JPH01135481A - 研磨テープの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、磁気ヘッド、磁気ディスク等の仕上げ研磨や
、金型の精密仕上げ研磨等に使用される研磨テープおよ
びその製造方法に関するものである。

［従来の技術］ 精密機械部品や精密電気部品等に使用される磁気ヘッド
等の表面は、ミクロンまたはサブミクロンオーダー以下
の精密表面に仕上げられることが要求されており、例え
ば、高硬度の無機質微粉末からなる研磨材を樹脂溶液中
に分散させた無機質微粉末の分散樹脂液を、樹脂フィル
ムや合成紙等からなる研磨テープ用基材の表面に塗布、
乾燥して研磨層を形成することによって得られた研磨テ
ープ（例えば特公昭５３−４４７１４号公報）等による
研磨仕上げが行なわれている。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、前記従来の研磨テープは、研磨層の表面に、
稀に、凸部が発生していることがあり、精密仕上げが必
要とされる被研磨体の表面に、前記研磨層における凸部
に起因する傷が発生し、均質な研磨仕上げ面が得られな
くなるという欠点を有している。

これに対して、米菓１の発明の研磨テープは、研磨層の
表面に突出した凸部の存在が無く、精密仕上げの歩留り
の極めて良好な研磨仕上げをなし得る研磨テープを、ま
た、米菓２の発明は、研磨層の表面に突出した凸部が無
く、精密仕上げの歩留りの極めて良好な研磨仕上げをな
し得るところの研磨テープを、容易、かつ、確実に得る
方法を提供するものである。

［問題点を解決するための手段コ 米菓１の発明は、フィルム状をなす研磨テープ用基材の
表面に研磨層を具備する研磨テープであり、前記研磨層
の表面粗度が、下記式（１）％式％（１） （但し、式中 Ｒ１は、研磨層の断面曲線の基準長さ内における最大の
山の頂点から前記断面曲線の平均線までの距離を表わし
、 ＲＸは、研磨層の断面曲線の基準長さ内における最大の
山〜第５番目の山の各頂点から前記断面曲線の平均線ま
での距離の算術平均値を表わす。） を満足するものである。

また、米菓２の発明は、フィルム状をなす研磨テープ用
基材の表面に、研磨材と硬化型のバインダー成分とを含
有する研磨層形成用の塗布液を塗布、乾燥して塗布層を
形成した後、前記塗布層中におけるバインダー成分が硬
化反応を開始する前に、インライン内で前記塗布層の表
面を、熱ロールとニップロールとによるカレンダー処理
に付することによって研磨層を形成するものである。

前記構成からなる米菓１〜２の発明における研磨テープ
用基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート
、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ジー酢酸アセテ
ート、トリー酢酸アセテート、ポリエチレン、ポリブチ
レンテレフタレート、ポリアクリレート等からなる厚さ
１２〜１５０μｍ程度の、機械的強度１寸法安定性、耐
熱性等において優れた性質を有する樹脂フィルムが使用
される。

また、研磨層は、高硬度の無機質微粉末からなる研磨材
をバインダー成分中に充填させたものであり、研磨材た
る無機質微粉末としては、例えば、酸化アルミニュウム
、炭化珪素、窒化珪素、酸化ジルコニューム、酸化クロ
ム、酸化鉄、ダイヤモンド、窒化ホウ素、エメリー等か
らなる１次粒子径０．１〜２０μｍ程度のものが使用さ
れる。また、バインダー成分としては、例えば、ポリエ
ステル樹脂、塩・酢ビ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹
脂、エポキシ樹脂、ブチラール樹脂、硝化綿等に、トル
イレンジイソシアナート（ＴＤＩ）、キシリレンジイソ
シアナート（ＸＤＩ）、ヘキサメチレンジイソシアナー
ト（ＨＭＤＩ）等のインシアナート系硬化剤を、［硬化
剤中のイソシアナート基（−ＮＧＯ）／樹脂中の官能基
コで表示される両者の当量比が、０，５〜１０程度とな
るよう添加した樹脂成分が使用される。なお、前記研磨
層は、バインダー成分中に無機質微粉末が充填されてい
るものであり、通常、バインダー固形成分１００重量部
に対して研磨材たる無機質微粉末が１００〜１４００重
量部程度の割合で充填されている。

前記米菓１の発明の研磨テープにおける研磨層は、その
表面粗度が、 研磨層の断面曲線の基準長さ内における最大の山の頂点
から前記断面曲線の平均線までの距離をＲ２で表わし、 研磨層の断面曲線の基準長さ内における最大の山、第２
番目の山、第３番目の山、第４番目の山、および第５番
目の山のそれぞれの山の各頂点から前記断面曲線の平均
線までの距淵の算術平均値をＲｘで表わした場合に、Ｒ
ｐ　　Ｒｘ　＜Ｒｐ　／　１０　　・・・・・・（１）
の関係を満足しているものである。

すなわち、米菓１の発明の研磨テープにおける研磨層は
、その表面に突出した凸部の存在が無く、研磨層の表面
における凸部の高さが平均しているものである。

なお、前記（１）式においてＲＰやＲｘで表示される数
値は、ＪＩＳ−Ｂ　０６０１に関連するものであり、図
に示されるような形状を呈する研磨層の断面曲線におい
て、 Ｒｐ　＝　Ｒｓ Ｒｘ　”　（Ｒ＋　＋Ｒ２＋Ｒ３＋Ｒ４＋Ｒ５）　／　
５なる関係を有するものである。

更に、米菓２の発明の方法で使用する研磨層形成用の塗
布液は、前述の高硬度の無機質微粉末からなる研磨材と
硬化型のバインダー成分とを、前記バインダー成分にお
ける樹脂の種類に応じた溶剤、例えば、ドルオール、キ
ジロール。

メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン。

アノン、酢酸エチル、酢酸ブチル等からなる単独または
２種以上の混合溶剤に混合して得られる１０〜１０００
ｃｐｓ程度のものであり、前記本発明方法では、前述の
研磨層形成用の塗布液を研摩テープ用基材の表面に塗布
、乾燥することによって、厚さ３〜５０μｍ程度の塗布
層を形成し、次いで、前記塗布層中におけるバインダー
成分が硬化反応開始する前に、インライン内で前記塗布
層の表面を、熱ロールとニップロールとによるカレンダ
ー処理に付するものである。

なお、前記研磨テープ用基材に研磨層形成用の塗布液を
塗布する方法には、２本ロール、３木ロール、４木ロー
ル等によるロールコート、グラビアコート、キスコート
、ナイフコート、バーコード、ロッドコート、コンマコ
ート、スプレーコート、パークコート等があり、ロール
コート法とグラビアコート法とにおいては、ダイレクト
法とリバース法との両方法が利用し得るし、特に、２本
、３本、４本リバースロールコート法を利用する場合に
は、表面平滑性に優れた塗布層が得られる。

［実施例コ 以下、本発明の研摩テープとその製造方法とを実施例に
基づいて説明する。

実施例１ 下記組成の研磨材分散樹脂液［Ａ］に対して、キシリレ
ンジイソシアナート［諸星インキ（株）製、ＸＥＬ硬化
剤（Ｄ）］を、前記研磨材分散樹脂液［Ａ］中のポリエ
ステル樹脂における一ＯＨ基と添加されるキシリレンジ
イソシアナートのイソシアナート基（−ＮＧＯ）との関
係が、（−ＮＧＯ／−０Ｈ）＝５　（当量比）に相当す
る量で添加し、引き続いて、トルエンとメチルエチルケ
トンとの等当量混合溶剤で稀釈して得られた粘度８５ｃ
ｐの塗布液を、厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレ
ートフィルムからなる研磨テープ用基材の表面に３本リ
バース法にて塗布、乾燥して塗布層を形成した後、前記
塗布層中におけるバインダー成分が硬化反応を開始する
前のインライン内で、前記塗布層の表面に、ロール温度
８５℃の熱ロールとニップロールとによる圧力５　Ｋｇ
／ｃｍ２のカレンダー処理を施すことによって、厚さ２
０μｍの研磨層を形成し、本発明の１実施例品たる研磨
テープ［ｉｌを得た。

前記得られた研磨テープ［ｉｌにおける研磨層の表面の
Ｒ１は４．１μｍであり、ＲＸは３．９μｍであった。

また、ＲＰ−Ｒｘ＝０．２　μｍ Ｒ，／　１０　＝０．４１μｍである。

［東洋紡績（株）：バイロン＄３００］（２）　　酸化
アルミニュウム・・・・・・・・・・・・２００重量部
［不二見研磨剤（株）　：　ＷＡ　＃４０００］（３）
トルエン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・　　６０　重量部（４）　　メチルエチルケトン
・・・・・・・・・・・・　６０重量部比較例１ 前記実施例１における研磨テープ［ｉｌの製造工程中で
のカレンダー処理工程を省略することによって、比較の
ための研磨テープ［ｉｉｌを得た。

前記比較のための研磨テープ［ｉｉｌにおける研磨層の
表面のＲＰは５．５μｍ１また、ＲＸは４．２μｍであ
った。

また、Ｒｐ’　　Ｒｘ　＝１．３μｍ Ｒｐ　／　１０　＝　０．５５μｍである。

実験１ 前記実施例１で得られた研磨テープ［ｉｌと前記比較例
１で得られた研磨テープ［ｉｉｌとを使用して、各研磨
テープを２０　ｍｍ／ｓｅｃ、の速度で送りながら、中
心線平均粗さ０．０４５μｍの３インチフロッピーディ
スク［日本メモレックス（株）製］の表面研磨仕上げを
実施した。

前記研磨仕上げによってフロッピーディスクの研磨仕上
げ面に筋状の傷が発生し、研磨不良となった製品数は、
研磨テープ［ｉｌを使用した場合の研磨仕上げでは６枚
／　１０００枚、また、研磨テープ［ｉｉｌを使用した
場合の研磨仕上げでは３０枚７１０００枚であった。

実施例２ 前記実施例１における研磨テープ［ｉｌの製造工程で使
用した研磨材分散樹脂液［Ａ］における［不二見研磨剤
（株）　：ＷＡ　＃　４０００　］からなる研磨材の代
りに、［不二見研磨剤（株）＝ＷＡ　＃　８０００　］
の酸化アルミニュウムよりなる研磨材を使用する以外は
、全て前記実施例１と同様の処方に付し、本発明の１実
施例品たる研磨テープ［１ｉｉｌを得た。

前記得られた研磨テープ［ｉｉｉ］における研磨層の表
面のＲＰは１．０μｍ、また、ＲＸは０．９５μｍであ
った。

また、Ｒ，−ＲＸ　＝０．０５μｍ Ｒｐ　／　１０−０．１　μｍである。

比較例２ 前記実施例１における研磨テープ［ｉｉｌの製造工程中
でのカレンダー処理工程を省略することによって、比較
のための研磨テープ［ｉｖ］を得た。

前記比較のための研磨テープ［ｉｖ］における研磨層の
表面のＲＰは１．２０μｍ１また、Ｒｘは０．９８μｍ
であった。

また、Ｒｐ　−ＲＸ　＝０．２２μｍ Ｒｐ　／　１０　＝　０．１２μｍである。

実験２ 前記実施例２で得られた研磨テープ［ｉｉｉ］　と前記
比較例２で得られた研磨テープ［ｉ　ｖｌとを使用して
、単結晶フェライトのＶＴＲ用磁気ヘッドの研磨仕上げ
を実施した。

前記研磨仕上げによって磁気ヘッドの研磨仕上げ面に５
μ以上のチッピングが発生し、研磨不良となった製品数
は、研磨テープ［ｉ　ｉ　ｉ］　を使用した場合の研磨
仕上げでは２個／１００個、研磨テープ［ｉｖｌを使用
した場合の研磨仕上げでは１０個／１００個であった。

［発明の作用、効果］ 木筆１の発明の研磨テープは、フィルム状をなす研磨テ
ープ用基材の表面に形成されている研磨層の表面粗度が
、下記（１）式 ％式％（１） （但し、式中 Ｒｐは、研磨層の断面曲線の基準長さ内における最大の
山の頂点から前記断面曲線の平均線までの距離を表わし
、 ＲＸは、研磨層の断面曲線の基準長さ内における最大の
山〉第５番目の山の各頂点から前記断面曲線の平均線ま
での距離の算術平均値を表わす。） を満足するものである。

しかして、木筆１の発明の研磨テープは、該研磨テープ
における研磨層の表面粗度が前記（１）式を満足するも
のであるから、研磨層の表面には突出した凸部の存在が
無く、従って、該研磨テープを利用することによって、
精密仕上げの歩留りの極めて良好な研磨仕上げを実施し
得るという作用、効果を奏するものである。

また、木筆２の発明の得る研磨テープの製造方法は、フ
ィルム状をなす研磨テープ用基材の表面に、研磨材と硬
化型のバインダー成分とを含有する研磨層形成用の塗布
液を塗布、乾燥して塗布層を形成する第１工程と、前記
塗布層中におけるバインダー成分が硬化反応を開始する
前に、インライン内で前記塗布層の表面を、熱ロールと
ニップロールとによるカレンダー処理に付する第２工程
とからなるものである。

しかして、木筆２の発明の研磨テープの製造方法におい
ては、前記第１工程と第２工程との結合によって、研磨
層の表面に突出した凸部が無く、精密仕上げの歩留りの
極めて良好な研磨仕上げをなし得るところの研磨テープ
を、容易。

かつ、確実に得ることができるという作用、効果を奏す
るものである。

【図面の簡単な説明】

図は、研磨テープにおける研磨層の基準長さ内の断面拡
大曲線を例示しているものである。 Ｌ　：研磨層の基準長さ Ｒ１：研磨層の断面曲線の基準長さ内における第３番目
の山の頂点から前記断面曲 線の平均線までの距離 Ｒ２：研磨層の断面曲線の基準長さ内における第４番目
の山の頂点から前記断面曲 線の平均線までの距離 Ｒ３：研磨層の断面曲線の基準長さ内における第２番目
の山の頂点から前記断面曲 線の平均線までの距離 Ｒ４：研磨層の断面曲線の基準長さ内における第５番目
の山の頂点から前記断面曲 線の平均線までの距離 Ｒ５：研磨層の断面曲線の基準長さ内における最大の山
の頂点から前記断面曲線の 平均線までの距離 Ｒｐ　＝　Ｒｓ ＲＸ＝　（Ｒ１＋　Ｒ２＋　Ｒ３＋　Ｒ４＋　Ｒ５）　
／　５である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）フィルム状をなす研磨テープ用基材の表面に研磨
   層を具備する研磨テープにおいて、前記研磨層の表面粗
   度が、下記式（１）式を満足することを特徴とする研磨
   テープ。 Ｒ＿Ｐ−Ｒ＿Ｘ≦Ｒ＿Ｐ／１０・・・　・・・（１）（
   但し、式中 Ｒ＿Ｐは、研磨層の断面曲線の基準長さ内 における最大の山の頂点から前記断面曲 線の平均線までの距離を表わし、 Ｒ＿Ｘは、研磨層の断面曲線の基準長さ内 における最大の山〜第５番目の山の各頂 点から前記断面曲線の平均線までの距離 の算術平均値を表わす。）
2. （２）フィルム状をなす研磨テープ用基材の表面に、研
   磨材と硬化型のバインダー成分とを含有する研磨層形成
   用の塗布液を塗布、乾燥して塗布層を形成した後、前記
   塗布層中におけるバインダー成分が硬化反応を開始する
   前に、インライン内で前記塗布層の表面を、熱ロールと
   ニップロールとによるカレンダー処理に付することを特
   徴とする研磨テープの製造方法。