JP7431702B2 - 弾性波デバイス、通信装置及び弾性波デバイスの製造方法 - Google Patents

Description

本開示は、弾性波を利用する弾性波デバイス、当該弾性波デバイスを含む通信装置、及び前記弾性波デバイスの製造方法に関する。

弾性波を利用する弾性波デバイスが知られている（例えば下記特許文献１～３）。弾性波は、例えば、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）又はＢＡＷ（Bulk Acoustic Wave）である。弾性波デバイスは、例えば、圧電体と、圧電体の上面に位置しているＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極とを有している。ＩＤＴ電極は、互いに噛み合っている２つの櫛歯電極を有している。

特許文献１及び２では、２つの櫛歯電極間で放電が生じる蓋然性を低減するために、ＩＤＴ電極に並列に放電用の電極を接続している。放電用の電極は、圧電体の上面においてギャップを介して対向している２つの対向電極を有している。特許文献３では、複数のＩＤＴ電極が構成する共振子の特性を調整するために複数のＩＤＴ電極に並列に接続されるキャパシタを設けている。

特開昭６３－１８９００８号公報 特開２００２－３１４３６７号公報 特開２０１９－１２１８７３号公報

特性を向上させることができる弾性波デバイス、通信装置、及び弾性波デバイスの製造方法が待たれる。

本開示の一態様に係る弾性波デバイスは、圧電体と、前記圧電体の上面に位置しているＩＤＴ電極と、前記圧電体の上面に位置しており、前記ＩＤＴ電極と並列に接続されている分極電極と、を有しており、前記分極電極は、互いにギャップを介して対向する２つの対向電極を有しており、前記圧電体は、前記ギャップの直下の領域における分極方向が、前記ＩＤＴ電極が配置されている領域における分極方向と異なっている。

本開示の一態様に係る通信装置は、上記弾性波デバイスを有しているフィルタと、前記フィルタに接続されているアンテナと、前記フィルタを介して前記アンテナと接続されている集積回路素子と、を有している。

本開示の一態様に係る弾性波デバイスの製造方法は、分極方向が全面に亘って揃っている前記圧電体に、前記ＩＤＴ電極と、当該ＩＤＴ電極に並列に接続されている前記分極電極とを形成する電極形成ステップと、前記電極形成ステップの後に、前記圧電体に温度変化を生じさせ、焦電効果によって生じた電荷によって前記２つの対向電極に電圧を印加して、前記ギャップの直下の領域における分極方向を前記ＩＤＴ電極が配置されている領域における分極方向と異ならせる分極ステップと、を有している。

上記の構成によれば、特性を向上させることができる。

第１実施形態に係る弾性波デバイスの要部の構成を示す平面図である。 図１のII－II線における断面図である。 図３（ａ）は図１のIIIａ－IIIａ線における断面図であり、図３（ｂ）は図１のIIIｂ－IIIｂ線における断面図である。 図１の弾性波デバイスの製造方法の手順の概要を示すフローチャートである。 比較例に係る弾性波デバイスにおける分極方向の変化を説明する平面図である。 第２実施形態に係る弾性波デバイスの要部の構成を模式的に示す平面図である。 第３実施形態に係る弾性波デバイスの要部の構成を模式的に示す平面図である。 図８（ａ）はＩＤＴ電極を含む共振子の特性を模式的に示す図であり、図８（ｂ）は分極電極の容量が周波数差に及ぼす影響の例を示す図である。 分極電極の形状の変形例を示す図である。 実施形態に係る分波器の構成を模式的に示す回路図である。 実施形態に係る通信装置の構成を示すブロック図である。

以下、本開示に係る実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものである。従って、例えば、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。

第１実施形態の説明以降においては、基本的に、先に説明された実施形態との相違部分についてのみ述べる。特に言及が無い事項については、先に説明された実施形態と同様とされたり、先に説明された実施形態から類推されたりしてよい。また、複数の実施形態間で対応する構成については、相違点が存在しても、同一の符号を用いることがある。

＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態に係る弾性波デバイス１（以下、単に「デバイス１」ということがある。）の要部の構成を模式的に示す平面図である。

デバイス１は、いずれの方向が上方又は下方とされてもよいものであるが、以下では、便宜的に、Ｄ１軸、Ｄ２軸及びＤ３軸からなる直交座標系を図面に付すとともに、Ｄ３軸の正側を上方として、上面又は下面等の用語を用いることがある。なお、Ｄ１軸は、後述する圧電体３の上面３ａに沿って伝搬する弾性波の伝搬方向に平行になるように定義され、Ｄ２軸は、上面３ａに平行かつＤ１軸に直交するように定義され、Ｄ３軸は、上面３ａに直交するように定義されている。

デバイス１は、圧電体３と、圧電体３の上面３ａ上に位置している導体層５（ハッチングして示されている。）とを有している。導体層５は、１以上（図示の例では３つ）のＩＤＴ電極７と、１以上のＩＤＴ電極７に並列に接続されている１以上（図示の例では１つ）の分極電極９とを有している。ＩＤＴ電極７と分極電極９とは、例えば、配線２１によって接続されている。

圧電体３は、弾性波を伝搬させる媒質として機能する。ＩＤＴ電極７は、電気信号から弾性波への変換、及び弾性波から電気信号への変換の少なくとも一方に寄与する。この変換を利用して共振子又はフィルタとしての動作が実現される。分極電極９は、上記の変換に係る特性の向上に寄与する。弾性波は、例えば、ＳＡＷ、ＢＡＷ、弾性境界波又は板波（ただし、これらの弾性波は必ずしも明確に区別できるわけではない。）である。

デバイス１は、互いに並列に接続されている２以上の分極電極９を有していてもよい。ただし、以下の説明では、分極電極９が１つである態様を例に取る。

特に図示しないが、デバイス１は、導体層５の上から圧電体３の上面３ａを覆う不図示の保護膜を有していてもよい。このような保護膜は、例えば、ＳｉＯ_２等の絶縁材料からなり、導体層５が腐食する蓋然性を低減したり、及び／又は温度変化に起因するＩＤＴ電極７に係る特性（例えば共振特性）の変化を補償したりすることに寄与する。

また、デバイス１は、ＩＤＴ電極７の上面又は下面に重なり、基本的に平面透視においてＩＤＴ電極７に収まる形状を有している付加膜を有していてもよい。このような付加膜は、例えば、ＩＤＴ電極７の材料とは音響的な特性が異なる絶縁材料又は金属材料からなり、弾性波の反射係数を向上させることに寄与する。

（導体層）
導体層５は、例えば、図示の範囲において、その全体が同一の材料及び厚さで構成されている。換言すれば、ＩＤＴ電極７、分極電極９及び配線２１は、互いに同一の材料及び厚さで一体的に構成されている。導体層５の材料は、例えば、金属である。金属は、例えば、ＡｌまたはＡｌを主成分とする合金（Ａｌ合金）である。Ａｌ合金は、例えば、Ａｌ－Ｃｕ合金である。導体層５は、複数の金属層が積層されて構成されていてもよい。導体層５の厚さは、ＩＤＴ電極７が構成する素子（例えば共振子又はフィルタ）に要求される電気特性等に応じて適宜に設定されてよい。一例として、導体層５の厚さは５０ｎｍ以上６００ｎｍ以下である。

（各ＩＤＴ電極）
各ＩＤＴ電極７は、１対の櫛歯電極１１を有している。各櫛歯電極１１は、例えば、バスバー１３と、バスバー１３から互いに並列に延びる複数の電極指１５と、複数の電極指１５の間においてバスバー１３から突出する複数のダミー電極１７とを有している。そして、１対の櫛歯電極１１は、複数の電極指１５が互いに噛み合うように（交差するように）配置されている。

バスバー１３は、例えば、概略、一定の幅で弾性波の伝搬方向（Ｄ１方向）に直線状に延びる長尺状に形成されている。そして、一対のバスバー１３は、弾性波の伝搬方向に直交する方向（Ｄ２方向）において互いに対向している。なお、バスバー１３は、幅が変化したり、弾性波の伝搬方向に対して傾斜したりしていてもよい。

各電極指１５は、例えば、概略、一定の幅で弾性波の伝搬方向に直交する方向（Ｄ２方向）に直線状に延びる長尺状に形成されている。なお、電極指１５は、幅が変化していてもよい。各櫛歯電極１１において、複数の電極指１５は、弾性波の伝搬方向に配列されている。また、一方の櫛歯電極１１の複数の電極指１５と他方の櫛歯電極１１の複数の電極指１５とは、基本的には交互に配列されている。別の観点では、一方の櫛歯電極１１の電極指１５と他方の櫛歯電極１１の電極指１５とは、ギャップＧ１を介して互いに対向している。

複数の電極指１５のピッチｐ（例えば互いに隣り合う２本の電極指１５の中心間距離）は、ＩＤＴ電極７内において基本的に一定である。ＩＤＴ電極７は、一部にピッチｐに関して特異な部分を有していてもよい。特異な部分としては、例えば、大部分（例えば８割以上）よりもピッチｐが狭くなる狭ピッチ部、大部分よりもピッチｐが広くなる広ピッチ部、少数の電極指１５が実質的に間引かれた間引き部が挙げられる。

以下において、ピッチｐという場合、特に断りがない限りは、上記のような特異な部分を除いた部分（複数の電極指１５の大部分）のピッチをいうものとする。また、特異な部分を除いた大部分の複数の電極指１５においても、ピッチが変化しているような場合においては、大部分の複数の電極指１５のピッチの平均値をピッチｐの値として用いてよい。

電極指１５の本数は、ＩＤＴ電極７が構成する素子（例えば共振子又はフィルタ）に要求される電気特性等に応じて適宜に設定されてよい。図１は模式図であることから、電極指１５の本数は少なく示されている。実際には、図示よりも多くの電極指１５が配列されてよい。

複数の電極指１５の長さは、例えば、互いに同等である。なお、ＩＤＴ電極７は、複数の電極指１５の長さ（別の観点では交差幅Ｗ）が伝搬方向の位置に応じて変化する、いわゆるアポダイズが施されていてもよい。電極指１５の長さは、要求される電気特性等に応じて適宜に設定されてよい。

複数の電極指１５の幅は、例えば、互いに同等である。別の観点では、電極指１５のデューディー比（ピッチｐに対する電極指１５の幅の比）、及び隣り合う電極指１５の間隔ｓ１は、例えば、複数の電極指１５同士で同等である。ただし、ＩＤＴ電極７は、電極指１５の幅、デューティー比及び／又は間隔ｓ１に関して特異な部分を有していてもよい。また、特異な部分を除いた大部分においても、電極指１５の幅、デューティー比及び／又は間隔ｓ１が変化していてもよい。

電極指１５の幅、デューティー比及び／又は間隔ｓ１は、例えば、要求される電気特性等に応じて適宜に設定されてよい。例えば、電極指１５の幅は、例えば、０．３ｐ以上又は０．４ｐ以上とされてよく、また、０．７ｐ以下又は０．６ｐ以下とされてよい。上記の下限と上限とは、適宜に組み合わされてよい。この記載の裏返しとなるが、ギャップＧ１を介して互いに隣り合う電極指１５同士の間隔ｓ１は、０．３ｐ以上又は０．４ｐ以上とされてよく、また、０．７ｐ以下又は０．６ｐ以下とされてよい。上記の下限と上限とは、適宜に組み合わされてよい。なお、本段落でのピッチｐは、上述した特異な部分を除いた大部分の電極指におけるものであってもよいし、個々の電極指１５又は個々の間隔ｓ１に係るものであってもよい。

ダミー電極１７は、例えば、概ね一定の幅で弾性波の伝搬方向に直交する方向に突出している。その幅は、例えば電極指１５の幅と同等である。また、複数のダミー電極１７は、複数の電極指１５と同等のピッチで配列されており、一方の櫛歯電極１１のダミー電極１７の先端は、他方の櫛歯電極１１の電極指１５の先端とギャップＧ２を介して対向している。別の観点では、一方の櫛歯電極１１の電極指１５の先端は、他方の櫛歯電極１１の前記一方の櫛歯電極１１側に面する縁部とギャップＧ２を介して対向している。ＩＤＴ電極７は、ダミー電極１７を含まないものであってもよい。

電極指１５とダミー電極１７との間隔ｓ２は、例えば、複数の電極指１５同士で互いに同等である。もちろん、複数の間隔ｓ２は、互いに異なっていてもよい。間隔ｓ２は、例えば、電極指１５とダミー電極１７とが短絡しない範囲で極力小さくされてもよいし、ＩＤＴ電極７が構成する素子（例えば共振子又はフィルタ）に要求される電気特性を考慮して設定されてもよい。間隔ｓ２は、例えば、０．２ｐ以上、０．３ｐ以上又は０．４ｐ以上とされてよく、また、２ｐ以下、１ｐ以下、０．７ｐ以下又は０．６ｐ以下とされてよい。上記の下限と上限とは、適宜に組み合わされてよい。

１対の櫛歯電極１１に電圧（別の観点では信号）が印加されると、複数の電極指１５によって圧電体３の上面３ａに電圧が印加され、上面３ａが振動する。これにより、上面３ａに沿って伝搬する弾性波が励振される。このとき、複数の電極指１５によって励振された複数の弾性波は、その半波長が概ねピッチｐと同等であるときに、複数の電極指１５に直交する方向（Ｄ１方向）において互いに同相となり、その振幅が足し合わされる。すなわち、ピッチｐを半波長とし、Ｄ１方向に伝搬する弾性波が最も励振されやすい。その結果、１対の櫛歯電極１１に印加された電圧のうち、主として、概ねピッチｐを半波長とする弾性波の周波数と同等の周波数を有する成分が弾性波に変換される。また、圧電体３の上面３ａのうち１対の櫛歯電極１１の配置領域に弾性波が生じた場合においては、上記とは逆の原理によって、主として、概ねピッチｐを半波長とし、Ｄ１方向に伝搬する弾性波が電圧に変換される。このような原理を利用して、共振子又はフィルタが実現される。

ＩＤＴ電極７は、種々の態様で利用されてよい。例えば、ＩＤＴ電極７は、Ｄ１方向において後述する反射器３１（図６）が配置されることによって、後述する１ポート共振子３７（図１０）を構成してよい。また、ＩＤＴ電極７は、Ｄ１方向において他の１以上のＩＤＴ電極７と隣り合うとともに、複数のＩＤＴ電極７の両側に反射器が配置されることによって、後述する縦結合多重モード型フィルタ３９（図１０。ダブルモード型フィルタを含むものとする。）を構成してもよい。また、ＩＤＴ電極７は、他のＩＤＴ電極７とＤ１方向において距離を空けて配置されることによって、トランスバーサル型フィルタ（不図示）を構成してもよい。

（複数のＩＤＴ電極）
複数のＩＤＴ電極７は、互いに直列に接続されている。なお、ＩＤＴ電極７について接続という場合、特に断りがない限りは、１対の櫛歯電極１１に電圧が印加される態様での接続をいうものとする。従って、複数のＩＤＴ電極７が互いに直列に接続されているというときは、例えば、不図示の第１の端子と、第１のＩＤＴ電極７の一の櫛歯電極１１とが接続され、第１のＩＤＴ電極７の他の櫛歯電極１１と、第２のＩＤＴ電極７の一の櫛歯電極１１とが接続され、第２のＩＤＴ電極７の他の櫛歯電極１１と、第３のＩＤＴ電極７の一の櫛歯電極１１又は不図示の第２の端子（若しくは基準電位部）とが接続され、というような接続態様を指す。

より具体的には、図示の例では、複数のＩＤＴ電極７は、Ｄ２方向に１列で配列されており、隣り合うＩＤＴ電極７同士でバスバー１３を共有することによって、互いに直列に接続されている。ただし、図示の例とは異なり、複数のＩＤＴ電極７は、共有されていないバスバー１３同士が配線で接続されていてもよいし、Ｄ２方向に１列で配列されていなくてもよい。また、図示の例は、供給されていないバスバー１３同士の間にバスバー１３の長さと同じ幅の配線が設けられている態様と捉えられてもよい。

複数のＩＤＴ電極７を互いに直列に接続している目的は、種々の目的であってよい。換言すれば、互いに直列に接続されている複数のＩＤＴ電極７は、種々の態様の弾性波素子を構成してよい。

例えば、複数のＩＤＴ電極７は、１つのＩＤＴ電極７を分割したものであってよい。この場合、元の１つのＩＤＴ電極７に印加される電圧が分圧されて複数のＩＤＴ電極７に印加されることになる。その結果、耐電力性が向上する。この態様において、複数のＩＤＴ電極７の構成（寸法及び材料等）は、例えば、互いに同一とされてよい。

また、例えば、複数のＩＤＴ電極７は、後述するラダー型フィルタの複数の直列共振子３７Ｓ（図１０）を構成するものであってもよい。この態様において、複数のＩＤＴ電極７は、例えば、共振周波数同士が概ね一致し、***振周波数同士が概ね一致するように構成される。複数のＩＤＴ電極７の構成（寸法及び材料等）は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。

また、例えば、複数のＩＤＴ電極７は、横結合多重モード型フィルタを構成するものであってもよい。この場合、複数（一般には２つ）のＩＤＴ電極７同士が音響的に結合することによってフィルタが構成される。この態様において、複数のＩＤＴ電極７の構成（寸法及び材料等）は、例えば、互いに同一とされてよい。

（分極電極）
分極電極９は、ギャップＧ３を介して互いに対向している１対の対向電極１９を有している。

なお、図１では、１対の対向電極１９の間の間隔ｓ３が最も狭い位置にギャップＧ３の符号を付している。以下の説明において、ギャップＧ３の語は、１対の対向電極１９の間のギャップ全体を指すことがあり、また、特定の位置（例えば間隔ｓ３が最も狭い位置）のギャップを指すことがある。同様に、間隔ｓ３は、ギャップ全体の間隔を指すことがあり、特定の位置のギャップの間隔（例えば最も狭い間隔）を指すことがある。既述のギャップＧ１及びＧ２、並びに間隔ｓ１及びｓ２についても同様である。

分極電極９及びギャップＧ３等の寸法の説明において、これらの寸法と、電極指１５、ギャップＧ１及びＧ２等の寸法との比較を行うことがある。このときの電極指１５等の寸法は、特異な部分を除いた大部分における電極指１５等の寸法であってもよいし、特異な部分における電極指１５等の寸法（別の観点では最小値又は最大値）であってもよい。

対向電極１９の形状は適宜に設定されてよい。図示の例では、対向電極１９は、基部１９ａと、基部１９ａから突出する１以上（図示の例では２つ）の突出部１９ｂとを有している。そして、２つの対向電極１９は、一方の対向電極１９の突出部１９ｂの先端と、他方の対向電極１９の突出部１９ｂの先端とがギャップＧ３を介して対向している。この先端同士の間のギャップＧ３は、１対の対向電極１９の間のギャップのうち最も狭いギャップである。先端同士の間隔ｓ３は、複数の突出部１９ｂ同士で互いに同一であってもよいし（図示の例）、互いに異なっていてもよい。

基部１９ａの形状は適宜に設定されてよい。例えば、基部１９ａは、矩形状（図示の例）、矩形以外の四角形状、四角形以外の多角形状、円形状又は楕円形状とされてよい。基部１９ａにおいて、２つの対向電極１９の対向方向（図示の例ではＤ２方向）における長さ（例えば最大長さ）及び対向方向に直交する方向の長さ（例えば最大長さ）は、同等であってもよいし（図示の例）、一方が他方よりも長くてもよい。

突出部１９ｂの形状は適宜に設定されてよい。例えば、突出部１９ｂは、矩形状（図示の例）、矩形以外の四角形状、四角形以外の多角形状、円形状又は楕円形状とされてよい。突出部１９ｂは、一定の幅で突出していてもよいし（図示の例）、先端ほど幅が狭くなるなど、幅が変化していてもよい。突出部１９ｂの先端の縁部は、１対の対向電極１９の対向方向（図示の例ではＤ２方向）に直交する直線状であってもよいし（図示の例）、先端側ほど幅が狭くなるように角部又は曲線を成していてもよい。突出部１９ｂの突出方向は、１対の対向電極１９の対向方向に平行であってもよいし（図示の例）、対向方向に対して傾斜していてもよい。

突出部１９ｂの寸法は適宜に設定されてよい。例えば、突出部１９ｂの幅（図示の例ではＤ１方向の長さ）は、電極指１５の幅（Ｄ１方向の長さ）に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。換言すれば、最も狭いギャップＧ３の幅（１対の対向電極１９の対向方向に直交する方向の長さ。図示の例ではＤ１方向の長さ）は、ギャップＧ２の幅（電極指１５に直交する方向の長さ）に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。

突出部１９ｂの本数及び突出部１９ｂ同士の間隔ｓ４は適宜に設定されてよい。図示の例では、２本の突出部１９ｂが設けられている。また、図示の例では、間隔ｓ４は、比較的広くされており、例えば、間隔ｓ３よりも広く、また、間隔ｓ１及びｓ２よりも広くされている。より詳細には、例えば、間隔ｓ４は、間隔ｓ１の２倍以上とされてよい。もちろん、間隔ｓ４は、間隔ｓ１～ｓ３のうちの少なくとも１つよりも小さくても構わない。

別の観点では、複数（図示の例では２つ）の突出部１９ｂの幅と、複数の突出部１９ｂの間の１つ以上（突出部１９ｂの数－１）の間隔ｓ４との合計長さは、突出部１９ｂの本数と同数の電極指１５の幅と、当該同数の電極指１５の間の１つ以上（電極指１５の数－１）の間隔ｓ１との合計に対して、短くてもよいし、同等でもよいし、長くてもよい。図示の例では、前者は、後者に対して長く、例えば、１．５倍以上とされてよい。

図示の例では、２つの対向電極１９の形状及び寸法は互いに同一である。ただし、２つの対向電極１９の間で、形状及び／又は寸法が異なっていてもよい。また、図示の例では、１つの対向電極１９が有する複数の突出部１９ｂの形状及び寸法は互いに同一である。ただし、これらは互いに異なっていてもよい。図示の例では、一方の対向電極１９の複数の突出部１９ｂの先端と他方の対向電極１９の複数の突出部１９ｂの先端との間の複数のギャップＧ３は、Ｄ１方向の大きさ及び間隔ｓ３が互いに同一である。ただし、これらは互いに異なっていてもよい。

対向電極１９の形状は、図示の形状以外の形状とされて構わない。例えば、対向電極１９の形状は、矩形状とされてよい。そして、短辺同士又は長辺同士がギャップＧ３を介して対向してよい。また、対向電極１９の形状は、多角形状（上記の矩形を含む）とされてもよい。そして、辺同士又は角同士がギャップを介して対向してよい。また、対向電極１９は、円形状又は楕円形状とされてもよい。また、１対の対向電極１９の形状は、１対の櫛歯電極１１と同様に、互いに噛み合うように配置される１対の櫛歯状とされてもよい。各対向電極１９において、１対の対向電極１９の対向方向における長さ及び対向方向に直交する方向における長さは、同等であってもよいし、一方が他方よりも長くてもよい。

１対の対向電極１９が互いに対向する方向は任意である。例えば、１対の対向電極１９が対向する方向は、弾性波の伝搬方向（Ｄ１方向）であってもよいし、伝搬方向に直交する方向（図示の例）であってもよいし、伝搬方向に傾斜する方向であってもよい。図示の例では、１対の対向電極１９は、一方向のみ（Ｄ２方向のみ）において互いに対向している。ただし、１対の対向電極１９が互いに噛み合う１対の櫛歯電極であってもよいことから理解されるように、１対の対向電極１９は、ギャップを介してＤ１方向において対向する部分と、ギャップを介してＤ２方向において対向する部分とを有していてもよい。すなわち、１対の対向電極１９は、２方向以上において対向していてもよい。

分極電極９の配置領域の広さ（分極電極９の平面視における大きさ）は適宜に設定されてよい。例えば、分極電極９の配置領域は、分極電極９が並列に接続されている１以上のＩＤＴ電極７のうちのいずれか１つの配置領域、又は全ての配置領域に対して、小さくされてもよいし（図示の例）、同等とされてもよいし、大きくされてもよい。例えば、分極電極９の配置領域の面積は、分極電極９が並列に接続されている１以上のＩＤＴ電極７のうちのいずれか１つの配置領域、又は全ての配置領域の面積に対して、１／２以下とされてよい。なお、分極電極９（又は１つのＩＤＴ電極７）の配置領域は、例えば、分極電極９（又は１つのＩＤＴ電極７）を包含する最も小さい凸多角形によって定義されてよい。複数のＩＤＴ電極７の配置領域の面積は、各ＩＤＴ電極７の配置領域の面積を合計した値とされてよい。

（対向電極の間の間隔）
２つの対向電極１９の間の間隔ｓ３のうち最も狭い間隔は、例えば、各ＩＤＴ電極７内の２つの櫛歯電極１１同士の間隔ｓ１及びｓ２のうち最も狭い間隔を１以上のＩＤＴ電極７について合計した値よりも狭い。ここでいう１以上のＩＤＴ電極７は、分極電極９に並列に接続されている全てのＩＤＴ電極７のことである。従って、例えば、３つのＩＤＴ電極７と分極電極９とが並列に接続されており、各ＩＤＴ電極７のうち最も狭い間隔が間隔ｓ２であり、かつ間隔ｓ２が３つのＩＤＴ電極７の間で互いに同一である場合においては、ｓ３＜３×ｓ２である。なお、当然ながら、各ＩＤＴ電極７で最も狭い部位及び／又は間隔は、ＩＤＴ電極７同士で同一であってもよいし、異なっていてもよい。最も狭い間隔ｓ３と、最も狭い間隔ｓ１又はｓ２の上記の合計値との相違の程度は適宜に設定されてよい。例えば、前者は、後者の０．９倍以下又は０．５倍以下とされてよい。

２つの対向電極１９の間の間隔ｓ３のうち最も狭い間隔は、２つの櫛歯電極１１の間の間隔ｓ１及びｓ２のうち最も狭い間隔であって、分極電極９と並列に接続されている全てのＩＤＴ電極７の中で最も狭い間隔に対して、狭くてもよいし、同等でもよいし、広くてもよい（図示の例）。最も狭い間隔ｓ３が、複数のＩＤＴ電極７の中で最も狭い間隔ｓ１又はｓ２よりも広い場合、両者の相違の程度は適宜に設定されてよい。例えば、前者は、後者の１．１倍以上又は１．５倍以上とされてよい。間隔ｓ３を狭くしすぎるとＥＳＤ破壊や製造時の不良などのリスクが生じるため、間隔ｓ３は技術的に常識的な範囲で設定してもよい。

（分極電極とＩＤＴ電極との関係）
分極電極９は、ＩＤＴ電極７に対して並列に接続されている。なお、ＩＤＴ電極７と同様に、分極電極９について接続という場合、特に断りがない限りは、１対の対向電極１９に電圧が印加される態様での接続をいうものとする。従って、分極電極９が１つのＩＤＴ電極７に並列に接続されているというときは、例えば、上記１つのＩＤＴ電極７の一の櫛歯電極１１と一の対向電極１９とが直接に又は他の電子素子（例えば他のＩＤＴ電極７）を介して間接に接続され、上記１つのＩＤＴ電極７の他の櫛歯電極１１と他の対向電極１９とが直接に又は他の電子素子を介して間接に接続されている接続態様を指す。

本実施形態では、より詳細には、分極電極９は、互いに直列に接続されている複数のＩＤＴ電極７の全体に対して並列に接続されている。すなわち、一の対向電極１９は、複数のＩＤＴ電極７が直列に接続されて構成されている電気的経路の最も一端側に位置するＩＤＴ電極７の前記一端側に位置する櫛歯電極１１に接続されている。他の対向電極１９は、上記電気的経路の最も他端側に位置するＩＤＴ電極７の前記他端側に位置する櫛歯電極１１に接続されている。

ＩＤＴ電極７と分極電極９との接続は、例えば、直接的になされている。すなわち、両者の間には、他の電子素子は介在しておらず、配線２１のみが介在している。電子素子としては、例えば、ＩＤＴ電極７、抵抗体、キャパシタ及びインダクタが挙げられる。ただし、例えば、後述する作用の少なくとも１つが多少なりとも維持される態様で、ＩＤＴ電極７と分極電極９との間に他の電子素子が介在してもよい。例えば、櫛歯電極１１から対向電極１９へ電荷を移動させることができる電子素子が介在してもよい。このような電子素子としては、例えば、抵抗体及びインダクタが挙げられる。

ＩＤＴ電極７と分極電極９との圧電体３の上面３ａにおける相対位置は適宜に設定されてよい。例えば、分極電極９は、ＩＤＴ電極７に対して、Ｄ１方向に位置してもよいし（図示の例）、Ｄ２方向に位置してもよいし、Ｄ１方向及びＤ２方向に傾斜する方向に位置してもよい。また、分極電極９は、ＩＤＴ電極７と隣り合っていなくてもよいし、隣り合っていてもよい。換言すれば、分極電極９とＩＤＴ電極７との間には、他の電子素子又は配線２１等が介在していてもよいし、介在していなくてもよい。また、分極電極９とＩＤＴ電極７との距離は、長くてもよいし、短くてもよい。

図示の例では、分極電極９は、ＩＤＴ電極７に対して弾性波の伝搬方向（Ｄ１方向）に位置している。ここで、既述のように、ＩＤＴ電極７は、１ポート共振子を構成してもよいし、縦結合多重モード型フィルタを構成してもよいし、トランスバーサル型フィルタを構成してもよい。このことから理解されるように、図示の位置関係において、分極電極９とＩＤＴ電極７との間には、反射器及び／又は他のＩＤＴ電極７が介在していてもよいし、そのような他の電子素子が介在していなくてもよい。

また、図示の例では、弾性波の伝搬方向に直交する方向（Ｄ２方向）に関して、分極電極９は、分極電極９に並列に接続されている１以上のＩＤＴ電極７が位置している範囲に収まっている。別の観点では、ギャップＧ３のうち最も狭い部分は、上記範囲内に位置している。このような場合において、分極電極９又は最も狭いギャップＧ３は、上記範囲内のいずれに位置してもよい。図示の例では、最も狭いギャップＧ３は、ギャップＧ２の外側に位置している。ギャップＧ２の外側は、交差幅Ｗの範囲、ダミー電極１７の配置範囲、及びバスバー１３の配置範囲である。

（配線）
ＩＤＴ電極７と分極電極９とを結ぶ配線２１の経路は、ＩＤＴ電極７と分極電極９との相対位置、及び他の素子（例えば他のＩＤＴ電極７又は反射器）の配置等に応じて適宜な経路で延びてよい。また、配線２１は、他の配線等と絶縁層を介して立体交差する部分を有していてもよい。配線２１の幅は、信号が流れる方向の位置に対して、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。

配線２１の幅の具体的な大きさは適宜に設定されてよい。例えば、配線２１の幅は、対向電極１９の幅（図示の例ではＤ１方向の長さ）に対して、狭くてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、広くてもよい。また、配線２１の幅は、分極電極９に並列に接続されている複数のＩＤＴ電極７同士を結ぶ接続部の幅に対して、狭くてもよいし、同等でもよいし、広くてもよい。図１の例では、上記接続部の幅は、隣り合うＩＤＴ電極７によって共有されているバスバー１３のＤ１方向の長さである。配線２１は、このバスバー１３のＤ１方向の長さよりも小さい。配線２１の幅は、対向電極１９の幅及び／又は上記接続部の幅に対して、例えば、０．９倍以下、０．５倍以下又は０．１倍以下とされてよい。

なお、配線２１の幅、及び／又は複数のＩＤＴ電極７同士を結ぶ接続部の幅が、信号が流れる方向の位置に対して一定でない場合においては、上記の説明は、例えば、最も狭い部分同士に適用されてよい。配線２１の幅について、複数のＩＤＴ電極７同士を結ぶ接続部との比較において説明したが、上記の説明は、ＩＤＴ電極７と端子（例えば後述する図１０に示すアンテナ端子１０３、送信端子１０５又は受信端子１０７）とを接続する接続部との比較に援用されてよい。

（圧電体）
圧電体３は、例えば、圧電性を有する単結晶によって構成されている。このような単結晶を構成する材料としては、例えば、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３。以下、ＬＴと略すことがある。）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３。以下、ＬＮと略すことがある。）及び水晶（ＳｉＯ_２）を挙げることができる。カット角、平面形状及び各種の寸法は適宜に設定されてよい。例えば、圧電体３の上面３ａは、回転ＹカットＸ伝搬の平面とされてよい。この場合、Ｘ軸は上面３ａに平行であり、Ｙ軸は、上面３ａに対して所定の角度で傾斜しており、Ｚ軸は上面３ａの法線に対して前記所定の角度で傾斜している。なお、圧電体３は、多結晶によって構成されていても構わない。

図２は、図１のII－II線における断面図である。

この図に示すように、圧電体３は、基板２３の上面側の一部とされてよい。基板２３の構成は適宜なものとされてよい。図示の例では、基板２３は、支持基板２５と、支持基板２５上に位置する多層膜２７と、多層膜２７上に位置する膜状の圧電体３（圧電膜）と、を有している。多層膜２７は、複数の音響膜２９が積層されて構成されている。積層方向において隣り合う音響膜２９は、互いにインピーダンスが異なっている。

基板２３の構成は、図示の例以外にも種々可能である。例えば、基板２３は、支持基板２５の上面と、圧電体３としての圧電基板の下面とが、直接的に又は接着剤を介して間接的に貼り合わされた構成であってもよい。この構成において、圧電基板と支持基板２５との間には、平面透視においてＩＤＴ電極７と重なるキャビティが構成されていてもよいし、そのようなキャビティが構成されていなくてもよい。また、基板２３の全体が圧電体３によって構成されていても構わない。圧電体３は、基板２３の上面全体を構成していてもよいし、基板２３の上面のうちの一部の領域のみを構成していてもよい。

圧電体３の厚さｔ０は、ＩＤＴ電極７が構成する素子（例えば共振子又はフィルタ）に要求される電気特性等に応じて適宜に設定されてよい。例えば、厚さｔ０は、４ｐ以下、２ｐ以下又は１ｐ以下とされてもよいし、これとは逆に、４ｐ超とされてもよい。なお、基板２３の構成が、図示の構成、又は支持基板２５と圧電基板（圧電体３）とを貼り合わせた構成である態様においては、厚さｔ０を薄くしても基板２３の強度を確保することが容易である。

（圧電体の分極方向）
図３（ａ）は、図１のIIIａ－IIIａ線における断面図である。図３（ｂ）は、図１のIIIｂ－IIIｂ線における断面図である。これらの図では、便宜上、断面であることを示すハッチングは省略されている。

図中の矢印は、分極方向を示している。図３（ａ）及び図３（ｂ）から理解されるように、分極電極９のギャップＧ３の直下における分極方向は、他の領域の分極方向とは異なっている。より詳細には、図示の例では、前者の分極方向と後者の分極方向とは、互いに平行で、かつ互いに逆向きになっている。

分極方向は、圧電体３の上面３ａに対して適宜な方位に設定されてよく、また、その設定を実現する方法も適宜なものとされてよい。例えば、単結晶においては、分極方向は、結晶方位によって決定される。例えば、ＬＴ又はＬＮにおいては、分極方向は、Ｚ軸に平行である。従って、上面３ａと分極方向との関係は、カット角によって決定される。図示の例では、回転ＹカットＸ伝搬の圧電体３が用いられている態様を例示しており、分極方向（Ｚ軸）は、上面３ａの法線（Ｄ３方向）に対してＤ１軸回りに回転する方向に傾斜している。Ｚ軸に平行な分極方向の向き（＋Ｚ側又は－Ｚ側）は、例えば、圧電体３に対する電圧印加によって実現されてよい。また、圧電体３が多結晶体である場合においては、電圧印加によって任意の方向に分極方向が設定されてよい。

ギャップＧ３の直下において、分極方向は、他の領域の分極方向に対して完全に異なる方向となっていなくてもよい。例えば、ギャップＧ３の直下、及び／又は他の領域において、互いに異なる分極方向を有する複数の微小部分が混在してよい。そして、平均的に見たときに、又は大部分に着目したときに、ギャップＧ３の直下と、他の領域とで分極方向が異なっていてもよい。換言すれば、各領域において、最も分極が強い方向が分極方向として特定されてよい。圧電体３が多結晶体の場合においては、上記の微小部分は結晶粒であってよい。

ギャップＧ３の直下において、分極方向が他の領域の分極方向とは異なる深さは、適宜に設定されてよい。例えば、当該深さは、圧電体３の厚み全体であってもよいし（図示の例）、圧電体３の上面３ａ側の一部であってもよい。また、分極方向が異なる微小部分が混在してよい旨の既述の説明から理解されるように、ギャップＧ３の直下において、他の領域の分極方向と異なる方向における分極の強さは、深さ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。

ギャップＧ３の直下において、分極方向が他の領域の分極方向と異なる領域は、１対の対向電極１９の間のギャップＧ３全体に亘っていてもよいし、その一部にのみ亘っていてもよい。後者の例としては、図１に示す分極電極９の形状において、１対の対向電極１９全体のギャップＧ３のうち、一方の対向電極１９の突出部１９ｂの先端と他方の対向電極１９の突出部１９ｂの先端との間の部分（本段落において第１部分と呼称する。）においてのみ、又は当該第１部分とその周囲においてのみ、分極方向が他の領域の分極方向と異なっている態様を挙げることができる。各突出部１９ｂが２本以上の場合においては、第１部分は２つ以上存在する。この場合、２つ以上の第１部分と当該２つ以上の第１部分との間の部分とにおいてのみ、又はこれらの部分とその周囲においてのみ、分極方向が他の領域の分極方向と異なっていてもよい。分極方向が異なる微小部分が混在してよい旨の既述の説明から理解されるように、分極方向が他の領域の分極方向と異なる領域内において、他の領域の分極方向と異なる方向における分極の強さは、平面視における位置に対して、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。

圧電体３の上面３ａのうちギャップＧ３の直下の領域を除く全ての領域（本段落において第１領域と呼称する。）において、分極方向は、第１領域全体に亘って同一であってもよいし、同一でなくてもよい。別の観点では、ギャップＧ３の直下の領域と分極方向が比較される「他の領域」は、上面３ａの全体であってもよいし、上面３ａの一部であってもよい。上面３ａの一部としては、例えば、分極電極９が並列接続されている１以上のＩＤＴ電極７の少なくとも１つ又は全ての配置領域とされてよい。

また、上記のような上面３ａ内の一部である他の領域内においても、分極方向は、他の領域全体に亘って同一であってもよいし、同一でなくてもよい。換言すれば、他の領域は、平均的に見たときに、又は当該他の領域の大部分において、分極方向が同じである領域とされてよい。例えば、他の領域の面積の２０％以下、１０％以下、５％以下又は１％以下の面積において、分極方向が残りの面積の領域（すなわち、他の領域の大部分）と異なっていてもよい。他の領域の大部分の分極方向とは異なる分極方向は、ギャップＧ３の直下の分極方向と同じであってもよいし、異なっていてもよい。他の領域の大部分の分極方向とは異なる分極方向を有する領域は、例えば、他の領域が分極電極９と並列接続されている１以上のＩＤＴ電極７の少なくとも１つ又は全ての配置領域である場合において、複数のギャップＧ２の一部であってよい。

以上の説明から理解されるように、ギャップＧ３の直下の領域における分極方向が、他の領域（例えばＩＤＴ電極７が配置されている領域）における分極方向と異なっているというとき、例えば、前者の領域の平面視における一部と後者の領域の平面視における一部との間で分極方向が異なっているだけであってもよいし、圧電体３の厚み方向の一部（ただし、上面３ａを含む）において分極方向が異なっているだけであってもよい。

（製造方法）
弾性波デバイス１の製造方法は、例えば、分極電極９が設けられる点を除いて、公知の製造方法又は公知の製造方法を応用したものとされてよい。公知の製造方法であっても、分極電極９の作用によって、ギャップＧ３の直下における分極方向を他の領域の分極方向と異ならせることができる。例えば、以下のとおりである。

図４は、デバイス１の製造方法の手順の概要を示すフローチャートである。

ステップＳＴ１では、複数の圧電体３（別の観点では基板２３）となる不図示のウェハが準備される。この時点において、分極方向は、ウェハの全面に亘って（別の観点では各圧電体３の全面に亘って）揃っている。分極方向は、例えば、結晶を成長させる過程で揃えられてもよいし、及び／又は結晶が成長した後に電圧を印加することによって揃えられてもよい。

ステップＳＴ２では、ウェハの複数の圧電体３となる領域に対して導体層５（換言すればＩＤＴ電極７及び分極電極９）を形成する。例えば、物理蒸着法又は化学蒸着法によってウェハの全面に導体層を形成し、その後、フォトリソグラフィーを用いて形成したマスク（レジスト）を介して導体層をエッチングしてよい。又は、フォトリソグラフィーを用いて形成したマスク（レジスト）を介して物理蒸着法又は化学蒸着法によって導体層を形成してよい。

ステップＳＴ３では、分極電極９に電圧を印加することによってギャップＧ３の直下における分極方向を元の方向から異ならせる。このステップＳＴ３は、例えば、電極形成後に行われる公知のステップとされてよい。換言すれば、ステップＳＴ３は、分極を目的として行われるステップでなくてよい。ただし、ステップＳＴ３は、温度変化を伴うステップである。例えば、ステップＳＴ３は、上述したマスクを除去してウェハを乾燥させるステップとされてよい。

上記のようなステップにおいて、ウェハの温度が変化すると、圧電体３の焦電効果によって圧電体３に電荷が生じる。この電荷は、導体層５に流れ、ひいては、２つの対向電極１９に電圧が印加される。その結果、ギャップＧ３の直下において分極方向が変化する。例えば、図３（ｂ）に示す例では、－Ｄ２側から＋Ｄ２側への電界が圧電体３に印加されることによって、分極方向の向きが反転する。

なお、ステップＳＴ３は、分極電極９に電圧を印加することを目的としたステップとされても構わない。また、ギャップＧ３において分極方向が変化しやすいように、分極電極９に電圧を印加する前に、圧電体３の上面３ａのうちギャップＧ３の直下となる領域に対して何らかのダメージを与えてもよい。例えば、プラズマ、薬液又はレーザー光によって上記領域にダメージを与えてよい。

ステップＳＴ４では、ウェハを複数の圧電体３に個片化する。個片化は、例えば、ダイシング等の公知の方法、又は公知の方法を応用した方法によって実現されてよい。なお、必ずしも図４のステップに従う必要はなく、例えばＳＴ４の後にＳＴ３を行ってもよい。し、弾性波デバイス完成後でもよい。

なお、特に図示しないが、デバイス１の製造方法は、上記のステップの他、導体層５を覆う保護膜を形成するステップ、及び／又はパッケージを形成するステップ等の種々のステップを有していてよい。

以上のとおり、本実施形態に係るデバイス１は、圧電体３と、圧電体３の上面３ａに位置しているＩＤＴ電極７と、圧電体３の上面３ａに位置しており、ＩＤＴ電極７と並列に接続されている分極電極９と、を有している。分極電極９は、互いにギャップＧ３を介して対向する２つの対向電極１９を有している。圧電体３は、ギャップＧ３の直下の領域における分極方向が、ＩＤＴ電極７が配置されている領域における分極方向と異なっている。

従って、例えば、デバイス１の特性を向上させることができる。具体的には、以下のとおりである。

まず、製造方法に着目する。ステップＳＴ３の説明で触れたように、電極形成後、圧電体３には、温度変化に起因して、意図されていない電荷が生じることがある。この電荷は、例えば、ＩＤＴ電極７に電圧を印加することになり、ひいては、圧電体３の上面３ａのうちギャップＧ１及びＧ２の直下の領域に電界を印加することになる。その結果、ギャップＧ１及び／又はＧ２の直下の領域において分極方向が変化する。このような分極方向の変化は、ＩＤＴ電極７が構成する素子（例えば共振子又はフィルタ）の特性に影響を及ぼす。例えば、本願発明者の実験では、ＩＤＴ電極７を用いたフィルタの通過特性にリップルが生じた。

しかし、分極電極９が設けられていると、ＩＤＴ電極７の電荷を分極電極９に逃がし、ギャップＧ３の分極の変化（例えば分極反転）に伴って実質的に電流を流して電荷を中和することができる。その結果、ギャップＧ１及び／又はＧ２において、分極方向が変化する領域の面積が低減され、及び／又は変化後の分極方向における分極の強さが減じられる。ひいては、分極方向の変化に起因してＩＤＴ電極７に係る特性が低下する蓋然性が低減される。以上のことから、完成後のデバイス１を見たときに、ギャップＧ３の直下において分極方向がＩＤＴ電極７の配置領域の分極方向と異なっているということは、ＩＤＴ電極７の配置領域における分極方向の変化が多少なりとも減じられており、デバイス１の特性が向上しているということができる。

次に、完成後のデバイス１に着目する。ＩＤＴ電極７の配置領域において生じた弾性波は、ＩＤＴ電極７の配置領域の外側へ漏れることがある。この漏れた弾性波は、例えば、反射してＩＤＴ電極７の配置領域に戻ったり、他のＩＤＴ電極７の配置領域に到達したりすることによって、ＩＤＴ電極７が構成する素子の特性におけるリップルの要因となる。しかし、圧電体３の上面３ａのうちギャップＧ３の直下の領域において分極方向が異なっていると、ギャップＧ３の直下の領域へ漏れた弾性波は、その位相及び／又は方向が乱されやすい。その結果、例えば、ギャップＧ３の直下の領域へ漏れた弾性波と、他の領域へ漏れた弾性波とがデバイス１の特性に及ぼす影響が足し合わされにくくなり、リップルの大きさを低減できる。

また、分極方向が変化した部分は、電圧が印加されることでさらに変化が進行したり、戻ったりしやすくなっている。ひいては、製品化後に発生した焦電電圧に対しても機敏に反応し、ＩＤＴ電極７で分極方向が変化する。本実施形態は、例えば、そのような蓋然性を低減することができる。

また、例えば、分極方向が変化した部分で発生する偶数次の非線形歪（例えば２次高調波や２次の相補変調歪）は、ＩＤＴ電極７で発生するものと逆位相になるので、総合的に非線形歪が低減され、ノイズの少ない弾性波デバイスとなる。

デバイス１において、ＩＤＴ電極７は、所定のピッチｐ（既述のように大部分におけるピッチｐ、又はピッチｐの平均値が参照されてよい。）で配列されている複数の電極指１５を有してよい。圧電体３の厚さｔ０は、ピッチｐの２倍以下とされてよい。

この場合、例えば、ギャップＧ３の直下の領域における分極方向をＩＤＴ電極７の配置領域における分極方向と異ならせることが容易化される。具体的には、圧電体３が比較的厚い場合、上面３ａに電圧を印加して上面３ａ付近のみにおいて分極方向を異ならせても、その後、上面３ａ付近の分極方向は、下方の部分の分極方向に影響を受けて元に戻りやすい。従って、分極方向が変化した状態を維持するためには、ステップＳＴ３において分極電極９に印加する電圧を大きくしたり、及び／又は分極電極９とは別の電極（例えば圧電体３を厚み方向において挟む１対の電極）によって圧電体３に電界を印加したりする必要性が生じる。しかし、圧電体３が比較的薄い場合においては、そのような必要性は減じられる。

なお、上記から理解されるように、比較的厚い圧電体を有する弾性波デバイスにおいては、仮に分極電極９と類似した電極が設けられていたとしても、意図的に電極直下の領域の分極方向を他の領域の分極方向と異ならせるための何らかの処理を行っていない限り、分極方向は圧電体の上面全体に亘って一定である。すなわち、分極電極９と類似した電極を有する公知の弾性波デバイスは、デバイス１と同様の構成を有していない。

また、製造過程の温度変化に伴って生じる電荷によって１対の櫛歯電極１１の間において分極方向が変化し、ひいてはＩＤＴ電極７が構成する素子の特性が低下するという現象（課題）は、比較的厚い圧電体を有する公知の弾性波デバイスにおいては生じない。圧電体が薄い場合に上記現象（課題）が生じることは、特性低下の要因を探る本願発明者の鋭意検討によって発見された知見であり、弾性波デバイスの分野において一般に知られている知見ではない。

デバイス１は、互いに直列に接続されている複数のＩＤＴ電極７を有していてよい。分極電極９は、複数のＩＤＴ電極７の全体に対して並列に接続されていてよい。複数のＩＤＴ電極７のそれぞれは、互いに噛み合っている２つの櫛歯電極１１を有していてよい。２つの対向電極１９の間の最も狭い間隔ｓ３は、２つの櫛歯電極１１の間の最も狭い間隔ｓ１又はｓ２を複数のＩＤＴ電極７について合計した値よりも狭くされていてよい。

この場合、例えば、温度変化に起因して生じた電荷によって分極電極９のギャップＧ３の直下において分極方向を変化させることが容易化される。別の観点では、ＩＤＴ電極７のギャップＧ１及び／又はＧ２の直下において分極方向の変化が生じる蓋然性を低減することが容易化される。具体的には、以下のとおりである。

図５は、比較例に係るデバイス１Ａにおける分極方向の変化を説明する平面図である。

デバイス１Ａは、分極電極９を有していない点のみが実施形態に係るデバイス１と相違する。デバイス１Ａは、例えば、分極電極９が設けられない点を除いて、図３を参照して説明した実施形態に係る製造方法と同様の製造方法によって作製される。このとき、既述のように、温度変化に起因する電荷によって、ギャップＧ１及び／又はＧ２における分極方向が変化することがある。図５では、試作されたデバイス１Ａの解析によって得られた分極方向の分布が模式化されて示されている。

図５において、ハッチングして示された複数の領域Ｒ１は、分極方向が変化した領域である。具体的には、試作されたデバイス１Ａの圧電体３は、ＬＴの単結晶からなり、分極方向はＺ軸方向に平行である。そして、領域Ｒ１の分極方向は、他の領域の分極方向に対して逆向きになっている。

試作したデバイス１Ａにおいては、分極方向の変化（分極反転）は、電極指１５の先端とダミー電極１７の先端との間のギャップＧ２の直下の領域を含む複数の領域Ｒ１において生じた。複数の領域Ｒ１の大きさは一定ではない。また、複数のＩＤＴ電極７同士において、領域Ｒ１の数は互いに異なっている。

本願発明者は、上記のような領域Ｒ１の大きさ及び分布についての考察の結果、以下の事項を見出した。各ＩＤＴ電極７における領域Ｒ１の総面積は、複数のＩＤＴ電極７の間で同等である。このことから、矢印ｙ１で示すように、直列に接続されている複数のＩＤＴ電極７全体に電流が流れ、複数のＩＤＴ電極７同士で流れる電流（総電荷量）は同じである。別の観点では、直列に接続されている複数のＩＤＴ電極７全体の両端に焦電荷が発生していると見做すことができる。

従って、例えば、分極電極９は、直列に接続されている複数のＩＤＴ電極７の全体に並列に接続されていても、個々のＩＤＴ電極７において分極方向の変化が生じる蓋然性を低減することができる。その結果、例えば、個々のＩＤＴ電極７に分極電極９を設ける態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。）に比較して、導体層５のパターンを簡素化することができる。

また、例えば、直列に接続されている複数のＩＤＴ電極７全体に印加される電圧は分圧される。従って、分極電極９の最も狭い間隔ｓ３を個々のＩＤＴ電極７の最も狭い間隔ｓ２（又はｓ１）よりも狭くしなくても、最も狭い間隔ｓ２の複数のＩＤＴ電極７についての合計の値よりも狭くすれば、ギャップＧ３の直下において分極方向の変化が生じる蓋然性が高くなる。別の観点では、ＩＤＴ電極７の電荷を分極電極９において中和して、ＩＤＴ電極７において分極方向の変化が生じる蓋然性を低減できる。

２つの対向電極１９の間の最も狭い間隔ｓ３は、互いに噛み合っている２つの櫛歯電極１１の間の間隔ｓ１又はｓ２のうち最も狭い間隔であって、複数のＩＤＴ電極７の中で最も狭い間隔ｓ１又はｓ２よりも広くされてよい。

この場合であっても、上述のように、最も狭い間隔ｓ３が最も狭い間隔ｓ１又はｓ２の合計値よりも狭ければ、分極電極９において分極方向の変化を生じさせて電荷を中和できる。その一方で、最も狭い間隔ｓ３が複数のＩＤＴ電極７の中で最も狭い間隔ｓ１又はｓ２よりも広いことにより、分極電極９の容量を小さくすることができる。その結果、分極電極９の容量が、ＩＤＴ電極７が構成する素子の特性に及ぼす影響が低減される。

２つの対向電極１９は、１方向（図１の例ではＤ２方向）のみにおいて互いに対向していてよい。

圧電体３では、元々の分極方向（ステップＳＴ１における分極方向）と上面３ａとの関係等に起因して、分極方向の変化が生じやすい電圧印加方向と、分極方向の変化が生じ難い電圧印加方向とが存在することがある。従って、分極電極９の構成が１方向のみにおいて２つの対向電極１９が対向する構成である場合においては、当該１方向として、分極方向が変化しやすい電圧印加方向を選択することができる。その結果、例えば、ステップＳＴ３において、ギャップＧ３の直下における分極方向を変化させて、電流を流すことが容易化される。別の観点では、分極電極９が櫛歯電極のように２方向以上において対向する構成である態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。）に比較して、２つの対向電極１９の容量に対して、中和できる電荷量を相対的に大きくすることができる。

デバイス１は、第１接続部と、第２接続部とを有してよい。第１接続部は、分極電極９に並列に接続されているＩＤＴ電極７と、他のＩＤＴ電極７又は端子とを接続している部分であり、図１の例では、隣り合うＩＤＴ電極７同士で共有されているバスバー１３である。第２接続部は、ＩＤＴ電極７と分極電極９とを接続している部分であり、図１の例では、配線２１である。第２接続部（配線２１）の幅は、第１接続部の幅（図１の例ではバスバー１３のＤ１方向の長さ）よりも狭くされてよい。

この場合、例えば、配線２１の抵抗値が相対的に大きくなる。その結果、ＩＤＴ電極７に信号が入力されたときに、信号が分極電極９に流れにくくなる。ひいては、分極電極９が、ＩＤＴ電極７が構成する素子（例えば共振子又はフィルタ）の特性に、意図されていない影響を及ぼす蓋然性が低減される。

２つの櫛歯電極１１のそれぞれは、バスバー１３と、バスバー１３から互いに並列に第１方向（Ｄ２方向）に延びている複数の電極指１５と、複数の電極指１５の間にてバスバー１３からＤ２方向に突出しているダミー電極１７と、を有していてよい。２つの櫛歯電極１１のバスバー１３は互いに対向していてよい。２つの櫛歯電極１１の複数の電極指１５は交互に配列されていてよい。一方の櫛歯電極１１の複数の電極指１５の先端と他方の櫛歯電極１１のダミー電極１７の先端とは先端ギャップ（ギャップＧ２）を介して対向してよい。分極電極９のギャップＧ３のうち最も狭い部分は、Ｄ２方向において、分極電極９が並列に接続されている１以上のＩＤＴ電極７が位置している範囲に収まってよく、また、前記１以上のＩＤＴ電極７のギャップＧ２が位置している範囲の外側に位置してよい。

ギャップＧ２は、ＩＤＴ電極７の配置領域内において相対的に弾性波の乱れが生じやすい。一方、既述のように、ギャップＧ３の直下の領域は、分極方向が他の領域の分極方向と異なっていることによって、漏れた弾性波を乱してリップルを小さくできる。従って、ギャップＧ３の位置がギャップＧ２の位置とずれていることによって、漏れた弾性波を乱す効果が向上する。

本実施形態では、別の観点では、デバイス１の製造方法は、電極形成ステップ（ＳＴ２）と、その後に行われる分極ステップ（ＳＴ３）とを有する。電極形成ステップでは、分極方向が全面に亘って揃っている圧電体３に、ＩＤＴ電極７と、当該ＩＤＴ電極７に並列に接続されている分極電極９とを形成する。分極ステップでは、圧電体３に温度変化を生じさせ、焦電効果によって生じた電荷によって２つの対向電極１９に電圧を印加して、ギャップＧ３の直下の領域における分極方向をＩＤＴ電極７が配置されている領域における分極方向と異ならせる。

従って、上述したデバイス１を簡便に実現することができる。また、別の観点では、温度変化に起因してＩＤＴ電極７のギャップＧ１又はＧ２の直下において分極方向が変化する蓋然性を低減できる。

＜第２実施形態＞
図６は、第２実施形態に係るデバイス２０１の要部の構成を模式的に示す平面図である。

デバイス２０１は、第１実施形態でも触れた反射器３１を有している。そして、デバイス２０１は、反射器３１によって分極電極が実現されている点が第１実施形態のデバイス１と相違する。具体的には、例えば、以下のとおりである。

（反射器）
デバイス２０１は、例えば、各ＩＤＴ電極７に対して弾性波の伝搬方向（Ｄ１方向）に位置する反射器３１を有している。図示の例では、３つのＩＤＴ電極７に対してＤ１方向の一方側（－Ｄ１側）に３つの反射器３１が図示されている。なお、反射器３１は、後述する１ポート共振子３７（図１０）の構成から理解されるように、ＩＤＴ電極７に対してＤ１方向の両側に設けられてもよい。また、縦結合多重モード型フィルタ３９（図１０）及びトランスバーサル型フィルタ（不図示）から理解されるように、ＩＤＴ電極７に対してＤ１方向の片側にのみ設けられてもよい。

反射器３１の材料及び厚さは、例えば、ＩＤＴ電極７の材料及び厚さと同一である。反射器３１は、例えば、格子状に形成されている。すなわち、反射器３１は、互いに対向する１対のバスバー３３と、１対のバスバー３３間において延びる複数のストリップ電極３５とを含んでいる。なお、図６は模式図であることから、電極指１５と同様に、ストリップ電極３５の本数は少なく示されている。実際には、図示よりも多くのストリップ電極３５が配列されてよい。

バスバー３３の構成は、例えば、基本的に、ＩＤＴ電極７のバスバー１３と同様とされてよい。従って、バスバー１３についての説明は、矛盾等が生じない限り、適宜にバスバー３３に援用されてよい。もちろん、ＩＤＴ電極７と反射器３１とでは要求される具体的な作用が異なるから、両者に相違が存在してもよい。例えば、バスバー３３のＤ１方向の長さは、反射器３１に要求される特性に応じて設定され、通常、バスバー１３の長さとは異なる。また、バスバー３３は、Ｄ２方向の位置及び／又は幅（Ｄ２方向の長さ）等がバスバー１３のものと若干異なっていてもよい。

ストリップ電極３５の構成は、例えば、１対のバスバー３３間に掛け渡されている点を除いて、ＩＤＴ電極７の電極指１５の構成と概ね同様とされてよい。従って、電極指１５についての説明は、矛盾等が生じない限り、適宜にストリップ電極３５に援用されてよい。もちろん、ＩＤＴ電極７と反射器３１とでは要求される具体的な作用が異なるから、両者に相違が存在してもよい。例えば、ストリップ電極３５の本数は、反射器３１に要求される特性に応じて設定され、通常、電極指１５の本数とは異なる。互いに隣接する電極指１５とストリップ電極３５とのピッチは、基本的には複数の電極指１５のピッチｐ及び複数のストリップ電極３５のピッチと同等である。

（分極電極）
最も＋Ｄ２側の反射器３１は、全てのストリップ電極３５がその長さ方向（Ｄ２方向）の中途において分断されている。これにより、反射器３１は、図１に例示した分極電極９の形状と同様の形状を有する分極電極９を構成している。具体的には、分断位置に対して、＋Ｄ２側の部分及び－Ｄ２側の部分は、２つの対向電極１９を構成している。バスバー３３は、基部１９ａを構成している。ストリップ電極３５の分断された一方側の部分及び他方側の部分はそれぞれ突出部１９ｂを構成している。ストリップ電極３５の分断された位置には、２つの対向電極１９の間のギャップＧ３のうち、最も狭い部分が構成されている。

図示の例のように複数の反射器３１が設けられている場合において、分極電極９とされる反射器３１は、いずれの反射器３１であってもよい。例えば、図示の例とは異なり、中央の反射器３１又は最も－Ｄ２側の反射器３１が分極電極９とされてもよい。

ストリップ電極３５の分断位置におけるギャップＧ３のＤ２方向における位置及び大きさは適宜に設定されてよい。図示の例では、分断位置におけるギャップＧ３のＤ２方向における範囲と、ギャップＧ２のＤ２方向における範囲とは、一部同士が重複している。このようにすることによって、例えば、ストリップ電極３５の分断に起因する反射器３１の反射作用の低下を低減できる。分断位置におけるギャップＧ３とＤ２方向の範囲が重複するギャップＧ２は、交差幅Ｗ（図１参照）に対して＋Ｄ２側及び－Ｄ２側のいずれに位置するものであってもよい。なお、図示の例とは異なり、Ｄ２方向の範囲に関して、分断位置におけるギャップＧ３は、ギャップＧ２と重複していなくてもよい。

第１実施形態で述べた間隔ｓ３についての説明は、本実施形態に援用されてよい。例えば、分断位置における間隔ｓ３（最も狭い間隔ｓ３）は、間隔ｓ２の大きさに対して、大きくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、小さくてもよい。分断位置における間隔ｓ３と間隔ｓ２とが同等の場合は、分断位置におけるギャップＧ３とギャップＧ２とは、第２方向における範囲に関して、全部同士が重複してもよいし（図示の例）、全部同士が重複しなくてもよい。分断位置における間隔ｓ３及び間隔ｓ２の一方が他方よりも大きい場合は、分断位置におけるギャップＧ３及びギャップＧ２は、第２方向における範囲に関して、大きい方が小さい方の全部を包含してもよいし、包含しなくてもよい。

図示の例では、複数の分断位置におけるギャップＧ３は、Ｄ２方向における位置、及び間隔ｓ３が互いに同一である。ただし、これらは互いに異なっていてもよい。例えば、互いに隣り合うストリップ電極３５同士で分断位置を異ならせる（例えば－Ｄ２側のギャップＧ２の位置と＋Ｄ２側のギャップＧ２の位置とに交互に割り振る）ことによって、反射器３１の反射作用の低下がＤ２方向の一方側に偏る蓋然性を低減できる。なお、図示の例のように、分断位置におけるギャップＧ３の位置を互いに同じとした場合においては、隣り合う分断位置同士の間の部分においても分極方向を他の領域（例えばＩＤＴ電極７の配置領域）の分極方向に対して異ならせることが容易である。

反射器３１によって分極電極９を実現する態様において、分断位置は、図示の例とは異なり、ストリップ電極３５を２つに分断する位置でなくてもよい。例えば、バスバー３３とストリップ電極３５との接続位置を分断位置としてもよい。換言すれば、バスバー３３とストリップ電極３５の先端とをギャップＧ３を介して対向させてもよい。

（分極電極の接続）
分極電極９は、第１実施形態と同様に、１以上のＩＤＴ電極７に対して並列接続されている。この接続に関して、第２実施形態では、配線２１ではなく、反射器３１が利用されている。具体的には、以下のとおりである。

Ｄ２方向に配列された複数の反射器３１は、互いに直列に接続されている。より詳細には、隣り合う反射器３１同士でバスバー３３が共有されている。また、Ｄ２方向の一方側（－Ｄ２側）に位置する反射器３１の前記一方側（－Ｄ２側）に位置するバスバー３３は、Ｄ１方向に延びてＩＤＴ電極７のバスバー１３に接続されている（バスバー１３と連続している。）。同様に、Ｄ２方向の他方側（＋Ｄ２側）に位置する反射器３１の前記他方側（＋Ｄ２側）に位置するバスバー３３は、Ｄ１方向に延びてバスバー１３に接続されている。一方、他のバスバー３３は、Ｄ１方向において隣り合うバスバー１３とギャップＧ５を介して離れている（接続されていない）。このような構成によって、分極電極９は、複数のＩＤＴ電極７の全体に対して並列に接続されている。

ギャップＧ５の間隔（Ｄ１方向の長さ）は、例えば、概ね間隔ｓ１と同等とされてよい。また、最も狭い間隔ｓ３は、ギャップＧ５の間隔に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。

図示の例とは異なり、反射器３１同士の接続は、共有されていないバスバー３３同士を接続する配線によって実現されてもよい。また、バスバー３３とバスバー１３との接続は、バスバー３３及びバスバー１３を連続させることによって実現するのではなく、両者の間に配線が設けられて実現されてもよい。これらの場合において、配線は、第１実施形態の配線２１と同様に、比較的細くされてもよい。配線２１の説明は、上記の配線に援用されてよい。

図示の例とは異なり、ＩＤＴ電極７と分極電極９との接続は、反射器３１を利用せずに実現されてもよい。例えば、複数の反射器３１は、互いに直列に接続されず、ＩＤＴ電極７と分極電極９とが配線２１によって接続されてもよい。この場合、複数の反射器３１のうちの２以上が分極電極９とされてもよい。

図示の例とは異なり、配線として機能する反射器３１は、反射器３１を兼ねていない分極電極９（第１実施形態）と組み合わされてもよい。例えば、第１実施形態の分極電極９が反射器３１に対してＩＤＴ電極７とは反対側に位置しており、ＩＤＴ電極７と分極電極９とが反射器３１を介して接続されていてもよい。

以上のとおり、本実施形態では、デバイス２０１は、第１実施形態のデバイス１と同様に、ＩＤＴ電極７と並列に接続されている分極電極９を有している。従って、第１実施形態の効果と同様の効果が奏される。例えば、デバイス２０１の特性を向上させることができる。

デバイス２０１は、複数のＩＤＴ電極７と弾性波の伝搬方向（Ｄ１方向）において隣り合っている複数の反射器３１を有していてよい。複数の反射器３１は、互いに直列に接続されていてよい。複数の反射器３１の全体は、複数のＩＤＴ電極７の全体に並列に接続されていてよい。複数の反射器３１それぞれは、Ｄ１方向に直交する方向（Ｄ２方向）に互いに並列に延びている複数のストリップ電極３５を有していてよい。複数の反射器３１のうち１つは、複数のストリップ電極３５においてＤ２方向に分断されることによって分極電極９とされていてよい。

この場合、例えば、分極電極９の形状は、第１実施形態の分極電極９の形状と同様となる。その結果、例えば、分極電極９の容量を低減しつつ、分極電極９の間隔ｓ３を小さくできる。一方で、分極電極９を配置するための領域を圧電体３の上面３ａに新たに確保する必要性が低減される。その結果、デバイス２０１の小型化を図ることができる。また、ストリップ電極３５の数は複数であることから、最も間隔が狭いギャップＧ３の数も複数となる。その結果、ギャップＧ３の直下において分極方向を異ならせることによる効果が向上する。

＜第３実施形態＞
図７は、第３実施形態に係るデバイス３０１の要部の構成を模式的に示す平面図である。

デバイス３０１は、分極電極９が並列に接続されているＩＤＴ電極７の数が１つである点が第１実施形態のデバイス１と相違する。その他の点については、基本的に、デバイス３０１は、デバイス１と同様とされてよい。

分極電極９の最も狭い間隔ｓ３は、第１実施形態と同様に、各ＩＤＴ電極７の最も狭い間隔ｓ１又はｓ２を、分極電極９が並列に接続されている１以上のＩＤＴ電極７の全てについて合計した値よりも狭くされてよい。ただし、本実施形態では、分極電極９に並列に接続されているＩＤＴ電極７の数は１つであるから、最も狭い間隔ｓ３は、１つのＩＤＴ電極７の最も狭い間隔ｓ１又はｓ２よりも狭くされることになる。

図示の例では、分極電極９の形状は、第１実施形態の分極電極９の形状と同様とされている。また、第１実施形態と同様に、配線２１によってＩＤＴ電極７と分極電極９とが接続されている。ただし、分極電極９は、第２実施形態と同様に、反射器３１によって構成されてもよいし、及び／又は反射器３１によってＩＤＴ電極７と接続されてもよい。例えば、１つのＩＤＴ電極に対してＤ１方向の少なくとも一方側に１つの反射器３１が配置されてよい。そして、１つの反射器３１の１対のバスバー３３が１つのＩＤＴ電極７の１対のバスバー１３と連続してよい。

以上のとおり、本実施形態では、デバイス３０１は、第１実施形態のデバイス１と同様に、ＩＤＴ電極７と並列に接続されている分極電極９を有している。従って、第１実施形態の効果と同様の効果が奏される。例えば、デバイス３０１の特性を向上させることができる。

本実施形態では、分極電極９と並列に接続されているＩＤＴ電極７の数は１つである。ＩＤＴ電極７は、互いに噛み合う２つの櫛歯電極１１を有している。２つの対向電極１９の間の最も狭い間隔ｓ３は、２つの櫛歯電極１１の間の最も狭い間隔ｓ１又はｓ２よりも狭くされてよい。

この場合、デバイス３０１が有している１以上のＩＤＴ電極７のうちの１つのＩＤＴ電極７に対してのみ分極電極９が接続される。ここで、分極方向の変化が生じる蓋然性は、例えば、端子及び／又は他の素子に対するＩＤＴ電極７の接続状態（別の観点では電荷の逃げやすさ）によって影響を受ける。従って、例えば、複数のＩＤＴ電極７のうち、分極方向の変化が生じる蓋然性が高い１つのＩＤＴ電極７に分極電極９を接続することによって、全体として効果的に分極方向の変化が低減されることが期待される。

＜変形例＞
以下、変形例について説明する。以下の変形例は、これまでに述べたいずれの実施形態に適用されてもよい。

（分極電極の容量）
分極電極９の容量は、ＩＤＴ電極７が構成する素子（例えば共振子又はフィルタ）の特性を調整する目的で適宜に設定されてもよいし、ＩＤＴ電極７が構成する素子の特性に及ぼす影響が小さくなるように設定されてもよい。例えば、以下のとおりである。

図８（ａ）は、ＩＤＴ電極７を含む共振子の特性を模式的に示す図である。この図において、横軸は周波数ｆを示している。縦軸は、インピーダンスの絶対値｜Ｚ｜を示している。共振子は、例えば、１つのＩＤＴ電極７に対して弾性波の伝搬方向（Ｄ１方向）の両側に反射器３１を有している１ポート共振子３７（図１０）である。

共振子３７の｜Ｚ｜は、例えば、共振周波数ｆｒにおいて極小値となり、また、***振周波数ｆａにおいて極大値となる。共振周波数ｆｒと***振周波数ｆａとの周波数差Δｆは、共振子３７の特性を示す項目の１つである。例えば、複数の共振子３７をラダー型に接続したフィルタ（後述）においては、通過帯域及びその両側の遷移帯域の合計の幅は、概ねΔｆの２倍となる。

ＩＤＴ電極７に対してキャパシタが並列に接続されると、Δｆは小さくなる。分極電極９は、このキャパシタとして利用可能である。この場合は、分極電極９の容量は、所望のΔｆが得られるように適宜に設定されてよい。一方、上記とは異なり、分極電極９がΔｆに影響を及ぼさないようにする場合においては、分極電極９の容量は比較的小さくされてよい。

図８（ｂ）は、分極電極９の容量が周波数差Δｆに及ぼす影響の例を示す図である。この図において、横軸は容量の比Ｃ２／Ｃ０を示している。容量Ｃ０は、ＩＤＴ電極７の容量である。容量Ｃ２は、分極電極９の容量である。縦軸は、周波数Δｆ０に対する周波数Δｆの比Δｆ／Δｆ０を示している。Δｆ０は、容量Ｃ２が０であるとき（換言すれば分極電極９が設けられていないとき）のΔｆである。図中の線Ｌ１は、Ｃ２／Ｃ０の変化に対するΔｆ／Δｆ０の変化を示している。

この例のように、容量Ｃ２が大きくなると、周波数差Δｆは小さくなる。分極電極９がΔｆに及ぼす影響を小さくする観点においては、例えば、容量Ｃ２は、Δｆ／Δｆ０が９０％以上となるように設定されてよい。このとき、容量の比Ｃ２／Ｃ０は、図示の例では、１２％以下である。

ＩＤＴ電極７の具体的な形状及び寸法によっては、周波数差Δｆが９０％以上となる容量の比Ｃ２／Ｃ０の具体的な値は、図８（ｂ）に示す例とは相違する。ただし、周波数差Δｆは、理論上、ＩＤＴ電極７の容量Ｃ０と、ＩＤＴ電極７の等価回路における直列共振回路の容量とによって決定され、他の値の影響を受けない。また、分極電極９の容量Ｃ２は、実質的にＣ０を大きくすることに寄与する。そして、図８（ｂ）は、各種の値を比で表している。また、図８（ｂ）の例では、ＩＤＴ電極７の形状及び寸法として特殊なものは想定されていない。従って、図８（ｂ）は、一般的な共振子においても成り立つと考えてよい。

（分極電極の形状）
図９は、分極電極９の形状の変形例を示す図である。

第１実施形態の説明において、各対向電極１９が有する１以上の突出部１９ｂの本数は任意とされてよいことを述べた。図９では、図１に例示した本数（２本）よりも多くの本数の突出部１９ｂを有する対向電極１９が例示されている。このような場合において、突出部１９ｂの本数は、例えば、３本以上、５本以上又は１０本以上とされてよい。

このように突出部１９ｂの数を多くすると、例えば、分極方向が変化する領域が、突出部１９ｂが突出している方向に直交する方向（紙面上下方向）に広くなる。一方で、分極方向が変化する領域の広さに対して、最も狭い間隔ｓ３で対向する部分は突出部１９ｂの先端に限られるから、分極電極９の容量の増加は抑制される。

また、第１実施形態の説明では、突出部１９ｂ間の間隔ｓ４の大きさは任意であることを述べた。図９では、図１に例示した間隔ｓ４よりも狭い間隔ｓ４が例示されている。具体的には、図１の例では、間隔ｓ４は、間隔ｓ１～ｓ３よりも広かったが、図９の例では、間隔ｓ４は、間隔ｓ３以下とされている。このようにすると、最も狭いギャップＧ３に対して紙面上下方向の領域において分極方向を変化させることが容易化される。

＜利用例＞
以下、弾性波デバイスの利用例としての分波器及び通信装置について説明する。以下の分波器及び通信装置においては、これまでに述べたいずれの実施形態のデバイスが利用されてもよい。ただし、便宜上、以下の説明では、デバイス１、２０１及び３０１を代表してデバイス１を例に取ることがある。

（分波器）
図１０は、分波器１０１の構成を模式的に示す回路図である。図１０の紙面左上に示された符号から理解されるように、この図では、櫛歯電極１１が二叉のフォーク形状によって模式的に示されている。反射器３１は両端が屈曲した１本の線で表わされている。

図示の分波器１０１は、より詳細には、デュプレクサとして構成されている。分波器１０１は、例えば、送信端子１０５からの送信信号をフィルタリングしてアンテナ端子１０３へ出力する送信フィルタ１０９と、アンテナ端子１０３からの受信信号をフィルタリングして１対の受信端子１０７に出力する受信フィルタ１１１とを有している。

送信フィルタ１０９は、例えば、複数の共振子３７（３７Ｓ及び３７Ｐ）がラダー型に接続されて構成された、ラダー型フィルタによって構成されている。すなわち、送信フィルタ１０９は、送信端子１０５とアンテナ端子１０３との間で直列に接続された複数（１つでも可）の直列共振子３７Ｓと、その直列のライン（直列腕）と基準電位部１１３とを接続する複数（１つでも可）の並列共振子３７Ｐ（並列腕）とを有している。

各共振子３７は、圧電体３（ここでは不図示）と、圧電体３の上面３ａに位置しているＩＤＴ電極７と、上面３ａに位置しており、弾性波の伝搬方向においてＩＤＴ電極７の両側に位置している１対の反射器３１とを有している。

受信フィルタ１１１は、例えば、共振子３７と、縦結合多重モード型フィルタ３９（以下、ＭＭフィルタ３９ということがある。）と、を含んで構成されている。ＭＭフィルタ３９は、圧電体３（ここでは不図示）と、圧電体３の上面３ａに位置しており、弾性波の伝搬方向に配列された複数（図示の例では３つ）のＩＤＴ電極７と、複数のＩＤＴ電極７の配列の両側に配置された１対の反射器３１とを有している。

分波器１０１が有する複数のＩＤＴ電極７（及び反射器３１）は、１つの圧電体３（別の観点では、基板２３。以下、本段落において同様。）に設けられてもよいし、２以上の圧電体３に分散して設けられてもよい。例えば、送信フィルタ１０９を構成する複数の共振子３７は、例えば、同一の圧電体３に設けられてよい。同様に、受信フィルタ１１１を構成する共振子３７及びＭＭフィルタ３９は、例えば、同一の圧電体３に設けられてよい。送信フィルタ１０９及び受信フィルタ１１１は、例えば、同一の圧電体３に設けられてもよいし、互いに異なる圧電体３に設けられてもよい。上記の他、例えば、複数の直列共振子３７Ｓを同一の圧電体３に設けるとともに、複数の並列共振子３７Ｐを他の同一の圧電体３に設けてもよい。

別の観点では、１つの圧電体３を有するデバイス１は、分波器１０１の全部を構成していてもよいし、分波器１０１の一部のみを構成していてもよい。また、デバイス１は、フィルタ（例えば送信フィルタ１０９又は受信フィルタ１１１）の全部を構成していてもよいし、フィルタの一部のみを構成していてもよい。また、デバイス１は、単に共振子３７を構成しても構わない。

図１０に示すデュプレクサの構成は、あくまで一例である。従って、例えば、受信フィルタ１１１が送信フィルタ１０９と同様にラダー型フィルタによって構成されたり、逆に、送信フィルタ１０９がＭＭフィルタ３９を有していたりしてもよい。

分極電極９は、分波器１０１が有する複数のＩＤＴ電極７のうちの任意の１以上のＩＤＴ電極７に対して任意の数で設けられてよい。図示の例では、３つの直列共振子３７Ｓのうちの中央の直列共振子３７ＳのＩＤＴ電極７に対して並列に接続された１つの分極電極９が設けられている。図示の例とは異なり、全てのＩＤＴ電極７に対して分極電極９が設けられてもよい。また、１以上の直列共振子３７Ｓ、１以上の並列共振子３７Ｐ、他の共振子３７、及びＭＭフィルタ３９のＩＤＴ電極７のいずれかに選択的に１以上の分極電極９が設けられてもよい。

１つの分極電極９は、第３実施形態のように１つのＩＤＴ電極７に対して並列に接続されていてもよいし、直列に接続されている２以上のＩＤＴ電極７に対して並列に接続されていてもよい。後者に関して、例えば、１つの分極電極９は、２以上の直列共振子３７ＳのＩＤＴ電極７の全体に対して並列に接続されてよい。図示の例では、１つの直列共振子３７ＳのＩＤＴ電極７に対して分極電極９が並列に接続されている。このＩＤＴ電極７は、図示のとおり１つのＩＤＴ電極７であってもよいし、第１実施形態の３つのＩＤＴ電極７のように２以上のＩＤＴ電極７に分割されてもよい。

図示の例では、分極電極９が並列に接続されているＩＤＴ電極７（以下、便宜上、「第１のＩＤＴ電極７」ということがある。）は、いずれの端子にも直接的に接続されていない。すなわち、アンテナ端子１０３と第１のＩＤＴ電極７との間、送信端子１０５と第１のＩＤＴ電極７との間、及び第１のＩＤＴ電極７と基準電位部１１３との間のいずれにおいても、他のＩＤＴ電極７が介在している。ＩＤＴ電極７に代えて、他の電子素子（例えば、抵抗体、キャパシタ又はインダクタ）が端子と第１のＩＤＴ電極７との間に介在してもよい。

このように、デバイス１は、第１端子（例えばアンテナ端子１０３）と第２端子（例えば送信端子１０５）との間、又は第１端子と基準電位部１１３との間で直列に接続されている第１素子及び第２素子（例えば３つの直列共振子３７Ｓのうち両側の２つの直列共振子３７Ｓ）を有していてよい。第１のＩＤＴ電極７と分極電極９とは、第１素子と第２素子との間で互いに並列に接続されていてよい。

この場合、例えば、第１のＩＤＴ電極７の焦電荷は、端子又は基準電位部１１３に逃げにくい。特に、第１素子及び第２素子がＩＤＴ電極７又はキャパシタである場合においては、第１のＩＤＴ電極７は電気的に浮遊状態となりやすく、焦電荷が逃げにくい。ひいては、第１のＩＤＴ電極７においては分極方向の変化が生じやすい。このような第１のＩＤＴ電極７に対して分極電極９が並列に接続されることによって、ＩＤＴ電極７の配置領域における分極方向の変化を効率的に低減することができる。

（通信装置）
図１１は、分波器１０１（デバイス１）の利用例としての通信装置１５１の要部を示すブロック図である。通信装置１５１は、電波を利用した無線通信を行う。

通信装置１５１において、送信すべき情報を含む送信情報信号ＴＩＳは、ＲＦ－ＩＣ（Radio Frequency Integrated Circuit）１５３によって変調及び周波数の引き上げ（搬送波周波数を有する高周波信号への変換）がなされて送信信号ＴＳとされる。送信信号ＴＳは、バンドパスフィルタ１５５によって送信用の通過帯以外の不要成分が除去され、増幅器１５７によって増幅されて分波器１０１（送信端子１０５）に入力される。そして、分波器１０１（送信フィルタ１０９）は、入力された送信信号ＴＳから送信用の通過帯以外の不要成分を除去し、その除去後の送信信号ＴＳをアンテナ端子１０３からアンテナ１５９に出力する。アンテナ１５９は、入力された電気信号（送信信号ＴＳ）を無線信号（電波）に変換して送信する。

また、通信装置１５１において、アンテナ１５９によって受信された無線信号（電波）は、アンテナ１５９によって電気信号（受信信号ＲＳ）に変換されて分波器１０１（アンテナ端子１０３）に入力される。分波器１０１（受信フィルタ１１１）は、入力された受信信号ＲＳから受信用の通過帯以外の不要成分を除去して受信端子１０７から増幅器１６１へ出力する。出力された受信信号ＲＳは、増幅器１６１によって増幅され、バンドパスフィルタ１６３によって受信用の通過帯以外の不要成分が除去される。そして、受信信号ＲＳは、ＲＦ－ＩＣ１５３によって周波数の引き下げ及び復調がなされて受信情報信号ＲＩＳとされる。

なお、送信情報信号ＴＩＳ及び受信情報信号ＲＩＳは、適宜な情報を含む低周波信号（ベースバンド信号）でよく、例えば、アナログの音声信号もしくはデジタル化された信号である。無線信号の通過帯は、適宜に設定されてよく、比較的高周波の通過帯（例えば５ＧＨｚ以上）とされても構わない。変調方式は、位相変調、振幅変調、周波数変調もしくはこれらのいずれか２つ以上の組み合わせのいずれであってもよい。回路方式は、図１１では、ダイレクトコンバージョン方式を例示したが、それ以外の適宜なものとされてよく、例えば、ダブルスーパーヘテロダイン方式であってもよい。また、図１１は、要部のみを模式的に示すものであり、適宜な位置にローパスフィルタやアイソレータ等が追加されてもよいし、また、増幅器等の位置が変更されてもよい。

本開示に係る技術は、以上の実施形態及び変形例に限定されず、種々の態様で実施されてよい。

ＩＤＴ電極の構成は、図示したものに限定されない。例えば、ＩＤＴ電極は、一方の櫛歯電極の電極指と他方の櫛歯電極の電極指とが、弾性波の伝搬方向に１本ずつ交互に配列されるのではなく、２本ずつ交互に配列されるものであってもよい。また、ＩＤＴ電極は、弾性波の伝搬方向に直交する方向に対して斜めに延びているものであってもよい。

１…超音波デバイス、３…圧電体、３ａ…（圧電体の）上面、５…導体層、７…ＩＤＴ電極、９…分極電極、１１…櫛歯電極、１３…対向電極、Ｇ３…（２つの対向電極の）ギャップ。

Claims (13)

1. 圧電体と、
   前記圧電体の上面に位置しているＩＤＴ電極と、
   前記圧電体の上面に位置しており、前記ＩＤＴ電極と並列に接続されている分極電極と、
   を有しており、
   前記分極電極は、互いにギャップを介して対向する２つの対向電極を有しており、
   前記圧電体は、前記ギャップの直下の領域における分極方向が、前記ＩＤＴ電極が配置されている領域における分極方向と異なっている
   弾性波デバイス。
2. 前記ＩＤＴ電極は、所定のピッチで配列されている複数の電極指を有しており、
   前記圧電体の厚さは、前記ピッチの２倍以下である
   請求項１に記載の弾性波デバイス。
3. 互いに直列に接続されている複数の前記ＩＤＴ電極を有しており、
   前記分極電極は、前記複数のＩＤＴ電極の全体に対して並列に接続されており、
   前記複数のＩＤＴ電極のそれぞれは、互いに噛み合っている２つの櫛歯電極を有しており、
   前記２つの対向電極の間の最も狭い間隔は、前記２つの櫛歯電極の間の最も狭い間隔を前記複数のＩＤＴ電極について合計した値よりも狭い
   請求項１又は２に記載の弾性波デバイス。
4. 前記２つの対向電極の間の最も狭い間隔は、前記２つの櫛歯電極の間の間隔のうち最も狭い間隔であって、前記複数のＩＤＴ電極の中で最も狭い間隔よりも広い
   請求項３に記載の弾性波デバイス。
5. 前記複数のＩＤＴ電極と弾性波の伝搬方向において隣り合っている複数の反射器を有しており、
   前記複数の反射器は、互いに直列に接続されており、当該複数の反射器の全体は、前記複数のＩＤＴ電極の全体に並列に接続されており、
   前記複数の反射器それぞれは、前記伝搬方向に直交する方向に互いに並列に延びている複数のストリップ電極を有しており、
   前記複数の反射器のうち１つは、前記複数のストリップ電極が前記直交する方向に分断されることによって前記分極電極とされている
   請求項３又は４に記載の弾性波デバイス。
6. 前記分極電極と並列に接続されている前記ＩＤＴ電極の数は１つであり、
   前記ＩＤＴ電極は、互いに噛み合う２つの櫛歯電極を有しており、
   前記２つの対向電極の間の最も狭い間隔は、前記２つの櫛歯電極の間の最も狭い間隔よりも狭い
   請求項１又は２に記載の弾性波デバイス。
7. １以上の前記ＩＤＴ電極を有しており、
   前記分極電極は、前記１以上のＩＤＴ電極の全体に並列に接続されており、
   前記分極電極の容量が前記１以上のＩＤＴ電極の容量の１２％以下である
   請求項１～６のいずれか１項に記載の弾性波デバイス。
8. 前記２つの対向電極が、１方向のみにおいて互いに対向している
   請求項１～７のいずれか１項に記載の弾性波デバイス。
9. 前記ＩＤＴ電極と、他のＩＤＴ電極又は端子とを接続している第１接続部と、
   前記ＩＤＴ電極と前記分極電極とを接続しており、前記第１接続部の幅よりも狭い幅を有している第２接続部と、
   を有している請求項１～８のいずれか１項に記載の弾性波デバイス。
10. 第１端子と第２端子との間、又は第１端子と基準電位部との間で直列に接続されている第１素子及び第２素子を有しており、
    前記ＩＤＴ電極と前記分極電極とは、前記第１素子と前記第２素子との間で互いに並列に接続されている
    請求項１～９のいずれか１項に記載の弾性波デバイス。
11. １以上の前記ＩＤＴ電極を有しており、
    前記分極電極は、前記１以上のＩＤＴ電極の全体に並列に接続されており、
    前記１以上のＩＤＴ電極のそれぞれは、互いに噛み合う２つの櫛歯電極を有しており、
    前記２つの櫛歯電極のそれぞれは、
    バスバーと、
    前記バスバーから互いに並列に第１方向に延びている複数の電極指と、
    前記複数の電極指の間にて前記バスバーから前記第１方向に突出しているダミー電極と、を有しており、
    前記２つの櫛歯電極は、当該２つの櫛歯電極の前記バスバーが互いに対向し、当該２つの櫛歯電極の前記複数の電極指が交互に配列され、一方の櫛歯電極の前記複数の電極指の先端と他方の櫛歯電極の前記ダミー電極の先端とが先端ギャップを介して対向するように配置されており、
    前記分極電極の前記ギャップのうち最も狭い部分が、前記第１方向において、前記１以上のＩＤＴ電極が位置している範囲に収まっているとともに、前記第１方向において、前記１以上のＩＤＴ電極の前記先端ギャップが位置している範囲の外側に位置している
    請求項１～１０のいずれか１項に記載の弾性波デバイス。
12. 請求項１～１１のいずれか１項に記載の弾性波デバイスを有しているフィルタと、
    前記フィルタに接続されているアンテナと、
    前記フィルタを介して前記アンテナと接続されている集積回路素子と、
    を有している通信装置。
13. 請求項１～１１のいずれか１項に記載の弾性波デバイスの製造方法であって、
    分極方向が全面に亘って揃っている前記圧電体に、前記ＩＤＴ電極と、当該ＩＤＴ電極に並列に接続されている前記分極電極とを形成する電極形成ステップと、
    前記電極形成ステップの後に、前記圧電体に温度変化を生じさせ、焦電効果によって生じた電荷によって前記２つの対向電極に電圧を印加して、前記ギャップの直下の領域における分極方向を前記ＩＤＴ電極が配置されている領域における分極方向と異ならせる分極ステップと、
    を有している弾性波デバイスの製造方法。

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