JP7437991B2 - 検査装置、及び、チャックトップの位置調整方法 - Google Patents

Description

本開示は、検査装置、及び、チャックトップの位置調整方法に関する。

特許文献１には、ウエハの検査に用いるウエハ検査用インターフェースにおいて、プローブカードのポゴフレームに当接する面に、プローブカードの厚さを調整するシムを設ける技術が開示されている。

特開２０１３－１９１７３６号公報

本開示は、チャックトップの角度調整を容易に行うことができる技術を提供する。

本開示の一の態様によれば、複数のチャックトップ上の被検査体の電子デバイスをそれぞれ検査する複数の検査部と、前記複数の検査部に対応してそれぞれ配置された前記複数のチャックトップの各々の表面における複数点の高さ位置、又は、測定基準点から前記複数点までの高さ方向の距離を測定する測定部と、前記複数点の高さ位置、又は、前記測定基準点から前記複数点までの高さ方向の距離に基づき、各チャックトップの前記複数点における高さ方向の調整量を算出する算出部と、各チャックトップについて、前記調整量に基づき、前記チャックトップの角度を調整する調整機構とを含む、検査装置が提供される。

一の側面によれば、チャックトップの角度調整を容易に行うことができる。

実施形態に係る検査装置１０の一例を示す断面図である。 図１におけるＡ－Ａ矢視断面に相当する切断面における検査装置１０の全体の断面の一例を示す図である。 検査装置１０のアライナ１９及び調整機構２０を示す図である。 調整機構２０を示す図である。 実施形態のチャックトップの位置調整方法の処理を示すフローチャートである。

以下、本開示を実施するための形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成については、同一の符号を付すことにより重複した説明を省く場合がある。

＜実施形態＞
図１は、実施形態に係る検査装置１０の一例を示す断面図である。図２は、図１におけるＡ－Ａ矢視断面に相当する切断面における検査装置１０の全体の断面の一例を示す図である。以下では、直交座標系であるＸＹＺ座標系を定義して説明する。ＸＹ平面は水平面であり、Ｚ方向は上下方向である。

図１及び図２に示すように、検査装置１０は、筐体１１を含む。筐体１１の内部空間は、検査室１１Ａである。検査室１１Ａは、検査領域１２と、搬送領域１３と、ロードポート領域１４とを有する。

図１及び図２では、検査領域１２、搬送領域１３、及びロードポート領域１４の間を仕切る壁（ＸＺ面に略平行な壁）や、壁に設けられる開口部等を省略する。

検査領域１２は、被検査体の一例であるウエハＷに形成された電子デバイスの電気特性の検査が行われる領域であり、主に、ウエハ検査用の複数のテスタ１５と、ポゴフレーム１５Ａと、カメラ１６と、アライナ１９と、調整機構２０とが配置される。テスタ１５及びポゴフレーム１５Ａは、検査部の一例である。ポゴフレーム１５Ａは、各テスタ１５の下に１つずつ設けられている。カメラ１６は、測定部の一例であり、テスタ１５側に設けられる。テスタ１５は、一例として、検査領域１２内でＸ方向に５個配置されるとともに、上下方向に３段設けられている。また、カメラ１６は、各段に１つずつ設けられており、レール１６Ａに沿ってＸ方向に移動可能である。図１に示す構成は、一例として、中段のテスタ１５を含む部分の構成であるが、各段の構成は同様である。テスタ１５は、検査領域１２内でＸ方向に複数配置されるとともに、上下方向に複数段設けられていればよい。また、カメラ１６は、各テスタ１５に１つずつ設けられていてもよい。なお、アライナ１９と調整機構２０については後述する。

搬送領域１３は、検査領域１２及びロードポート領域１４の間に設けられた領域である。搬送領域１３には、搬送ステージ１８をＸ方向に案内するレール１８Ａが設けられている。搬送ステージ１８については後述する。

ロードポート領域１４は、複数の収容空間１７に区画されている。複数の収容空間１７は、一例として、Ｘ方向に５個に区画され、上下方向に３段に区画される。図１には、３段のうちの中段に位置する５個の収容空間１７を示す。中段の５個の収容空間１７のうちの３個の収容空間１７には、複数枚のウエハＷを収納する容器であるＦＯＵＰを収容するポート１７ａが３個配置され、残りの２個の収容空間１７には、検査装置１０の各部の動作を制御するコントローラ１７ｄが配置される。ＦＯＵＰは、キャリアの一例であり、ポート１７ａは、キャリア収容室の一例である。

各テスタ１５の下には、図示しないプローブカードを保持するポゴフレーム１５Ａが設けられる。ポゴフレーム１５Ａは、筐体１１に固定されている。ポゴフレーム１５Ａは、ウエハＷの電子デバイスの端子に接触するポゴピン（図示を省略）を有する。ウエハＷの電子デバイスの端子は、ポゴフレーム１５Ａを介してテスタ１５に電気的に接続される。

チャックトップ１５Ｂは、厚板状の部材であり、平坦な上面を有する。チャックトップ１５Ｂは、アライナ１９（図２参照）によってポゴフレーム１５Ａに対して位置合わせが行われた状態で図示しない真空吸着機構によってポゴフレーム１５Ａに吸着される。また、検査装置１０は、調整機構２０を含む。調整機構２０は、アライナ１９の上に設けられ、チャックトップ１５Ｂの上面（表面）が水平になるようにチャックトップ１５Ｂの角度調整を行う。調整機構２０の詳細については、図３を用いて後述する。

チャックトップ１５Ｂがポゴフレーム１５Ａに吸着されると、プローブカードのプローブがウエハＷの電子デバイスの端子に押圧される。なお、アライナ１９は、各段に１つずつ設けられている。図１では、アライナ１９は、５個のテスタ１５のうちのいずれか１個の下にあり、図示を省く。

チャックトップ１５Ｂは、ウエハＷを加熱する加熱機構（ヒータ）を有していてもよく、テスタ１５が電子デバイスの電気特性の検査を行う際に、ウエハＷの温度を所望の温度に加熱してもよい。また、チャックトップ１５Ｂは、冷却液を利用してチャックトップ１５Ｂを冷却する冷却機構（チラーユニット）を有していてもよい。

カメラ１６は、各段において、レール１６Ａに沿ってＸ方向に移動し、チャックトップ１５Ｂの上面に保持されるウエハＷの位置と、チャックトップ１５Ｂの位置とを撮影する。カメラ１６が取得した画像データは、アライナ１９によってウエハＷの位置合わせを行う際に利用されるとともに、チャックトップ１５Ｂの上面のＺ方向における位置（以下、高さ位置）を測定する際に用いられる。チャックトップ１５Ｂの高さ位置は、一例として、検査装置１０内で定められた所定の高さ基準点に対する高さ位置で表される。

搬送ステージ１８は、搬送機構の一例である。搬送ステージ１８は、搬送領域１３内をレール１８Ａに沿ってＸ方向に移動可能である。搬送ステージ１８は、Ｙ方向及びＺ方向に動作可能なアーム等を有し、ウエハＷ等をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向に搬送可能である。搬送ステージ１８は、ロードポート領域１４のポート１７ａからウエハＷを受け取り、搬送領域１３内をＸ方向に搬送し、アライナ１９に受け渡す。また、搬送ステージ１８は、電子デバイスの電気特性の検査が終了したウエハＷをアライナ１９から受け取り、搬送領域１３内をＸ方向に搬送し、ポート１７ａに受け渡す。

アライナ１９は、位置合わせ機構の一例であり、搬送ステージ１８からウエハＷを受け取る。アライナ１９は、ウエハＷを保持するチャックトップ１５Ｂを各テスタ１５へ搬送し、ポゴフレーム１５Ａが保持するプローブカードに対してウエハＷの位置合わせを行う。このような位置合わせが行われた状態で、チャックトップ１５Ｂは、図示しない真空吸着機構によってポゴフレーム１５Ａに吸着される。アライナ１９は、電子デバイスの電気特性の検査が終了したウエハＷを保持するチャックトップ１５Ｂをポゴフレーム１５Ａから調整機構２０の上に受け取り、ウエハＷを搬送ステージ１８に受け渡す。

図３は、検査装置１０のアライナ１９及び調整機構２０を示す図である。図４は、調整機構２０を示す図である。図３には、上下方向の３段のうちの１段に含まれるある１つのテスタ１５の周囲の構造をＹＺ断面で示す。アライナ１９は、筐体１１の各段の床１１Ｆの上に設けられている。また、図３には、コントローラ１７ｄを示し、カメラ１６は省略する。アライナ１９及び調整機構２０は、コントローラ１７ｄによって駆動制御が行われる。

アライナ１９は、上下方向の３段のうちの各段に１つずつ設けられている。アライナ１９は、Ｘステージ１９Ｘ、Ｙステージ１９Ｙ、Ｚステージ１９Ｚが下から上にかけてこの順番で重ねられた構成を有する。Ｘステージ１９Ｘは、Ｘ方向に移動可能であり、Ｙステージ１９Ｙは、Ｘステージ１９Ｘに対してＹ方向に移動可能であり、Ｚステージ１９Ｚは、Ｙステージ１９Ｙに対してＺ方向に移動可能である。Ｚステージ１９Ｚの上面には調整機構２０が取り付けられている。

ところで、搬送ステージ１８（図１参照）とテスタ１５との間でアライナ１９がウエハＷを搬送する際には、ウエハＷの位置ずれや破損等を抑制するために、ウエハＷを水平に保ちたい。そのためには、チャックトップ１５Ｂの上面が水平であればよい。

しかしながら、例えば、アライナ１９のＸステージ１９Ｘ、Ｙステージ１９Ｙ、Ｚステージ１９Ｚの経年変化等による互いの位置ずれ等によって、Ｚステージ１９Ｚの上面が水平ではなくなり、チャックトップ１５Ｂの上面が水平ではなくなる場合がある。また、例えば、各チャックトップ１５Ｂの個体差や変形によって、チャックトップ１５Ｂの上面が水平ではなくなる場合がある。本実施形態では、このような場合に、調整機構２０でチャックトップ１５Ｂの上面が水平になるように、チャックトップ１５Ｂの角度を調整する。

調整機構２０は、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを有する。調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃは、Ｚステージ１９Ｚの上面に固定されている。調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃは、図４に示すように、一例として、一直線上ではなく、平面視で三角形の頂点に位置するように配置されている。チャックトップ１５Ｂを３点で支持するためである。

調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃは、Ｚ方向に伸縮可能なアクチュエータであり、コントローラ１７ｄから入力される調整量データに基づいてチャックトップ１５Ｂの上面が水平になるようにＺ方向の長さが調整される。アライナ１９は、このような調整機構２０を介してチャックトップ１５Ｂを保持し、各テスタ１５に搬送する。なお、調整量データについては後述する。

チャックトップ１５Ｂの上面が水平になるように調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さを調整するために、コントローラ１７ｄは、次のような制御処理を行う。ここで、コントローラ１７ｄは、一例として、ＣＰＵ(Central Processing Unit)、ＲＡＭ(Random Access Memory)、ＲＯＭ(Read Only Memory)、ＨＤＤ(Hard Disk Drive)、入出力インターフェース、及び内部バス等を含むコンピュータによって実現される。

コントローラ１７ｄは、制御部１７１、算出部１７２、及びメモリ１７３を有する。制御部１７１及び算出部１７２は、コントローラ１７ｄが実行するプログラムの機能（ファンクション）を機能ブロックとして示したものである。また、メモリ１７３は、コントローラ１７ｄのＲＡＭ、ＲＯＭ、ＨＤＤ等のメモリを機能的に表したものである。

制御部１７１は、コントローラ１７ｄのうち、検査装置１０の各部の動作を制御する部分である。制御部１７１は、カメラ１６（図１、２参照）からウエハＷ及びチャックトップ１５Ｂの位置を表す画像データを取得する。アライナ１９によるウエハＷ及びチャックトップ１５Ｂの位置合わせに用いるためである。

アライナ１９によるウエハＷの位置合わせは、アライナ１９がＸステージ１９Ｘ、Ｙステージ１９Ｙ、Ｚステージ１９Ｚの他に有するθ軸調整用のステージ（図示を省略）によって行われる。アライナ１９によるチャックトップ１５Ｂの位置合わせは、Ｘステージ１９Ｘ、Ｙステージ１９Ｙ、Ｚステージ１９ＺのＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置を調整することによって行われる。制御部１７１は、ウエハＷ及びチャックトップ１５Ｂの位置を表す画像データに基づいて、アライナ１９の駆動制御に用いるためのコマンドを生成し、アライナ１９に伝送する。

また、制御部１７１は、撮影用のコマンドで、チャックトップ１５Ｂの高さ位置を測定するための撮影位置にチャックトップ１５Ｂをアライナ１９で移動させた状態で、カメラ１６にチャックトップ１５Ｂの上面の予め決められた所定位置の３点の撮影を行わせる。チャックトップ１５Ｂの高さ位置を測定するための撮影位置では、Ｘステージ１９Ｘ及びＹステージ１９Ｙによってポゴフレーム１５Ａに対するチャックトップ１５ＢのＸ方向及びＹ方向における位置合わせが行われ、Ｚステージ１９Ｚによってチャックトップ１５Ｂの上面が撮影用の高さ位置に位置するように位置合わせが行われている。チャックトップ１５Ｂの上面の予め決められた所定位置の３点は、チャックトップ１５Ｂの上面で一直線上に位置せず、平面視で三角形をなす配置である。以下では、チャックトップ１５Ｂの上面の３点と称す。

また、撮影時には、調整機構２０の調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さは、一例として、調整量データによって調整されていない長さ（調整量データが表す調整量がゼロのときの長さ）に設定される。調整量がゼロの状態におけるチャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さを取得するためである。なお、既に調整量データが得られていて、２回目以降の撮影である場合には、撮影時点で得られている調整量データによって調整された長さに設定してもよい。撮影時点で得られている調整量データで得られるチャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さにずれがあれば、さらに調整するための調整量データを取得できるからである。

撮影用の高さ位置は、チャックトップ１５Ｂがポゴフレーム１５Ａに接触しておらず、カメラ１６でチャックトップ１５Ｂの上面を撮影可能な高さ位置であれば、どのような位置であってもよく、予め決めておけばよい。

カメラ１６は、チャックトップ１５Ｂの上面の３点を別々に撮影した際にオートフォーカス機能で焦点が合ったときの焦点距離を表すデータ（以下、焦点距離データ）から、チャックトップ１５Ｂの上面の３点のＺ方向の高さ位置を表すデータ（以下、高さ位置データ）を取得して、制御部１７１に出力する。このような処理を行うカメラ１６は、測定部の一例である。例えば、検査装置１０内で定められた所定の高さ基準点に対するカメラ１６の高さ位置から焦点距離を減算すれば、高さ基準点に対するチャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置データを取得できる。なお、チャックトップ１５Ｂの上面の３点を別々に撮影する際には、カメラ１６を３点の真上に移動させればよい。

制御部１７１は、チャックトップ１５Ｂの高さ位置を測定するための撮影位置におけるチャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置データをカメラ１６から取得する。制御部１７１は、取得した３点の高さ位置データを算出部１７２に伝送する。なお、チャックトップ１５Ｂの上面の３点は、一例として、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの真上の３点であることが好ましい。調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さの変化が、所定位置の３点の高さ位置の変化にそのまま反映されて、計算が容易だからである。

また、ここでは、カメラ１６がチャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置データを取得して、制御部１７１に出力する形態について説明するが、一部の処理を制御部１７１が行ってもよい。例えば、カメラ１６は、チャックトップ１５Ｂの上面の３点を撮影した際にオートフォーカス機能で焦点が合ったときの焦点距離データを制御部１７１に出力し、制御部１７１が焦点距離データからチャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置データを求めてもよい。この場合には、カメラ１６と、制御部１７１のうちの高さ位置データを求める処理を行う部分とが測定部の一例である。

算出部１７２は、制御部１７１から取得した３点の高さ位置データを比較し、調整量データを算出する。調整量データとは、調整機構２０の調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さの調整量を表すデータである。

また、調整量データは、チャックトップ１５Ｂの上面が水平になるようにチャックトップ１５Ｂの角度を調整するために、３点の高さ位置を揃える調整量を表す。チャックトップ１５Ｂの角度は、一例として、チャックトップ１５Ｂの平坦な上面の法線の角度で表され、チャックトップ１５Ｂの角度を調整することは、法線の角度を調整することである。法線が鉛直方向を向いているときに、チャックトップ１５Ｂの上面は水平になる。チャックトップ１５Ｂの上面を水平にするには、チャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置を揃えればよい（同一にすればよい）。このため、調整量データは、チャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置を揃える調整量を表す。

チャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置を揃えるには、調整量データは、３点のうちのいずれか１点の高さ位置に揃えるように調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さを調整する調整量を表すデータであればよい。調整量データは、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの各々について算出される。

算出部１７２は、チャックトップ１５Ｂを搬送する際の調整量データを算出し、メモリ１７３に格納する。なお、このようなカメラ１６による撮影を各チャックトップ１５Ｂに対して行うことにより、各チャックトップ１５Ｂについて３点の高さ位置データを取得すればよい。算出部１７２は、各チャックトップ１５Ｂについて調整量データを算出し、算出した調整量データをメモリ１７３に格納すればよい。

各調整量データは、一例として、テスタ１５とチャックトップ１５Ｂの組み合わせに対して割り当てられる識別子を用いて、メモリ１７３内で管理すればよい。テスタ１５とチャックトップ１５Ｂの組み合わせに対して識別子を割り振るのは、ポゴフレーム１５Ａとチャックトップ１５Ｂには個体差があるため、組み合わせを決めて用いるためである。このため、テスタ１５とチャックトップ１５Ｂの組み合わせを入れ替えたときには、調整量を算出し直し、メモリ１７３に追加すればよい。なお、このようにテスタ１５とチャックトップ１５Ｂとの組み合わせを考慮する必要がない場合には、調整量データに、チャックトップ１５Ｂの識別子を付与して識別すればよい。

また、ここでは、カメラ１６が取得したチャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置データを用いて、算出部１７２が３点の高さ位置を揃える調整量データを算出する形態について説明するが、次のようにしてもよい。

カメラ１６は、チャックトップ１５Ｂの上面の３点を別々に撮影した際の焦点距離データを制御部１７１に出力し、算出部１７２は、制御部１７１から取得した焦点距離データを用いて、３点を撮影する際の焦点距離を揃える調整量データを算出してもよい。３点を撮影する際の焦点距離を揃えるには、３点のうちのいずれか１点の焦点距離に揃えるように調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さを調整する調整量データを算出すればよい。調整量データは、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの各々について算出される。３つの調整量データで調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さをそれぞれ調整することによって、チャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置が揃うことになる。

このようにして調整量データを算出する場合には、焦点距離データに基づいて高さ基準点に対するチャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置データを求める必要がないため、計算量が少なくて済む。ここで、チャックトップ１５Ｂの上面の３点を撮影するために、カメラ１６を３点の真上の３箇所に移動させたときのカメラ１６の３箇所における位置は、測定基準点の一例である。

制御部１７１は、メモリ１７３に格納された調整量データを識別子を用いて読み出し、識別子に対応するチャックトップ１５Ｂが載置される調整機構２０の調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さを調整する。この結果、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃが調整量データに基づいてＺ方向の長さを調整し、チャックトップ１５Ｂの角度が調整されてチャックトップ１５Ｂの上面が水平になる。

なお、ここでは、調整機構２０がアクチュエータで構成される３つの調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを有し、３つの調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さを調整するために、算出部１７２が３つの調整量データを算出する形態について説明する。

しかしながら、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃのうちの１つは、Ｚ方向の長さが固定された固定部であってもよい。この場合には、制御部１７１は、カメラ１６からチャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置データを取得し、算出部１７２は、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃのうちの固定部以外の２つについて調整量データを算出すればよい。そして、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃのうちの固定部以外の２つのＺ方向の長さを調整して、チャックトップ１５Ｂの上面が水平になるように調整を行えばよい。このように、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃのうちの１つが固定部である場合には、計算量を減らすことができるとともに、チャックトップ１５Ｂの上面の高さ位置の管理が容易になる。

また、焦点距離データから３点を撮影する際の焦点距離が揃うように調整量データを算出する際に、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃのうちの１つが固定部である場合には、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃのうちの固定部以外の２つについて、３点の焦点距離を揃えることができる２つの調整量データをそれぞれ算出すればよい。

メモリ１７３は、コントローラ１７ｄが検査装置１０の動作を制御する際に利用するプログラムやデータの他に、調整量データ等を格納する。

図５は、実施形態のチャックトップの位置調整方法の処理を示すフローチャートである。前提条件として、アライナ１９の上に配置された調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さは、調整量データによって調整されていない長さ（調整量データが表す調整量がゼロのときの長さ）、又は、図５に示す処理を行う時点で得られている調整量データ（前回の処理で取得された調整量データ）によって調整された長さに設定されていることとする。

まず、制御部１７１は、撮影用のコマンドでアライナ１９の駆動制御を行い、チャックトップ１５Ｂの高さ位置を測定するための撮影位置にチャックトップ１５Ｂを移動させる（ステップＳ１）。

制御部１７１は、カメラ１６にチャックトップ１５Ｂの上面の３点を撮影させて、カメラ１６から高さ位置データを取得する（ステップＳ２）。ステップＳ２の処理によって、チャックトップ１５Ｂの上面の３点の高さ位置が分かる。

算出部１７２は、制御部１７１によって取得された３点の高さ位置を比較し、３点の高さ位置を揃える３つの調整量データを算出する（ステップＳ３）。算出部１７２は、調整量データをメモリ１７３に格納する。

ここで、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さが調整量データによって調整されていない状態でステップＳ２において高さ位置データが取得された場合には、ステップＳ３で算出される調整量データをそのまま用いて調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さを調整すればよい。また、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さが前回の処理で算出された調整量データで調整されている状態でステップＳ２において高さ位置データが取得された場合には、ステップＳ３で算出される調整量と、前回の処理で算出された調整量との和で得られる調整量データを用いて調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さを調整すればよい。

制御部１７１は、メモリ１７３に格納された調整量データを読み出し、調整量データに関連付けられた識別子に対応するチャックトップ１５Ｂが載置される調整機構２０の調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さを調整する（ステップＳ４）。この結果、調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃが調整量データに基づいてＺ方向の長さを調整し、チャックトップ１５Ｂの角度が調整されてチャックトップ１５Ｂの上面が水平になる。

以上のように、チャックトップ１５Ｂ毎に調整量を算出し、チャックトップ１５Ｂ毎にメモリ１７３に格納した調整量データを用いて調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０ＣのＺ方向の長さを調整することで、チャックトップ１５Ｂの角度を容易に調整できる。

したがって、チャックトップ１５Ｂの角度調整を容易に行うことができる検査装置１０、及び、チャックトップの位置調整方法を提供することができる。調整機構２０を用いれば、チャックトップ１５Ｂの上面を水平に調整することは非常に容易である。

また、調整機構２０でチャックトップ１５Ｂの角度調整を行わない場合や、検査装置１０が調整機構２０を含まない場合に、チャックトップ１５Ｂの角度を調整するには、例えば、チャックトップ１５Ｂの下面側やアライナ１９とチャックトップ１５Ｂとの間等にシムやスペーサを挿入することになる。しかしながら、シムやスペーサを用いて行う角度調整は非常に時間や手間が掛かり、チャックトップ１５Ｂの角度にずれが生じる度に調整を行う必要が生じる。また、チャックトップ１５Ｂは複数あり、チャックトップ１５Ｂ毎に角度の調整量が異なると、各チャックトップ１５Ｂについてシムやスペーサを用いて調整を行う必要が生じる。

これに対して、実施形態の検査装置１０は、各チャックトップ１５Ｂの個体差や変形、又は、Ｘステージ１９Ｘ、Ｙステージ１９Ｙ、Ｚステージ１９Ｚの互いの位置ずれ等に応じた調整量を算出し、メモリ１７３に格納した調整量データを用いて調整機構２０でチャックトップ１５Ｂの表面を水平に調整できる。このため、チャックトップ１５Ｂの上面を水平にするための角度調整が非常に容易である。

また、調整機構２０を用いればｌ、角度調整を短時間で行えるため、高スループットでの検査が可能な検査装置１０を提供できる。

また、調整機構２０は、アライナ１９のＺステージ１９Ｚの上に固定されているので、アライナ１９の経年変化等による傾きや、チャックトップ１５Ｂの個体差等による傾き等を容易に補正することができ、チャックトップ１５Ｂの上面が水平になるように容易に角度調整を行うことができる。

また、アライナ１９は、検査装置１０内の検査領域１２内の上下方向の各段に１つずつ設けられており、調整機構２０は、各段のアライナ１９の上に１つ設けられている。このため、調整機構２０は、アライナ１９とともに移動可能であり、各段において１つの調整機構２０で複数のチャックトップ１５Ｂの上面の水平に調整することができる。

また、調整量データを算出してチャックトップ１５Ｂの角度を調整する作業を行う頻度は、検査装置１０の使用状況や、チャックトップ１５Ｂの角度に対して求められる精度等に応じて、適宜決めればよい。

なお、以上では、調整機構２０が３つの調整部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを有し、チャックトップ１５Ｂを３点支持する形態について説明したが、調整部の数は４つ以上であってもよい。

以上、本開示に係る検査装置、及び、チャックトップの位置調整方法の実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態等に限定されない。特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更、修正、置換、付加、削除、及び組み合わせが可能である。それらについても当然に本開示の技術的範囲に属する。

１０ 検査装置
１５ テスタ
１５Ａ ポゴフレーム
１５Ｂ チャックトップ
１９ アライナ
１９Ｘ Ｘステージ
１９Ｙ Ｙステージ
１９Ｚ Ｚステージ
２０ 調整機構
２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ 調整部
１７ｄ コントローラ
１７１ 制御部
１７２ 算出部
１７３ メモリ

Claims (6)

1. 複数のチャックトップ上の被検査体の電子デバイスをそれぞれ検査する複数の検査部と、
   前記複数の検査部に対応してそれぞれ配置された前記複数のチャックトップの各々の表面における複数点の高さ位置、又は、測定基準点から前記複数点までの高さ方向の距離を測定する測定部と、
   前記複数点の高さ位置、又は、前記測定基準点から前記複数点までの高さ方向の距離に基づき、各チャックトップの前記複数点における高さ方向の調整量を算出する算出部と、
   前記算出部によって算出された各チャックトップの前記複数点における高さ方向の調整量を表す調整量データを格納するメモリと、
   各チャックトップについて、前記メモリに格納された前記調整量データが表す前記調整量に基づき、前記チャックトップの角度を調整する調整機構と
   を含み、
   前記調整機構は、水平面に対する高さ方向に伸縮可能なアクチュエータで構成される複数の調整部を有し、
   前記調整量は、各チャックトップについて前記複数点の高さ位置を同一にすることで各チャックトップの表面を水平にする角度調整を行うために前記複数の調整部の高さ方向の長さを調整する量であって、前記算出部によって各チャックトップについて前記複数の調整部の各々について算出される、検査装置。
2. 前記調整量は、各チャックトップについて、前記複数点の高さ位置、又は、前記測定基準点から前記複数点までの高さ方向の距離を揃える調整量である、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記調整量は、前記チャックトップの表面を水平にする角度調整を行うための調整量である、請求項１又は２に記載の検査装置。
4. 各検査部に対して各チャックトップの位置合わせを行う位置合わせ機構をさらに含み、
   前記調整機構は、前記位置合わせ機構の上に設けられており、
   各チャックトップは、前記調整量で前記複数点の高さ位置を調整する前記調整機構を介して前記位置合わせ機構に保持されて前記位置合わせが行われる、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の検査装置。
5. 前記調整機構及び前記位置合わせ機構は、前記複数の検査部に対して１つ設けられ、前記複数の検査部の位置に移動可能である、請求項４に記載の検査装置。
6. 複数のチャックトップ上の被検査体の電子デバイスをそれぞれ検査する複数の検査部と、
   前記複数の検査部に対応してそれぞれ配置された前記複数のチャックトップの各々の表面における複数点の高さ位置、又は、測定基準点から前記複数点までの高さ方向の距離を測定する測定部と、
   前記複数点の高さ位置、又は、前記測定基準点から前記複数点までの高さ方向の距離に基づき、各チャックトップの前記複数点における高さ方向の調整量を算出する算出部と、
   前記算出部によって算出された各チャックトップの前記複数点における高さ方向の調整量を表す調整量データを格納するメモリと、
   各チャックトップについて、前記メモリに格納された前記調整量データが表す前記調整量に基づき、前記チャックトップの角度を調整する調整機構と
   を含み、
   前記調整機構は、水平面に対する高さ方向に伸縮可能なアクチュエータで構成される複数の調整部を有し、
   前記調整量は、各チャックトップについて前記複数点の高さ位置を同一にすることで各チャックトップの表面を水平にする角度調整を行うために前記複数の調整部の高さ方向の長さを調整する量であって、前記算出部によって各チャックトップについて前記複数の調整部の各々について算出される、検査装置におけるチャックトップの位置調整方法であって、
   各チャックトップについて、前記調整量に基づき、前記複数の調整部で前記チャックトップの角度を調整する、チャックトップの位置調整方法。
   

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