JP7487739B2 - 半導体チップ及び半導体チップの製造方法 - Google Patents
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Description
炭化珪素の半導体チップは、成膜、熱処理、研磨等の様々な製造工程を経て製造されるが、このような製造工程において、半導体チップを形成している炭化珪素基板が反る場合がある。炭化珪素基板が反ってしまうと、半導体チップの実装等の際に支障が生じる場合があることから、炭化珪素基板の反りの小さい半導体チップが求められている。
本開示によれば、炭化珪素基板の反りの小さい半導体チップを提供できる。
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。以下の説明では、同一または対応する要素には同一の符号を付し、それらについて同じ説明は繰り返さない。
以下、本開示の一実施形態について詳細に説明するが、本実施形態はこれらに限定されるものではない。また、本開示においては、X1-X2方向、Y1-Y2方向、Z1-Z2方向を相互に直交する方向とする。また、X1-X2方向及びY1-Y2方向を含む面をXY面と記載し、Y1-Y2方向及びZ1-Z2方向を含む面をYZ面と記載し、Z1-Z2方向及びX1-X2方向を含む面をZX面と記載する。
最初に、半導体チップにおける反りについて説明する。
第1の実施形態の半導体チップの製造方法について、図3に基づき説明する。
次に、本実施形態の変形例について説明する。レーザ照射領域は、半導体チップにおいて所定の方向に長い長方形であれば、短冊状でなくてもよい。
次に、第1の実施形態における半導体チップ100について、図15から図18に基づき説明する。本実施形態における半導体チップは、本実施形態における半導体チップの製造方法により製造することができる。図15は、本実施形態における半導体チップの平面図である。図16は、図15における一点鎖線15A-15Bにおいて切断した断面図であり、図17は、図15における一点鎖線15C-15Dにおいて切断した断面図であり、図18は、図15における一点鎖線15E-15Fにおいて切断した断面図である。
Wdy>Wsy+2t
となり、
また、図18に示されるように、X1-X2方向において、NiSi合金層31の長さをWdxとし、ソース電極25の長さをWsxとした場合、
Wdx>Wsx+2t
となるように形成されている。
次に、第2の実施形態における半導体チップの製造方法について、図19に基づき説明する。
10a 第1面
10b 第2面
20 素子領域
21 ゲート電極
22 ゲートランナー
23 ゲート電極パッド
24 絶縁膜
25 ソース電極
30 金属膜
31 NiSi合金層
33 ドレイン電極
41 レーザ照射領域
42 レーザ未照射領域
100 半導体チップ
101、102、103、104 半導体チップ
131 NiSi合金層
150 シリコン膜
Claims (20)
- 第1面と前記第1面とは反対の第2面を有する炭化珪素基板と、
前記炭化珪素基板の前記第1面に設けられた第1の電極と、
前記第2面に設けられた第2の電極と、
を有し、
前記第1の電極は、平面視において、シリサイドを含む第1の領域と、シリサイドを含まない第2の領域と、を有し、
前記炭化珪素基板の厚さをtとし、前記第1の領域を平面視した第1の方向の長さをWdxとし、前記第2の電極を平面視した前記第1の方向の長さをWsxとした場合、
Wdx>Wsx+2t
であり、
前記第1の領域を平面視した前記第1の方向と直交する第2の方向の長さをWdyとし、前記第2の電極を平面視した前記第2の方向の長さをWsyとした場合、
Wdy>Wsy+2t
である半導体チップ。 - 平面視における前記第1の領域の形状は、
互いに平行な1対の短辺と、
前記短辺に直交し、前記短辺よりも長く、互いに平行な1対の長辺と、
を有する長方形である請求項1に記載の半導体チップ。 - 前記短辺の長さは、1.5mm以上、10.0mm以下である請求項2に記載の半導体チップ。
- 平面視における前記半導体チップの形状は、長方形であって、
前記第1の領域の長辺の長さは、前記半導体チップの一辺と同じである請求項2または請求項3に記載の半導体チップ。 - 平面視において、前記第1の領域は、前記第2の領域に囲まれている請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の半導体チップ。
- 前記第1の電極は、ニッケルまたはチタンを含む請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の半導体チップ。
- 平面視において、前記第1の電極の面積に対する前記第1の領域の面積は、73%以上、98%以下である請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の半導体チップ。
- 前記第1の方向及び前記第2の方向において、前記第1の領域は、前記第2の電極よりも両側にt以上広い請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の半導体チップ。
- 前記第1の領域に含まれるシリコンの濃度は、32wt%以上、49wt%以下である請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の半導体チップ。
- 第1面と前記第1面とは反対の第2面を有する炭化珪素基板を準備する工程と、
前記炭化珪素基板の前記第2面に素子領域を形成する工程と、
前記炭化珪素基板の前記第1面を研削する工程と、
前記研削された前記第1面に金属膜を成膜する工程と、
前記第1面に向けたレーザ光の照射により前記金属膜の一部にシリサイドを形成する工程と、
を有し、
前記研削された前記炭化珪素基板は、前記第2面が凹に反っており、
前記第1面を研削する工程と前記金属膜の一部にシリサイドを形成する工程との間に、平面視した前記第1面において直交する第1の方向と第2の方向のうち反り量の大きな方向に長い複数の第1の領域と、前記第1の領域の間の第2の領域とを画定する工程を有し、
前記金属膜の一部にシリサイドを形成する工程は、前記第2の領域にはレーザ光を照射することなく、前記第1の領域にレーザ光を照射する工程を有する半導体チップの製造方法。 - 前記炭化珪素基板の前記第1面を研削する工程において研削された前記炭化珪素基板の前記第2面の反り量は、1μm以上、500μm以下である請求項10に記載の半導体チップの製造方法。
- 前記金属膜は、ニッケルまたはチタンを含む請求項10または請求項11に記載の半導体チップの製造方法。
- 前記金属膜を成膜する工程と前記金属膜の一部にシリサイドを形成する工程との間に、シリコン膜を成膜する工程を有する請求項10から請求項12のいずれか一項に記載の半導体チップの製造方法。
- 前記炭化珪素基板の大きさは、6インチ以上である請求項10から請求項13のいずれか一項に記載の半導体チップの製造方法。
- 前記第1の領域は、短冊状である請求項10から請求項14のいずれか一項に記載の半導体チップの製造方法。
- 前記金属膜の一部にシリサイドを形成する工程の後、前記炭化珪素基板をダイシングにより分離しチップ化する工程を有する請求項10から請求項15のいずれか一項に記載の半導体チップの製造方法。
- 前記チップ化された半導体チップは、平面視における前記第1の領域の形状は、長方形である請求項16に記載の半導体チップの製造方法。
- 前記チップ化された半導体チップの平面視における形状は、長方形であって、
前記第1の領域の長辺の長さは、前記半導体チップの一辺と同じである請求項17に記載の半導体チップの製造方法。 - 前記チップ化された半導体チップは、平面視において、前記第1の領域は、前記第2の領域に囲まれている請求項16または請求項17に記載の半導体チップの製造方法。
- 前記チップ化された半導体チップは、平面視において、前記半導体チップの第1面の面積に対する前記第1の領域の面積は、75%以上、96%以下である請求項16から請求項19のいずれか一項に記載の半導体チップの製造方法。
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