JP2016183869A - 走査プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料18の表面に近接させる探針99が設けられたカンチレバー4と、光源部1と、光源部から照射される入射光L0を反射してカンチレバーに設けられた反射面に導く第1反射部3と、受光部6と、反射面で反射された反射光L1を反射して受光部へ導く第2反射部5と、カンチレバーに対向して配置され、カンチレバーの近傍を観察又は撮像する開口数がNAの対物レンズ17と、を備えた走査プローブ顕微鏡であって、第1反射部は、第1反射部で反射された入射光L0の光路と、対物レンズの光軸Oとのなす角φが0°<φ<θ(但し、θは開口角(°)であって、NA=n・sinθで表され、nは対物レンズとカンチレバーとの間の媒質の屈折率)となるように配置されている。
【選択図】図2
Description
又、試料の測定前に光学顕微鏡で測定箇所を特定したいという要望がある。そこで、本出願人は、カンチレバーの上方や下方に光学顕微鏡を設置すると共に、光学顕微鏡等にレーザ光が当たらないようレーザ光を斜めから照射する技術を開発した(特許文献2)。この技術では、レーザ光の進路を変える反射部を光学顕微鏡の視野外に配置しているため、光学顕微鏡による試料の観察を鮮明に行うことができる。
一方、特許文献2記載の技術の場合、光学顕微鏡の視野外に反射部等が配置されているため、顕微鏡の分解能は低下しない。ところが、特許文献2記載の技術において光軸調整を行う際、レーザ光が光学顕微鏡の視野外で照射及び反射されることから、光学顕微鏡でレーザ光を直接観察することはできない。従って、散乱板等を用いてレーザ光を散乱させて、光学顕微鏡の視野内に導入する必要があり、光軸調整がし難い場合がある。
第1反射部が0°<φであれば光軸Oを遮らないが、実際の第1反射部は、入射光が入射する光路上の点でなく、この点の周囲にある程度の大きさを有すると共に、光源部から出射される光もある程度の広がりを持つ。そこで、3°≦φとすると、第1反射部のうち光路上の点の周囲の部材も光軸を確実に遮らないようにできる。
この走査プローブ顕微鏡によれば、第2反射部が、対物レンズのNAで決まる観察視野の外側となるθ<φの位置に配置されているので、対物レンズの分解能が低下することをより一層抑制できる。
この走査プローブ顕微鏡によれば、上記「粗調整」を行った後、カンチレバーからの反射光L1の光強度が受光部の直前で最も強くなるよう、光源部の位置(照射位置)を調整する「微調整」を容易に行うことができる。
この走査プローブ顕微鏡によれば、上記「微調整」を行った後、カンチレバーから反射された反射光L1の受光強度が最も高くなるよう、受光部の位置を調整することを容易に行うことができる。
この走査プローブ顕微鏡によれば、試料台の近傍のカンチレバー供給機構から、カンチレバーを容易かつ迅速に交換することができる。
この走査プローブ顕微鏡によれば、光軸O方向に探針とずれた位置に試料台を移動して上記「粗調整」を行った後、試料台を戻して通常の測定に復帰することができる。
この走査プローブ顕微鏡によれば、光源部の位置を調整する照射位置調整機構を備えていない場合であっても、試料の表面からでなく、カンチレバー供給機構に設置された光反射面からの反射光を対物レンズで観察して「粗調整」することができる。
また、試料の種類や表面状態によっては、試料の表面からの反射光の強度が十分でないことがあるが、光反射面からの反射光は一定の強度を確保できるので、「粗調整」をし易くなる。
図1において、走査プローブ顕微鏡100は、試料18の表面に近接させる探針99を先端に有するカンチレバー4と、カンチレバー4の下方に配置されて試料18を載置する試料台(ステージ)19と、光てこに用いるレーザ光を照射する光源部(半導体レーザ光源)1と、第1反射部(第1ミラー)3と、レーザ光を受光する受光部(4分割光検出素子)6と、第2反射部(第2ミラー)5と、カンチレバー4及び試料18に対向して配置される対物レンズ17と、制御手段40等を有する。なお、対物レンズ17で集光された光は光学顕微鏡本体25で観察又は撮像される。
又、第1の実施形態に係る走査プローブ顕微鏡100は、カンチレバー4が固定され、試料18側をスキャンするサンプルスキャン方式となっている。
制御手段40は走査プローブ顕微鏡100の動作を制御し、コントローラー、コンピュータ等を備えている。コンピュータは、制御基板、CPU(中央制御処理装置)、ROM、RAM、ハードディスク等の記憶手段、インターフェース、操作部等を有する。
粗動機構21は、微動機構20及びその上方の試料台19を大まかに3次元移動させるものであり、制御手段40によって動作が制御される。
微動機構20は、試料台19(及び試料18)を3次元に移動(微動)させるものであり、試料台19をそれぞれxy(試料18の平面)方向に走査する2つの(2軸の)圧電素子と、試料台19をz(高さ)方向に走査する圧電素子と、を備えた円筒形のスキャナ(アクチュエータ)である。圧電素子は、電界を印加すると結晶がひずみ、外力で結晶を強制的にひずませると電界が発生する素子であり、圧電素子としては、セラミックスの一種であるPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)を一般に使用することができるがこれに限られない。
各圧電素子は、制御手段40からの所定の制御信号(電圧)により、それぞれxy方向及びz方向へ駆動する。
そして、試料台19上に試料18が載置され、試料18が探針99に対向配置されている。
コンピュータ40は、プローブ顕微鏡100の各動作を制御し、測定されたデータを取り込み制御し、表面形状測定、表面物性測定などを実現する。そして、試料台19のxy面内の変位に対して、(i) 試料台19の高さの変位から3次元形状像を、(ii)共振状態の位相の値から位相像を、(iii)振動振幅の目標値との差により誤差信号像を、(iv)探針試料間の物性値から多機能測定像を、コンピュータ40上に表示し、解析や処理を行うことにより、プローブ顕微鏡として動作させる。
又、光ヘッド筐体16には光源側モジュール10が取り付けられ、光源側モジュール10の内部には光源側2軸調整ステージ7が配置されている。光源側2軸調整ステージ7には2軸調整機構7aを介して光源ホルダ8が取り付けられ、光源ホルダ8内に光源部1及び光源部1から出射されるレーザ光を集光する第1集光レンズ2が保持されている。さらに、光源側モジュール10には第1ミラーホルダ9が固定され、第1ミラーホルダ9に第1反射部3が取り付けられている。
そして、2軸調整機構7aを、Z方向とY方向(又はX方向)の2方向に調整することで、光源部1からのレーザ光がカンチレバーの反射面に重なるよう、光源部1から出射されるレーザ光の位置を調整する「光軸調整」を行うことができる。なお、加振機13は光源側モジュール10の下方に取り付けられている。
2軸調整機構7aが特許請求の範囲の「照射位置調整機構」に相当する。
2軸調整機構14aが特許請求の範囲の「受光位置調整機構」に相当する。
図2に示すように、試料18を載置する試料台19は水平になっていて、対物レンズ17の光軸Oは垂直に向いている。又、本例では、カンチレバー4の反射面は水平面に対して約11°の角度で図2の右上がりに傾いている。そして、対物レンズ17の開口数をNAとしたとき、NA=n・sinθで表される。但し、θは開口角(°)、nは対物レンズ17とカンチレバー4(試料18の表面)との間の媒質(通常は空気)の屈折率である。
このとき、カンチレバー4の反射面が水平に対して斜めに傾いているため、カンチレバー4に入射した入射レーザ光L0は、交点Pで第1反射部3よりも光軸Oに対して外側に傾く(図2の例ではθ<φ)角度の反射光L1となって第2反射部5に入射し、受光部6で検出されることになる。
又、本例では、第2反射部5は、対物レンズ17とカンチレバー4との間で、カンチレバー4の反射面で反射された反射光L1の光路と、光軸Oとのなす角がθより大きくなるように(対物レンズ17の観察視野外になるように)配置されている。このようにすると、第2反射部5が対物レンズ17を遮らないので、対物レンズ17の分解能が低下することをより一層抑制できる。但し、後述するように第2反射部5が反射光L1の光路と光軸Oとのなす角がθ以下となるように配置され、対物レンズ17の観察視野を多少遮っても問題ない。
なお、第2反射部5がθより大きくなるように配置されているとは、第2反射部5のうち反射光L1を反射させる位置(理論上は点)でθより大きくなるように配置されているという意味である。従って、第2反射部5の全ての部位がθより大きくなる位置に配置されていなくてもよく、例えば第2反射部5のうち最も光軸Oに近い部位がθ以下となる位置に配置されてもよい。
なお、本発明は、「光軸調整」のうち、入射レーザ光L0がカンチレバー4の反射面と重なるよう、光源部1の位置(図4のレバースキャン方式の場合はカンチレバー4の位置)を調整する「粗調整」を容易にするものである。その後、従来と同様に、カンチレバー4からの反射光L1の光強度が受光部6の直前で最も強くなるよう、光源部1の位置(照射位置)を調整する「微調整」を行う。さらに、カンチレバー4から反射された反射光の受光強度が最も高くなるよう、受光部6の位置を調整する。
なお、反射光L2は光軸Oに対して入射レーザ光L0と対称であり、入射レーザ光L0が上記円錐面L3の内部から照射されることから、反射光L2は必ず上記円錐面L3の内部を通り、対物レンズ17で直接観察されることになる。
次に、反射光L2がカンチレバー4の反射面(交点P)にさらに近づくよう、対物レンズ17で観察しながら光源部1の位置を調整してゆくと、入射レーザ光L0がカンチレバー4に照射された時点で、反射光L2は反射光L1の経路に変わり、観察画面から消えるので、入射レーザ光L0がカンチレバー4の反射面と重なったことがわかり、「粗調整」が終了する。
又、光源部1からの光をカンチレバー4に入射させる第1反射部3が、対物レンズ17の光軸Oからずれ(0°<φ)、光軸Oを遮らないので、対物レンズ17の分解能が低下することを抑制できる。さらに、第1反射部3が対物レンズ17の光軸Oからずれているので、第1反射部3が光軸O上に存在する場合に比べ、試料18の表面からの反射光L2の強度が強くなり過ぎず、反射光L2を観察し易い。
さらに、第2反射部5が、対物レンズ17のNAで決まる観察視野の外側となるθ<φの位置に配置されているので、対物レンズ17の分解能が低下することをより一層抑制できる。
そこで、3°≦φとすると、このような部材3eが光軸Oを確実に遮らないようにできる。又、一般的な対物レンズ17で実現可能なNAの値から、φ≦10°程度となる。
第1反射部3が、3°<φ<10°となる位置に配置されていることがより好ましい。
図4において、走査プローブ顕微鏡100Bは、探針99を先端に有するカンチレバー4と、カンチレバー4の下方に配置されて試料18を載置する試料台19と、光てこに用いるレーザ光を照射する光源部1と、第1反射部3と、受光部6と、第2反射部5と、カンチレバー4及び試料18に対向して配置される対物レンズ17及び光学顕微鏡本体25と、制御手段40B等を有する。
第1の実施形態と同様、光源部1は、対物レンズ17とカンチレバー4との間で、0°<θ<φとなる位置に配置されている。又、第1反射部3は、対物レンズ17とカンチレバー4との間で、0°<φ<θとなる位置に配置され、第2反射部5は、対物レンズ17とカンチレバー4との間で、θ<φとなる位置に配置されている。
カンチレバー4は、斜面ブロック11B内に設けられた真空配管30により斜面ブロック11Bに吸着固定され、斜面ブロック11Bは、加振機(振動子)13に固定されている。
連結部26の下面には、中央部が開口する微動機構(スキャナ)20Bが取付けられている。又、微動機構20Bの下面には、中央部が開口する枠状の光ヘッド筐体16Bが固定されている。微動機構20Bは、光ヘッド筐体16Bを3次元に移動(微動)させるものであり、所定の圧電素子を備えたフラットスキャナ(アクチュエータ)である。そして、光ヘッド筐体16Bの開口部に対物レンズ17が設置され、開口部を通して下方のカンチレバー4及び試料18に臨んでいる。
2軸調整機構7aが特許請求の範囲の「照射位置調整機構」に相当する。
さらに、光ヘッド筐体16の下側には、光源側モジュール10Bに対向して所定のミラーホルダが固定され、このミラーホルダに第2反射部5及び第2集光レンズ23が取り付けられている。さらに、光ヘッド筐体16Bには受光側2軸調整ステージ14Bが取り付けられ、受光側2軸調整ステージ14Bには2軸調整機構14aを介して受光部6が取り付けられている。そして、2軸調整機構を、Z方向とY方向(又はX方向)の2方向に調整することで、受光強度が最も高くなるよう、受光部6の位置を調整する「光軸調整」を行うことができる。
2軸調整機構14aが特許請求の範囲の「受光位置調整機構」に相当する。
このようにして、試料18にカンチレバー4の探針を近接又は接触させたときのカンチレバー1の変位を、上述の光テコ方式で検出し、微動機構20Bによりカンチレバー4の変位量を一定に保ちながら試料18表面を走査し、測定を行うことができる。
図5において、カンチレバー供給機構29の上面に、光軸調整用ミラー(光反射面)29mが自身の反射面が水平になるように設置されている。又、カンチレバー4は、斜面ブロック11Bに装着されたときと同一の傾きで、かつ光軸調整用ミラー29mの上方に探針が対向する位置で、カンチレバー供給機構29に保持されている。
ここで、図5の例では、光軸調整の際、カンチレバー4は斜面ブロック11Bにまだ装着されておらず、カンチレバー供給機構29上に保持されている。そして、この状態で、XYステージ28を調整し、光軸調整用ミラー29mの表面上の点Qxに対物レンズ17の光軸Oが交わるよう、カンチレバー供給機構29の位置を調整する。このとき、第1反射部3で下方に向けられた入射レーザ光L0は、0°<φ<θの角度で点Qxに入射し、点Qxから0°<φ<θの角度で反射して反射光L2となって対物レンズ17に取り入れられ、直接観察可能となる。
なお、カンチレバー供給機構29上のカンチレバー4の位置と、斜面ブロック11Bに装着した後のカンチレバー4の位置とは、カンチレバー4の長軸方向(図5の左右方向)に若干の位置ずれがあるが、その位置ずれを見越して図5の状態でカンチレバー4の位置を合わせることで、実用上問題はない。従って、図5の状態でカンチレバー4の位置を合わせることで「粗調整」が終了し、次いでカンチレバー4を斜面ブロック11Bに装着して測定に移行すればよい。なお、図5の状態でカンチレバー4の位置を合わせる際、カンチレバー4の上面と斜面ブロック11B下面とのZ方向の距離は、通常0.5mm程度である。
又、第1反射部3が対物レンズ17の光軸Oを遮らないので、対物レンズ17の分解能が低下することを抑制できる。さらに、第1反射部3が対物レンズ17の光軸Oからずれているので、光軸調整用ミラー29m(又は試料18)の表面からの反射光L2の強度が強くなり過ぎず、反射光L2を観察し易い。
又、走査プローブ顕微鏡は試料の表面形状を測定するものに限らず、探針を近接又は接触させて走査するものであれば、試料の各種の物性情報を測定するものでもよい。
光源部、第1反射部、受光部、第2反射部や、対物レンズの種類も上記実施形態に限定されない。
そして、カンチレバー4の先端の探針99と、試料18の表面との垂直方向の距離S(mm)を種々変更し、対物レンズ17で観察される反射光を撮像した。
得られた結果を図6に示す。又、比較として、第1反射部3のφ=0°とし、特許文献1記載の技術と同様に第1反射部3をビームスプリッタとし、同様に対物レンズ17で観察される反射光を撮像した。第1反射部3のφ=0°としたときの結果を図7に示す。
一方、図7に示すように、第1反射部3のφ=0°とした比較例の場合、距離Sによらずに反射光の中心位置が変わらず、対物レンズ17を用いて光軸調整を行うことはできたが、反射光の強度が強過ぎて観察し難かった。又、第1反射部3が対物レンズ17の光軸O中心を遮るので、対物レンズ17で試料18を観察する際に分解能が低下した。
3 第1反射部
4 カンチレバー
5 第2反射部
6 受光部
7a 照射位置調整機構
14a 受光位置調整機構
17 対物レンズ
18 試料
19 試料台
29 カンチレバー供給機構
29m 光軸調整用ミラー(光反射面)
99 探針
100、100B 走査プローブ顕微鏡
O 対物レンズの光軸
Claims (8)
- 試料の表面に近接させる探針が設けられたカンチレバーと、
光を照射する光源部と、
前記光源部から照射される入射光L0を反射して前記カンチレバーに設けられた反射面に導く第1反射部と、
前記光を受光する受光部と、
前記反射面で反射された反射光L1を反射して前記受光部へ導く第2反射部と、
前記カンチレバーに対向して配置され、該カンチレバーの近傍を観察又は撮像する開口数がNAの対物レンズと、を備えた走査プローブ顕微鏡であって、
前記第1反射部は、前記対物レンズと前記カンチレバーとの間で、前記第1反射部で反射された前記入射光L0の光路と、前記対物レンズの光軸Oとのなす角φが0°<φ<θ(但し、θは開口角(°)であって、NA=n・sinθで表され、nは前記対物レンズと前記カンチレバーとの間の媒質の屈折率)となるように配置されていることを特徴とする走査プローブ顕微鏡。 - 前記第1反射部は、3°≦φ≦10°となる位置に配置されている請求項1に記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記第2反射部は、前記対物レンズと前記カンチレバーとの間で、前記反射面で反射された前記反射光L1の光路と、前記対物レンズの光軸Oとのなす角がθより大きくなるように配置されている請求項1又は2に記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記光源部に接続されて当該光源部の位置を調整することで、前記入射光L0の前記第1反射面への照射位置を調整可能な照射位置調整機構を更に備えている請求項1乃至3のいずれか一項に記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記受光部に接続されて当該受光部の位置を調整することで、前記反射光L1の当該受光部での受光位置を調整可能な受光位置調整機構を更に備えている請求項1乃至4のいずれか一項に記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記試料を載置する試料台を更に備え、
前記試料台が1又は複数のカンチレバーを保持可能なカンチレバー供給機構を有する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の走査プローブ顕微鏡。 - 前記試料を載置する試料台を更に備え、
測定時に、前記光軸O方向に前記探針と重なるように前記試料台を移動可能な請求項1乃至6のいずれか1項に記載の走査プローブ顕微鏡。 - 前記試料台は、前記カンチレバーを測定時と同じ向きに保持し、
前記試料台はさらに、前記入射光L0を反射し、前記保持されたカンチレバーと共に前記入射光L0の光軸合わせをするための光反射面を有する請求項7に記載の走査プローブ顕微鏡。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016189575A1 (ja) * | 2015-05-22 | 2017-11-24 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2019205730A (ja) * | 2018-05-30 | 2019-12-05 | 株式会社サンセイアールアンドディ | 遊技機 |
WO2020105213A1 (ja) * | 2018-11-20 | 2020-05-28 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡の光軸調整方法 |
WO2023021867A1 (ja) * | 2021-08-20 | 2023-02-23 | 株式会社日立ハイテク | 走査プローブ顕微鏡とそれに使用される試料 |
JP7444754B2 (ja) | 2020-10-28 | 2024-03-06 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | プローブ顕微鏡およびプローブ顕微鏡の光軸調整方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3208956U (ja) * | 2016-10-19 | 2017-03-02 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
WO2018146804A1 (ja) * | 2017-02-13 | 2018-08-16 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP6939686B2 (ja) * | 2018-04-16 | 2021-09-22 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡及びカンチレバー移動方法 |
CN108318709A (zh) * | 2018-04-24 | 2018-07-24 | 苏州飞时曼精密仪器有限公司 | 一种原子力显微镜超短距离激光检测装置 |
JP6631674B1 (ja) * | 2018-10-16 | 2020-01-15 | 株式会社島津製作所 | 表面分析装置 |
KR102226351B1 (ko) * | 2020-10-23 | 2021-03-10 | 김성일 | 위치정보 기반의 니들 가이딩 장치 |
NL2028090B1 (en) * | 2021-04-29 | 2022-11-10 | Nearfield Instr B V | Method of calibrating in a scanning probe microscopy system an optical microscope, calibration structure and scanning probe microscopy device. |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05157554A (ja) * | 1991-12-09 | 1993-06-22 | Olympus Optical Co Ltd | 光学顕微鏡組込型プローブ顕微鏡 |
JPH0815281A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-19 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
US5811802A (en) * | 1995-08-18 | 1998-09-22 | Gamble; Ronald C. | Scanning probe microscope with hollow pivot assembly |
JP2000241333A (ja) * | 1999-02-23 | 2000-09-08 | Jeol Ltd | カンチレバー走査装置 |
JP2001188035A (ja) * | 1999-03-17 | 2001-07-10 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2011227097A (ja) * | 2011-08-03 | 2011-11-10 | Sii Nanotechnology Inc | 光学式変位検出機構のスポット光の位置合わせ方法およびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6642517B1 (en) * | 2000-01-25 | 2003-11-04 | Veeco Instruments, Inc. | Method and apparatus for atomic force microscopy |
JP4073847B2 (ja) * | 2003-08-25 | 2008-04-09 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡及び走査方法 |
CN100387967C (zh) * | 2003-09-15 | 2008-05-14 | 北京中科奥纳科技有限公司 | 扫描探针显微镜 |
WO2006090593A1 (ja) | 2005-02-24 | 2006-08-31 | Sii Nanotechnology Inc. | 走査型プローブ顕微鏡用変位検出機構およびこれを用いた走査型プローブ顕微鏡 |
US7571638B1 (en) * | 2005-05-10 | 2009-08-11 | Kley Victor B | Tool tips with scanning probe microscopy and/or atomic force microscopy applications |
CN1913043A (zh) * | 2005-08-08 | 2007-02-14 | 中国科学院电工研究所 | 一种原子力显微镜的扫描探头 |
JP4688643B2 (ja) * | 2005-11-10 | 2011-05-25 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 加振型カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 |
JP4873081B2 (ja) * | 2008-01-24 | 2012-02-08 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP5527274B2 (ja) | 2011-04-19 | 2014-06-18 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP6516569B2 (ja) * | 2015-06-02 | 2019-05-22 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 走査プローブ顕微鏡 |
-
2015
- 2015-03-25 JP JP2015063173A patent/JP6581790B2/ja active Active
- 2015-12-17 KR KR1020150180845A patent/KR102461129B1/ko active IP Right Grant
-
2016
- 2016-01-13 US US14/994,925 patent/US9678104B2/en active Active
- 2016-03-17 CN CN201610152514.8A patent/CN106018882B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05157554A (ja) * | 1991-12-09 | 1993-06-22 | Olympus Optical Co Ltd | 光学顕微鏡組込型プローブ顕微鏡 |
JPH0815281A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-19 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
US5811802A (en) * | 1995-08-18 | 1998-09-22 | Gamble; Ronald C. | Scanning probe microscope with hollow pivot assembly |
JP2000241333A (ja) * | 1999-02-23 | 2000-09-08 | Jeol Ltd | カンチレバー走査装置 |
JP2001188035A (ja) * | 1999-03-17 | 2001-07-10 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2011227097A (ja) * | 2011-08-03 | 2011-11-10 | Sii Nanotechnology Inc | 光学式変位検出機構のスポット光の位置合わせ方法およびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016189575A1 (ja) * | 2015-05-22 | 2017-11-24 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2019205730A (ja) * | 2018-05-30 | 2019-12-05 | 株式会社サンセイアールアンドディ | 遊技機 |
WO2020105213A1 (ja) * | 2018-11-20 | 2020-05-28 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡の光軸調整方法 |
JP2020085562A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡の光軸調整方法 |
US11519936B2 (en) | 2018-11-20 | 2022-12-06 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope and scanning probe microscope optical axis adjustment method |
JP7444754B2 (ja) | 2020-10-28 | 2024-03-06 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | プローブ顕微鏡およびプローブ顕微鏡の光軸調整方法 |
WO2023021867A1 (ja) * | 2021-08-20 | 2023-02-23 | 株式会社日立ハイテク | 走査プローブ顕微鏡とそれに使用される試料 |
Also Published As
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