JP7424759B2 - 主軸異常検出装置 - Google Patents

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Description

本発明は、主軸異常検出装置に関するものである。
従来、主軸に取付けられたツールホルダの外周面の振れの変化を監視する工作機械が知られている。このような工作機械は例えば特許文献1に開示されている。
特開2004-42208号公報
ところで、工作機械は、様々なユーザによって様々なワークの加工に用いられる。工作機械の主軸に取付けられたツールの振れは、工場出荷時は数μm以下である。しかし、段取り時に主軸又は主軸に取付けられたツールがワーク、冶具、X-Yテーブル等に衝突することによってツールの振れが大きくなり、長年に亘る工作機械の使用によってもツールの振れが大きくなる。ツールの振れが大きくなると、ワークの加工精度が下がる。
ツールの振れが50μm程度又は100μm程度になると、工作機械のユーザでもその主軸の異常に気付く時がある。しかし、徐々にツールの振れが悪化している状態では、多くのユーザがその異常に気付かない。このような状態で大量のワークを加工すると、基準の精度を満たしていない大量の製品が製造される場合がある。これは、多くのワークを無駄に加工していることになり、製造効率の悪化および製造コストの増加に繋がる。
また、ユーザが主軸又は主軸に取付けられたツールをワーク、冶具、X-Yテーブル等に衝突させると、主軸のベアリング内に打痕が生じる場合がある。当該打痕によってツールの振れが大きくなる場合があり、主軸およびツールに好ましくない振動が生ずる場合がある。しかし、前述のように当該異常にユーザが気付かない場合があり、これは製造効率の悪化および製造コストの増加に繋がる。
上記事情に鑑み、主軸の異常を適切に検出することが可能な主軸異常検出装置が望まれる。
本開示の一態様の主軸異常検出装置は、工作機械の主軸の振動を測定するための第1センサと、前記主軸に取付けられたツールユニットの軸振れを測定する第2センサと、前記第1センサによる検出結果を前記主軸の振動の基準と比較して得られる振動比較結果と、前記主軸を1000rpm以上である少なくとも1つの回転数で回転させた時の前記第2センサによる検出結果を前記ツールユニットの振れの基準と比較して得られる振れ比較結果とに基づき、前記主軸の異常判断を行う制御部と、を備え前記制御部が、前記主軸を500rpm以下である低速回転数で回転させた時の前記第1センサによる前記検出結果を前記振動の基準と比較して得られる低速時の比較結果を前記振動比較結果として用いる
本発明の一実施形態に係る主軸異常検出装置が用いられる工作機械の概略斜視図である。 本実施形態の工作機械の要部の概略斜視図である。 本実施形態の工作機械の概略側面図である。 本実施形態の工作機械のブロック図である。 本実施形態の主軸異常検出装置のブロック図である。 本実施形態の主軸異常検出装置の処理の例を示すフローチャートである。 本実施形態の主軸異常検出装置の第1センサの検出結果の例である。 本実施形態の主軸異常検出装置の振動検出結果の例を示すテーブルである。 本実施形態の主軸異常検出装置の振れ検出結果の例を示すテーブルである。 本実施形態の主軸異常検出装置の振動検出結果の例を示すテーブルである。 本実施形態の主軸異常検出装置の振動比較結果の評価基準の例を示すテーブルである。
以下に、一実施形態に係る主軸異常検出装置50および工作機械1について図面を参照して説明する。
本実施形態に係る工作機械1は、図1に示されるように、ベース2およびベース2から上方に向かって延びるコラム部3とを有する工作機械本体1aと、コラム部3に上下方向に移動可能に支持された主軸ユニット4と、ワークWを支持するX-Yテーブル22と、を備えている。また、図3に示されるように、本実施形態に係る工作機械1には、主軸ユニット4の主軸4aに取付けられるツールユニットTUを自動で交換するためのツールマガジン7が設けられている。ツールマガジン7に収納された複数のツールユニットTUは、択一的に主軸4aに保持される。主軸ユニット4は、主軸4aを複数のベアリングBを介して支持する主軸ヘッド4bを備えている。ツールユニットTUは、主軸4aに固定されるホルダHと、ホルダHに固定されるツールTとを有する。ツールTの基端はホルダHのコレット部によって把持され、ツールTの先端がワークWを切削する。
コラム部3には鉛直方向(Z軸方向)に延びる複数のガイドレール3aが設けられ、主軸ヘッド4bはガイドレール3aに鉛直方向に移動可能に支持されている。また、コラム部3の上端部にはサーボモータ等のZ軸モータ3bが固定され、Z軸モータ3bの出力軸からの出力が減速機3c等を介してボールネジ3dに伝達される。ボールネジ3dはガイドレール3aに沿って配置され、ボールネジ3dは主軸ヘッド4bの背面部4cに固定されたボールネジナットに螺合している。当該構成により、Z軸モータ3bの出力軸の回転によって、主軸ユニット4が鉛直方向に移動する。
また、主軸4aおよびツールTは、主軸4aの上端部に接続された主軸モータ5aによって、主軸4aの中心軸線周りに回転する。
工作機械1は、X-Yテーブル22の水平方向の移動、主軸4aの鉛直方向の移動等によって、ワークWとツールTとを相対移動させながら、回転するツールTによってワークWを加工する。
ベース2は、例えば、レベリングボルト、アンカーボルト等を使用して工作機械1の使用場所に設置される。X-Yテーブル22はベース2上に配置され、X-Yテーブル22の上面には、付加軸ユニットAU、冶具J等を介してワークWが固定される。X-Yテーブル22およびワークWは、ベース2に設けられたモータ13,23によって、主軸4aに対して水平方向に移動される。ツールマガジン7および主軸ヘッド4bはコラム部3の上端部に支持され、ツールマガジン7、主軸4aおよび主軸ヘッド4bは、X-Yテーブル22の上方に配置されている。
図2に示されるように、ベース2の上面部には水平方向であるY軸方向に延びる複数のガイドレール11が設けられ、Y方向可動部12がガイドレール11にY軸方向に移動可能に支持されている。また、ベース2の上面部にはY軸モータ13が固定され、Y軸モータ13の出力軸からの出力が減速機13a等を介してボールネジ14に伝達される。ボールネジ14はガイドレール11に沿って配置され、ボールネジ14はY方向可動部12の一部であるボールネジナットに螺合している。当該構成により、Y軸モータ13の出力軸の回転によって、Y方向可動部12がY軸方向に移動する。
また、図2に示されるように、Y方向可動部12の上面部には水平方向であるX軸方向に延びる複数のガイドレール21が設けられ、X-Yテーブル22がガイドレール21にX軸方向に移動可能に支持されている。また、Y方向可動部12の上面部にはX軸モータ23が固定され、X軸モータ23の出力軸からの出力が減速機23a等を介してボールネジ24に伝達される。ボールネジ24はガイドレール21に沿って配置され、ボールネジ24はX-Yテーブル22の一部であるボールネジナットに螺合している。当該構成により、X軸モータ23の出力軸の回転によって、X-Yテーブル22がX軸方向に移動する。
前記構成により、X-Yテーブル22は、主軸4aに対してX軸方向およびY軸方向に移動する。
工作機械1には、工作機械1を制御する制御装置40が設けられている。制御装置40は、図4に示されるように、CPU等のプロセッサ41と、表示装置42と、不揮発性ストレージ、ROM等を有する記憶部43と、操作盤等の入力部44と、アンテナ、コネクタ等を有する送受信部45と、を有する。記憶部43にはシステムプログラム43aが格納され、システムプログラム43aは制御装置40の基本機能を担っている。
また、記憶部43には、加工プログラム43bおよびツール交換プログラム43cが格納されている。制御装置40は、加工プログラム43bおよびツール交換プログラム43cに基づき各モータ等に制御指令を送信し、これにより工作機械1による加工、ツールマガジン7を用いた主軸4aのツールユニットTUの交換等が行われる。
主軸異常検出装置50は、一例では、デスクトップコンピュータ、ラップトップコンピュータ、タブレットコンピュータ等のコンピュータ(制御部)60を備える。コンピュータ60は、図5に示されるように、CPU等のプロセッサ61と、表示装置62と、不揮発性ストレージ、ROM等を有する記憶部63と、キーボード、マウス等の入力部64と、アンテナ、コネクタ等を有する送受信部65と、を有する。記憶部63にはシステムプログラム63aが格納され、システムプログラム63aは主軸異常検出装置50の基本機能を担っている。
また、記憶部63には、振動記憶プログラム63bと、振れ記憶プログラム63cと、異常判断プログラム63dとが格納されている。
コンピュータ60は、一例では、複数の工作機械1に接続されている管理コンピュータである。この場合、コンピュータ60は、複数の工作機械1の制御装置40から様々な情報を受信し、複数の工作機械1に加工条件等の情報を提供する。コンピュータ60は管理コンピュータ以外の通常のコンピュータであってもよい。
また、主軸異常検出装置50は、図1および図3に示されるように主軸ユニット4に取付けられた加速度センサ等の第1センサ71と、図1および図2に示されるようにX-Yテーブル22等に取付けられたレーザセンサ等の第2センサ72とを有する。前記加速度センサは、例えば一軸加速度センサ、二軸加速度センサ、三軸加速度センサ等である。本実施形態では、第1センサ71は主軸ヘッド4bの外周面に取付けられ、主軸4aの回転によって生ずる振動を計測する。本実施形態では一例として一軸加速度センサが用いられる。前記レーザセンサは、反射型レーザ変位計、レーザドップラ振動計等である。本実施形態では一例として反射型レーザ変位計が用いられる。
図5に示されるように、第1センサ71および第2センサ72はコンピュータ60に接続され、第1センサ71および第2センサ72の検出結果はコンピュータ60に逐次送信される。
コンピュータ60は、第1センサ71による検出結果と第2センサ72による検出結果とを用いて、主軸4aの異常の有無の判断を行う。当該判断を行う際のコンピュータ60の処理を図6のフローチャートを参照しながら説明する。
先ず、コンピュータ60は、工作機械1に、主軸4aを複数の回転数で順次回転させるための信号を送信する(ステップS1-1)。これにより、工作機械1の制御装置40は、主軸4aを回転させるために主軸モータ5aを制御し、主軸4aを例えば100rpm、500rpm、1000rpm、5000rpm、10000rpmの5つの回転数で順次回転させる。なお、主軸4aを6以上の回転数で順次回転させてもよく、2以上4以下の回転数で順次回転させてもよい。
本実施形態では、主軸4aを前述のように回転させる前に、制御装置40がZ軸モータ3b、Y軸モータ13、およびX軸モータ23を制御し、主軸4aに取付けられたツールユニットTUのツールTを、X-Yテーブル22に取付けられた第2センサ72のレーザ光Lが当たる位置に配置する。これにより、主軸4aが回転した際のツールユニットTUの軸振れが第2センサ72によって検出される状態となる。なお、ツールユニットTUにおいて主軸4aから露出している他の部分にレーザ光が当たってもよい。この場合でも、ツールユニットTUの軸振れが第2センサ72によって検出される。
ステップS1-1の信号の送信は、毎日所定のタイミングに行われてもよく、それ以外の所定のタイミングで行われてもよい。例えば、ツールマガジン7に新たなツールTが取付けられるタイミングで行われてもよい。
続いて、コンピュータ60は、振動記憶プログラム63bに基づき、各々の回転数に対応して第1センサ71の振動検出結果を受信し、受信した振動検出結果を回転数毎に記憶部63に記憶する(ステップS1-2)。このように記憶された振動検出結果は、主軸4aの振動の基準として用いられる。
また、コンピュータ60は、振れ記憶プログラム63cに基づき、各々の回転数に対応して第2センサ72の振れ検出結果を受信し、受信した振れ検出結果を回転数毎に記憶部63に記憶する(ステップS1-3)。このように記憶された振れ検出結果は、ツールTの振れの基準として用いられる。
コンピュータ60は、ステップS1-1~ステップS1-3を、前記所定のタイミングが到来する度に行う。
なお、ステップS1-2において、図7に示されるような第1センサ71の検出結果がそのまま振動検出結果として回転数毎に記憶部63に記憶されてもよいが、第1センサ71の検出結果を解析した後のデータが振動検出結果として記憶部63に記憶されてもよい。
前記解析として、例えばFFT解析等の周波数解析が行われる。各回転数の第1センサ71の検出結果を周波数解析すると、各回転数の検出結果において振動の振幅、加速度等が大きい周波数を見出すことができる。このため、各回転数の検出結果において、振動の振幅、加速度等が大きい1つ又は複数の周波数と、その周波数の振幅、加速度等が、解析した後の結果となり、当該結果が振動検出結果として記憶部63に記憶される。本実施形態では、一例として、図8に示されるように、各回転数の検出結果において、振動の加速度が大きい2つの周波数と、当該2つの周波数の加速度および振幅が、振動検出結果として記憶される。なお、各回転数において、最も振動レベルが高い周波数はS1の番号が付され、次に振動レベルが高い周波数はS2の番号が付される。
また、ステップS1-3において、一例では、各回転数において、第2センサ72の検出結果の最大値が振れ検出結果として記憶部63に記憶される。例えば、図9に示されるように、各回転数の振れの最大値が記憶部63に記憶される。図8および図9において、「*」には計測された値又は計測された値が入る。
続いて、コンピュータ60は、異常判断プログラム63dに基づき、異常判断の処理を行う。コンピュータ60は、第1センサ71による新たな振動検出結果を、記憶部63に記憶されている過去の振動検出結果と比較し、後述の振動比較結果Gnを得る(ステップS1-4)。過去の振動検出結果は、例えば図8に示されるように、振動の基準として回転数毎に記憶部63に記憶された振動検出結果である。
本実施形態では、新たな振動検出結果も、図8の場合と同様に、第1センサ71の検出結果を周波数解析した後のデータである。新たな振動検出結果は、ステップS1-1およびステップS1-2を行うことによって、過去の振動検出結果よりも後に記憶部63に記憶された振動検出結果である。新たな振動検出結果は、図10に示されるように、各回転数の検出結果において、振動の加速度が大きい2つの周波数と、当該2つの周波数の加速度および振幅である。なお、各回転数において、最も振動レベルが高い周波数はF1の番号が付され、次に振動レベルが高い周波数はF2の番号が付される。
コンピュータ60は、ステップS1-4において、例えば下記の式(1)によって振動比較結果Gnを得る。
|Fn-Sn|=Gn ・・・(1)
式(1)によって、各回転数の各周波数について振動比較結果Gnが得られる。
得られた各々の振動比較結果Gnに対して、例えば図10に示されるような所定の判定基準に基づいてスコアが決定される。図11におけるS10%は各々のSnの10%の値である、S20%~S40%も同様である。
なお、式(1)に適用されるFnとSnの周波数が異なる場合は、当該回転数の振動比較結果Gnのスコアは0となる。例えば、図10に示されるように、100rpmの時のF2の周波数は12.5Hzであり、これは図8の100rpmの時のS1およびS2の何れの周波数とも異なる。例えば、主軸4aのベアリングBの中に打痕が生ずると、低速回転時に、S1およびS2の回転一次又は回転二次の周波数以外の周波数において大きな振動が生ずる。FnとSnの周波数が異なる時のスコアを顕著に低くすると、このような異常を発見し易くなる。
また、コンピュータ60は、第2センサ72による新たな振れ検出結果を、記憶部63に記憶されている過去の振れ検出結果と比較し、後述の振れ比較結果Dを得る(ステップS1-5)。過去の振れ検出結果は、例えば図9に示されるように、振れの基準として回転数毎に記憶部63に記憶された振れ検出結果である。新たな振れ検出結果は、ステップS1-1およびステップS1-3を行うことによって、過去の振れ検出結果よりも後に記憶部63に記憶された振れ検出結果である。
コンピュータ60は、回転数毎に、例えば下記の式(2)を用いて新たな振れ検出結果と過去の振れ検出結果との差を振れ比較結果Dとして算出する。
|新たな振れ検出結果-過去の振れ検出結果|=D ・・・(2)
コンピュータ60は、何れかの回転数の振れ比較結果Dが所定の基準値を超えた時に、ツールユニットTUの振れに異常があると判断することができる。なお、コンピュータ60は、新たな振れ検出結果と予め決められた振れの基準との差を振れ比較結果Dとして算出してもよい。予め決められた振れの基準は0μmであってもよい。このように、コンピュータ60は、新たな振れ検出結果を振れの基準と比較して得られる振れ比較結果Dを得る。
本実施形態では、コンピュータ60が、回転数毎に、振れ比較結果Dに対してスコアを決定する。例えば、振れ比較結果Dが値a未満である場合のスコアを100とし、振れ比較結果Dが値a以上あって値b未満である場合のスコアを80とし、振れ比較結果Dが値b以上であって値c未満である場合のスコアを40とし、振れ比較結果Dが値c以上である場合のスコアを0とすることができる。
そして、コンピュータ60は、振動比較結果Gnと振れ比較結果Dとを用いて、主軸4aの異常判断として、ツールユニットTUを含めた主軸4aの振動状態の評価を行う(ステップS1-6)。例えば、コンピュータ60は、全ての回転数の振動比較結果Gnのスコアの平均値と、全ての回転数の振れ比較結果Dのスコアの平均値とを用いて、主軸4aの振動状態の評価を行うことができる。
そして、コンピュータ60は、ステップS1-6の評価結果を出力する(ステップS1-7)。当該出力の一例として、コンピュータ60は、当該評価結果をコンピュータ60の表示装置62に表示する。他の例として、コンピュータ60が、当該評価結果をユーザのコンピュータに送信してもよく、当該評価結果を工作機械1の制御装置40に送信してもよい。制御装置40は、受信した評価結果を表示装置42に表示することができる。受信した評価結果に基づき、制御装置40が工作機械1の動作の制限又は停止を行ってもよい。
なお、本実施形態では工作機械1の制御装置40と別にコンピュータ60が設けられているが、コンピュータ60が制御装置40内に設けられていてもよい。この場合、コンピュータ60のプロセッサ61、記憶部63等の構成の一部又は全部が制御装置40のプロセッサ41、記憶部43の構成と共通であってもよい。
このように、本実施形態の主軸異常検出装置50は、工作機械1の主軸4aの振動を測定するための第1センサ71と、主軸4aに取付けられたツールユニットTUの軸振れを測定する第2センサ72とを備える。また、主軸異常検出装置50は、第1センサ71による検出結果を主軸4aの振動の基準と比較して振動比較結果Gnを得る。また、主軸異常検出装置50は、前2センサ72による検出結果をツールユニットTUの振れの基準と比較して振れ比較結果Dを得る。そして、主軸異常検出装置50は、振動比較結果Gnと振れ比較結果Dとに基づき主軸4aの異常判断を行う。
本実施形態では、例えば主軸4aのベアリングBの異常に基づく振動であって、ユーザが気付き難い振動、ツールユニットTUの振れであって、ユーザが気付き難い振れ等に基づき、主軸4aの異常判断が行われる。このため、主軸4aの異常に気付かずにワークWの加工を行うことによる製造効率の悪化および製造コストの増加を防止することができる。
また、本実施形態では、主軸4aを複数の回転数で順次回転させた時の第1センサ71による複数の振動検出結果が、回転数毎に記憶部43に記憶される。また、主軸4aを複数の回転数で順次回転させた時の第2センサ72による複数の振れ検出結果が、回転数毎に記憶部43に記憶される。
そして、本実施形態では、複数の回転数の各々の振動検出結果と、複数の回転数の振れ検出結果とを用いて、主軸4aの異常判断が行われる。
ワークWを加工する時の主軸4aの回転数は、加工の種類、加工精度の要求レベル、ワークWの材質等に応じて異なり、当該回転数は工作機械1のユーザによって任意に決定される。本実施形態では、複数の回転数の各々における振動検出結果および振れ検出結果を用いて、主軸4aの異常判断が行われる。このため、ユーザによって任意の回転数でのワークWの加工が行われる場合でも、主軸4aの異常の有無が適切に判断される。
なお、ステップS1-6において、500rpm以下の回転数の少なくとも1つの振動比較結果Gnと、1000rpm以上の回転数の少なくとも1つの振れ比較結果Dとに基づき、主軸4aの振動状態の評価を行ってもよい。主軸4aを支持するベアリングBの内部に打痕等の異常が発生すると、主軸4aが低速回転している時に第1センサ71で検出される振動が大きくなる傾向がある。また、このようなベアリングBの内部に打痕等の異常があっても、当該異常が高速回転時の主軸4aの振動に大きな影響を与えない場合もある。500rpm以下の回転数は通常の加工で使われることが少ないため、現場の作業者が前記の現象に気付かない場合もある。
前述のように、500rpm以下の回転数の振動比較結果Gnを評価することは、主軸4aのベアリングBの異常の早期発見に繋がる。なお、300rpm以下の回転数の振動比較結果Gnを評価することがより好ましい。
一方、ツールユニットTUは、加工でよく使われる1000rpm以上の回転数で振れが大きくなる場合がある。例えば、主軸4aにおけるツールユニットTUを固定する固定機構FM(図3)に異常がある場合に、ツールユニットTUの振れが高速回転時に大きくなる。例えば、固定機構FMのドロワー4dによって工具ユニットTUのプルスタッドボルトを引く力が不十分である場合等に、前述のようにツールユニットTUの振れが大きくなる。前述のように、1000rpm以上の回転数の振れ比較結果Dを評価することは、ツールユニットTUの振れに関する異常の早期発見に繋がる。
この場合、ステップS1-2において、1000rpm以上の回転数の少なくとも1つにおいて、第1センサ71の検出結果が記憶部63に記憶されてもよい。
なお、ステップS1-4において、複数の回転数にそれぞれ対応する複数の振動検出結果のうち、振動レベルが高い1つ又は一部の振動検出結果を用いて、前述の振動比較結果Gnが求められてもよい。振動レベルが高い1つの振動検出結果の一例は、前記複数の振動検出結果のうち最も振動レベルが高い振動検出結果である。振動レベルが高い一部の振動検出結果は、一例では、それぞれ所定の振動レベルを超えるものである。
また、ステップS1-5において、複数の回転数にそれぞれ対応する複数の振れ検出結果のうち、振れレベルが高い1つ又は一部の振れ検出結果を用いて、前述の振れ比較結果Dが求められてもよい。振れレベルが高い1つの振れ検出結果の一例は、前記複数の振れ検出結果のうち最も振れレベルが高い振れ検出結果である。振れレベルが高い一部の振れ検出結果は、一例では、それぞれ所定の振れレベルを超えるものである。
このように全ての振動検出結果および振れ検出結果を用いないことは、処理の高速化に繋がる。一方、振動レベルが高い振動検出結果および振れレベルが高い振れ検出結果を用いるので、ステップS1-6における評価は正確である。
なお、上記各実施形態では回転数毎に記憶部63に記憶された振動検出結果が振動の基準として用いられるが、回転数毎に振動の基準が予め決定されていてもよい。同様に、上記実施形態では回転数毎に記憶部63に記憶された振れ検出結果が振れの基準として用いられるが、回転数毎に触れの基準が予め決定されていてもよい。
なお、上記実施形態において、ある決められた回転数において振動検出結果および振れ検出結果を得て、これらと振動の基準および振れの基準とを比較することによって、主軸4aの異常判断を行うことも可能である。この場合でも前述と同様の効果を達成し得る。
なお、上記各実施形態では、第1センサ71および第2センサ72が主軸異常検出装置50に備えられている。これに対し、第1センサ71および第2センサ72の一方又は両方が工作機械1に備えられていてもよい。この場合でも、第1センサ71および第2センサ72の検出結果に基づきコンピュータ60が上記ステップS1-2~S1-7を実行し、前述の結果を得ることができる。
1 工作機械
2 ベース
3 コラム部
4 主軸ユニット
4a 主軸
4b 主軸ヘッド
7 ツールマガジン
22 X-Yテーブル
40 制御装置
41 プロセッサ
43 記憶部
50 主軸異常検出装置
60 コンピュータ
61 プロセッサ
62 表示装置
63 記憶部
63b 振動記憶プログラム
63c 振れ記憶プログラム
63d 異常判断プログラム
64 入力部
65 送受信部
71 第1センサ
72 第2センサ
TU 工具ユニット
T 工具
W ワーク

Claims (6)

  1. 工作機械の主軸の振動を測定するための第1センサと、
    前記主軸に取付けられたツールユニットの軸振れを測定する第2センサと、
    前記第1センサによる検出結果を前記主軸の振動の基準と比較して得られる振動比較結果と、前記主軸を1000rpm以上である少なくとも1つの回転数で回転させた時の前記第2センサによる検出結果を前記ツールユニットの振れの基準と比較して得られる振れ比較結果とに基づき、前記主軸の異常判断を行う制御部と、を備え
    前記制御部が、前記主軸を500rpm以下である低速回転数で回転させた時の前記第1センサによる前記検出結果を前記振動の基準と比較して得られる低速時の比較結果を前記振動比較結果として用いる、主軸異常検出装置。
  2. 前記制御部が、
    前記主軸を前記低速回転数を含む複数の回転数で順次回転させた時の前記第1センサによる複数の振動検出結果を前記検出結果として前記回転数毎に記憶部に記憶する振動記憶処理と、
    前記主軸を前記少なくとも1つの回転数を含む複数の回転数で順次回転させた時の前記第2センサによる複数の振れ検出結果を前記検出結果として前記回転数毎に前記記憶部に記憶する振れ記憶処理と、を行う、請求項1に記載の主軸異常検出装置。
  3. 前記制御部が、
    前記複数の振動検出結果をそれぞれ前記振動の基準と比較して前記振動比較結果を得る処理と、
    前記複数の振れ検出結果を前記振れの基準と比較して前記振れ比較結果を得る処理と、を行う、請求項2に記載の主軸異常検出装置。
  4. 前記制御部が、
    前記複数の振動検出結果のうち振動レベルが高い1つ又は一部の振動検出結果を前記振動の基準と比較して前記振動比較結果を得る処理と、
    前記複数の振れ検出結果のうち振れのレベルが高い1つ又は一部の振動検出結果を前記振れの基準と比較して前記振れ比較結果を得る処理と、を行う、請求項2に記載の主軸異常検出装置。
  5. 前記制御部が、
    前記主軸を複数の回転数で順次回転させるための信号を送信する信号送信処理と、
    前記主軸が前記複数の回転数のうち前記低速回転数を含む複数の回転数で順次回転している時の前記第1センサによる複数の振動検出結果を、前記振動の基準として、前記回転数毎に記憶部に記憶する振動記憶処理と、
    前記主軸が前記複数の回転数のうち前記少なくとも1つの回転数を含む複数の回転数で順次回転している時の前記第2センサによる複数の振れ検出結果を、前記振れの基準として、前記回転数毎に前記記憶部に記憶する振れ記憶処理と、を行う、請求項1に記載の主軸異常検出装置。
  6. プロセッサを有する制御部を備え、
    前記制御部が、工作機械の主軸の振動を測定するための第1センサによる検出結果を前記主軸の振動の基準と比較して得られる振動比較結果と、前記主軸を1000rpm以上の回転数である少なくとも1つの回転数で回転させた時の前記主軸に取付けられたツールユニットの軸振れを測定する第2センサによる検出結果を前記ツールユニットの振れの基準と比較して得られる振れ比較結果とに基づき、前記主軸の異常判断を行い、
    前記制御部が、前記主軸を500rpm以下である低速回転数で回転させた時の前記第1センサによる前記検出結果を前記振動の基準と比較して得られる低速時の比較結果を前記振動比較結果として用いる主軸異常検出装置。
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