JPH01167495A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH01167495A JPH01167495A JP32401387A JP32401387A JPH01167495A JP H01167495 A JPH01167495 A JP H01167495A JP 32401387 A JP32401387 A JP 32401387A JP 32401387 A JP32401387 A JP 32401387A JP H01167495 A JPH01167495 A JP H01167495A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compression pump
- exhaust port
- housing
- port side
- rotary shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
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- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、排気口を大気圧の状態で運転する一体形の真
空ポンプに係り、特にクリーンな真空を得るのに好適な
真空ポンプに関するものである。
空ポンプに係り、特にクリーンな真空を得るのに好適な
真空ポンプに関するものである。
従来の真空ポンプは特開昭６１−２４７８９３号に記載
されているようにその構造を第２図に示す。吸気口１ａ
と排気口１ｂを備えたケーシング６とモータのロータ５
ａ、ステータ５ｂを内蔵したモータケース９内には玉軸
受７，８で回転自在に支持された駆動軸４が納められて
いる。全体は遠心圧縮ポンプ段Ａ２円周流圧縮ポンプ段
Ｂを吸気口側から排気口側へ順次連設して構成されてい
る。また、モータのロータ５ａは駆動軸４に圧入または
焼ばめされており、ステータ５ａは、モータケース９内
に圧入もしくは焼ばめで各々固定されている。
されているようにその構造を第２図に示す。吸気口１ａ
と排気口１ｂを備えたケーシング６とモータのロータ５
ａ、ステータ５ｂを内蔵したモータケース９内には玉軸
受７，８で回転自在に支持された駆動軸４が納められて
いる。全体は遠心圧縮ポンプ段Ａ２円周流圧縮ポンプ段
Ｂを吸気口側から排気口側へ順次連設して構成されてい
る。また、モータのロータ５ａは駆動軸４に圧入または
焼ばめされており、ステータ５ａは、モータケース９内
に圧入もしくは焼ばめで各々固定されている。
またポート１２からは軸受用潤滑油逆流防止用にシール
ガスを導入し軸シールを行なっている。
ガスを導入し軸シールを行なっている。
上記の構成からなる真空ポンプを排気口１ｂでの圧力が
大気圧の状態で運転すると、各ポンプ段が十分な圧縮作
用をし、吸気口の圧力は十分に低い圧力に達することが
できる。
大気圧の状態で運転すると、各ポンプ段が十分な圧縮作
用をし、吸気口の圧力は十分に低い圧力に達することが
できる。
上記従来技術は、排気口側が大気圧で運転されるため、
排気口側から吸気口側へ差圧が発生する。
排気口側から吸気口側へ差圧が発生する。
軸受支持部は排気口側に位置しており大気圧側である。
そのため軸受に使用される潤滑油は差圧により吸気口側
に引かれる。そのため油汚染の問題が発生する。これを
防止するため上軸受上方にシール機構が必要である。特
に大気圧から作動させる真空ポンプでは軸受負荷が大き
く、軸受の損失も大きくなるため冷却も含め潤滑油の量
も多くなる。シール機構も困難であり、複雑になるとい
う問題があった。
に引かれる。そのため油汚染の問題が発生する。これを
防止するため上軸受上方にシール機構が必要である。特
に大気圧から作動させる真空ポンプでは軸受負荷が大き
く、軸受の損失も大きくなるため冷却も含め潤滑油の量
も多くなる。シール機構も困難であり、複雑になるとい
う問題があった。
本発明の目的は、上記の問題点を解決し、完全クリーン
な真空を得る真空ポンプを提供することにある。
な真空を得る真空ポンプを提供することにある。
上記目的は、ポンプ作動中に差圧が発生し、排気口側か
ら吸気口側に流れができたとしても、吸気口側を汚染す
ることがない、空気軸受を使用することにより、達成さ
れる。
ら吸気口側に流れができたとしても、吸気口側を汚染す
ることがない、空気軸受を使用することにより、達成さ
れる。
回転軸をラジアル方向に支持する２カ所の空気軸受は、
軸のラジアル振動を非接触に支持し、スラスト方向に支
持する１カ所の空気軸受は、ロータ重量及び回転により
発生する流体力を非接触に支持する。ロータを支持する
力は圧縮空気でとられているため、排気側との間に軸シ
ール機構等を必要とせず、完全クリーンな真空を得るこ
とが可能である。
軸のラジアル振動を非接触に支持し、スラスト方向に支
持する１カ所の空気軸受は、ロータ重量及び回転により
発生する流体力を非接触に支持する。ロータを支持する
力は圧縮空気でとられているため、排気側との間に軸シ
ール機構等を必要とせず、完全クリーンな真空を得るこ
とが可能である。
以下本発明の一実施例を第１図により説明する。
第１図において、回転軸１３は吸気口１１と排気口１２
を有するハウジング１７を貫通し、空気軸受１５，１６
を介して回転自在に支持されており、該回転軸に組込ま
れたモータ１４により駆動される。吸気口側から排気口
側に至る間のハウジング内には遠心圧縮ポンプロータ１
８．遠心圧縮ポンプステータ１９２円周流圧縮ポンプロ
ータ２０゜円周流圧縮ポンプステータ２１が順次連設さ
れている。
を有するハウジング１７を貫通し、空気軸受１５，１６
を介して回転自在に支持されており、該回転軸に組込ま
れたモータ１４により駆動される。吸気口側から排気口
側に至る間のハウジング内には遠心圧縮ポンプロータ１
８．遠心圧縮ポンプステータ１９２円周流圧縮ポンプロ
ータ２０゜円周流圧縮ポンプステータ２１が順次連設さ
れている。
１５は前記回転軸１３とベース２３との間に形成される
ラジアル方向を支持する静圧軸受、１６は回転軸１３と
ベース２３．２４間に形成されたスラスト方向を支持す
る静圧軸受である。２２は前記各静圧軸受に圧縮空気を
送る圧縮空気供給穴である。
ラジアル方向を支持する静圧軸受、１６は回転軸１３と
ベース２３．２４間に形成されたスラスト方向を支持す
る静圧軸受である。２２は前記各静圧軸受に圧縮空気を
送る圧縮空気供給穴である。
以上のような構造に形成され、排気口側を大気圧で運転
する真空ポンプは、運転中に排気口側から吸気口側に差
圧による流れが発生したとしても吸気口側を汚染するこ
となく完全クリーンな真空を得ることができる真空ポン
プが提供できる。また従来の如く複雑な軸シール機構も
不要となる。
する真空ポンプは、運転中に排気口側から吸気口側に差
圧による流れが発生したとしても吸気口側を汚染するこ
となく完全クリーンな真空を得ることができる真空ポン
プが提供できる。また従来の如く複雑な軸シール機構も
不要となる。
さらに負荷により発生する熱は圧縮空気により冷却でき
るため問題ない。
るため問題ない。
本発明によれば下記の効果がある。
１）構造が簡単となる。
２）完全クリーンな真空を得ることができ利用分野が広
がる。
がる。
３）軸シール機構が不要となるため、軸方向寸法が小さ
くなり、小形コンパクトになる。
くなり、小形コンパクトになる。
第１図は、本発明の一実施例を示す真空ポンプの縦断面
図、第２図は、従来の真空ポンプの縦断面図である。 ５・・・静圧軸受（ラジアル）、６・・・静圧軸受（ス
ラスト）、１２・・・圧縮空気供給穴。 第 １ 図 ２２反縮空研胎只 猶 ２ 口 ５久 モークロー７ ５ｂ モー７ヌテータ
図、第２図は、従来の真空ポンプの縦断面図である。 ５・・・静圧軸受（ラジアル）、６・・・静圧軸受（ス
ラスト）、１２・・・圧縮空気供給穴。 第 １ 図 ２２反縮空研胎只 猶 ２ 口 ５久 モークロー７ ５ｂ モー７ヌテータ
Claims (1)
- １、吸気口と排気口を有するハウジングと該ハウジング
内に固定されたステータと該ハウジング内に回転自在に
支承されたロータからなり、該ロータの回転に伴い、前
記吸気口から吸込まれた気体を、前記排気口から直接大
気に排気することができ、翼種が吸込側から遠心圧縮ポ
ンプ段、円周流圧縮ポンプ段で構成又は遠心圧縮ポンプ
段の上流側にさらに軸流ターボ分子ポンプ段を設け構成
された一体形の真空ポンプにおいて、該回転軸をラジア
ル方向に２カ所、スラスト方向に１カ所の気体軸受によ
り支持したことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32401387A JPH01167495A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32401387A JPH01167495A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01167495A true JPH01167495A (ja) | 1989-07-03 |
Family
ID=18161161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32401387A Pending JPH01167495A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01167495A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01142594U (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-29 | ||
| JPH0378996U (ja) * | 1989-12-05 | 1991-08-12 | ||
| JPH0465992U (ja) * | 1990-10-15 | 1992-06-09 | ||
| US5328270A (en) * | 1993-03-25 | 1994-07-12 | International Business Machines Corporation | Hydrodynamic pump |
| US5328272A (en) * | 1991-12-23 | 1994-07-12 | International Business Machines | Spindle system for a disk drive |
| JP2007051430A (ja) * | 2005-08-16 | 2007-03-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | トンネル掘削機 |
-
1987
- 1987-12-23 JP JP32401387A patent/JPH01167495A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01142594U (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-29 | ||
| JPH0378996U (ja) * | 1989-12-05 | 1991-08-12 | ||
| JPH0465992U (ja) * | 1990-10-15 | 1992-06-09 | ||
| US5328272A (en) * | 1991-12-23 | 1994-07-12 | International Business Machines | Spindle system for a disk drive |
| US5430590A (en) * | 1991-12-23 | 1995-07-04 | International Business Machines Corporation | Spindle system for a disk drive |
| US5328270A (en) * | 1993-03-25 | 1994-07-12 | International Business Machines Corporation | Hydrodynamic pump |
| JP2007051430A (ja) * | 2005-08-16 | 2007-03-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | トンネル掘削機 |
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