JP7495232B2 - 測定装置 - Google Patents
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
2 保持部
3 信号処理ユニット
4a,4b プローブ
5,5a 移動機構
8 処理部
9 記憶部
10 校正基準部
11 信号生成部
14a,14b プローブ接続部
15a~15c ケーブル接続部
12 A/D変換部
Ca 信号ケーブル
Cb データケーブル
Dc 制御データ
Dmo,Dmi 測定値データ
Dp 補正用データ
Dr 測定結果データ
Ds 基準値データ
L1,L2,L3 信号伝達経路
Si 入力信号
So 出力信号
X 検査対象
Claims (5)
- 測定対象を保持可能に構成された保持部と、
前記測定対象にプロービングさせられて当該測定対象から第1の高周波信号を入力するプローブと、
前記保持部によって保持された前記測定対象に対して前記プローブをプロービング可能に少なくとも当該保持部に対する当該プローブの移動が可能に構成された第1の移動機構と、
前記第1の高周波信号をA/D変換して第1のデータを生成する第1のA/D変換部を有すると共に前記プローブが接続されるプローブ接続部が設けられた信号処理部と、
前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせると共に前記第1のデータに基づいて当該測定対象についての予め規定された被測定量を特定可能な測定結果データを生成する測定処理を実行する処理部とを備えた測定装置であって、
複数の前記信号処理部を備えると共に、前記第1の移動機構による前記プローブの前記保持部に対する相対的な移動によって当該プローブをプロービング可能なプロービング可能領域内に配設された校正基準部を備え、
前記保持部は、前記測定対象および前記校正基準部を前記プロービング可能領域内に並べて載置可能に構成され、
前記第1の移動機構は、前記保持部および前記校正基準部に対して前記各信号処理部を別個独立して移動可能に構成され、
前記信号処理部は、前記プローブ接続部、前記第1のA/D変換部、当該プローブ接続部から当該第1のA/D変換部に至る第1の信号伝達経路を構成する第1の構成要素、第2の高周波信号を生成する信号生成部、当該第2の高周波信号をA/D変換して第2のデータを生成する第2のA/D変換部、当該信号生成部から前記プローブ接続部に至る第2の信号伝達経路を構成する第2の構成要素、および当該信号生成部から当該第2のA/D変換部に至る第3の信号伝達経路を構成する第3の構成要素を備え、
前記プローブ接続部、前記第1のA/D変換部、前記第1の構成要素、前記信号生成部、前記第2のA/D変換部、前記第2の構成要素および前記第3の構成要素は、相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態で前記プローブと共に前記第1の移動機構に取り付けられ、
前記処理部は、前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせて当該校正基準部から前記第1の高周波信号を入力させると共に、前記第1のA/D変換部によって生成された前記第1のデータに基づき、前記測定対象についての前記測定結果データを補正するための補正用データを生成する補正用データ生成処理を実行可能に構成され、前記測定処理において、前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第2の高周波信号を当該測定対象に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第1のA/D変換部によって生成された前記第1のデータおよび前記第2のA/D変換部によって生成された前記第2のデータに基づいて前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理において、前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第2の高周波信号を当該校正基準部に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第1のA/D変換部によって生成された前記第1のデータおよび前記第2のA/D変換部によって生成された前記第2のデータに基づいて前記補正用データを生成すると共に、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第2の高周波信号を出力させ、かつ当該いずれかの信号処理部に接続された当該プローブから前記第1の高周波信号を入力させた状態で、当該いずれかの信号処理部における前記第1のA/D変換部によって生成される前記第1のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第2のA/D変換部によって生成される前記第2のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第1の処理と、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第2の高周波信号を出力させ、かつ他のいずれかの信号処理部に接続された前記プローブから前記第1の高周波信号を入力させた状態で、当該他のいずれかの信号処理部における前記第1のA/D変換部によって生成される前記第1のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第2のA/D変換部によって生成される前記第2のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第2の処理とを実行可能に構成され、当該第2の処理において第1の周波数の前記第2の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第1の測定処理の後に、前記第2の処理において前記第1の周波数とは異なる第2の周波数の前記第2の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第2の測定処理を実行するときに、前記第2の処理において前記第2の周波数の前記第2の高周波信号を出力させる前記補正用データ生成処理を実行する測定装置。 - 測定対象を保持可能に構成された保持部と、
前記測定対象にプロービングさせられて当該測定対象から第1の高周波信号を入力するプローブと、
前記保持部によって保持された前記測定対象に対して前記プローブをプロービング可能に少なくとも当該保持部に対する当該プローブの移動が可能に構成された第1の移動機構と、
前記第1の高周波信号をA/D変換して第1のデータを生成する第1のA/D変換部を有すると共に前記プローブが接続されるプローブ接続部が設けられた信号処理部と、
前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせると共に前記第1のデータに基づいて当該測定対象についての予め規定された被測定量を特定可能な測定結果データを生成する測定処理を実行する処理部とを備えた測定装置であって、
複数の前記信号処理部を備えると共に、前記第1の移動機構による前記プローブの前記保持部に対する相対的な移動によって当該プローブをプロービング可能なプロービング可能領域内に配設された校正基準部を備え、
前記保持部は、前記プロービング可能領域内に前記校正基準部と並べて配置され、
前記第1の移動機構は、前記保持部および前記校正基準部に対して前記各信号処理部を別個独立して移動可能に構成され、
前記信号処理部は、前記プローブ接続部、前記第1のA/D変換部、当該プローブ接続部から当該第1のA/D変換部に至る第1の信号伝達経路を構成する第1の構成要素、第2の高周波信号を生成する信号生成部、当該第2の高周波信号をA/D変換して第2のデータを生成する第2のA/D変換部、当該信号生成部から前記プローブ接続部に至る第2の信号伝達経路を構成する第2の構成要素、および当該信号生成部から当該第2のA/D変換部に至る第3の信号伝達経路を構成する第3の構成要素を備え、
前記プローブ接続部、前記第1のA/D変換部、前記第1の構成要素、前記信号生成部、前記第2のA/D変換部、前記第2の構成要素および前記第3の構成要素は、相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態で前記プローブと共に前記第1の移動機構に取り付けられ、
前記処理部は、前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせて当該校正基準部から前記第1の高周波信号を入力させると共に、前記第1のA/D変換部によって生成された前記第1のデータに基づき、前記測定対象についての前記測定結果データを補正するための補正用データを生成する補正用データ生成処理を実行可能に構成され、前記測定処理において、前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第2の高周波信号を当該測定対象に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第1のA/D変換部によって生成された前記第1のデータおよび前記第2のA/D変換部によって生成された前記第2のデータに基づいて前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理において、前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第2の高周波信号を当該校正基準部に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第1のA/D変換部によって生成された前記第1のデータおよび前記第2のA/D変換部によって生成された前記第2のデータに基づいて前記補正用データを生成すると共に、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第2の高周波信号を出力させ、かつ当該いずれかの信号処理部に接続された当該プローブから前記第1の高周波信号を入力させた状態で、当該いずれかの信号処理部における前記第1のA/D変換部によって生成される前記第1のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第2のA/D変換部によって生成される前記第2のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第1の処理と、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第2の高周波信号を出力させ、かつ他のいずれかの信号処理部に接続された前記プローブから前記第1の高周波信号を入力させた状態で、当該他のいずれかの信号処理部における前記第1のA/D変換部によって生成される前記第1のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第2のA/D変換部によって生成される前記第2のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第2の処理とを実行可能に構成され、当該第2の処理において第1の周波数の前記第2の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第1の測定処理の後に、前記第2の処理において前記第1の周波数とは異なる第2の周波数の前記第2の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第2の測定処理を実行するときに、前記第2の処理において前記第2の周波数の前記第2の高周波信号を出力させる前記補正用データ生成処理を実行する測定装置。 - 測定対象を保持可能に構成された保持部と、
前記測定対象にプロービングさせられて当該測定対象から第1の高周波信号を入力するプローブと、
前記保持部によって保持された前記測定対象に対して前記プローブをプロービング可能に少なくとも当該保持部に対する当該プローブの移動が可能に構成された第1の移動機構と、
前記第1の高周波信号をA/D変換して第1のデータを生成する第1のA/D変換部を有すると共に前記プローブが接続されるプローブ接続部が設けられた複数の信号処理部と、
前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせると共に前記第1のデータに基づいて当該測定対象についての予め規定された被測定量を特定可能な測定結果データを生成する測定処理を実行する処理部とを備えた測定装置であって、
校正基準部と、
前記第1の移動機構による前記プローブの前記保持部に対する相対的な移動によって当該プローブをプロービング可能なプロービング可能領域内への前記校正基準部の移動が可能に構成された第2の移動機構とを備え、
前記信号処理部は、前記プローブ接続部、第2の高周波信号を生成する信号生成部、前記第1のA/D変換部、前記第2の高周波信号をA/D変換して第2のデータを生成する第2のA/D変換部、当該プローブ接続部から当該第1のA/D変換部に至る第1の信号伝達経路を構成する第1の構成要素、当該信号生成部から当該プローブ接続部に至る第2の信号伝達経路を構成する第2の構成要素、および当該信号生成部から当該第2のA/D変換部に至る第3の信号伝達経路を構成する第3の構成要素を備え、
前記プローブ接続部、前記信号生成部、前記第1のA/D変換部、前記第2のA/D変換部、前記第1の構成要素、前記第2の構成要素および前記第3の構成要素は、相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態で前記プローブと共に前記第1の移動機構に取り付けられ、
前記第1の移動機構は、前記保持部および前記校正基準部に対して前記各信号処理部を別個独立して移動可能に構成され、
前記処理部は、
前記第2の移動機構を制御して前記校正基準部を前記プロービング可能領域内に移動させ、かつ前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせて当該校正基準部から前記第1の高周波信号を入力させると共に、前記第1のA/D変換部によって生成された前記第1のデータに基づき、前記測定対象についての前記測定結果データを補正するための補正用データを生成する補正用データ生成処理を実行可能に構成され、
前記測定処理において、前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第2の高周波信号を当該測定対象に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第1のA/D変換部によって生成された前記第1のデータおよび前記第2のA/D変換部によって生成された前記第2のデータに基づいて前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理において、前記第2の移動機構を制御して前記校正基準部を前記プロービング可能領域内に移動させ、前記第1の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第2の高周波信号を当該校正基準部に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第1のA/D変換部によって生成された前記第1のデータおよび前記第2のA/D変換部によって生成された前記第2のデータに基づいて前記補正用データを生成すると共に、
いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第2の高周波信号を出力させ、かつ当該いずれかの信号処理部に接続された当該プローブから前記第1の高周波信号を入力させた状態で、当該いずれかの信号処理部における前記第1のA/D変換部によって生成される前記第1のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第2のA/D変換部によって生成される前記第2のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第1の処理と、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第2の高周波信号を出力させ、かつ他のいずれかの信号処理部に接続された前記プローブから前記第1の高周波信号を入力させた状態で、当該他のいずれかの信号処理部における前記第1のA/D変換部によって生成される前記第1のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第2のA/D変換部によって生成される前記第2のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第2の処理とを実行可能に構成され、かつ当該第2の処理において第1の周波数の前記第2の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第1の測定処理の後に、前記第2の処理において前記第1の周波数とは異なる第2の周波数の前記第2の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第2の測定処理を実行するときに、前記第2の処理において前記第2の周波数の前記第2の高周波信号を出力させる前記補正用データ生成処理を実行する測定装置。 - 前記処理部は、前記測定装置が起動されたとの条件、前記プローブが交換されたとの条件、前記信号処理部の温度が予め設定された温度を超えて変化したとの条件、前記測定対象および前記校正基準部に対する前記プローブのプロービング回数が予め設定された回数に達したとの条件、当該測定装置の連続稼働時間が予め設定された時間に達したとの条件、および前記測定結果データの値と対応する基準値とが予め設定された相違量を超えて相違するとの条件のうちの予め規定された条件が満たされたか否かを監視すると共に、当該予め規定された条件が満たされたときに前記補正用データ生成処理を実行する請求項1から3のいずれかに記載の測定装置。
- 前記処理部は、前記測定対象についての前記測定結果データを前記補正用データに基づいて補正するデータ補正処理を実行する請求項1から4のいずれかに記載の測定装置。
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