JP7432105B2 - Dlc被覆工具の表面処理方法 - Google Patents
Dlc被覆工具の表面処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7432105B2 JP7432105B2 JP2020019742A JP2020019742A JP7432105B2 JP 7432105 B2 JP7432105 B2 JP 7432105B2 JP 2020019742 A JP2020019742 A JP 2020019742A JP 2020019742 A JP2020019742 A JP 2020019742A JP 7432105 B2 JP7432105 B2 JP 7432105B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dlc
- coated
- gas
- treatment
- hydrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 28
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 title claims description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 31
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 26
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 10
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N Fluoroform Chemical compound FC(F)F XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- AFYPFACVUDMOHA-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoromethane Chemical compound FC(F)(F)Cl AFYPFACVUDMOHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
しかし、水素非含有DLC皮膜を用いたDLC被覆工具であっても、切削条件によっては工具上のDLC皮膜に被削材が凝着する場合があり、DLC皮膜にさらなる耐凝着性が求められている。
すなわち、特許文献1、2に記載された方法では、グラファイト、Siが被削材となる金属との親和性が高いため、かえって凝着を促進してしまう。また、特許文献3に記載された方法では、余熱の利用のみでは水素ガスによる処理(水素化処理)が十分とはいえず、仮に、熱源を補ったとしても水素ガスによる処理には数百℃に加熱しなければならないため、工具基材の劣化やDLC皮膜の剥離を起こす可能性がある。
「(1)工具基材表面にDLC皮膜が被覆されたDLC被覆切削工具の表面処理方法であって、
前記DLC皮膜の表面の終端処理が水素ガスと希ガスの混合ガス雰囲気中で高周波電力を印加することによって発生させたプラズマに曝露する、
前記DLC皮膜の表面を終端処理して不活性化するDLC被覆切削工具の表面処理方法。
(2)工具基材表面にDLC皮膜が被覆されたDLC被覆切削工具の表面処理方法であって、
前記DLC皮膜の表面の終端処理がハロゲン元素を含むガスと希ガスの混合ガス雰囲気中で高周波電力を印加することによって発生させたプラズマに曝露する、
前記DLC皮膜の表面を終端処理して不活性化するDLC被覆切削工具の表面処理方法。」
ここで、混合ガス中には、好ましくは、水素ガスが0.5体積%以上含まれるようにする。また、希ガスは、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノンのうち少なくとも1種類以上が好ましい。
プラズマの発生のために、例えば、高周波電源を用いて13.56MHz、100Wの電力を印加する。なお、周波数や電力は、プラズマを生成・維持できればよく、例示された数値に限定されるものではない。
次に、プラズマ中の水素イオンを工具基体に誘導するために、例えば、-100~0Vのバイアス電圧を工具基体に印加する。また、処理時間は、例えば、10秒~100分とする。
切削方式:旋削加工
被削材:アルミニウム合金(A6063)
切削速度:1000m/分
送り:0.4mm
切り込み深さ:1mm
切削試験時間:10秒
Claims (2)
- 工具基材表面にDLC皮膜が被覆されたDLC被覆切削工具の表面処理方法であって、
前記DLC皮膜の表面の終端処理が水素ガスと希ガスの混合ガス雰囲気中で高周波電力を印加することによって発生させたプラズマに曝露する、
前記DLC皮膜の表面を終端処理して不活性化するDLC被覆切削工具の表面処理方法。 - 工具基材表面にDLC皮膜が被覆されたDLC被覆切削工具の表面処理方法であって、
前記DLC皮膜の表面の終端処理がハロゲン元素を含むガスと希ガスの混合ガス雰囲気中で高周波電力を印加することによって発生させたプラズマに曝露する、
前記DLC皮膜の表面を終端処理して不活性化するDLC被覆切削工具の表面処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020019742A JP7432105B2 (ja) | 2020-02-07 | 2020-02-07 | Dlc被覆工具の表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020019742A JP7432105B2 (ja) | 2020-02-07 | 2020-02-07 | Dlc被覆工具の表面処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021123776A JP2021123776A (ja) | 2021-08-30 |
JP7432105B2 true JP7432105B2 (ja) | 2024-02-16 |
Family
ID=77458426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020019742A Active JP7432105B2 (ja) | 2020-02-07 | 2020-02-07 | Dlc被覆工具の表面処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7432105B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012161853A (ja) | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Honda Motor Co Ltd | 切削工具 |
-
2020
- 2020-02-07 JP JP2020019742A patent/JP7432105B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012161853A (ja) | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Honda Motor Co Ltd | 切削工具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021123776A (ja) | 2021-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6337944B2 (ja) | 被覆工具 | |
JP5933701B2 (ja) | 硬質の炭素層のためのコーティング除去方法 | |
JP7078220B2 (ja) | 金属製品の製造方法 | |
JP7432105B2 (ja) | Dlc被覆工具の表面処理方法 | |
JP6308298B2 (ja) | 被覆工具の製造方法 | |
JPH02122075A (ja) | 硬質炭素膜のコーティング方法 | |
JP2006052435A (ja) | 半導体加工装置用部材及びその製造方法 | |
JP3971336B2 (ja) | α型結晶構造主体のアルミナ皮膜の製造方法およびα型結晶構造主体のアルミナ皮膜で被覆された部材の製造方法 | |
JP3187487B2 (ja) | ダイヤモンド様薄膜の保護膜付き物品 | |
JP3871529B2 (ja) | 硬質炭素膜成膜方法 | |
JP2004131820A (ja) | 高機能ハイス工具製造方法 | |
JPH07268607A (ja) | ダイヤモンドライクカーボン薄膜を有する物品およびその製造方法 | |
JP2003013200A (ja) | 硬質炭素膜およびその製造方法 | |
JP3830123B2 (ja) | 表面被覆超硬合金およびその製造方法 | |
JPH0912397A (ja) | 超硬質膜被覆部材及びその製造方法 | |
JPH04124283A (ja) | 窒化ほう素膜のコーティング方法 | |
KR100556216B1 (ko) | 다이아몬드 막이 증착된 절삭공구 제조 방법 | |
JPS6070178A (ja) | 硬質カ−ボン膜被覆工具 | |
JP2006169614A (ja) | 金属複合ダイヤモンドライクカーボン(dlc)皮膜、その形成方法、及び摺動部材 | |
JP4133150B2 (ja) | ダイヤモンド膜被覆部材の製造方法 | |
JP6746118B2 (ja) | cBN膜の製造方法 | |
JPH10265955A (ja) | 電子ビーム励起プラズマcvdによる炭素系高機能材料薄膜の成膜方法 | |
JP2005307284A (ja) | 超硬合金切削工具の切削性改善表面処理方法及びその物品 | |
JPH04311559A (ja) | ステンレス鋼基材の表面に硬質化合物膜を被覆する方法 | |
TWI248123B (en) | The method for removing diamond-like carbon films and its products |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230809 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230815 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231004 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7432105 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |