JP6034694B2 - 半導体装置の製造方法及び半導体装置 - Google Patents
半導体装置の製造方法及び半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6034694B2 JP6034694B2 JP2012289260A JP2012289260A JP6034694B2 JP 6034694 B2 JP6034694 B2 JP 6034694B2 JP 2012289260 A JP2012289260 A JP 2012289260A JP 2012289260 A JP2012289260 A JP 2012289260A JP 6034694 B2 JP6034694 B2 JP 6034694B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- disproportionation
- semiconductor device
- manufacturing
- main surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
1.実施形態1に係る半導体装置100の構成
まず、実施形態1に係る半導体装置100の構成を説明する。
図1は、実施形態1に係る半導体装置100を説明するために示す図である。
次に、実施形態1に係る半導体装置の製造方法を説明する。
図2は、実施形態1に係る半導体装置の製造方法を説明するために示すフローチャートである。図3及び図4は、実施形態1に係る半導体装置の製造方法を説明するために示す図である。図3(a)〜図3(d)及び図4(a)〜図4(d)は各工程図である。
まず、図3(a)に示すように、n+型半導体層112と、n+型半導体層112の表面にエピタキシャル法により形成されたn−型半導体層114とがこの順序で積層された半導体層110を有する化合物半導体ウェーハWを準備する。化合物半導体ウェーハWは2以上の元素からなり、実施形態1においては、化合物半導体ウェーハWとして、SiCウェーハを用いる。
次に、図3(b)及び図3(c)に示すように、化合物半導体ウェーハWの第1主面側に素子120を形成する。具体的には、化合物半導体ウェーハWの第1主面側に、マスクMを形成し、所定の領域を開口した上で、当該開口を介してイオン注入法やデポジション法などの方法を用いてn−型半導体層114にp型不純物(例えばボロン)を導入してp型不純物導入領域120’を形成する。その後、化合物半導体ウェーハWに熱処理(例えば1000℃)を施してp型不純物を拡散させることにより素子120を形成する。
次に、図3(d)に示すように、化合物半導体ウェーハWの第1主面側における素子形成深さより深い深さ領域に、化合物半導体ウェーハWを構成する元素(Si,C)のうち第1元素(Si)を化学量論式で表されるよりも多く含有する第1元素過多領域(Si過多領域)及び第1元素(Si)とは別の第2元素(C)を化学量論式で表されるよりも多く含有する第2元素過多領域(C過多領域)を含む不均化層130を形成する。不均化層形成工程S30においては、素子形成深さより深い深さ領域の一部に不均化層130を形成する。
次に、図4(a)に示すように、不均化層130が所定の厚さとなるように、第2主面側から化合物半導体ウェーハWを研削する。具体的には、化合物半導体ウェーハWをグラインダ装置に設置し、化合物半導体ウェーハWの第1主面側をチャックテーブルに真空吸着した後、第2主面側からドライポリッシュ法を用いて化合物半導体ウェーハWを研削する。なお、ドライポリッシュ法に代えて、CMP法やケミカルエッチング法を用いて研削工程S40を実施してもよい。
次に、図4(b)に示すように、第2主面における不均化層130の表面に電極層140を形成する。具体的には、不均化層130の表面を洗浄した後、不均化層130の表面上に、例えばスパッタリングなどの物理気相成長法(PVD)により、電極層140の材料であるニッケルを堆積させる。次に、真空中において800℃で10分間の熱処理を行うことで不均化層130と堆積させたニッケルとをシリサイド化して電極層140を形成する。
次に、化合物半導体ウェーハをダイシングにより分割することにより、実施形態1に係る半導体装置100を製造することができる(図4(d)参照。)。
次に、実施形態1に係る半導体装置及び半導体装置の製造方法の効果を説明する。
図5は、実施形態2における不均化層形成工程S30を説明するために示す図である。
図6は、実施形態3における不均化層形成工程S30を説明するために示す図である。
図7は、実施形態4における不均化層形成工程S30を説明するために示す図である。
図8は、実施形態5における不均化層形成工程S30を説明するために示す図である。
図9は、実施形態6に係る半導体装置200を説明するために示す図である。
本試験例は、不均化層形成工程(例えばアーク放電工程)により、化合物半導体ウェーハ(SiCウェーハ)を構成する元素(Si,C)のうち第1元素(Si)を化学量論式で表されるよりも多く含有する第1元素過多領域及び第2元素(C)を化学量論式で表されるよりも多く含有する第2元素過多領域を含む不均化層を形成可能であることを確認するための試験例である。
化合物半導体ウェーハとしてのSiCウェーハの表面近傍でアーク放電をさせることによりSiCウェーハの表面に不均化層を形成し、その後、形成された不均化層を顕微鏡により観察した。図10は、試験例において形成された不均化層を示す写真である。図10に示すように、不均化層は、白い領域R1と、当該白い領域R1の中に点在する黒い領域R2とを含む。
次に、エネルギー分散型X線分析(Energy Dispersive X-ray spectroscopy,EDX)を用いて、上記した白い領域R1及び黒い領域R2のそれぞれにおいて、珪素(Si)及び炭素(C)の濃度を測定した。
図11は、白い領域R1及び黒い領域R2における珪素(Si)及び炭素(C)の濃度を示す図表である。図11からもわかるように、白い領域R1においては、Siの元素濃度が76.45mol%であり、Cの元素濃度が20.68mol%である。従って、白い領域R1においては、SiCウェーハを構成する元素(Si,C)のうち第1元素(Si)を化学量論式で表されるよりも多く含有することから、白い領域R1は、本発明における第1元素過多領域である。また、黒い領域R2においては、Siの元素濃度が14.78mol%であり、Cの元素濃度が82.18mol%である。従って、黒い領域R2においては、第1元素(Si)とは別の第2元素(C)を化学量論式で表されるよりも多く含有することから、黒い領域R2は、本発明における第2元素過多領域である。これらのことから、本試験例によれば、不均化層形成工程(アーク放電工程)により、化合物半導体ウェーハ(SiCウェーハ)を構成する元素(Si,C)のうち第1元素(Si)を化学量論式で表されるよりも多く含有する第1元素過多領域及び第2元素(C)を化学量論式で表されるよりも多く含有する第2元素過多領域を含む不均化層を形成可能であることが確認できた。
Claims (10)
- 2以上の元素からなる化合物半導体ウェーハにおいて、前記化合物半導体ウェーハの第1主面側における素子形成深さより深い深さ領域に、前記化合物半導体ウェーハを構成する元素のうち第1元素を化学量論式で表されるよりも多く含有する第1元素過多領域及び前記第1元素とは別の第2元素を化学量論式で表されるよりも多く含有する第2元素過多領域を含む不均化層を形成する不均化層形成工程と、
前記不均化層が所定の厚さとなるように、前記第1主面側とは反対側の第2主面側から前記化合物半導体ウェーハを研削する研削工程と、
前記第2主面側における前記不均化層の表面上に電極層を形成する電極層形成工程と、
前記化合物半導体ウェーハをそれぞれが半導体チップとなる複数の領域に分割するダイシング工程とをこの順序で含み、
前記不均化層形成工程においては、前記研削工程後の前記化合物半導体ウェーハの第2主面の表面に前記不均化層が残存することとなる深さ領域に前記不均化層を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記化合物半導体ウェーハは、SiCウェーハであることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法において、
前記不均化層形成工程においては、前記化合物半導体ウェーハの前記第1主面側又は前記第2主面側からレーザ光を照射することによって前記不均化層を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項3に記載の半導体装置の製造方法において、
前記不均化層形成工程においては、紫外線レーザ光を照射することによって前記不均化層を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法において、
前記不均化層形成工程においては、前記化合物半導体ウェーハの前記第2主面側で発生させたアーク放電によって前記不均化層を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記不均化層形成工程の前に、前記化合物半導体ウェーハの第1主面側に素子を形成する素子形成工程をさらに含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記不均化層形成工程と前記研削工程との間に、前記化合物半導体ウェーハの第1主面側に素子を形成する素子形成工程をさらに含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記不均化層形成工程においては、前記素子形成深さより深い深さ領域の一部に前記不均化層を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記不均化層形成工程においては、前記素子形成深さより深い深さ領域の全部に前記不均化層を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 化合物半導体ウェーハをダイシングにより分割して製造された半導体装置であって、
半導体層と、
前記半導体層の第1主面側に形成されている素子と、
前記化合物半導体ウェーハの第1主面側における素子形成深さより深い深さ領域であって、前記半導体層における前記第1主面の反対側の第2主面の表面からの厚さが所定の厚さとなる深さ領域に形成され、前記化合物半導体ウェーハを構成する元素のうち第1元素を化学量論式で表されるよりも多く含有する第1元素過多領域及び前記第1元素とは別の第2元素を化学量論式で表されるよりも多く含有する第2元素過多領域を含む不均化層と、
前記第2主面側における前記不均化層の表面に形成されている電極層とを備えることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012289260A JP6034694B2 (ja) | 2012-12-30 | 2012-12-30 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012289260A JP6034694B2 (ja) | 2012-12-30 | 2012-12-30 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014130979A JP2014130979A (ja) | 2014-07-10 |
JP6034694B2 true JP6034694B2 (ja) | 2016-11-30 |
Family
ID=51409110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012289260A Active JP6034694B2 (ja) | 2012-12-30 | 2012-12-30 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6034694B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6165313B2 (ja) * | 2015-08-12 | 2017-07-19 | 新電元工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
DE112018003116T5 (de) * | 2017-06-19 | 2020-03-05 | Rohm Co., Ltd. | Halbleiterbauelementherstellungsverfahren und struktur mit befestigtem wafer |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010135537A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP5206733B2 (ja) * | 2010-05-25 | 2013-06-12 | 株式会社デンソー | ウェハの加工方法およびそれに用いられる研磨装置、切断装置 |
JP2012051069A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Disco Corp | 研削方法 |
JP5931461B2 (ja) * | 2012-01-19 | 2016-06-08 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
-
2012
- 2012-12-30 JP JP2012289260A patent/JP6034694B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014130979A (ja) | 2014-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8216929B2 (en) | Method of manufacturing silicon carbide semiconductor device | |
JP6323252B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP6004561B2 (ja) | 炭化珪素半導体素子の製造方法 | |
JP2008135611A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2016009706A (ja) | 半導体デバイスの製造方法、半導体基板および半導体デバイス | |
US10522355B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JP5460975B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US10643897B2 (en) | Method of forming a semiconductor device | |
JP2010016188A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JP2014229843A (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法および炭化珪素半導体装置 | |
JP6034694B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
US11387326B2 (en) | Silicon carbide semiconductor device and method for manufacturing the same | |
JP5931461B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP2019050362A (ja) | シリコンカーバイド部品とシリコンカーバイド部品を製造する方法 | |
TWI600066B (zh) | Method of manufacturing silicon carbide semiconductor device | |
JP2016046309A (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
WO2021010380A1 (ja) | 半導体チップ及び半導体チップの製造方法 | |
JP2017224694A (ja) | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 | |
JP2011054914A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体ウエハ | |
JP6507308B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6309211B2 (ja) | 炭化ケイ素半導体装置 | |
US11881406B2 (en) | Method of manufacturing a semiconductor device and semiconductor wafer | |
US11887858B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing same | |
JP6762396B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2022139453A (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150604 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150604 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160517 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160518 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161011 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161028 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6034694 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |