JPH01171856A - 金属蒸着フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は金属蒸着フイルムムに関するもので、蒸着ヌケ
（ピンホール）が極めて少なく、かつ高温高湿下および
液中での接着性に優れた金属蒸着フィルムに関するもの
である。

［従来の技術］ 高分子樹脂フィルム基材上に／ｌ、Ｃｕ、Ｐｄ。

Ｔｉなどの金属を蒸着したフィルム、いわゆる金属蒸着
フィルムは種々の用途に用いられている。

例えば、コンデンサー、食品包装材、透明導電フィルム
、磁気テープなどである。

しかしながら、高分子樹脂フィルム基材上に直接金属を
蒸着した場合には、金属と基材の接着力が弱く、金属蒸
着膜の剥離、あるいはピンホールによる蒸着ヌケが生じ
、実用上問題がある。

例えば、ポリエステルフィルムに、八〇、を蒸着した包
装材用途では、水蒸気透過率の増大から生ずる透湿の問
題、あるいは磁気記録テープにおけるドロップアウトな
どの問題などである。

これらの問題点を改善したものとして、特開昭５９−９
６１３７には、有機ケイ素化合物ガスの低温プラズマ処
理によるプラズマ重合膜を形成し、次いでメタライジン
グする方法が提案されている。しかし該方法によるもの
は、通常湿度条件下における接着力は優れているが、高
温高湿下あるいは液体中で急激に接着力が低下する欠点
がある。ざらに、製造技術的には、プラズマ重合中に重
合が急激に進み、電極および処理基材表面上にプラズマ
重合物が、パウダー状に析出するという欠点がある。

また、特公昭６１−１３３１０には、ポリエステルフィ
ルム表面を窒素気体雰囲気中でコロナ放電処理した後、
金属蒸着したものが提案されている。該提案によるもの
は、従来のものより高温高湿下の水蒸気遮断性劣化防止
の点からいえば、改良されているが、近年要求されてい
る過酷な条件での使用、例えばワイン容器などのような
飲料用液体保存容器として使用する場合には、高温殺菌
時に蒸着層が簡単に剥離してしまい、使用できないとい
う問題がある。

ざらにメツキ型のフレキシブルプリント基板の製造にコ
ロナ放電処理を適用する場合、例えば耐熱フィルムをコ
ロナ放電処理後、その上に予めＣＵなどを蒸着し、次い
でさらにメツキ方式によって銅を厚く積層する必要がお
るが、この場合、メツキ浴中に入れた際、蒸着膜がフィ
ルムから簡単に剥離してしまうという問題がある。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は、かかる従来技術の諸欠点に鑑み創案されたも
ので、その目的はフィルムの機械的特性を損なわず、金
属蒸着膜の接着力、特に液中または高湿下における接着
力が優れ、かつ蒸着ヌケの少ない金属蒸着フィルムを提
供することにある。

［問題点を解決するための手段］ かかる本発明の目的は、高分子樹脂フィルムと金属蒸着
層が、グリシジル基を有するアクリルまたはメタクリル
化合物から形成されたプラズマ重合層を介して接合され
てなる金属蒸着フィルムにより達成される。

本発明において使用される高分子樹脂フィルムとしては
、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルムある
いはポリイミド系フィルム、ポリフェニレンスルフィド
系フィルムなど通常蒸着用基材として用いられているも
のが挙げられるが、好ましくは、耐高湿性、耐水性に優
れたポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルムお
よびピロメリット酸二無水物と４，４′−ジアミノジフ
ェニルエーテルの縮合物または、３，４．３−。

４−−ビフェニルテトラカルボン ジアミノジフェニルエーテルの縮合物からなるポリイミ
ドフィルムがより好ましく、中でもポリエステルフィル
ムが特に好ましい。

ここでポリエステルフィルムとは、芳香族二塩基酸また
はそのエステル形成性誘導体と、ジオールとから合成さ
れる高結晶性の線状飽和ポリエステルであり、具体的に
はポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンイソフタ
レート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−
２，６−ナフタレートまたは一部が他成分に置換された
共重合体や、ポリアルキレングリコール、ポリカーボネ
ートなどの配合体を常法により二軸延伸したフィルムが
挙げられる。

フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、目的
に応じ好ましく選定すれば良い。

通常包装材用途としては約５０μｍ前後のものが使用さ
れる。また上記フィルムを予めグロー放電、あるいはコ
ロナ放電、表面改質用のコーティングなど前処理を施し
ておいてもよい。

本発明においてプラズマ重合層とはグリシジル基を有す
るアクリルまたはメタクリル化合物の蒸気雰囲気下で放
電によって形成される有機化合物重合体層をさす。

プラズマ重合の方法は公知の方法でよく、例えばフィル
ムを内部電極方式の装置内にセットした後、真空ポンプ
で排気し、次いでグリシジル基を有するアクリルまたは
メタクリル化合物の蒸気を所定の圧力（０．０１〜１０
ＴＯｒｒ程度）になるまで供給した後、適当な電力を電
極に印加する方法などである。

本発明においてグリシジル基を有するアクリルまたはメ
タクリル化合物とは、次式で示されるものをいう。

ＣＨ２＝ＣＲ 嘱 Ｃｏｏ　（ＣＨ２→−ＣＨ−ＣＩ−１２１　　＼１ ここでＲは一Ｈまたは一〇Ｈ３を示す。

ｎは１〜３の整数を示す。

中でもＲが一〇Ｈ３、ｎ＝１のグリシジルメタクリレー
トが接着効果、取扱い性などの点から好ましい。

プラズマ重合層の厚さは特に限定されないが、接着効果
および蒸着時のカール防止性などの点から２０人〜４μ
ｍの範囲が好ましく、より好ましくは５０〜２０００人
である。

本発明における金属蒸着層としては、特に限定されるも
のではなく、公知の金属または合金を、加熱蒸着、電子
ビーム蒸着、あるいはスパッタリングなどの公知の方法
によって形成されるものが使用可能であるが、ＡｒＬ、
Ｃｕ、Ｚｎ、Ｔ　ｉ　、Ｎｉ、Ｇｏ、　Ｆｅなどの金属
またはこれらの合金など、おるいはこれらの酸化物など
の蒸着層が、高温または液中でも接着力が強い点で好ま
しい。

金属蒸着層の厚さは特に限定されるものではないが、４
００人〜５０μｍの範囲が好ましく、より好ましくは５
００人〜２０μｍである。

［実施例］ 以下実施例により本発明を具体的に説明するが、実施例
中の物性はそれぞれ次の方法で測定したものである。

［物性の測定方法］ （１）蒸着層と基材フィルムの接着性 Ａ、セロテープの剥離強度 蒸着フィルムの蒸着面に、市販のセロファン粘着テープ
にチバン（株）製、“′セロテープ′）を貼り付け、指
で強く押圧後、１８０度剥離し、次の基準に従って剥離
後の付着面積を５段階指数で判定した。

８．１８０度湿剥離強度 ａ、サンプル 厚さ９．５ｍｍのアルミ板上にエポキシ系接着剤（チバ
ガイギー（株）製“アラルダイト・ラピッド”）を塗布
した上に蒸着フィルムの蒸着面をつけ、直径’ｌＱｍｍ
のガラス棒を手でころがしながら押圧し、８０℃に調温
された熱風乾燥機中で３０分間キュアした。ざらに幅’
ｌＱｍｍ、接着長さ７５ｍｍ、非接着長さ２５ｍｍ、全
長１００ｍｍに切断した。

（２）１８０度湿剥離強度の測定 （１）で得たサンプルを、万能引張り試験機（東洋ボー
ルドウィン製、“テンシロン″）を用い、サンプルをセ
ット後、剥離界面にスポイトで水を滴下（約０．０５０
０）Ｌ／た後、接着力を測定した。

測定条件：引張り速度　２００ｍｍ／ｍ　ｉ　ｎサンプ
ル寸法：幅’ｌ□ｍｍ、長さ１００ｍｍ。

接着長さ７５ｍｍ 実施例１ 厚さ３８μｍ１幅１５ｃｍのポリエステルフィルム（東
しく株）製　゛ルミラー″）を内部電極方式のプラズマ
重合装置に入れ、初期圧力１×１０−４丁ｏｒｒに排気
後、グリシジルメタクリレートを導入し、Ｑ、２１ｏｒ
ｒの圧力に保ち、電力密度４００Ｗ−ｍｉ　ｎ／ｍ２で
放電処理してポリエステルフィルム表面上にプラズマ重
合層を約１００人厚さに設けた後、該プラズマ重合層上
に下記条件で金属蒸着層を形成した。

蒸着条件 装置：高真空蒸着装置　ＥＢＢ−６型 （日本真空（株）製） 蒸着金属ニアルミニウム 真空度：　’ｌ　ｘ　’ｌ　Ｑ　″４ｍｍＨ蒸着厚み２
６００人 得られた金属蒸着フィルムについてセロテープ剥離強度
を測定したところ指数５と極めて良好であった。また１
８０度湿剥離強度は５５（Ｊ／Ｃｍでおり、一般使用上
実用レベルと判断される３０に］／Ｃｍをはるかに上回
る強度であった。

比較例１ 実施例１と同じポリエステルフィルムを下記条件でＮ２
中でコロナ放電処理を行なった後、金属　゛蒸着を実施
例１と同条件で行なった。得られたサンプルのセロテー
プ剥離強度は１　Ｃ１／Ｃｍ以下で、全く接着力を有し
ていなかった。

コロナ放電処理条件 装置：コロナ放電処理装置 （春日電機（株）製　ＨＦ−４０１） Ｌｌｌ１強度：　　６，０ＯＯＪ／ｍ”Ｎ２流量：　２
００Ｄ、／分 ［発明の効果］ 本発明は上述のごとく構成したので、高温高湿下はもと
より、液中においても蒸着金属層の接着力が低下せず、
コンデンサー、包装容器、特に高圧蒸気滅菌を施す液体
容器をはじめとして電機、包装、装飾など種々の用途に
おいて優れた性能を示すものである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）高分子樹脂フィルムと金属蒸着層が、グリシジル
   基を有するアクリルまたはメタクリル化合物から形成さ
   れたプラズマ重合層を介して接合されてなる金属蒸着フ
   ィルム。