３の絶対値がそれぞれ限
界値Ｒ３（＞Ｒ１）を上回っているか否かとを判定する
。In step S19, the dress timing determination device 61 determines whether or not a predetermined dress timing condition is met based on 8+ and 82.83. That is, whether the absolute value of S3 exceeds the limit value R2 (>R1) and 5l
It is determined whether the absolute value of -83 and the absolute value of S2-83 each exceed a limit value R3 (>R1).
ステップＳ１９でドレスタイミング条件である、つまり
Ｒ２＜１８３１であると判定した場合、Ｒ３＜１８１−
８３ １であると判定した場合およびＲ３＜１８２−８
３ １であると判定した場合は、ドレス制御装置６２が
ドレス装Ｍ１９にドレス指令スる（ステップ５２０）。If it is determined in step S19 that the dress timing condition is met, that is, R2<1831, then R3<181-
83 1 and R3<182-8
31, the dress control device 62 issues a dress command to the dress device M19 (step 520).
これにより、現在切断中のワーク３ｏの加工が完了した
後にドレス１ｌ１１９によってドレスが行われる。上記
ステツブＳ２０実行後は、ステップＳ２＋を行う。As a result, the dressing 1l119 performs dressing after the processing of the workpiece 3o currently being cut is completed. After executing step S20, step S2+ is performed.
一方、ステップＳｏ＋でドレスタイミング条件でない、
つまりＲ２≧１８３１、Ｒ３≧ｌｓ＋ −８３１および
Ｒ３≧１８２−８３１であると判定した場合は、ステッ
プ８２０を行わずにステップＳ２１を行う。On the other hand, if there is no dress timing condition at step So+,
That is, if it is determined that R2≧1831, R3≧ls+ -831, and R3≧182-831, step S21 is performed without performing step 820.
すなわち、ステップ８２１では、ワーク３０が全切断完
了位置く第２図に右側の二点鎖線で示す位置よりもさら
に右側に寄った位置で、スライスベース３１も完全に切
断される位＠）に達したか否かを判定し、全切断完了位
置に達していないと判定した場合は、全切断完了位置に
達したと判定されるまでステップＳ４以降を繰返し、全
切断完了位置に達したと判定した場合は、所定の切断完
了動作を行った後、この制御を終了する。That is, in step 821, the workpiece 30 reaches the complete cutting position, which is further to the right than the position indicated by the two-dot chain line on the right in FIG. If it is determined that the all-cutting completed position has not been reached, step S4 and subsequent steps are repeated until it is determined that the all-cutting completed position has been reached, and it is determined that the all-cutting completed position has been reached. If so, this control ends after a predetermined cutting completion operation is performed.
このスライシング装置の構成では、ワーク３０の切断が
開始されてから完了するまで、回転駆動手段５、テンシ
ョンディスク９、回転数演算装置４８および主軸駆動モ
ータ制御装置４９からなる第１のブレード撓み調整手段
によって、各センサ２０．２１の検出結果に基づいてテ
ンションディスク９の回転数ＮがＩＩ］１［ｌされてブ
レード１０全体の撓みが調整される。このため、切断中
、常にブレード１０の撓みを抑制することができ、ワー
ク３０を精度良く加工することができる。In the configuration of this slicing device, the first blade deflection adjustment means, which is comprised of the rotational drive means 5, the tension disk 9, the rotational speed calculation device 48, and the spindle drive motor control device 49, controls the cutting of the workpiece 30 from the start until the cutting is completed. Based on the detection results of each sensor 20.21, the rotational speed N of the tension disk 9 is increased by II]1[l, and the deflection of the entire blade 10 is adjusted. Therefore, the deflection of the blade 10 can be suppressed at all times during cutting, and the workpiece 30 can be processed with high precision.
しかも、このスライシング装置の構成では、上記第１の
ブレード撓み調整手段によぢてブレード１０全体の撓み
を調整していてもなお、ブレード１０に所定値を越える
撓みが生じている場合（中央部撓み１８３の絶対値が限
界値Ｒ１を越えている場合、入口部撓みＩＳｌと中央部
撓みＩＳ３との差の絶対値が限界値Ｒ１を越えている場
合および出口部撓み量Ｓ２と中央部撓みｌｓ３との差の
絶対値が限界値Ｒ１を越えている場合）には、切断送り
手段１４、切断送りモータ制御装＠５２および切断送り
速度演算装置５１からなる第２のブレード撓み調整手段
によって、各センサ２０，２１の検出結果に基づいて切
断送り速度Ｖも制御されてブレード１０全体の撓みが調
整される。このため、切断中、ブレード１０の撓みをよ
り確実に除去することができる。Moreover, in the configuration of this slicing device, even if the deflection of the entire blade 10 is adjusted by the first blade deflection adjusting means, if the deflection of the blade 10 exceeds a predetermined value (the center portion When the absolute value of the deflection 183 exceeds the limit value R1, when the absolute value of the difference between the entrance section deflection ISl and the center section deflection IS3 exceeds the limit value R1, and when the exit section deflection amount S2 and the center section deflection IS3 (If the absolute value of the difference between the The cutting feed rate V is also controlled based on the detection results of the sensors 20 and 21, and the deflection of the entire blade 10 is adjusted. Therefore, the deflection of the blade 10 can be more reliably removed during cutting.
ざらに、このスライシング装置の構成では、上記第１お
よび第２のブレード撓み調整手段によってブレード１０
全体の撓みを調整していてもなおブレード１０に所定値
を越える撓みが生じた場合く中央部撓み１８３の絶対値
が限界値Ｒ２を越えた場合、入口部撓み量Ｓ１と中央部
撓み量Ｓ３との差の絶対値が限界値Ｒ３を越えた場合お
よび出口部撓み置Ｓ２と中央部撓み量Ｓ３との差の絶対
値が限界値Ｒ３を越えた場合）には、ドレス制御装置６
２およびドレスタイミング演算装置６１からなるドレス
タイミング制御手段が内周刃１１の切れ味が悪くなった
ためにブレード１０の撓みが大きくなったと判断して、
ドレス装置１９がドレスを行うようになっている。この
ため、切断中、内周刃１１の切れ味を良好な状態に保つ
ことができ、ブレード１０の撓みを軽減することができ
る。Roughly speaking, in the configuration of this slicing apparatus, the blade 10 is adjusted by the first and second blade deflection adjusting means.
Even after adjusting the overall deflection, if the blade 10 still deflects more than a predetermined value, or if the absolute value of the center deflection 183 exceeds the limit value R2, the inlet deflection amount S1 and the center deflection amount S3 (If the absolute value of the difference between the exit part deflection position S2 and the center part deflection amount S3 exceeds the limit value R3), the dress control device 6
2 and a dress timing calculation device 61 determines that the deflection of the blade 10 has become large because the inner peripheral blade 11 has become dull,
A dressing device 19 is adapted to perform the dressing. Therefore, during cutting, the sharpness of the inner peripheral blade 11 can be maintained in a good state, and the deflection of the blade 10 can be reduced.
また、このスライシング装置の構成では、ブレード撓み
量検出センサ２０．２１をブレード１０のワーク切断部
位の入口部Ｐ１近傍と出口部Ｐ２近傍との２か所に設け
るようにしている。このため、ブレード１０の入口部Ｐ
１近傍と出口部Ｐ２近傍との２か所の撓み量Ｓ１，８２
を検出することができ、ブレード１０全体の撓みを精度
良く検出することができる。そして、精度良く検出した
検出結果に基づいて、第１のブレード撓み調整手段およ
び第２のブレード撓み調整手段がブレード１０全体の撓
みを調整するとともに、ドレスタイミング制御手段がド
レス装置１９のドレスタイミングを制御するように構成
されているために、ブレード１０全体の撓みを１１度良
く調整することができるとともに、ドレスタイミングを
精度良く制御することができる。したがって、このスラ
イシング装置の構成によれば、加工精度を向上させるこ
とができるとともに、適正な時期にドレスを行わせるこ
とができる。Further, in the configuration of this slicing apparatus, blade deflection amount detection sensors 20.21 are provided at two locations near the entrance portion P1 and near the exit portion P2 of the workpiece cutting portion of the blade 10. Therefore, the inlet portion P of the blade 10
Deflection amount S1, 82 at two locations: near P1 and near outlet P2
can be detected, and the deflection of the entire blade 10 can be detected with high accuracy. Then, based on the accurately detected detection results, the first blade deflection adjusting means and the second blade deflection adjusting means adjust the deflection of the entire blade 10, and the dressing timing control means adjusts the dressing timing of the dressing device 19. Since it is configured to control, the deflection of the entire blade 10 can be adjusted by 11 degrees, and the dressing timing can be controlled with high precision. Therefore, according to the configuration of this slicing device, it is possible to improve processing accuracy and to perform dressing at an appropriate time.
特に、このスライシング装置の構成では、中央部撓み量
演算装置４７を設け、両ブレード撓み量検出センサ２０
．２１でそれぞれ検出した入口部撓み量Ｓ１および出口
部撓み量Ｓ２に基づいてブレード１０のワーク切断部位
の中央部Ｐ３近傍の撓み量Ｓ３を演算し、この演算した
中央部撓み量Ｓ３を基準として第１および第２のブレー
ド撓み調整手段による撓み調整とドレスタイミング制御
手段によるドレスタイミング制御とを行うようにしてい
る。In particular, in the configuration of this slicing device, a central portion deflection amount calculation device 47 is provided, and both blade deflection amount detection sensors 20 are provided.
．． Based on the inlet deflection amount S1 and the outlet deflection amount S2 detected in step 21, the deflection amount S3 of the blade 10 in the vicinity of the central portion P3 of the workpiece cutting portion is calculated, and the The first and second blade deflection adjustment means perform deflection adjustment, and the dress timing control means performs dress timing control.
すなわち、第１のブレード撓み調整手段では、中央部撓
みｍｓ３が零となるようにテンションディスク９の回転
数Ｎを制御してブレード１０全体の撓みを調整するよう
にしている。また、第２のブレード撓み調整手段では、
中央部撓み量Ｓ３、入口部撓み量８１と中央部撓みｍｓ
３との差または出口部撓み量Ｓ２と中央部撓みｆｆ１ｓ
３との差が小さくなるように切断送り速度Ｖを調整して
ブレード１０全体の撓みを調整するようにしている。That is, the first blade deflection adjusting means adjusts the deflection of the entire blade 10 by controlling the rotation speed N of the tension disk 9 so that the center deflection ms3 becomes zero. Further, in the second blade deflection adjusting means,
Center portion deflection amount S3, entrance portion deflection amount 81, and center portion deflection ms
3 or the outlet section deflection amount S2 and the center section deflection ff1s
The cutting feed speed V is adjusted so that the difference between the cutting feed speed and the cutting feed speed V is small, thereby adjusting the deflection of the entire blade 10.
また、ドレスタイミング制御手段では、中央部撓み１８
３の絶対値が限界値Ｒ２を越えた場合、入口部撓み量Ｓ
１と中央部撓み量Ｓ３との差の絶対値が限界値Ｒ３を越
えた場合および出口部撓み量Ｓ２と中央部撓み量Ｓ３と
の差の絶対値が限界値Ｒ３を越えた場合にドレスを行わ
せるようにしている。Further, in the dress timing control means, the central portion deflection 18
If the absolute value of 3 exceeds the limit value R2, the amount of inlet deflection S
1 and the center deflection amount S3 exceeds the limit value R3, and when the absolute value of the difference between the outlet deflection amount S2 and the center deflection amount S3 exceeds the limit value R3. I'm trying to get them to do it.
つまり、ブレード１０のワーク切断部位の中央部Ｐ３近
傍は、ワーク３０を切断し始めてから切断し終わるまで
の間、ワーク３０を最も長く切断し続ける部分であり、
加工ＩＩＩに最も影響を及ぼす部分である。したがって
、このスライシング装置のように、ブレード１０のワー
ク切断部位の中央部Ｐ３近傍の撓み量Ｓ３を演算により
求め、この演算結果を基準として第１および第２のブレ
ード撓み調整手段による撓み調整とドレスタイミング制
御手段によるドレスタイミング制御とを行うようにすれ
ば、加工精度をより一層向上させることができるととも
に、ドレスをより適正なり８期に行わせることができる
。In other words, the vicinity of the central part P3 of the workpiece cutting part of the blade 10 is the part where the workpiece 30 continues to be cut for the longest time from the time when the workpiece 30 is started until the time when the workpiece 30 is finished being cut.
This is the part that most affects processing III. Therefore, like this slicing device, the amount of deflection S3 of the blade 10 in the vicinity of the central portion P3 of the workpiece cutting portion is calculated, and the deflection adjustment and dressing by the first and second blade deflection adjusting means are performed based on this calculation result. If the dressing timing is controlled by the timing control means, the processing accuracy can be further improved, and the dressing can be performed more appropriately in the 8th stage.
なお、各ブレード撓み量検出センサ２０，２１を、上記
実施例ではブレード１０の表面１０ａ側に設けていたが
、ブレード１０の裏面１０ｂ側に設けるようにしてもよ
い。さらに、各ブレード撓み１検出センサ２０．２１を
、上記実施例ではワーク３０が切断送りによって移動す
る軌跡Ｃ上を避けた位置に配置していたが、第２図に二
点鎖線２０ａ、２１ａで示すように、軌跡Ｃ上に配置す
るようにしてもよい。ただし、この場合は、各ブレード
撓み量検出センサ２０ａ、２１ａをブレード１０の裏面
１０ｂ側に設け、ワーク３０を切断する際にワーク３０
の一端面に近接する位置に配置するようにする。In addition, although each blade deflection amount detection sensor 20, 21 was provided on the front surface 10a side of the blade 10 in the above embodiment, it may be provided on the back surface 10b side of the blade 10. Furthermore, in the above embodiment, each blade deflection 1 detection sensor 20.21 was placed at a position that avoided the trajectory C along which the workpiece 30 moves due to cutting feed, but in FIG. As shown, it may be arranged on a trajectory C. However, in this case, each blade deflection amount detection sensor 20a, 21a is provided on the back surface 10b side of the blade 10, and when cutting the workpiece 30,
It should be placed close to one end face of the.
ブレード撓み調整手段は、上記実施例で示したものの他
に、例えばテンションディスク９を回転軸方向に移動さ
せることによりブレード１０全体の撓み曇を調整するも
のであってもよい。In addition to the blade deflection adjustment means shown in the above embodiments, the blade deflection adjusting means may be one that adjusts the deflection of the entire blade 10 by, for example, moving the tension disk 9 in the direction of the rotation axis.
切断送りは、ワーク３０の代りに、ブレード１０をその
半径方向に移動させるようにして行ってもよい。The cutting feed may be performed by moving the blade 10 in the radial direction instead of the workpiece 30.
さらに、ブレード１０の全体的な撓み調整は、第１およ
び第２のブレード撓み調整手段のいずれか一方のみによ
って行うようにしてもよい。Furthermore, the overall deflection adjustment of the blade 10 may be performed by only one of the first and second blade deflection adjusting means.
請求項１のスライシング装置は、ブレード撓み量検出手
段をブレードのワーク切断部位の入口部近傍と出口部近
傍との２か所にそれぞれ設け、これら両ブレード撓み量
検出手段の検出結果に基づいてブレード撓み調整手段で
ブレード全体の撓みを軸方向に調整するようにしている
ために、ブレード全体の撓みを精度良く検出することが
でき、これによりブレード全体の撓みを精度良く調整す
ることができ、加工精度を向上させることができる。In the slicing apparatus according to the first aspect, the blade deflection amount detection means is provided at two locations, one near the inlet and the other near the exit of the workpiece cutting portion of the blade, and the blade deflection amount is detected based on the detection results of both of the blade deflection amount detection means. Since the deflection adjustment means adjusts the deflection of the entire blade in the axial direction, the deflection of the entire blade can be detected with high precision. Accuracy can be improved.
請求項２のスライシング装置は、ブレードの内周刃をド
レスするドレス手段と、このドレス手段のドレスタイミ
ングを制御するドレスタイミング制御手段とを設け、こ
のドレスタイミング制御手段で両ブレード撓み量検出手
段の検出結果に基づいて上記ドレス手段のドレスタイミ
ングを制御するようにしているために、精度良く検出し
たブレード全体の撓みに基づいてドレスタイミングを制
御することができ、適正な時期にドレスを行わせること
ができる。A slicing apparatus according to a second aspect of the present invention is provided with a dressing means for dressing the inner circumferential edge of the blade, and a dressing timing control means for controlling the dressing timing of the dressing means, and the dressing timing controlling means controls the amount of deflection of both blades. Since the dressing timing of the dressing means is controlled based on the detection result, the dressing timing can be controlled based on the deflection of the entire blade detected with high accuracy, and the dressing can be performed at an appropriate time. I can do it.
請求項３のスライシング装置は、両ブレード撓み量検出
手段の検出結果に基づいてブレードのワーク切断部位の
中央部近傍の撓み量を演算する中央部撓み量演算手段を
設けているために、加工精度に最も影響を及ぼすブレー
ドのワーク切断部位の中央部近傍の撓み量を演算により
求めることができ、その演算結果に基づいてブレード全
体の撓み調整またはドレスタイミングの制御を行うこと
ができる。したがって、加工精度をより一層向上させる
ことができるとともに、ドレスをより一層適正な時期に
行わせることができる。The slicing apparatus according to claim 3 is provided with a central portion deflection amount calculation means for calculating the amount of deflection of the blade in the vicinity of the center of the workpiece cutting portion based on the detection results of both blade deflection amount detection means, so that processing accuracy can be improved. The amount of deflection in the vicinity of the center of the workpiece cutting portion of the blade, which has the greatest influence on the blade, can be determined by calculation, and based on the result of the calculation, the deflection of the entire blade or the dressing timing can be controlled. Therefore, processing accuracy can be further improved, and dressing can be performed at a more appropriate time.
第１図は本発明にかかるスライシング装置の一実施例を
示す一部断面正面図、第２図は第１図のＩＩ−ＩＩ線断
面図、第３図は制御部を示すブロック線図、第４図は制
ａ部の制御の具体例を示すフローチャート、第５図は従
来のスライシング装置におけるブレード撓み量検出手段
の設置位置を示す断面図である。
５．９，４８．４９・・・第１のブレード撓み調整手段
、１０・・・ブレード、１１・・・内周刃、１４，５１
．５２・・・第２のブレード撓み調整手段、１９・・・
ドレス手段、２０．２０ａ・・・ブレードのワーク切断
部位の入口部近傍に設けたブレード撓み量検出手段、２
１．２１ａ・・・ブレードのワーク切断部位の出口部近
傍に設けたブレード撓み量検出手段、３０・・・ワーク
、４７・・・中央部撓み１演算手段、６１．６２・・・
ドレスタイミング制御手段。FIG. 1 is a partially sectional front view showing an embodiment of a slicing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG. 1, and FIG. 3 is a block diagram showing a control section. FIG. 4 is a flowchart showing a specific example of control of the control section a, and FIG. 5 is a sectional view showing the installation position of the blade deflection amount detection means in a conventional slicing apparatus. 5.9,48.49...First blade deflection adjustment means, 10...Blade, 11...Inner peripheral blade, 14,51
．． 52...Second blade deflection adjustment means, 19...
Dressing means, 20.20a...Blade deflection amount detection means provided near the entrance of the workpiece cutting portion of the blade, 2
1.21a...Blade deflection amount detection means provided near the outlet of the workpiece cutting portion of the blade, 30...Workpiece, 47...Central deflection 1 calculation means, 61.62...
Dress timing control means.
Claims (1)
端部を臨ませ、前記ブレードを回転させながら、前記ブ
レードまたはワークを前記ブレードの半径方向に切断送
りすることにより、前記ワークの一端部を切断して薄片
を切り出すスライシング装置において、前記ブレードの
撓み量を検出するブレード撓み量検出手段と、前記ブレ
ード全体の撓みを軸方向に調整するブレード撓み調整手
段とを備え、前記ブレード撓み量検出手段は前記ブレー
ドのワーク切断部位の入口部近傍と出口部近傍との２か
所にそれぞれ設けられ、前記ブレード撓み調整手段は前
記両ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいて制御
されるように構成されていることを特徴とするスライシ
ング装置。 ２、ブレードの内周刃をドレスするドレス手段と、この
ドレス手段のドレスタイミングを制御するドレスタイミ
ング制御手段とが設けられ、このドレスタイミング制御
手段は両ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいて
制御されるように構成されていることを特徴とする請求
項１記載のスライシング装置。 ３、両ブレード撓み量検出手段の検出結果に基づいてブ
レードのワーク切断部位の中央部近傍の撓み量を演算す
る中央部撓み量演算手段が設けられていることを特徴と
する請求項１または２記載のスライシング装置。[Claims] 1. One end of the workpiece is faced inside a blade having a circular inner circumferential edge, and the blade or the workpiece is cut and fed in the radial direction of the blade while rotating the blade. In the slicing device for cutting one end of the workpiece into thin pieces, the blade deflection amount detection means detects the deflection amount of the blade, and the blade deflection adjustment means adjusts the deflection of the entire blade in the axial direction. The blade deflection amount detecting means is provided at two locations near the inlet and the outlet of the workpiece cutting portion of the blade, and the blade deflection adjusting means adjusts the detection results of both the blade deflection amount detecting means. A slicing device configured to be controlled based on the slicing device. 2. Dressing means for dressing the inner peripheral edge of the blade and dressing timing control means for controlling the dressing timing of this dressing means are provided, and this dressing timing control means is based on the detection results of both blade deflection amount detection means. Slicing device according to claim 1, characterized in that it is configured to be controlled. 3. Claim 1 or 2, further comprising a central portion deflection amount calculation means for calculating the amount of deflection of the blade in the vicinity of the center of the workpiece cutting portion based on the detection results of both blade deflection amount detection means. The slicing device described.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26211590A JPH04138208A (en) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Slicing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26211590A JPH04138208A (en) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Slicing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04138208A true JPH04138208A (en) | 1992-05-12 |
Family
ID=17371255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26211590A Pending JPH04138208A (en) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Slicing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04138208A (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01182011A (en) * | 1988-01-18 | 1989-07-19 | Mazda Motor Corp | Slicing machine and its control method |
| JPH02134212A (en) * | 1988-11-14 | 1990-05-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Cutting method |
| JPH02134213A (en) * | 1988-11-14 | 1990-05-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Cutting apparatus for hard or brittle material |
| JPH0439005A (en) * | 1990-06-06 | 1992-02-10 | Tsusho Sangyo Kenkyusha:Kk | Slicing machine and its control method |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP26211590A patent/JPH04138208A/en active Pending
Patent Citations (4)
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| JPH01182011A (en) * | 1988-01-18 | 1989-07-19 | Mazda Motor Corp | Slicing machine and its control method |
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