JP7428632B2 - 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Description
特許文献1 特開2013-177297号公報
特許文献2 特表2015-502316号公報
特許文献3 特許第6661318号公報
図2に示す気化器6を用いて多孔質ガラス母材14の作製を実施した。具体的には、気化器6の内壁が直径40mm、高さ120mmの円柱状であり、アトマイザ15が円柱の一方の底面に設けられており、液滴が他方の底面方向に向けて噴出される。気化器6内壁温度は185℃になるように制御した。
実施例1と同様に、図2に示す気化器6を用いて多孔質ガラス母材14の作製を実施した。気化器6温度は185℃になるように制御した。
実施例1と同様に、図2に示す気化器6を用いて多孔質ガラス母材14の作製を実施した。気化器6温度は185℃になるように制御した。
実施例1と同様に、図2に示す気化器6を用いて多孔質ガラス母材14の作製を実施した。気化器6温度は185℃になるように制御した。
実施例1と同様に、図2に示す気化器6を用いて多孔質ガラス母材13の作製を実施した。気化器6温度は185℃になるように制御した。
2 送液ポンプ
3a 循環配管
3b 原料液供給配管
3c キャリアガス供給配管
3d 原料混合ガス配管
4 水分除去手段
5 液体マスフローコントローラ
6 気化器
7 ガスマスフローコントローラ
8、8a、8b 水分除去手段
9 圧力計
10 露点計
11 予熱器
12 多孔質ガラス母材製造装置
13 バーナ
14 多孔質ガラス母材
15 アトマイザ
16 ヒータ
Claims (17)
- 原料である液体状態の有機シロキサンをキャリアガスと気化器内で混合し、加熱により気化させて、気体原料としてバーナに供給し、前記気体原料の燃焼により生成されたガラス微粒子を出発材に堆積させることにより多孔質ガラス母材を製造し、これを焼結するガラス母材の製造方法であって、
前記気化器に導入するキャリアガス中の水分濃度を1volppm以下にして、前記キャリアガスを0℃1気圧換算値で15~40リットル/分の流量で前記気化器に供給し、
前記気化器に導入する前記有機シロキサンを含む原料液の水分濃度を20wtppm以下にして、前記原料液を100g/分以下の流量で前記気化器に供給することで、ゲル状の重合物質の生成を抑制する、ガラス母材の製造方法。 - 前記気化器に導入するキャリアガス中の水分濃度を0.1volppm以下にする、請求項1に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記加熱が、予熱された前記キャリアガスによる、請求項1または2に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記加熱が、ヒータにより加熱された前記気化器の内壁から生じる熱による、請求項1~3のいずれか一項に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記キャリアガスとして、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガスを用いる、請求項1~4のいずれか一項に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記キャリアガスとして、酸素または酸素と不活性ガスとの混合ガスを用いる、請求項1~4のいずれか一項に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記キャリアガス中の水分濃度を、水分除去手段により下げる、請求項1~6のいずれか一項に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記水分除去手段は、複数並列に設置しておいて、切り替えて使用する、請求項7に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記水分除去手段により水分濃度が下げられた前記キャリアガスを、ガス中の露点を計測しながら、前記気化器に供給する、請求項7又は8に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記キャリアガスは、200~300℃に予熱した状態で前記気化器に供給する、請求項1から9のいずれか一項に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記有機シロキサンは、オクタメチルシクロテトラシロキサンである、請求項1から10のいずれか一項に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記有機シロキサンを含む原料液中の水分濃度を別の水分除去手段により下げる、請求項1から11のいずれか一項に記載のガラス母材の製造方法。
- 原料である液体状態の有機シロキサンをキャリアガスと気化器内で混合し、加熱により気化させて、気体原料としてバーナに供給し、前記気体原料の燃焼により生成されたガラス微粒子を出発材に堆積させることにより多孔質ガラス母材を製造する多孔質ガラス母材の製造装置であって、
前記キャリアガス中の水分を水分濃度1volppm以下まで除去してキャリアガスを前記気化器に供給する、前記キャリアガスの水分除去手段と、
前記キャリアガスの流量を、0℃1気圧換算値で15~40リットル/分に調整するガスマスフローコントローラと、
前記有機シロキサンを含む原料液の水分濃度を20wtppm以下まで除去して前記気化器に供給する、前記原料液の水分除去手段と、
前記原料液の流量を100g/分以下に調整する液体マスフローコントローラと、を備えることで、ゲル状の重合物質の生成を抑制する、多孔質ガラス母材の製造装置。 - 前記キャリアガスの水分除去手段は複数並列に設置する、請求項13に記載の多孔質ガラス母材の製造装置。
- 前記水分除去手段により水分が除去された前記キャリアガスの露点を計測する露点計をさらに備える、請求項13又は14に記載の多孔質ガラス母材の製造装置。
- 前記気化器に供給される前記キャリアガスを予熱する加熱手段をさらに備える、請求項13~15のいずれか一項に記載の多孔質ガラス母材の製造装置。
- 前記有機シロキサンは、オクタメチルシクロテトラシロキサンである、請求項13~16のいずれか一項に記載の多孔質ガラス母材の製造装置。
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