JP7444754B2 - プローブ顕微鏡およびプローブ顕微鏡の光軸調整方法 - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 94
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 74
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 39
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 36
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 9
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 7
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 1
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
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-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
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- Biochemistry (AREA)
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Description
これにより、第1レーザ光および第2レーザ光が所定相対位置に配置され、プローブ顕微鏡の感度が高くなる。したがって、プローブ顕微鏡の精度が向上する。
レバー支持部の表面は一様であるため、第1ゴースト光像がレバー支持部と重なることにより、第1ゴースト光像の視認性が向上する。
選別された第1ゴースト光像の位置を利用することにより、第1レーザ光像の位置の特定が容易になる。これにより、光軸調整時間を短縮することができる。
複数の第1ゴースト光像の代表位置を利用することにより、第1レーザ光像の位置の特定が容易になる。これにより、光軸調整時間を短縮することができる。
これにより、カンチレバーの種類に応じて、最適な倍率の対物レンズを使用することができる。
(プローブ顕微鏡)
図1は、実施形態のプローブ顕微鏡の概略構成図である。本願において直交座標系のZ方向、X方向およびY方向が以下のように定義される。Z方向は、対物レンズ18とカンチレバー3との離間方向である。+Z方向は、カンチレバー3の先端部から対物レンズ18に向かう方向である。例えば、Z方向は鉛直方向であり、+Z方向は鉛直上方である。X方向およびY方向は、Z方向に垂直な方向である。例えば、X方向およびY方向は水平方向である。+X方向は、図1の紙面に向かって右方向である。
カンチレバーユニット5は、カンチレバー3と、プローブ2と、レバー支持部4と、フォトディテクタ6と、を有する。
プローブ顕微鏡1は、ダイナミックモードで動作する場合に、カンチレバー3を共振周波数で振動させながら、試料Sの表面にプローブ2を近づけて、カンチレバー3を走査する。プローブ顕微鏡1は、フォトディテクタ6で検出したカンチレバー3の変位振幅が一定になるように、試料SをZ方向に移動させる。プローブ顕微鏡1は、試料SのZ方向の移動量に基づいて、試料Sの表面観察または物性計測などを実施する。プローブ顕微鏡1は、第2レーザ12に代えて、ピエゾ素子によりカンチレバーを励振してもよい。なお、カンチレバーをレーザで励振する場合、レバー部分のみが振動するため、理想的な振動状態に極めて近い振動状態を実現でき、高精度な測定が可能になるという利点がある。カンチレバーをピエゾ素子により励振する場合、レバー部分以外の部分が振動してしまいノイズの原因になりやすいものの、励振用レーザの調整が不要になるという利点がある。
PBS15は、入射光をP偏光とS偏光とに分離する。PBS15の分光面16は、例えばS偏光を反射してP偏光を透過させる。PBS15の端面17には反射防止処理(ARコート)が施されている。レーザ光D1,D2は、S偏光に偏光されてPBS15に入射する。レーザ光D1,D2は、PBS15の分光面16で反射されて、PBS15から-Z方向に出射する。
プローブ顕微鏡1の光軸上に、1/4波長板または偏光板などの光学素子が適宜配置されてもよい。
第2回動部32は、第2レーザ12を回動することにより、PBS15に対する第2レーザ光D2の第2入射角度を変化させる。
図2は、対物レンズ交換機構の説明図である。カンチレバー3の種類に応じて対物レンズ18の最適な倍率が異なるため、対物レンズ18は交換可能であることが望ましい。対物レンズ交換機構40は、レンズ支持部41に対して、対物レンズ18を交換可能に保持する。レンズ支持部41は、アリ溝42を有する。アリ溝42は、開口部の幅が底部の幅より小さい溝である。対物レンズ18は、アリ溝42と係合するホゾ48を有する。レンズ支持部41のアリ溝42に対物レンズ18のホゾ48が係合することにより、対物レンズ18が位置決めされる。押さえネジ45は、対物レンズ18をレンズ支持部41に固定する。対物レンズ交換機構は、図2の例に限られず、倍率が異なる複数の対物レンズ18を備えたレボルバであってもよい。
照明装置21は、カンチレバー3を照明する照明光22を出射する。ビームスプリッタ23は、照明光22をカンチレバー3に向けて反射する。ビームスプリッタ23は、カンチレバー3からの散乱光Rを結像レンズ28に向けて透過させる。結像レンズ28は、カンチレバー3からの散乱光Rをカメラ25に向けて集光する。
記憶部36は、後述される第1関係式および第2関係式を記憶する。
第1レーザ11の移動および回動による第1レーザ光像d1の挙動について説明する。
図3は、第1レーザの移動による第1レーザ光像の挙動の説明図である。図4は、第1レーザの回動による第1レーザ光像の挙動の説明図である。図3および図4では、理解を容易にするため、プローブ顕微鏡1の構成部材の一部の図示が省略されている。第2レーザ12の移動および回動による第2レーザ光像d2の挙動についても、第1レーザ光像d1と同様である。
図5は、第1ゴースト光の発生原理の説明図である。図5では、理解を容易にするため、プローブ顕微鏡1の構成部材の一部の図示が省略されている。第2レーザ光D2から発生する第2ゴースト光G2についても、第1ゴースト光G1と同様である。
ただし、第1レーザ光D1の全部がS偏光ではなく、第1レーザ光D1はP偏光を含んでいる。PBS15の分光面16は、S偏光の全部を反射しP偏光の全部を透過するのではなく、S偏光の一部を透過しP偏光の一部を反射する。PBS15の端面17には反射防止処理が施されているが、PBS15の端面17は一部のレーザ光を反射する。
PBS15に入射した第1レーザ光D1の一部が、分光面16を透過して、第1ゴースト光G1bが発生する。第1ゴースト光G1aは、端面17bおよび分光面16で反射されて、PBS15からカメラ25に向かって出射する。
第1レーザ11を移動させた場合の第1ゴースト光像g1の挙動は、第1レーザ光像d1の挙動と同様である。第1レーザ11の移動後の第1ゴースト光G1は、移動前の第1ゴースト光G1と平行に結像レンズ28に入射する。第1レーザ11の移動前後の第1ゴースト光G1は、結像レンズ28により同じ位置に集光される。第1レーザ11が移動しても、第1ゴースト光像g1は移動しない。
プローブ顕微鏡の光軸調整について説明する。
プローブ顕微鏡1では、試料Sの種類等に応じて、様々な種類のカンチレバー3および対物レンズ18が使用される。カンチレバー3および対物レンズ18を交換する度に、プローブ顕微鏡の光軸調整が実施される。
Ld=L1-L2-Lg ・・・ (1)
実施形態では、第1ゴースト光像g1の位置に基づいて、第1レーザ光像d1の位置を取得した。これに対して、第1ゴースト光像g1の位置およびカンチレバー3の輪郭の位置に基づいて、第1レーザ光像d1の位置を取得してもよい。
また、図1においては、2つのレーザ光がカンチレバー3に入射する例を示したが、カンチレバー3に入射するレーザ光は3本以上であってもよい。3本以上のレーザ光が用いられている場合、光学系の構成などからそのような取り扱いが可能であるといえる限り、任意のレーザ光を「第1レーザ光」として取り扱ってよく、「第1レーザ光」として取り扱われたレーザ光以外の任意のレーザ光を「第2レーザ光」として取り扱ってよい。
Claims (10)
- プローブを有するカンチレバーと、
前記カンチレバーに入射する第1レーザ光を出射する第1レーザと、
前記カンチレバーおよび前記第1レーザ光の画像を撮影する撮像装置と、
前記カンチレバーと前記撮像装置との間に形成され、前記第1レーザ光が入射する無限遠光学系と、
前記第1レーザ光と前記カンチレバーとの相対位置を変化させる移動機構と、
前記第1レーザを回動して、前記無限遠光学系に対する前記第1レーザ光の第1入射角度を変化させる第1回動部と、
前記移動機構および前記第1回動部の動作を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記無限遠光学系において前記第1レーザ光から発生する第1ゴースト光の第1ゴースト光像の位置から、前記第1レーザ光の第1レーザ光像の位置を、前記撮像装置が撮影した画像において取得し、
前記第1レーザ光像の位置が前記カンチレバーの所定位置に接近するように、前記移動機構および前記第1回動部のうち少なくとも一方を駆動する、
プローブ顕微鏡。 - 前記第1ゴースト光像と前記第1レーザ光像との第1相対位置を前記第1入射角度の関数として表した第1関係式を記憶する記憶部をさらに有し、
前記制御部は、前記第1関係式に前記第1入射角度を代入して前記第1相対位置を取得し、前記撮像装置が撮影した画像における前記第1ゴースト光像の位置および前記第1相対位置から前記第1レーザ光像の位置を取得する、
請求項1に記載のプローブ顕微鏡。 - 前記カンチレバーに入射する第2レーザ光を出射する第2レーザと、
前記第2レーザを回動して、前記無限遠光学系に対する前記第2レーザ光の第2入射角度を変化させる第2回動部と、をさらに有し、
前記移動機構は、前記第1レーザ光および前記第2レーザ光と、前記カンチレバーとの相対位置を変化させ、
前記記憶部は、前記無限遠光学系において前記第2レーザ光から発生する第2ゴースト光の第2ゴースト光像と、前記第2レーザ光の第2レーザ光像との第2相対位置を、前記第2入射角度の関数として表した第2関係式を記憶し、
前記制御部は、
前記撮像装置が撮影した画像から、前記第1ゴースト光像と前記第2ゴースト光像とのゴースト光相対位置を取得し、
前記第1関係式に前記第1入射角度を代入して、前記第1相対位置を取得し、
前記第2関係式に前記第2入射角度を代入して、前記第2相対位置を取得し、
前記ゴースト光相対位置、前記第1相対位置および前記第2相対位置から、前記第1レーザ光像と前記第2レーザ光像とのレーザ光相対位置を取得し、
前記レーザ光相対位置が所定相対位置に接近するように、前記移動機構、前記第1回動部および前記第2回動部のうち少なくとも一つを駆動する、
請求項2に記載のプローブ顕微鏡。 - 前記第1レーザは、前記カンチレバーの変位計側に使用される計測用レーザ光を出射する計測用レーザであり、
前記第2レーザは、前記カンチレバーの励振に使用される励振用レーザ光を出射する励振用レーザである、
請求項3に記載のプローブ顕微鏡。 - 前記カンチレバーを支持するレバー支持部をさらに有し、
前記撮像装置が撮影する画像において、前記第1ゴースト光像が前記レバー支持部と重なるように、前記第1ゴースト光像の位置が調整されている、
請求項1から4のいずれか1項に記載のプローブ顕微鏡。 - 前記撮像装置に撮影される前記第1ゴースト光を選別する選別部材をさらに有する、
請求項1から5のいずれか1項に記載のプローブ顕微鏡。 - 前記制御部は、前記撮像装置が撮影した画像における複数の前記第1ゴースト光像の代表位置から、前記第1レーザ光像の位置を取得する、
請求項1から5のいずれか1項に記載のプローブ顕微鏡。 - 前記無限遠光学系から出射した前記第1レーザ光を集光する対物レンズと、
前記対物レンズを交換可能に保持する対物レンズ交換機構と、をさらに有する、
請求項1から7のいずれか1項に記載のプローブ顕微鏡。 - プローブを有するカンチレバーと、
前記カンチレバーに入射する第1レーザ光を出射する第1レーザと、
前記カンチレバーおよび前記第1レーザ光の画像を撮影する撮像装置と、
前記カンチレバーと前記撮像装置との間に形成され、前記第1レーザ光が入射する無限遠光学系と、
前記第1レーザ光と前記カンチレバーとの相対位置を変化させる移動機構と、
前記第1レーザを回動して、前記無限遠光学系に対する前記第1レーザ光の第1入射角度を変化させる第1回動部と、
を有するプローブ顕微鏡を使用して、
前記無限遠光学系において前記第1レーザ光から発生する第1ゴースト光の第1ゴースト光像の位置から、前記第1レーザ光の第1レーザ光像の位置を、前記撮像装置が撮影した画像において取得する第1工程と、
前記第1レーザ光像の位置が前記カンチレバーの所定位置に接近するように、前記移動機構および前記第1回動部のうち少なくとも一方を駆動する第2工程と、を有する、
プローブ顕微鏡の光軸調整方法。 - 前記第1工程では、前記第1ゴースト光像と前記第1レーザ光像との第1相対位置を前記第1入射角度の関数として表した第1関係式に前記第1入射角度を代入して前記第1相対位置を取得し、前記撮像装置が撮影した画像における前記第1ゴースト光像の位置および前記第1相対位置から前記第1レーザ光像の位置を取得する、
請求項9に記載のプローブ顕微鏡の光軸調整方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020180813A JP7444754B2 (ja) | 2020-10-28 | 2020-10-28 | プローブ顕微鏡およびプローブ顕微鏡の光軸調整方法 |
CN202110687515.3A CN114486729A (zh) | 2020-10-28 | 2021-06-21 | 探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法 |
TW110128129A TW202217318A (zh) | 2020-10-28 | 2021-07-30 | 探針顯微鏡以及探針顯微鏡的光軸調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020180813A JP7444754B2 (ja) | 2020-10-28 | 2020-10-28 | プローブ顕微鏡およびプローブ顕微鏡の光軸調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022071711A JP2022071711A (ja) | 2022-05-16 |
JP7444754B2 true JP7444754B2 (ja) | 2024-03-06 |
Family
ID=81491797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020180813A Active JP7444754B2 (ja) | 2020-10-28 | 2020-10-28 | プローブ顕微鏡およびプローブ顕微鏡の光軸調整方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7444754B2 (ja) |
CN (1) | CN114486729A (ja) |
TW (1) | TW202217318A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016183869A (ja) | 2015-03-25 | 2016-10-20 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 走査プローブ顕微鏡 |
-
2020
- 2020-10-28 JP JP2020180813A patent/JP7444754B2/ja active Active
-
2021
- 2021-06-21 CN CN202110687515.3A patent/CN114486729A/zh active Pending
- 2021-07-30 TW TW110128129A patent/TW202217318A/zh unknown
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016183869A (ja) | 2015-03-25 | 2016-10-20 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 走査プローブ顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114486729A (zh) | 2022-05-13 |
JP2022071711A (ja) | 2022-05-16 |
TW202217318A (zh) | 2022-05-01 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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