JP7505004B2 - 光走査装置、その駆動方法、及び画像描画システム - Google Patents
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Description
図1は、一実施形態に係る画像描画システム10を概略的に示す。画像描画システム10は、光走査装置2と光源3とを有する。光走査装置2は、マイクロミラーデバイス(以下、MMD(Micro Mirror Device)という。)4と、駆動制御部5とで構成されている。駆動制御部5は、本開示の技術に係るプロセッサの一例である。
V1A(t)=Voff1+V1sin(2πfd1t)
V1B(t)=Voff1+V1sin(2πfd1t+α)
V2A(t)=Voff2+V2sin(2πfd2t+φ)
V2B(t)=Voff2+V2sin(2πfd2t+β+φ)
次に、第2実施形態に係る画像描画システムについて説明する。本実施形態の画像描画システムは、MMD4における一対の第1角度検出センサ11A,11B、及び一対の第2角度検出センサ12A,12Bの配置が第1実施形態と異なる。一対の第1角度検出センサ11A,11Bについては、第1実施形態では、第1軸a1を挟んで対向する位置に配置しているのに対して、第2実施形態では、第2軸a2を挟んで対向する位置に配置する。一対の第2角度検出センサ12A,12Bについては、第1実施形態では、第2軸a2を挟んで対向する位置に配置しているのに対して、第2実施形態では、第1軸a1を挟んで対向する位置に配置する。
次に、上記各実施形態の変形例について説明する。上記各実施形態では、ゲイン調整回路74は、第1BPF回路75A及び第2BPF回路75Bにより、第2駆動周波数fd2を有する振動ノイズを抽出している。これに代えて、第1駆動周波数fd1と第2駆動周波数fd2との間にカットオフ周波数を有するローパスフィルタ回路により、第2駆動周波数fd2を有する振動ノイズを抽出してもよい。また、上記各実施形態では、ゲイン調整回路84は、第1BPF回路85A及び第2BPF回路85Bにより、第1駆動周波数fd1を有する振動ノイズを抽出している。これに代えて、第1駆動周波数fd1と第2駆動周波数fd2との間にカットオフ周波数を有するハイパスフィルタ回路により、第1駆動周波数fd1を有する振動ノイズを抽出してもよい。
次に、本開示の技術との比較例について説明する。本開示の技術では、上述のように、一対の角度検出センサからの出力された一対の出力信号を加算又は減算することにより、振動ノイズを除去している。これに対して、角度検出センサからの出力された出力信号に対して周波数フィルタ処理を施すことにより振動ノイズを除去することが考えられる。以下、比較例として、周波数フィルタ処理により振動ノイズを除去する例について説明する。
Claims (16)
- 入射光を反射する反射面を有するミラー部と、
前記ミラー部の静止時の前記反射面を含む平面内にある第1軸の周りに前記ミラー部を揺動させる第1アクチュエータと、
前記ミラー部の静止時の前記反射面を含む平面内であって前記第1軸に直交する第2軸の周りに前記ミラー部を揺動させる第2アクチュエータと、
前記ミラー部の前記第1軸周りの角度に応じた信号を出力する一対の第1角度検出センサであって、前記第1軸を挟んで対向する位置に配置された一対の第1角度検出センサと、
少なくとも1つのプロセッサと、
を備える光走査装置であって、
前記プロセッサは、
前記一対の第1角度検出センサから出力された一対の第1出力信号のうちの一方から他方を減算することにより、前記ミラー部の前記第1軸周りの角度を表す第1角度検出信号を生成する、
光走査装置。 - 前記プロセッサは、
前記一対の第1出力信号のうち、少なくとも一方の振幅レベルを調整することにより、前記一対の第1出力信号のそれぞれに含まれる振動ノイズの振幅を一致させた後、前記一対の第1出力信号のうちの一方から他方を減算する、
請求項1に記載の光走査装置。 - 前記プロセッサは、
前記第1アクチュエータに付与する第1駆動信号を生成する第1駆動信号生成部を有し、
前記第1角度検出信号を前記第1駆動信号生成部にフィードバックする、
請求項1又は請求項2に記載の光走査装置。 - 前記第1駆動信号生成部は、位相同期回路を有する駆動回路である、
請求項3に記載の光走査装置。 - 前記第1駆動信号は正弦波である、
請求項3又は請求項4に記載の光走査装置。 - 前記第1角度検出センサは圧電素子である、
請求項1から請求項5のうちいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記ミラー部の前記第2軸周りの角度に応じた信号を出力する一対の第2角度検出センサであって、前記第2軸を挟んで対向する位置に配置された一対の第2角度検出センサをさらに備え、
前記プロセッサは、
前記一対の第2角度検出センサから出力された一対の第2出力信号のうちの一方から他方を減算することにより、前記ミラー部の前記第2軸周りの角度を表す第2角度検出信号を生成する、
請求項1から請求項6のうちいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記プロセッサは、
前記一対の第2出力信号のうち、少なくとも一方の振幅レベルを調整することにより、前記一対の第2出力信号のそれぞれに含まれる振動ノイズの振幅を一致させた後、前記一対の第2出力信号のうちの一方から他方を減算する、
請求項7に記載の光走査装置。 - 前記プロセッサは、
前記第2アクチュエータに付与する第2駆動信号を生成する第2駆動信号生成部を有し、
前記第2角度検出信号を前記第2駆動信号生成部にフィードバックする、
請求項7又は請求項8に記載の光走査装置。 - 前記第2駆動信号生成部は、位相同期回路を有する駆動回路である、
請求項9に記載の光走査装置。 - 前記第2駆動信号は正弦波である、
請求項9又は請求項10に記載の光走査装置。 - 前記第2角度検出センサは圧電素子である、
請求項7から請求項11のうちいずれか1項に記載の光走査装置。 - 請求項7から請求項12のうちいずれか1項に記載の光走査装置と、
前記ミラー部に光を照射する光源と、
を備える画像描画システムであって、
前記プロセッサは、前記第1角度検出信号及び前記第2角度検出信号に基づいて、前記光源の光の照射タイミングを制御する、
画像描画システム。 - 入射光を反射する反射面を有するミラー部と、
前記ミラー部の静止時の前記反射面を含む平面内にある第1軸の周りに前記ミラー部を揺動させる第1アクチュエータと、
前記ミラー部の静止時の前記反射面を含む平面内であって前記第1軸に直交する第2軸の周りに前記ミラー部を揺動させる第2アクチュエータと、
前記ミラー部の前記第1軸周りの角度に応じた信号を出力する一対の第1角度検出センサであって、前記第1軸を挟んで対向する位置に配置された一対の第1角度検出センサと、
を備える光走査装置の駆動方法であって、
前記一対の第1角度検出センサから出力された一対の第1出力信号のうちの一方から他方を減算することにより、前記ミラー部の前記第1軸周りの角度を表す第1角度検出信号を生成する、
光走査装置の駆動方法。 - 入射光を反射する反射面を有するミラー部と、
前記ミラー部の静止時の前記反射面を含む平面内にある第1軸の周りに前記ミラー部を揺動させる第1アクチュエータと、
前記ミラー部の静止時の前記反射面を含む平面内であって前記第1軸に直交する第2軸の周りに前記ミラー部を揺動させる第2アクチュエータと、
前記ミラー部の前記第1軸周りの角度に応じた信号を出力する一対の第1角度検出センサであって、前記第1軸又は前記第2軸を挟んで対向する位置に配置された一対の第1角度検出センサと、
前記ミラー部の前記第2軸周りの角度に応じた信号を出力する一対の第2角度検出センサであって、前記第1軸又は前記第2軸を挟んで対向する位置に配置された一対の第2角度検出センサと、
少なくとも1つのプロセッサと、
を備える光走査装置であって、
前記プロセッサは、
前記一対の第1角度検出センサから出力された一対の第1出力信号のうち、少なくとも一方の振幅レベルを調整し、振幅レベル調整後の一対の第1出力信号を加算又は減算することにより、前記ミラー部の前記第1軸周りの角度を表す第1角度検出信号を生成し、
前記一対の第2角度検出センサから出力された一対の第2出力信号のうち、少なくとも一方の振幅レベルを調整し、振幅レベル調整後の一対の第2出力信号を加算又は減算することにより、前記ミラー部の前記第2軸周りの角度を表す第2角度検出信号を生成する、
光走査装置。 - 入射光を反射する反射面を有するミラー部と、
前記ミラー部の静止時の前記反射面を含む平面内にある第1軸の周りに前記ミラー部を揺動させる第1アクチュエータと、
前記ミラー部の静止時の前記反射面を含む平面内であって前記第1軸に直交する第2軸の周りに前記ミラー部を揺動させる第2アクチュエータと、
前記ミラー部の前記第1軸周りの角度に応じた信号を出力する一対の第1角度検出センサであって、前記第1軸又は前記第2軸を挟んで対向する位置に配置された一対の第1角度検出センサと、
前記ミラー部の前記第2軸周りの角度に応じた信号を出力する一対の第2角度検出センサであって、前記第1軸又は前記第2軸を挟んで対向する位置に配置された一対の第2角度検出センサと、
を備える光走査装置の駆動方法であって、
前記一対の第1角度検出センサから出力された一対の第1出力信号のうち、少なくとも一方の振幅レベルを調整し、振幅レベル調整後の一対の第1出力信号を加算又は減算することにより、前記ミラー部の前記第1軸周りの角度を表す第1角度検出信号を生成し、
前記一対の第2角度検出センサから出力された一対の第2出力信号のうち、少なくとも一方の振幅レベルを調整し、振幅レベル調整後の一対の第2出力信号を加算又は減算することにより、前記ミラー部の前記第2軸周りの角度を表す第2角度検出信号を生成する、
光走査装置の駆動方法。
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