JPH01167608A - 距離センサ - Google Patents

距離センサ

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JPH01167608A
JPH01167608A JP32614487A JP32614487A JPH01167608A JP H01167608 A JPH01167608 A JP H01167608A JP 32614487 A JP32614487 A JP 32614487A JP 32614487 A JP32614487 A JP 32614487A JP H01167608 A JPH01167608 A JP H01167608A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、検出物体からの反射ビームを位置検出素子で
受光し、この位置検出素子からの受光信号に基づいてそ
の検出物体までの距離を演算するようにした距離センサ
に関する。
(従来の技術) 従来より、検出物体までの距離を検出するための検出距
離センサとして所謂三角測量の原理を利用したものが供
されている。この種の距離センサの一例を第7図乃び第
8図に示す。1は投光素子としてのL E D (Ll
ght Emitting Dlode)で、これは投
光制御回路2から電流が与えられると、その電流の大き
さに応じた光出力で発光してレンズ3を介して略平行−
光ビームを前方に照射する。
4はLEDの側方にこれから離間した状態に配設された
位置検出素子としての1次元のPSD(P。
51tion 5ensltive Device)で
、ミれの受光面上における検出可能位置を示す受光系は
直線的であると共に、その受光系の指向方向を示す受光
系延長線5 IJ(L E D 1の中心を通過するよ
うに位置されている。また、PSD4の受光面にはレン
ズ6を介して前方からの光がスポット光として結像され
るようになっていて、これの出力端子からそのスポット
光の位置に対応した受光信号(電流信号)11.12を
出力するようになっている。7.8はPSD4の出力端
子に接続された増幅回路で、これは、PSD4から出力
される受光信号11+12を夫々増幅して電圧信号V 
1 * V 2として出力する。9は増幅回路7,8か
らの電圧信号v1゜v2を受ける減算回路で、これは電
圧信号v1から電圧信号v2を減算するようになってい
る。即ち、後述するように検出物体までの距離検出時に
おいて、増幅回路7.8から出力される各電圧信号Vs
、vgは検出物体までの距離との間で直線関係にないの
で、演算回路9において検出物体までの距離との間に直
線関係を期待できる演算値(Vl−■2)を求めるもの
である。ここで、投光制御回路2は、増幅回路7,8か
ら出力される電圧信号v1 、v2の信号レベルの大き
さに応じてLEDIに与える電流量を変化させるように
なっている。尚、このようなフィードバック制御を行な
う理由としては、検出物体までの距離が一定にもかかわ
らずPSD4の受光面に結像されるスポット光の全体光
量が変化した場合、これに応じてPSD4から出力され
る受光信号11+  I2の信号レベルが変化し、結局
、本来なら一定値であるべき演算値(vl −v2 >
が変化してしまって誤検出となるためである。そこで、
斯様な誤検出を防ぐため、LEDIから投射される全体
の光量レベルを制御して常にPSD4の受光面上に結像
されるスポット光の全体の光量レベルを一定とするもの
である。
斯様な構成の距離センサによれば、LEDlから投射さ
れる光ビーム内に検出物体10が位置すると、検出物体
10により光ビームが反射され、これにより、その反射
ビームがレンズ6を介してPSD4の受光面上にスポッ
ト光として受光される。このとき、PSD4は、LED
l及び検出物体10との間で三角形を形成する位置にあ
るから、PSD4の受光面上に結像されるスポット光は
検出物体9までの距離が変化するに応じて受光系上を移
動する。即ち、PSD4の受光面上に結像されるスポッ
ト光は、検出物体10がLEDIに近接しているときは
該LEDIの反対側に位置し、検出物体10がLEDI
から離間するに従って該LEDIに向かって移動する。
従って、PSD4からはスポット光の中心位置に対応し
た受光信号工□、■2が出力されるから、その受光信号
11゜I2に基づいてスポット光の中心位置ひいては検
出物体10までの距離を三角測量の原理で検出すること
ができる。
(発明が解決しようとする問題点) ところが上述のものの場合、検出物体1Gが第9図に示
すようにLED 1までの距離を等しく維持しながら該
LEDIからの光ビームを横切る場合を例にして考えて
みると、検出物体10からレンズ6に向かう反射ビーム
は、検出物体10が光ビームの一端に進入し始めたとき
は反射ビーム11だけであったものが、検出物体10が
光ビームの途中まで進入する位置となると反射ビーム1
1及び12で囲まれた範囲となり、検出物体10が完全
に光ビームを横切った検出適正状態となると反射ビーム
11及び13で囲まれた範囲となり、そして、検出物体
10が光ビームから脱出する位置となると反射ビーム1
3だけとなる。ここで、PSD4の受光面上に位置する
スポット光の中心位置は、検出物体10から反射される
反射ビームの範囲の変化に応じて移動するから、検出物
体10から反射される反射ビームが上述したように順次
変化する場合は、PSD4の受光面に結像されるスポッ
ト光の中心位置はLED1方向に移動し、これにより、
PSD4から出力される受光信号11.12は、検出物
体10があたかもPSD4から離反中であるように変化
する。換言すれば、PSD4から出力される受光信号1
t、I、が検出物体10までの距離に正しく対応してい
るときは、検出物体10が光ビームに完全に横切った検
出適正状態のときのみだけであり、それ以外のとき、即
ち検出物体10が光ビームの一部に進入した状態にある
ときには検出物体10までの距離に正しく対応していな
い。この結果、検出物体10が検出適正状態にないとき
に該検出物体10までの距離検出動作が行なわれた場合
は、その検出物体10までの距離を正しく検出すること
ができないことがあるという問題点がある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は
、検出物体の検出中においてその検出物体が投光素子か
らの光ビームに対して検出適正状態にあるか否かを判定
することができる距離センサを提供するにある。
〔発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明は、検出物体に対して光ビームを投射する投光素
子と、前記検出物体での反射ビームをその検出物体との
間の距離に応じた位置で受光すべく前記投光素子の側方
にこれと離間した状態で配置され上記受光位置を示す受
光信号を出力する位置検出素子と、この位置検出素子か
らの受光信号に基づいて検出物体までの距離を演算する
ようにした距離センサにおいて、前記投光素子の近傍に
検出物体での反射ビームを受光するように配置された受
光素子を有し、その受光状態に基づいて当該検出物体上
に前記投光素子から投射される光ビームの両端が存在す
る検出適正状態にあるか否かを判定する位置判定手段を
設けたものである。
(作用) 光ビーム内に検出物体が検出適正状態で位置すると、光
ビームが検出物体により反射され、その反射ビームが位
置検出素子により受光される。すると、検出物体までの
距離に応じた受光信号が位置検出素子から出力され、こ
の受光信号に基づいて検出物体までの距離が演算される
さて、検出物体が光ビームに完全に横切った検出適正状
態にない状態で検出が行なわれた場合は、位置検出素子
からの受光信号は検出物体までの距離に正しく対応して
いないから、この場合は次のようにして演算で得られた
検出物体までの距離を利用しないようにすることができ
る。つまり、検出物体が検出適正状態にないということ
は、その検出物体が投光素子からの光ビームを完全に横
切っていない状態、即ち検出物体上に投光素子がらの光
ビームの両端共が存在していないということであるから
、位置判定手段おいて検出物体上に光ビームの両端が存
在していないと判定された場合は、このことに基づいて
演算によって得られた検出物体までの距離を利用しない
ようにすればよい。
(実施例) 以下、本発明の一実施例について第1図乃至第6図を参
照して説明するに、従来例を示す第7図乃び第8図と同
一部分には同一符号を付して説明を省略し、異なる部分
についてのみ説明する。即ち、第3図において、1は投
光素子たるLED。
2はLEDIに電流を与える投光制御回路、4は位置検
出素子たるPSD、7.8はPSD4からの受光信号1
1r  I2を増幅して電圧信号Vl。
v2として出力する増幅回路、9は増幅回路7゜8から
出力される電圧信号vl、v2の差を演算する減算回路
である。尚、この場合1.PSD4の受光面上の受光系
の延長を示す受光系延長線5は第1図及び第2図に示す
ようにLEDIの中心を通過している。
さて、第3図に示す14は減算回路9に接続されたアナ
ログスイッチで、これのオン、オフに基づいて減算回路
9の演算結果が外部回路に出力されるようになっている
。この場合、アナログスイッチ14は後述する位置判定
手段15からの信号によりオン、オフするもので、ロウ
レベル信号が与えられた状態でオンし且つハイレベル信
号が与えられた状態でオフするようになっている。
次に位置判定手段15について説明する。この位置判定
手段15において、16は位置判定用のPSDで、これ
の受光面上には前述の位置検出用のPSD4の受光系と
同一の直線的な受光系17が存する。そして、PSD1
6は、受光系17の指向方向が前述のPSD4における
受光系延長線5の指向方向と一致すると共に、LED 
1の中心を通過し且つ受光系延長線5と直交する受光中
心゛指示線18上に受光系17の中心が一致するように
してLEDIの近傍に配設されている。また、PSD1
6の受光面上にはレンズ19を介して前方からの光がス
ポット光として結像されるようになっていて、そのスポ
ット光の位置に応じた受光信号13.!、を各出力端子
から夫々出力するようになっている。20は差動増幅回
路で、これの反転入力端子(−)及び非反転入力端子(
+)はPSDI6の各出力端子に夫々接続されている。
また、差動増幅回路20の非反転入力端子には補正用電
源21が接続されていて、PSDI6がら差動増幅回路
20の非反転入力端子に出力される受光信号I4の信号
レベルを補正するようになっている。この場合、上記の
ような補正を行なう理由としては、PSDI6の受光面
に結像されるスポット光の中心位置が、そのPSDI6
の受光系17と受光中心指示線18とが交差する受光中
心点22に丁度位置したときは、差動増幅回路20の各
入力端子に与えられる受光信号■3+I4の信号レベル
は本来なら一致するはずであるが、PSDI6をLED
lの近傍の上述した所定位置に寸分狂いなく配設するこ
とは困難であり、このため、PSDI6の受光面に結像
されるスポット光の中心位置が受光中心点22に位置す
るにしてもそのスポット光の中心位置がPSDI6の受
光系17の中心とはならず、結局、このPSDI6の出
力端子からの受光信号13+  1.の信号レベルひい
ては差動増幅回路20に入力される入力電流の信号レベ
ルが一致しないことが往々にしであるためである。そこ
で、PSDI 6の受光面上のスポット光が受光中心に
位置したときに、差動増幅回路20の入力信号レベルを
一致させるべく、補正用電源21によってPSDlBか
らの受光信号14の信号レベルを調整するものである。
一方、23は差動増幅回路20の出力端子に接続された
全波整流器で、これは、差動増幅回路20からの出力信
号がゼロレベルのときのみロウレベル信号をアナログス
イッチ14に出力してこれをオンさせ、差動増幅回路2
0からの出力信号がプラスレベル或はマイナスレベルの
ときにハイレベル信号をアナログスイッチ14に出力し
てこれをオフさせる。
次に上記構成の作用について説明する。。
まず、検出物体10の位置が検出適正状態にある場合、
即ちLEDIからの光ビームの両端共が検出物体10上
に存在する場合について説明する。
即ち、投光制御回路2からLEDIに電流が与えられる
と、第4図に示すようにLEDIが発光してレンズ3を
介して前方に略平行な光ビームを投射する。すると、L
EDIからの光ビームは前方に位置する検出物体10で
反射され、その反射ビームがレンズ6を介してPSD4
の受光面にスポット光として結像される。そして、PS
D4の各出力端子からは、スポット光の位置に応じた受
光信号11+’I!が夫々増幅回路7.8に出力され、
ここで増幅されて電圧信号vl * V tとして減算
回路9に出力される。そして、減算回路9において、電
圧信号vl、v、の差が演算されその演算結果が出力さ
れる。このとき、上述したようにLEDIからの光ビー
ムの両端が検出物体10上に存在している場合は、検出
物体10で反射して位置判定用のPSDI6の受光面上
に結像されるスポット光の中心位置は、第6図(b)で
示すようにPSDlBの受光面上の受光中心点22に位
置しているから、差動増幅回路20の各入力信号レベル
は一致し、これにより、差動増幅回路20からの出力信
号はゼロレベルとなる。従って、位置判定手段15から
アナログスイッチ14にロウレベル信号が出力されて、
アナログスイッチ14がオンし、この結果、減算回路9
での演算結果(検出物体10までの距離に対応している
)が外部回路に出力される。
而して、検出物体10が距離を一定に保った状態でLE
DIからの光ビームを横切って移動した場合は、減算回
路9における演算結果が不正確となっている虞があるか
ら、斯様な場合は次のようにして減算回路9による演算
結果が外部回路に出力されるのを防止することができる
。即ち、第5図(a)で示すように検出物体10が矢印
B方向に進んでLEDIからの光ビームに一部進入した
状態では、位置判定用のPSDlBに結像されるスポッ
ト光は第6図(a)で示す位置となっている。つまり、
PSDI8の受光面には光ビームの一部が結像していて
、このため、PSDI6の各出力端子からの受光信号の
レベルひいては差動増幅回路20の各入力端子に対する
信号レベルに差異を生じている。この結果、差動増幅回
路20からの出力信号は例えばプラスレベルとなって、
これにより位置判定手段15からハイレベル信号が出力
されるため、アナログスイッチ23がオフする。このと
き、位置検出用のPSD4から出力された受光信号IL
+  ■2は検出物体までの距離に対応せず、このため
減算回路9による演算結果は検出物体10までの距離に
対応していないから、上述したように位置判定手段15
からの制御によりアナログスイッチ14がオフされてい
ることにより、減算回路9において演算された演算結果
(検出物体10までの距離に対応していない)が外部回
路に出力されることはない。
そして、検出物体10の移動が進んで第5図(b)で示
すようにLED 1からの光ビームを完全に横切った位
置となると、PSDI 6の受光面に結像されるスポッ
ト光の中心位置は第6図(b)で示すようにPSDI6
の受光面上の受光中心点22に位置する。すると、差動
増幅回路20の各入力端子に人力する信号レベルが一致
し、これにより差動増幅回路20から出力される信号レ
ベルがゼロレベルとなる。この結果、位置判定手段15
からロウレベル信号が出力されてアナログスイッチ14
がオンする。このとき、減算回路9において演算される
演算結果は正しく検出物体10までの距離に対応してい
るので、オン状態となったアナログスイッチ14を介し
てその演算結果が外部に出力されるにしても、何ら不都
合が生じることはない。
そして、検出物体10が第5図(c)で示すようにLE
DIからの光ビーム内から脱出する位置となると、PS
DI6に結像されるスポット光は第6図(c)で示す位
置となる。すると、PSDI6から出力される受光信号
13,1.に再び差異を生じ、これにより、差動増幅回
路20から出力される信号レベルが今度はマイナスレベ
ルとなる。この結果、位置判定手段15からハイレベル
信号が出力されてアナログスイッチ14がオフする。こ
のとき、減算回路9において演算された演算結果は検出
物体10までの距離に対応していないので、その不正確
な演算結果が外部に出力されることはない。
要するに、上記構成のものによれば、検出物体10がL
EDIからの光ビームに対して検出適正状態にあるか否
かを位置判定手段15により判定するようにしたので、
位置判定手段15が設けられていない従来例と違って、
減算回路9から不正確な虞のある演算結果が出力される
ことを確実に防止することができる。
尚、上記実施例では、位置判定手段15からの出力によ
りアナログスイッチ14をオン、オフするように構成し
たが、これに代えて、位置判定手段15に出力端子を接
続し、その出力端子を介して出力される位置判定手段1
5からの信号に基づいて減算回路9からの演算結果の良
否を判定すると共に、その判定結果により演算結果を利
用するか否かを判断するように構成してもよい。
その他、本発明は上記し且つ図面に示したちのに限定さ
れることなく、例えばPSD4及び16に代えてイメー
ジセンサを用いてもよい等、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変形して実施できる。
[発明の効果] 本発明は以上の記述から明らかなように、検出物体まで
の距離を三角測量の原理に基づいて検出するようにした
距離センサにおいて、投光素子の近傍に検出物体までの
反射ビームを受光するように配置された受光素子を有し
、その受光状態に基づいて当該検出物体上に前記投光素
子からの光ビームの両端が存在するか否かを判定する位
置判定手段を設けたので、検出物体の距離を検出中にお
いてその検出物体が投光素子からの光ビームに対して検
出適正状態にあるか否かを判定できるという優れた効果
を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第6図は本発明の一実施例を示すものであり
、第1図は検出物体の検出状態で示す要部の斜視図、第
2図は要部の配置関係を示す正面図、第3図は全体の電
気的構成を示すブロック図、第4図は検出物体の検出状
態で示す要部の平面図、第5図は検出物体が光ビーム内
を横切るような検出状態で示す要部の平面図、第6図は
検出物体が光ビーム内を横切るような検出状態において
位置判定用のPSDに結像するスポット光を示す該PS
Dの正面図である。また、第7図乃至第9図は従来例を
示すものであり、第7図は第4図相当図、第8図は第3
図相当図、第9図は検出物体が光ビーム丙を横切るよう
な検出状態で示す要部の平面図である。 図中、1はLED (投光素子)、4はPSD(位置検
出素子)、10は検出物体、15は位置判定手段、16
はPSD (受光素子)である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、検出物体に対して光ビームを投射する投光素子と、
    前記検出物体での反射ビームをその検出物体との間の距
    離に応じた位置で受光すべく前記投光素子の側方にこれ
    と離間した状態で配置され上記受光位置を示す受光信号
    を出力する位置検出素子と、この位置検出素子からの受
    光信号に基づいて検出物体までの距離を演算するように
    した距離センサにおいて、前記投光素子の近傍に検出物
    体での反射ビームを受光するように配置された受光素子
    を有し、その受光状態に基づいて当該検出物体上に前記
    投光素子から投射される光ビームの両端が存在する検出
    適正状態にあるか否かを判定する位置判定手段を設けた
    ことを特徴とする距離センサ。
JP62326144A 1987-12-23 1987-12-23 距離センサ Expired - Fee Related JP2655659B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6423978B1 (en) 1999-07-16 2002-07-23 Sunx Limited System for detecting disk-shaped object such as semiconductor wafer or magnetic disk

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6281522A (ja) * 1985-10-04 1987-04-15 Mitsubishi Electric Corp 距離測定装置
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