JP7461498B2 - レーザスペクトルオンライン測定装置及びレーザスペクトルオンライン測定方法 - Google Patents
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Description
Claims (9)
- レーザから出射されたレーザビームに対して均一化処理を行うために用いられる第一光路コンポーネントと、
前記第一光路コンポーネントとともに測定光路を構成し、前記第一光路コンポーネントにより均一化処理されたレーザビームに分散結像を行うために用いられる第二光路コンポーネントと、
を含み、
前記第二光路コンポーネントは、
均一化処理された前記レーザビームがFPエタロンを通過して干渉縞を生成するFPエタロンと、
前記FPエタロンを通過したレーザビームに分散処理を行うために用いられる格子と、
前記測定光路に沿って順に設置された拡散シート、視野絞り及びコリメートレンズと、
前記測定光路に沿って順に設置された第二ミラー、第二集光レンズ及び撮像装置と、
を含み、
前記格子は、前記測定光路において前記FPエタロンの後ろに設置され、又は前記FPエタロンの前に設置され、
前記拡散シートは、前記第一光路コンポーネントにより均一化処理されたレーザビームに対して発散処理を行うために用いられ、
前記視野絞りは、前記拡散シートにより発散処理されたレーザビームの前記分散結像プロセスにおける結像範囲を制御するために用いられ、
前記コリメートレンズは、前記測定光路において前記FPエタロンの前に設置され、前記FPエタロンに入射するレーザビームのコリメート特性を保証するために用いられる
レーザスペクトルオンライン測定装置。 - 前記第一光路コンポーネントは、前記測定光路に沿って順に設置された第一ビームスプリッタ、第二ビームスプリッタ及び光均一化コンポーネントを含み、
前記第一ビームスプリッタは、レーザから出射された一部のレーザビームを前記第二ビームスプリッタに反射するために用いられ、
前記第二ビームスプリッタは、前記第一ビームスプリッタで反射された一部のレーザビームを前記光均一化コンポーネントに入射するために用いられ、
前記光均一化コンポーネントは、前記第二ビームスプリッタを介して入射されたレーザビームに対して均一化処理を行うために用いられる
請求項1に記載のレーザスペクトルオンライン測定装置。 - 前記光均一化コンポーネントは、前記測定光路に沿って順に設置された光学的な光均一化素子、第一集光レンズ及び第一ミラーを含み、
前記光均一化素子は、前記レーザビームを均一化することにより、レーザビームのスポットの不均一性及び方向不安定性によるレーザスペクトル測定への影響を除去するために用いられ、
第一集光レンズは、前記光均一化素子により均一化処理されたレーザビームを前記第一ミラーに集光するために用いられ、
第一ミラーは、前記第一集光レンズにより集光されたレーザビームを前記第二光路コンポーネントに反射するために用いられる
請求項2に記載のレーザスペクトルオンライン測定装置。 - 前記第二ビームスプリッタで反射された他の一部のレーザビームの光路に対応して設置され、前記レーザのレーザビームのエネルギーをリアルタイムに測定するために用いられるエネルギー測定コンポーネントをさらに含む
請求項2に記載のレーザスペクトルオンライン測定装置。 - 前記第二ミラーは、前記測定光路において前記格子の後ろに設置され、前記格子の分散処理を介したレーザビームを前記第二集光レンズに反射するために用いられ、
前記第二集光レンズは、前記第二ミラーで反射されたレーザビームを前記撮像装置に集光するために用いられ、
前記撮像装置は、前記第二集光レンズを通過したレーザビームを撮像するために用いられる
請求項1に記載のレーザスペクトルオンライン測定装置。 - 前記格子は、中階段格子であり、
前記中階段格子のフレア角はαであり、α≧70度である
請求項1に記載のレーザスペクトルオンライン測定装置。 - 請求項1-6のいずれか一項に記載のレーザスペクトルオンライン測定装置を用いて、レーザで生成されたレーザビームのスペクトルパラメータに対するオンライン測定を実現する
レーザスペクトルオンライン測定方法。 - 取得された前記レーザから出射されたレーザビームの中心波長λは、以下のとおりであり、
前記レーザビームの中心波長λと前記FPエタロンにより取得された干渉縞の半径r及びその幅drに基づいて、取得された前記レーザビームのスペクトル線幅Δλは以下のとおりであり、
前記レーザビームのスペクトル線幅Δλに基づいて前記スペクトルパラメータのスペクトル線幅FWHM及びE95を取得する
請求項7に記載のレーザスペクトルオンライン測定方法。 - 前記レーザビームのスペクトル線幅Δλに基づいて取得された前記スペクトルパラメータのスペクトル線幅FWHM及びE95は、以下のことを含み、
請求項8に記載のレーザスペクトルオンライン測定方法。
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