JP7455470B2 - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Landscapes
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Description
11a :表面
11b :裏面
11c :側面
13 :分割予定ライン(ストリート)
15 :デバイス
15a :突起電極(バンプ)
21 :金型
21a :底部
21b :側部
21c :仕切り部
23 :樹脂部材
23a :表面
25 :保護テープ
A :空間
B :空間
2 :研削装置
4 :チャックテーブル(保持テーブル)
4a :保持面
6 :研削ユニット
8 :スピンドル
10 :マウント
12 :研削ホイール(砥石工具)
14 :ホイール基台
16 :研削砥石
Claims (2)
- 交差する分割予定ラインで区画された複数の領域のそれぞれに複数の突起電極を有するデバイスが形成されたデバイス領域と、該デバイス領域を囲む外周余剰領域と、を備える表面、該表面とは反対側の裏面、及び、該表面の該外周余剰領域と該裏面とを接続する側面を含むウェーハを加工する際に用いられるウェーハの加工方法であって、
ウェーハの該表面の該外周余剰領域と該側面とを部分的に又は全体的に覆うように樹脂を供給して硬化させることで、該外周余剰領域を覆う部分が該突起電極に対応する厚みを有する樹脂部材を形成する樹脂部材形成ステップと、
該樹脂部材形成ステップを実施した後、該樹脂部材の該外周余剰領域を覆う部分及び複数の該突起電極に保護テープを貼付する保護テープ貼付ステップと、
該保護テープ貼付ステップを実施した後、該保護テープ及び該樹脂部材を介してウェーハの該表面側を保持テーブルで保持し、ウェーハの該裏面を研削する研削ステップと、を含むウェーハの加工方法。 - 該樹脂部材形成ステップでは、該ウェーハに装着された金型に該樹脂を供給する請求項1に記載のウェーハの加工方法。
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