JPH01165919A - 磁気式エンコーダ - Google Patents
磁気式エンコーダInfo
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- JPH01165919A JPH01165919A JP32501887A JP32501887A JPH01165919A JP H01165919 A JPH01165919 A JP H01165919A JP 32501887 A JP32501887 A JP 32501887A JP 32501887 A JP32501887 A JP 32501887A JP H01165919 A JPH01165919 A JP H01165919A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 92
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 9
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁界中において電気抵抗が変化する所謂磁気抵
抗効果を利用して電気信号に変換し9位置検出等を行う
磁気式エンコーダに関するものであり、特に検出精度を
向上させるようにした磁気式エンコーダの改良に関する
ものである。
抗効果を利用して電気信号に変換し9位置検出等を行う
磁気式エンコーダに関するものであり、特に検出精度を
向上させるようにした磁気式エンコーダの改良に関する
ものである。
従来の磁気式エンコーダは1例えば第4図に要部斜視図
で示すように構成されている。同図において1は回転ド
ラムであり3回転軸2の回りに回転自在に形成すると共
に2回転ドラム1の外周面には例えばγ鉄等の磁性塗膜
を設けて、NS磁極が交互に出現するように着磁する。
で示すように構成されている。同図において1は回転ド
ラムであり3回転軸2の回りに回転自在に形成すると共
に2回転ドラム1の外周面には例えばγ鉄等の磁性塗膜
を設けて、NS磁極が交互に出現するように着磁する。
次に3は感磁素子であり、ニソケルコハルトのような磁
気抵抗の異方性効果を有する強磁性利料から構成し、前
記回転ドラム1の磁極面と対向させ、かつ前記NS磁極
による磁界が作用する範囲内に所定の間隙を介して配設
する。以上の構成により1回転ドラム1の回転により、
磁気抵抗効果機能を有する感磁素子3から電気信号を発
するから1回転速度。
気抵抗の異方性効果を有する強磁性利料から構成し、前
記回転ドラム1の磁極面と対向させ、かつ前記NS磁極
による磁界が作用する範囲内に所定の間隙を介して配設
する。以上の構成により1回転ドラム1の回転により、
磁気抵抗効果機能を有する感磁素子3から電気信号を発
するから1回転速度。
位置検出等を行い得るのである。
第5図は前記第4図に示す磁気式エンコーダの検出部を
模式的に示す拡大斜視図である。同図において11は磁
気記録媒体であり、前記回転ドラム1の外周面にγ−F
e2O3などの磁性粉を塗着して構成し2長手方向に着
磁ピッチλにてNS磁極を交互に配設しである。矢印は
外部漏洩磁束であり、N極からS極に向かう。次に感磁
素子3を前記磁気記録媒体11を横断するように一定間
隙を介して設ける。すなわち31.32は磁気抵抗効果
素子であり、パーマロイ、ニソケルコハルト等の材料か
らなる薄膜をガラス基板上に薄着若しくはスパッタによ
って形成し、λ/2の距離を置いて配設すると共に、一
方の端部【″−共通の電極33を、他の端部に独立の電
極34.34を接続する。そして電極33に信号検出端
子35を、電極34.34間に直流電源36を各々接続
する。
模式的に示す拡大斜視図である。同図において11は磁
気記録媒体であり、前記回転ドラム1の外周面にγ−F
e2O3などの磁性粉を塗着して構成し2長手方向に着
磁ピッチλにてNS磁極を交互に配設しである。矢印は
外部漏洩磁束であり、N極からS極に向かう。次に感磁
素子3を前記磁気記録媒体11を横断するように一定間
隙を介して設ける。すなわち31.32は磁気抵抗効果
素子であり、パーマロイ、ニソケルコハルト等の材料か
らなる薄膜をガラス基板上に薄着若しくはスパッタによ
って形成し、λ/2の距離を置いて配設すると共に、一
方の端部【″−共通の電極33を、他の端部に独立の電
極34.34を接続する。そして電極33に信号検出端
子35を、電極34.34間に直流電源36を各々接続
する。
第6図は第5図に示す感磁素子3の等価回路図であり、
同一部分は同一の参照符号にて示す。すなわち、前記第
4図において感磁素子3と磁気記録媒体11との相対移
動によってe。なる出力電圧を得るのである。
同一部分は同一の参照符号にて示す。すなわち、前記第
4図において感磁素子3と磁気記録媒体11との相対移
動によってe。なる出力電圧を得るのである。
上記構成の従来の磁気式エンコーダにおいては。
磁気抵抗効果素子31.32の特性にヒステリシス現象
か存在するために、第6図における出力電圧e。の波形
が一定でなく、極大値および周期が異なった値を示すと
いう問題点がある。
か存在するために、第6図における出力電圧e。の波形
が一定でなく、極大値および周期が異なった値を示すと
いう問題点がある。
第7図は感磁素子3に印加される磁界と抵抗値との関係
を示す図である。同図において磁界Hs、ば略正弦波状
の一定周期で変化する。すなわち前記第5図において磁
気抵抗効果素子31.32に磁気記録媒体11による移
動磁界が作用することにより、磁気抵抗効果素子31.
32における抵抗値が逐次変化する。但し、磁界の向き
が磁気記録媒体11におけるN極、S極に応じて反対に
なる。この場合、磁気抵抗効果素子31.32における
抵抗値は、磁界Hsの変化が略正弦波状であるのに拘ら
ず、N−+Sの場合とS−Nの場合とで同一曲線を経由
ゼす、第7図に示すように抵抗値の変化にヒステリシス
が存在する。この結果、前記第6図における出ノj電圧
e。の値の変動も歪んだ波形を示すこととなる。
を示す図である。同図において磁界Hs、ば略正弦波状
の一定周期で変化する。すなわち前記第5図において磁
気抵抗効果素子31.32に磁気記録媒体11による移
動磁界が作用することにより、磁気抵抗効果素子31.
32における抵抗値が逐次変化する。但し、磁界の向き
が磁気記録媒体11におけるN極、S極に応じて反対に
なる。この場合、磁気抵抗効果素子31.32における
抵抗値は、磁界Hsの変化が略正弦波状であるのに拘ら
ず、N−+Sの場合とS−Nの場合とで同一曲線を経由
ゼす、第7図に示すように抵抗値の変化にヒステリシス
が存在する。この結果、前記第6図における出ノj電圧
e。の値の変動も歪んだ波形を示すこととなる。
第8図は出力電圧と時間との関係を示す図である。すな
わち極大値が不同であるのみならず1周期も不同となる
(T、≠T2≠T3≠T、)。このような波形の出力電
圧をある一定レベルの直流電圧と比較してパルス化する
と2周期の異なるパルス列となり、磁気式エンコーダの
検出精度を低下させるという問題点がある。一方磁気式
エンコーダの用途は益々拡大し、FA機器を初めとする
各種の分野に亘りつつあり、高精度の磁気式エンコーダ
の出現が要請されている。
わち極大値が不同であるのみならず1周期も不同となる
(T、≠T2≠T3≠T、)。このような波形の出力電
圧をある一定レベルの直流電圧と比較してパルス化する
と2周期の異なるパルス列となり、磁気式エンコーダの
検出精度を低下させるという問題点がある。一方磁気式
エンコーダの用途は益々拡大し、FA機器を初めとする
各種の分野に亘りつつあり、高精度の磁気式エンコーダ
の出現が要請されている。
本発明は上記従来技術に存在する問題点を解決し、高精
度の磁気式エンコーダを提供することを目的とするもの
である。
度の磁気式エンコーダを提供することを目的とするもの
である。
上記従来技術に存在する問題点を解決するために2本発
明においては9表面に複数の磁極が感磁素子との相対移
動方向に出現するように形成した磁石体の磁界が作用す
る範囲内に、磁石体の磁極配設面と対向しかつ所定の間
隙を介して感磁素子を前記磁石体と相対移動可能に配設
した磁気式エンコーダにおいて、前記複数の磁極を、こ
れ等による磁界が同一相対移動方向に向かうように形成
する。という技術的手段を採用したのである。
明においては9表面に複数の磁極が感磁素子との相対移
動方向に出現するように形成した磁石体の磁界が作用す
る範囲内に、磁石体の磁極配設面と対向しかつ所定の間
隙を介して感磁素子を前記磁石体と相対移動可能に配設
した磁気式エンコーダにおいて、前記複数の磁極を、こ
れ等による磁界が同一相対移動方向に向かうように形成
する。という技術的手段を採用したのである。
上記の構成により、磁石体から感磁素子に作用する磁界
の方向が一定となるため、振幅一定の出力信号および/
または高精度の出力信号を発信するという作用を期待で
きるのである。
の方向が一定となるため、振幅一定の出力信号および/
または高精度の出力信号を発信するという作用を期待で
きるのである。
(実施例〕
第1図は本発明の実施例を示す模式的説明図であり、同
一部分は前記第5図と同一の参照符号で示す。同図にお
いてllaは着磁部、11bは非着磁部である。そして
矢印aは磁気記録媒体11内におiJる磁界の方向、矢
印すは磁気記録媒体11の外方の漏洩磁界の方向を各々
示し、矢印すで示す磁界が感磁素子(図示せず)に作用
する磁界である。このような磁界を形成するには2例え
ば鎖線によって示ず着磁ヘッド4によって着磁ピッチλ
毎に個別に着磁してもよく、また一方向に着磁した後2
着磁ピッチλ毎に非着磁部11bを脱磁若しくは消磁し
てもよい。なお着磁部11aには略正弦波状の強さの磁
界を形成するのが望ましい。
一部分は前記第5図と同一の参照符号で示す。同図にお
いてllaは着磁部、11bは非着磁部である。そして
矢印aは磁気記録媒体11内におiJる磁界の方向、矢
印すは磁気記録媒体11の外方の漏洩磁界の方向を各々
示し、矢印すで示す磁界が感磁素子(図示せず)に作用
する磁界である。このような磁界を形成するには2例え
ば鎖線によって示ず着磁ヘッド4によって着磁ピッチλ
毎に個別に着磁してもよく、また一方向に着磁した後2
着磁ピッチλ毎に非着磁部11bを脱磁若しくは消磁し
てもよい。なお着磁部11aには略正弦波状の強さの磁
界を形成するのが望ましい。
第2図は本発明の実施例における磁界と抵抗値との関係
を示す図であり、上記構成の磁気記録媒体11と例えば
第5図に示す感磁素子3との組み合わせによる作用を説
明するものである。すなわち感磁素子に作用する磁界H
sは一方向かつ正弦波状に変化するものであるため、感
磁素子における抵抗値の変化は矢印にて示すように同−
曲線上の往復であり、従来のものにおけるようなヒステ
リシスが認められない。また若干のヒステリシスが存在
したとしても、所謂マイナーループを使用するため、抵
抗値の変化誤差を小さくすることができる。
を示す図であり、上記構成の磁気記録媒体11と例えば
第5図に示す感磁素子3との組み合わせによる作用を説
明するものである。すなわち感磁素子に作用する磁界H
sは一方向かつ正弦波状に変化するものであるため、感
磁素子における抵抗値の変化は矢印にて示すように同−
曲線上の往復であり、従来のものにおけるようなヒステ
リシスが認められない。また若干のヒステリシスが存在
したとしても、所謂マイナーループを使用するため、抵
抗値の変化誤差を小さくすることができる。
第3図は本発明の実施例における出力電圧と時間との関
係を示す図であり、前記従来のものにおける第8図と対
応する。第3図から明らかなように出力電圧は振幅およ
び周期共同−の値を示し。
係を示す図であり、前記従来のものにおける第8図と対
応する。第3図から明らかなように出力電圧は振幅およ
び周期共同−の値を示し。
所謂波形の歪みが認められない。従って第3図に示すよ
うな出力電圧をある一定の直流電圧と比較してパルス化
した場合においても、同一周期のパルス列を形成し、磁
気式エンコーダの検出精度を大幅に向上させ得るのであ
る。
うな出力電圧をある一定の直流電圧と比較してパルス化
した場合においても、同一周期のパルス列を形成し、磁
気式エンコーダの検出精度を大幅に向上させ得るのであ
る。
本実施例においては、磁石体が回転ドラムである場合に
ついて記述したが、磁石体を長方形として感磁素子とリ
ニアな状態で相対移動する形式の磁気センサについても
作用は同一である。
ついて記述したが、磁石体を長方形として感磁素子とリ
ニアな状態で相対移動する形式の磁気センサについても
作用は同一である。
本発明は以上記述のような構成および作用であるから、
感磁素子からの出力電圧の振幅および/または周期の値
を路間−の値とすることができ。
感磁素子からの出力電圧の振幅および/または周期の値
を路間−の値とすることができ。
上記出力電圧に基づくパルス列を同一周期化することが
でき、磁気式エンコーダの検出精度を大幅に向上させ得
るという効果がある。
でき、磁気式エンコーダの検出精度を大幅に向上させ得
るという効果がある。
第1図は本発明の実施例を示す模式的説明図。
第2図は本発明の実施例における磁界と抵抗値との関係
を示す図、第3図は本発明の実施例における出力電圧と
時間との関係を示す図、第4図は従来の磁気式エンコー
ダの例を示す要部斜視図、第5図は第4図に示す磁気式
エンコーダの検出部を模式的に示す拡大斜視図、第6図
は第5図に示す感磁素子の等価回路図、第7図は感磁素
子に印加される磁界と抵抗値との関係を示す図、第8図
は出力電圧と時間との関係を示す図である。 1:磁石体、Ila:着磁部、Ilb:非着磁部、3:
感磁素子。
を示す図、第3図は本発明の実施例における出力電圧と
時間との関係を示す図、第4図は従来の磁気式エンコー
ダの例を示す要部斜視図、第5図は第4図に示す磁気式
エンコーダの検出部を模式的に示す拡大斜視図、第6図
は第5図に示す感磁素子の等価回路図、第7図は感磁素
子に印加される磁界と抵抗値との関係を示す図、第8図
は出力電圧と時間との関係を示す図である。 1:磁石体、Ila:着磁部、Ilb:非着磁部、3:
感磁素子。
Claims (5)
- (1)表面に複数の磁極が感磁素子との相対移動方向に
出現するように形成した磁石体の磁界が作用する範囲内
に、磁石体の磁極配設面と対向しかつ所定の間隙を介し
て感磁素子を前記磁石体と相対移動可能に配設した磁気
式エンコーダにおいて、前記複数の磁極を、これ等によ
る磁界が同一相対移動方向に向かうように形成したこと
を特徴とする磁気式エンコーダ。 - (2)複数の磁極を磁界の強さが異なるように形成した
特許請求の範囲第1項記載の磁気式エンコーダ。 - (3)磁極間に非着磁部を設けた特許請求の範囲第1項
記載の磁気式エンコーダ。 - (4)磁石体が回転磁石体である特許請求の範囲第1項
ないし第3項何れかに記載の磁気式エンコーダ。 - (5)磁石体を直線状に形成した特許請求の範囲第1項
ないし第3項何れかに記載の磁気式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32501887A JPH01165919A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32501887A JPH01165919A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気式エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01165919A true JPH01165919A (ja) | 1989-06-29 |
Family
ID=18172219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32501887A Pending JPH01165919A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気式エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01165919A (ja) |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP32501887A patent/JPH01165919A/ja active Pending
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