JP2631553B2

JP2631553B2 - レーザの波長制御装置

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Publication number: JP2631553B2
Application number: JP1128100A
Authority: JP
Inventors: 理若林; 諭樹夫小林; 雅彦小若
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1989-05-22
Filing date: 1989-05-22
Publication date: 1997-07-16
Anticipated expiration: 2012-07-16
Also published as: JPH02306679A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明はレーザ光の波長を高精度に制御するレーザ
の波長制御装置に関し、特に縮小投影露光装置の光源と
してエキシマレーザを用いた場合の波長制御に好適なレ
ーザの波長制御装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置製造用の縮小投影露光装置（以下ステッパ
という）の光源としてエキシマレーザの利用が注目され
ている。これはエキシマレーザの波長が短い（KrFレー
ザの波長は約248.4nm）ことから光露光の限界を0.5μｍ
以下に延ばせる可能性があること、同じ解像度なら従来
用いていた水銀ランプのｇ線やｉ線に比較して焦点深度
が深いこと、レンズの開口数（NA）が小さくてすみ、露
光領域を大きくできること、大きなパワーが得られるこ
と等の多くの優れた利点が期待できるからである。

ところでエキシマレーザの波長は248.4nmと短いた
め、この波長を透過する材料が石英、CaF₂およびMaF₂等
しか存在せず、しかも均一性および加工精度等の点でレ
ンズ素材として石英した用いることができない。このた
め色収差補正をした縮小投影レンズの設計は非常に困難
である。したがって、エキシマレーザをステッパの光源
として用いる場合、この色収差が無視しうる程度まで、
エキシマレーザの出力レーザ光を狭帯域化する必要があ
り、しかもこの狭帯域化された出力レーザ光の波長を高
精度に安定化制御する必要がある。

従来、狭帯域化されたエキシマレーザの出力レーザ光
を制御する装置としては、分子の吸収線を利用し、また
はランプの特定の発光スペクトル等を基準光としてこの
基準光と被検出光とを同時に回折格子型分光器またはモ
ニタエタロンに入力することにより出力レーザ光の絶対
波長を検出し、この検出出力にもとづき波長選択素子を
フィードバック制御することによって出力レーザ光の安
定化を図るものがある。

しかし、分子の吸収線を利用する装置は、エキシマレ
ーザがパルス発振するパルスレーザであるため、出力レ
ーザ光の波長が１度吸収線から大きくづれてしまうと波
長が検出できなくなり、波長制御不能となったり、波長
が所望の波長に復帰するのに時間がかかるという問題が
ある。

また、ランプの発光スペクトルと回折格子分光器を用
いる装置は分光器の焦点距離が短いと高精度に絶対波長
を検出したり線幅を検出することはできず、しかし分光
器の焦点距離を長くすると装置が大型化してしまうとい
う問題がある。

更に、ランプの発光スペクトルとモニタエタロンを用
いる装置は検出精度を上げるためにはモニタエタロンの
フリースペクトラルレンジを小さくする必要があり、こ
の場合、検出波長がフリースペクトラルレンジの整数倍
に変化するとこれも同じ波長として検出してしまうこと
になり、エキシマレーザはパルスレーザであるため、検
出波長がこのフリースペクトラルレンジを越えて変化し
た場合は制御が不能になるという問題があった。

〔発明が解決しようとする課題〕

このように従来の分子吸収線を利用する装置は、環境
変化（温度、気圧等）により、出力レーザ光の波長がこ
の吸収線の波長から大きくづれてしまうと波長検出が不
能となり、波長制御ができなくなるという欠点があり、
またランプの発光スペクトルと回折格子型分光器を用い
る装置は精度を上げるためには大型化してしまうという
欠点があり、更にランプの発光スペクトルとモニタエタ
ロンを用いる装置は精度を上げるためにモニタエタロン
のフリースペクトラルレンジを小さくすると環境変化に
より出力レーザ光の波長がこのフリースペクトラルレン
ジを越えて変化すると波長検出が不能となり波長制御が
できなくなるという欠点があった。

そこで、この発明はある程度環境が変化しても長期的
に高精度に発振波長の制御が可能であり、しかも発振波
長が大きく変化した場合でも短時間に所望の波長に復帰
できるレーザの波長制御装置を提供することを目的とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

この発明では上記課題を解決するため、少なくとも１
つの波長選択素子を有し、該波長選択素子の選択波長を
制御することにより出力レーザ光の波長を制御するレー
ザの波長制御装置において、所定波長の基準光を発生す
る基準光発生手段と、基準光と出力レーザ光とを共に入
力し、基準光を基準として出力レーザの波長を第１の精
度で検知する第１の波長検知手段と、基準光と出力レー
ザ光とを共に入力し、基準光を基準として出力レーザの
波長を第１の精度より高い第２の精度で検知する第２の
波長検知手段と、第１の波長検知手段の検知出力にもと
づき波長選択素子の選択波長を制御することにより出力
レーザ光の波長を粗調整し、第２の波長検知手段の検知
出力にもとづき波長選択素子の選択波長を制御すること
により出力レーザ光の波長を微調整する波長制御手段と
を具えて構成される。

ここで、第１の波長検知手段は回折格子型分光器を用
いて構成し、第２の波長検出手段はモニタエタロンを用
いて構成することができる。

また、波長選択素子はグレーティング、エタロン、ま
たはグレーティングとエタロンを組み合わせたものを用
いることができる。

また、基準光発生手段は第１の波長検知手段と第２の
波長検知手段に対して共通にもうけてもよいいし、第１
の波長検知手段および第２の波長検知手段に対して別々
に設けてもよい。

〔作用〕

第１の波長検知手段は基準光発生手段から出力される
基準光と制御出力レーザ光とを入力し、基準光に対する
被制御出力レーザ光の波長を第１の精度で検出する。ま
た第２の波長検知手段は基準光発生手段から出力される
基準光と被制御出力レーザとを入力し、基準光に対する
被制御出力レーザ光の波長を第１の精度よりも高い第２
の精度で検出する。波長制御手段は第１の波長検知手段
の出力にもとづき被制御出力レーザの波長の粗調整し、
第２の波長検出手段の出力にもとづき被制御出力レーザ
の波長を微調整する。

〔実施例〕

以下、この発明に係わるレーザの波長制御装置の一実
施例を添付図面を参照して詳細に説明する。

第１図はこの発明に係わるレーザの波長制御装置の一
実施例を示したものである。この実施例はこの発明のレ
ーザの波長制御装置をエキシマレーザの波長制御に適用
したものである。第１図において、レーザチャンバ10内
にはレーザガスであるKr、F₂等が封入され、このレーザ
ガスを放電励起するための図示しない電極およびこのレ
ーザガスを還流させるための図示しないファン等が設け
られている。またこのレーザチャンバ10には発振レーザ
光を通すウインドウ11、12が設けられており、このウイ
ンドウ11、12にそれぞれ対応してフロントミラー20、狭
帯域化部30が配置されている。

狭帯域化部30は、リアミラーとして機能すると共に出
力レーザ光の狭帯域化を行なうもので、例えば第２図
（ａ）に示すように２つのプリズム31、32とリトロー配
置をとる１つのグレーティング33から構成されている、
ここで２つのプリズム31、32はグレーティング33に照射
されるレーザ光を拡げるビームエキスパンダとして機能
し、グレーティング33は入射ビーム光に対する角度を変
化させることにより、選択波長を変化させることがで
き、波長選択素子およびレーザ発振器のリアミラーとし
て機能する。

第２図（ｂ）は狭帯域化部30の他の構成例を示すもの
である。第２図（ｂ）において狭帯域化部30は斜入射配
置をとるグレーティング33と全反射ミラー34から構成さ
れる。ここで全反射ミラー34はレーザ共振器のリアミラ
ーとして機能し、グレーティング33は入射ビーム光に対
する角度を変化させることにより選択波長を変化させる
ことができ、波長選択素子として機能する。

第２図（ｃ）は狭帯域化部30の更に他の構成例を示し
たものである。この構成例において狭帯域化部30は２つ
のエタロン35、36と全反射ミラー34から構成される。こ
こでエタロン35、36はそれぞれ例えば入射ビーム光に対
する角度を変化させることにより透過波長を選択するも
ので、それぞれフリースペクトラルレンジが異なるもの
が用いられる。２つのエタロン35、36が波長選択素子と
して機能し、全反射ミラー34がレーザ共振器のリアミラ
ーとして機能する。

第２図（ｄ）はエタロン35のグレーティング33を用い
て構成した狭帯域化部30の更に他の構成例を示したもの
である。この構成において、エタロン35およびグレーテ
ィング30は波長選択素子として機能し、またグレーティ
ング30はレーザ共振器のリアミラーとしても機能する。

レーザチャンバ10を介してフロントミラー20と狭帯域
化部30との間で構成されるレーザ共振器によって発振さ
れ、狭帯域化されたエキシマレーザ光はフロントミラー
20を通って出力される。このフロントミラー20を通って
出力されるレーザ光のうちの一部がハーフミラー41を介
して取り出され、このレーザ光は基準光源42から発生さ
れる基準光とともにモニタエタロン43および回折格子型
分光器44に加えられる。ここで基準光源42としては例え
ば波長253.7nmの基準光を発生する水銀ランプの発光ス
ペクトルまたは波長632.8nmの基準光を発生するHe−Ne
レーザまたは波長496.5nmの基準光を発生するArレーザ
等を用いることができる。

第３図にモニタエタロン43の詳細を示す。

一般にエタロンの透過波長は次のように現される。

ｍλ＝2ndΕcosθ （１）ここで、ｍは整数、dEはエタロン部分反射ミラー間の
距離、ｎは部分反射ミラー間の屈折率θはエタロンの法
線と入射光の光軸とのなす角度、λは波長である。

第（１）式において、n,dE,mが一定とすれば波長が変
化するとθが変化する。このためこの性質を利用して波
長を検出することができる。

第３図において、基準光源42から発生された基準光お
よびハーフミラー41で分取されたレーザ光は同一光路で
入射光学系433に入射され、ミラー432により全反射され
て凹面鏡431に導かれ、この凹面鏡31により光束を集光
させ、ある程度の拡がり角をもたせた光としてエタロン
435に入射させる。ここで第（１）式を満たすような関
係となった光のみがエタロン435を透過し干渉縞437を形
成する。したがって、エタロン435の入射光の波長が変
化すると干渉縞437の位置が変動する。

そこで、基準光による干渉縞438と、レーザ光の干渉
縞437の両干渉縞の位置を光位置センサー436によって検
出することにより基準光を基準としたレーザ光の相対波
長を検出し、既知の基準光の波長からレーザ光の絶対波
長を検出することができる。

ここで、光位置センサー436としては例えばフォトダ
イオードアレイまたはPSD（POSITION SENSITIVE DETECT
OR.半導***置検出素子）等を用いて構成することがで
きる。

なお、基準光と狭帯域化されたエキシマレーザ光の波
長が大きく異なる場合、エタロン435の部分反射ミラー
に両光とも同様に部分反射する反射膜をコートすればよ
い。

第４図に回折格子型分光器44の詳細を示す。

第４図において、基準光および分取された狭帯域化さ
れたエキシマレーザ光は同一光路で入射光学系451に入
射され、ミラー443により全反射され、凹面鏡442に導か
れ、この凹面鏡442により入射スリット444の位置より多
少手前側で集光させ、入射スリット444を照明する。ス
リット444を透過した光は凹面鏡445により平行光に変換
され回折格子446に照射される。

回折格子446によって反射回折した光は波長によって
反射角が異なる。この回折光は凹面鏡447により反射さ
れ回折光の入射スリット像として焦点面452に結像す
る。

この焦点面にはそれぞれの波長に対するそれぞれの回
折光の入射スリット像448、449が結像することになり、
波長が変化すると入射スリット像448、449の位置が変化
する。

そこで、この基準光源の回折光の入射スリット像448
と狭帯域化されたエキシマレーザ光の入射スリット像44
9の位置を光位置センサー450によってそれぞれ検出する
ことにより基準光を基準としたレーザ光の絶対波長を検
出することができる。

ここで、光位置センサー450としては例えばフォトダ
イオードアレイまたはPSD等を用いることができる。

ところで、一般に、間隔（格子定数）dGの等間隔直線
溝をもつ平面回折格子の主断面に平行に白色平行線と入
射角αで入射させるとき、波長λの回折光の強度の主極
大は dG（sinα＋sinβ）ｍλ （２）（ｍ＝0,±1,±２……）を満たす回折角βの方向に生じる。ここでαとβは回折
格子の面に立てた法線とのなす角である。

ここで、入照射角αが一定のときある回折角βの位置
に観測される回折光線には、第（２）式から波長λの一
次（ｍ＝１）の回折光のほか、λ/2の２次（ｍ＝２）、
λ/3の３次（ｍ＝３）……などの回折光が現われ次数の
重なりを生じる。

なお、ここで、ｍ＝ｋの回折光はｋ次の回折光と呼ば
れる。

つまり、 k₁・λ_１＝k₂・λ_２（３）（k₁,k₂は自然数）の関係が成立すれば回折角βは同じとなる。

したがって、回折格子を用いた分光器の場合第（３）
式が成立するような関係となれば波長λ_１と波長λ_２の
焦点面22での入射スリット像の位置が一致することにな
る。

そこで、狭帯域発振エキシマレーザの発振光をk₁次の
回折光として検出し、基準光源の光をk₂次の回折光で検
出し、これら両光の入射スリット像（448,449）の位置
関係から狭帯域発振エキシマレーザの出力波長を検出す
ることができる。

このような各高次波の組み合わせの具体例としては、
KrF狭帯域発振エキシマレーザの場合は、発振波長が24
8.35±0.2nm程度であるのでその２次光と、基準光源と
しては、Arイオンレーザの496.5nmを用いることができ
る。また、He−Neレーザ632.8nmの２次光とKrFエキシマ
レーザ248.4nm5次光を用いて検出することもできる。

なお、この実施例では出力レーザ光の波長の大きな動
きは回折格子型分光器44で検知し、小さな動きはモニタ
エタロン43で検知するように構成されている。

モニタエタロン43で検出された出力レーザ光の波長λ
ｅを示す信号および回折格子型分光器44で検出された出
力レーザ光の波長λｇを示す信号は波長コントローラ45
に入力される。

波長コントローラ45はモニタエタロン45の検出波長λ
ｅおよび回折格子型分光器44の検出波長λｇにもとづ
き、ドライバ46を起動して狭帯域化部30の波長選択特
性、すなわち狭帯域化部30の波長選択素子の選択波長を
制御する。波長コントローラ45による波長制御の一例が
第５図に示すフローチャートに示される。

第５図において、波長コントローラ45はまずモニタエ
タロン43の検出中心波長λｅおよび回折格子型分光器44
の検出中心波長λｇを読み込み（ステップ451）、各中
心波長λｅ、λｇと所定の設定波長λｏ（目標波長）と
の差Δλｅ、Δλｇすなわち、 △λｅ＝λｅ−λｏ △λｇ＝λｇ−λｏを算出する（ステップ452）。

次に回折格子型分光器44の検出中心波長λｇと所定の
設定波長λｏとの差の絶対値｜Δλg|が回折格子型分光
器44で検出できる分解能Ｋよりも大きいか否かを判断す
る（ステップ453）。ここで｜Δλg|＞Ｋであると、回
折格子型分光器44で出力レーザ光の波長が検出可能であ
るので、Δλ＝Δλｇと設定し（ステップ454）、ドラ
イバ46を駆動して狭帯域化部30の波長選択素子（例えば
第２図（ａ）または（ｂ）のグレーティング33または第
２図（ｃ）の２つのエタロン35、36のうちの例えばフリ
ースペクトラルレンジの小さい方のエタロンまたは第２
図（ｃ）のエタロン35とグレーティング33のうちのフリ
ースペクトラルレンジの小さな方）の例えば角度を制御
して波長選択素子の選択波長（透過波長）をΔλだけシ
フトさせる（ステップ455）なお、ここでΔλのシフト
方向はレーザ光の中心波長が所望の波長λｏに近づく方
向になるように制御される。これは例えば前回のシフト
動作におけるシフト方向とこれによる制御の結果、すな
わちシフト動作によりレーザ光の波長が所望の波長λｏ
に近づいたか否かを記憶しておくことにより決定するこ
とができる。

ステップ455の処理が終了すると再びステップ451に戻
り、ステップ451、452、453の処理を実行する。これに
より、ステップ453で再び｜Δλg|＞Ｋが成立すればス
テップ454、455に移行する。

しかし、ステップ453において｜Δλg|＞Ｋが不成立
になると回折格子型分光器44による検出中心波長λｇと
所定の設定波長λｏとの差｜Δλg|が回折格子型分光器
44の分解能よりも小さくなったことを意味し、この場合
はΔλ＝Δλｅと設定し（ステップ456）、回折格子型
分光器44の検出出力に代えてモニタエタロン43の検出出
力を採用する。そしてステップ455に移行し、ドライバ4
6を駆動して狭帯域化部30の波長選択素子の選択波長を
モニタエタロン43の検出出力にもとづきΔλだけシフト
する。以下同様の動作が繰り返される。

このように波長コントローラ45ではレーザの出力波長
が所定設定波長から回折格子型分光器44の分解能よりも
大きく変化したときとは回折格子型分光器44の出力にも
とづき波長制御を行い、回折格子型分光器44の分解能よ
りも小さく変化したときはモニタエタロン43の出力にも
とづき波長制御を行なう。つまり波長の大きな動きに対
しては検出帯域の広い回折格子型分光器の出力を用いて
波長制御し、小さな動きに対しては検出精度の高いモニ
タエタロンの出力に用いて波長制御する。

なお、回折格子型分光器44を用いることにより、例え
ば狭帯域化部30の波長選択素子がこわれた場合等におい
てもこのとき発生するサイドピークの検出から上記事態
を検知することができる。このような構成によると基準
光源42から発生される基準光の安定性に準じてエキシマ
レーザ光の波長を安定制御することができる。

第６図は第１図に示した実施例を光ファイバを用いて
構成した具体例を示したものである。ハーフミラー41で
取り出された出力レーザ光の一部はレンズL₁、スリーブ
RL₁、光ファイバ48を介して光合波器47に入力される。
また基準光源42から出力された基準光はレンズL₂、スリ
ーブRL₂、光ファイバ49を介して光合波器47に入力され
る。

光合波器はハーフミラー41を介して取り出された出力
レーザ光を基準光源42から出力された基準光を合波し、
光ファイバ50、スリーブRL₃を介してモニタエタロン43
に加え、または光ファイバ41、スリーブRL₄を介して回
折格子型分光器44に加える。

なお、波長を絶対波長に対して更に高精度に固定した
い場合は、基準光源42として、例えば周波数安定化He−
Neレーザを用いればよい。

なお、モニタエタロン43で用いるエアギャップエタロ
ン435の反射膜はエキシマレーザの発振波長248.4nmとHe
−Neレーザの発振波長632.8nmの両波長で部分反射する
反射膜がコートされる。

また回折格子型分光器44ではHe−Neレーザの発振波長
632.8nmの２次の回折光のエキシマレーザの発振波長24
8.4nmの５次の回折光とを同時に検出することにより、
エキシマレーザの出力レーザ光の絶対波長を検出する。

なお、基準光源42としては水銀ランプを用い、この発
振線（253.7nm）を用いてもよい。この場合モニタエタ
ロンとしてはソリッドエタロンを用いて構成することも
できる。

なお、上記実施例では１つの基準光源を用い、この基
準光源から出力される基準光をモニタエタロンと回折格
子型分光器に共通に加えるようにしたが、モニタエタロ
ン、回折格子型分光器に対してそれぞれ別の基準光源を
設けるようにして構成してもよい。このように構成した
この発明の他の実施例が第７図に示される。

第７図において、この実施例ではモニタエタロン43用
の第１の基準光を発生する第１の基準光源42aと、回折
格子型分光器44用の第２の基準光を発生する第２の基準
光源42bが設けられる。第１の基準光源42aから出力され
た第１の基準光はハーフミラー41で分取されたエキシマ
レーザの出力レーザ光とともにモニタエタロン43に加え
られる。また第２の基準光源42bから出力された第２の
基準光はハーフミラー41で分取されたエキシマレーザの
出力レーザ光とともに回折格子型分光器44に加えられ
る。

モニタエタロン43では第１の基準光を基準としてエキ
シマレーザの出力レーザ光の絶対波長を検出する。また
回折格子型分光器44では第２の基準光を基準としてエキ
シマレーザの出力レーザ光の絶対波長を検出する。波長
コントローラ45はモニタエタロン43および回折格子型分
光器44の検出出力を入力し、これによりドライバ46を駆
動し、エキシマレーザの狭帯域化部30を制御する。

なお、上記実施例ではこの発明のレーザの波長制御装
置をエキシマレーザに適用した場合を示したが、他のレ
ーザに対しても同様に適用することができる。

また、上記実施例ではモニタエタロンと回折格子型分
光器を組み合わせて出力レーザ光の絶対波長をそれぞれ
検出するように構成したが、この発明はこの構成に限定
されない。例えばモニタエタロンの代りに分子の吸収線
を利用し、この分子の吸収線を利用する装置と回折格子
型分光器とを組み合わせて出力レーザ光の絶対波長をそ
れぞれ検出するように構成してもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明によれば、出力レーザ光
にある程度大きな波長変動があっても、レーザ光の波長
を長期的に高精度に安定制御することが可能となり、ま
た波長が大きく変動した場合における所定設定波長への
復帰速度も速くなる。またレーザ立ち上げ時における所
定設定波長への固定動作も速くなる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係わるレーザの波長制御装置の一実
施例を示すブロック図、第２図（ａ）〜（ｄ）は第１図
に示した実施例における狭帯域化部の種々の構成例を示
すブロック図、第３図は第１図に示した実施例における
モニタエタロンの詳細構成を示す図、第４図は第１図に
示した実施例における回折格子型分光器の詳細構成例を
示す図、第５図は第１図に示した実施例における波長コ
ントローラの動作例を示すフローチャート、第６図は光
ファイバを用いた第１図に示した実施例の具体的構成を
示す図、第７図は２つの基準光源を用いたこの発明の他
の実施例を示すブロック図である。 10……レーザチャンバ、20……フロントミラー、30……
狭帯域化部、41……ハーフミラー、42,42a,42b……基準
光源、43……モニタエタロン、44……回折格子型分光
器、45……波長コントローラ、46……ドライバ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭63−229888（ＪＰ，Ａ) 特開昭64−53589（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−160287（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−107177（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも１つの波長選択素子を有し、該
波長選択素子の選択波長を制御することにより出力レー
ザ光の波長を制御するレーザの波長制御装置において、所定波長の基準光を発生する基準光発生手段と、前記基準光と前記出力レーザ光とを共に入力し、前記基
準光を基準として前記出力レーザの波長を第１の精度で
検知する第１の波長検知手段と、前記基準光と前記出力レーザ光とを共に入力し、前記基
準光を基準として前記出力レーザの波長を前記第１の精
度より高い第２の精度で検知する第２の波長検知手段
と、前記第１の波長検知手段の検知出力にもとづき前記波長
選択素子の選択波長を制御することにより前記出力レー
ザ光の波長を粗調整し、前記第２の波長検知手段の検知
出力にもとづき前記波長選択素子の選択波長を制御する
ことにより前記出力レーザ光の波長を微調整する波長制
御手段とを具えたレーザの波長制御装置。
【請求項２】前記第１の波長検知手段は、回折格子型分
光器を備え、前記第２の波長検知段は、モニタエタロンを備える請求
項（１）記載のレーザの波長制御装置。
【請求項３】前記第１の波長検知手段は、回折格子型分
光器を備え、前記第２の波長検知手段は、分子の吸収線を利用して波
長を検出する波長検出手段を備える請求項（１）記載の
レーザの波長制御装置。
【請求項４】前記波長選択素子は、グレーティングを含
む請求項（１）記載のレーザの波長制御装置。
【請求項５】前記波長選択素子は、エタロンを含む請求
項（１）記載のレーザの波長制御装置。
【請求項６】前記波長選択素子は、グレーティングとエ
タロンを含む請求項（１）記載のレーザの波長制御装
置。
【請求項７】前記波長制御手段は、所望の中心波長と出力レーザ光の検知波長との偏差が所
定値以上のときは前記第１の波長検出手段の検知出力に
もとづき前記波長選択素子の選択波長を制御し、前記偏
差が前記所定値以下のときは前記第２の波長検出手段の
検知出力にもとづき前記波長選択素子の選択波長を制御
する請求項（１）記載のレーザの波長制御装置。
【請求項８】少なくとも１つの波長選択素子を有し、該
波長選択素子の選択波長を制御することにより出力レー
ザ光の波長を制御するレーザの波長制御装置において、第１基準光を発生する第１の基準光発生手段と、第２の基準光を発生する第２の基準光発生手段と前記第１の基準光と前記出力レーザ光とを共に入力し、
前記基準光を基準として前記出力レーザの波長を第１の
精度で検知する第１の波長検知手段と、前記第２の基準光と前記出力レーザ光とを共に入力し、
前記基準光を基準として前記出力レーザの波長を前記第
１の精度より高い第２の精度で検知する第２の波長検知
手段と、前記第１の波長検知手段の検知出力にもとづき前記波長
選択素子の選択波長を制御することにより前記出力レー
ザ光の波長を粗調整し、前記第２の波長検知手段の検知
出力にもとづき前記波長選択素子の選択波長を制御する
ことにより前記出力レーザ光の波長を微調整する波長制
御手段とを具えたレーザの波長制御装置。