JP7419345B2 - スートを製造する方法 - Google Patents
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Description
スートを製造する方法であって:
第1の燃料流及び第1の酸化剤をバーナ前面で燃焼させるステップ;
第2の燃料流及び第2の酸化剤を上記バーナ前面で燃焼させるステップであって、上記第2の燃料流と上記第2の酸化剤とは上記バーナ前面より前に予混合され、上記第2の燃料流と上記第2の酸化剤との第2の当量比は約1未満である、ステップ;並びに
ケイ素含有燃料を燃焼させて複数のスート粒子とするステップであって、上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤は上記第1の燃料流と上記ケイ素含有燃料との間で燃焼される、ステップ
を含む、方法を、その範囲に含む。
スートを製造する方法であって:
第1の燃料流及び第1の酸化剤をバーナ前面で燃焼させるステップ;
第2の燃料流及び第2の酸化剤を上記バーナ前面で燃焼させるステップ;並びに
上記バーナ前面から離間したリフトオフ距離においてケイ素含有燃料を燃焼させて、複数のシリカスート粒子とするステップであって、上記リフトオフ距離は上記バーナ前面から約0.1cm~約0.8cmであり、上記第2の燃料流は上記第1の燃料流と上記ケイ素含有燃料との間で燃焼される、ステップ
を含む、方法を、その範囲に含む。
有機ケイ素化合物の燃焼生成物を含む火炎であって、上記火炎は、バーナの前面からリフトオフ距離に位置する着火点を有し、上記リフトオフ距離は0.1cm~0.8cmである、火炎を、その範囲に含む。
スートを製造する方法であって:
第1の燃料流及び第1の酸化剤をバーナ前面で燃焼させるステップ;
第2の燃料流及び第2の酸化剤を上記バーナ前面で燃焼させるステップであって、上記第2の燃料流と上記第2の酸化剤とは上記バーナ前面より前に予混合され、上記第2の燃料流と上記第2の酸化剤との第2の当量比は約1未満である、ステップ;並びに
ケイ素含有燃料を燃焼させて複数のスート粒子とするステップであって、上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤は上記第1の燃料流と上記ケイ素含有燃料との間で燃焼される、ステップを含む、方法
である。
上記第1の燃料流が、炭化水素、H2、CO、又はこれらの組み合わせを含む、態様1に記載の方法
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
スートを製造する方法であって:
第1の燃料流及び第1の酸化剤をバーナ前面で燃焼させるステップ;
第2の燃料流及び第2の酸化剤を上記バーナ前面で燃焼させるステップ;並びに
上記バーナ前面から離間したリフトオフ距離においてケイ素含有燃料を燃焼させて、複数のシリカスート粒子とするステップであって、上記リフトオフ距離は上記バーナ前面から約0.1cm~約0.8cmであり、上記第2の燃料流は上記第1の燃料流と上記ケイ素含有燃料との間で燃焼される、ステップ
を含む、方法
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
スートを製造する方法であって:
第1の燃料流及び第1の酸化剤をバーナ前面で燃焼させるステップであって、上記第1の燃料流と上記第1の酸化剤との第1の当量比は約1.6~約4である、ステップ;
第2の燃料流及び第2の酸化剤を上記バーナ前面で燃焼させるステップであって、上記第2の燃料流と上記第2の酸化剤との第2の当量比は約0.1~約0.5である、ステップ;並びに
上記バーナ前面から離間したリフトオフ距離において、ケイ素含有燃料を複数のシリカスート粒子となるまで燃焼させるステップであって、上記リフトオフ距離は上記バーナ前面から約0.1cm~約0.8cmである、ステップ
を含む、方法
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
本記載の態様61は:上記第2の燃料流は上記第1の燃料流とは組成が異なる、態様48~60のいずれか1つに記載の方法
である。
である。
である。
である。
である。
である。
有機ケイ素化合物の燃焼生成物を含む火炎であって、上記火炎は、バーナの前面からリフトオフ距離に位置する着火点を有し、上記リフトオフ距離は0.1cm~0.8cmである、火炎
である。
スートを製造する方法であって:
第1の燃料流及び第1の酸化剤をバーナ前面で燃焼させるステップ;
第2の燃料流及び第2の酸化剤を上記バーナ前面で燃焼させるステップであって、上記第2の燃料流と上記第2の酸化剤とは上記バーナ前面より前に予混合され、上記第2の燃料流と上記第2の酸化剤との第2の当量比は約1未満である、ステップ;並びに
ケイ素含有燃料を燃焼させて複数のスート粒子とするステップであって、上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤は上記第1の燃料流と上記ケイ素含有燃料との間で燃焼される、ステップを含む、方法。
上記第1の燃料流は、炭化水素、H2、CO、又はこれらの組み合わせを含む、実施形態1に記載の方法。
上記第1の燃料流はCH4を含む、実施形態1に記載の方法。
上記第1の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、実施形態1~3のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の燃料流と上記第1の酸化剤とは上記バーナ前面より前に予混合される、実施形態1~4のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の燃料流と上記第1の酸化剤との第1の当量比は約1超である、実施形態1~5のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の当量比は1.6以上である、実施形態6に記載の方法
である。
上記第1の当量比は約2~約3である、実施形態6に記載の方法。
上記第1の当量比は約2.67である、実施形態6に記載の方法。
上記第2の燃料流は、炭化水素、H2、CO、又はこれらの組み合わせを含む、実施形態1~9のいずれか1つに記載の方法。
上記第2の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、実施形態1~10のいずれか1つに記載の方法。
上記第2の燃料流は上記第1の燃料流とは組成が異なる、実施形態1~11のいずれか1つに記載の方法。
上記第2の当量比は約0.1~約0.5である、実施形態1~12のいずれか1つに記載の方法
である。
上記第2の当量比は約0.2~約0.4である、実施形態1~12のいずれか1つに記載の方法。
上記第2の当量比は約0.33である、実施形態1~12のいずれか1つに記載の方法。
燃焼される上記第1の燃料流及び上記第1の酸化剤の第1の燃焼速度は、約10cm/s~約75cm/sである、実施形態1~15のいずれか1つに記載の方法。
燃焼される上記第1の燃料流及び上記第1の酸化剤の第1の燃焼速度は、約20cm/s~約50cm/sである、実施形態1~15のいずれか1つに記載の方法。
燃焼される上記第1の燃料流及び上記第1の酸化剤の第1の燃焼速度は、約30cm/s~約50cm/sである、実施形態1~15のいずれか1つに記載の方法。
燃焼される上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤の第2の燃焼速度は、約50cm/s~約225cm/sである、実施形態1~15のいずれか1つに記載の方法。
燃焼される上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤の第2の燃焼速度は、約100cm/s~約175cm/sである、実施形態1~15のいずれか1つに記載の方法。
燃焼される上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤の第2の燃焼速度は、約125cm/s~約150cm/sである、実施形態1~15のいずれか1つに記載の方法。
上記ケイ素含有燃料は、上記バーナ前面から離間したリフトオフ距離において燃焼されて、上記複数のスート粒子となり、上記ケイ素含有燃料は、上記バーナ前面のヒューム管アパーチャを通過する、実施形態1~21のいずれか1つに記載の方法。
リフトオフ距離を上記ヒューム管アパーチャの最も長い直線寸法で除算したリフトオフ比は、約0.33~約8である、実施形態22に記載の方法。
上記リフトオフ比は約1~約4である、実施形態23に記載の方法。
上記リフトオフ比は約2.0~約2.5である、実施形態23に記載の方法。
上記第1の燃料流と上記第1の酸化剤とは、上記バーナ前面で表面混合される、実施形態1~25のいずれか1つに記載の方法。
上記ケイ素含有燃料と上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤の燃焼との間に、シールドガスを配向するステップであって、上記シールドガスは不活性ガスを含む、ステップを更に含む、実施形態1~26のいずれか1つに記載の方法。
上記シールドガスはケイ素非含有燃料を更に含む、実施形態27に記載の方法。
上記シールドガスは酸化剤を更に含む、実施形態28に記載の方法。
上記第2の燃料流と上記ケイ素含有燃料との間の上記バーナ前面で第3の燃料流を燃焼させるステップであって、上記第3の燃料流はケイ素非含有燃料を含み、上記第3の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、ステップを更に含む、実施形態1~29のいずれか1つに記載の方法。
スートを製造する方法であって:
第1の燃料流及び第1の酸化剤をバーナ前面で燃焼させるステップ;
第2の燃料流及び第2の酸化剤を上記バーナ前面で燃焼させるステップ;並びに
上記バーナ前面から離間したリフトオフ距離においてケイ素含有燃料を燃焼させて、複数のシリカスート粒子とするステップであって、上記リフトオフ距離は上記バーナ前面から約0.1cm~約0.8cmであり、上記第2の燃料流は上記第1の燃料流と上記ケイ素含有燃料との間で燃焼される、ステップ
を含む、方法。
上記リフトオフ距離は、上記バーナ前面から約0.1cm~約0.7cmである、実施形態31に記載の方法。
上記リフトオフ距離は、上記バーナ前面から約0.3cm~約0.7cmである、実施形態31に記載の方法。
上記リフトオフ距離は、上記バーナ前面から約0.4cm~約0.6cmである、実施形態31に記載の方法。
上記リフトオフ距離は、上記バーナ前面から約0.5cmである、実施形態31に記載の方法。
上記第1の燃料流は、炭化水素、H2、CO、又はこれらの組み合わせを含む、実施形態31~35のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の燃料流はCH4を含む、実施形態31~35のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、実施形態31~37のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の燃料流と上記第1の酸化剤とは上記バーナ前面より前に予混合される、実施形態31~38のいずれか1つに記載の方法。
上記第2の燃料流は、炭化水素、H2、CO、又はこれらの組み合わせを含む、実施形態31~39のいずれか1つに記載の方法。
上記第2の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、実施形態31~40のいずれか1つに記載の方法。
上記第2の燃料流は上記第1の燃料流とは組成が異なる、実施形態31~41のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の燃料流と上記第1の酸化剤とは、上記バーナ前面で表面混合される、実施形態31~42のいずれか1つに記載の方法。
上記ケイ素含有燃料と上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤の燃焼との間に、シールドガスを配向するステップであって、上記シールドガスは不活性ガスを含む、ステップを更に含む、実施形態31~43のいずれか1つに記載の方法。
上記シールドガスはケイ素非含有燃料を更に含む、実施形態44に記載の方法。
上記シールドガスは酸化剤を更に含む、実施形態45に記載の方法。
上記第2の燃料流と上記ケイ素含有燃料との間の上記バーナ前面で第3の燃料流を燃焼させるステップであって、上記第3の燃料流はケイ素非含有燃料を含み、上記第3の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、ステップを更に含む、実施形態31~46のいずれか1つに記載の方法。
スートを製造する方法であって:
第1の燃料流及び第1の酸化剤をバーナ前面で燃焼させるステップであって、上記第1の燃料流と上記第1の酸化剤との第1の当量比は約1.6~約4である、ステップ;
第2の燃料流及び第2の酸化剤を上記バーナ前面で燃焼させるステップであって、上記第2の燃料流と上記第2の酸化剤との第2の当量比は約0.1~約0.5である、ステップ;並びに
上記バーナ前面から離間したリフトオフ距離において、ケイ素含有燃料を複数のシリカスート粒子となるまで燃焼させるステップであって、上記リフトオフ距離は上記バーナ前面から約0.1cm~約0.8cmである、ステップ
を含む、方法。
上記ケイ素含有燃料は、オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサン、ドデカメチルシクロヘキサシロキサン、ヘキサメチルシクロトリシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、オクタメチルトリシロキサン、デカメチルテトラシロキサン、及びドデカメチルペンタシロキサンのうちの少なくとも1つを含む、実施形態48に記載の方法。
上記第1の燃料流及び上記第2の燃料流のうちの少なくとも一方は、CH4を含む、実施形態48又は49に記載の方法
である。
上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤の燃焼は、上記第1の燃料流の燃焼と上記ケイ素含有燃料の燃焼との間で起こる、実施形態48~50のいずれか1つに記載の方法。
燃焼される上記第1の燃料流及び上記第1の酸化剤の第1の燃焼速度は、約10cm/s~約75cm/sであり、燃焼される上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤の第2の燃焼速度は、約50cm/s~約225cm/sである、実施形態48~51のいずれか1つに記載の方法。
燃焼される上記第1の燃料流及び上記第1の酸化剤の第1の燃焼速度は、約20cm/s~約50cm/sであり、燃焼される上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤の第2の燃焼速度は、約100cm/s~約175cm/sである、実施形態48~51のいずれか1つに記載の方法。
燃焼される上記第1の燃料流及び上記第1の酸化剤の第1の燃焼速度は、約30cm/s~約50cm/sであり、燃焼される上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤の第2の燃焼速度は、約125cm/s~約150cm/sである、実施形態48~51のいずれか1つに記載の方法
である。
上記シリカスート粒子の一部分を基板上に堆積させるステップを更に含む、実施形態48~54のいずれか1つに記載の方法。
上記ケイ素含有燃料は約2~約4のケイ素当量比下で燃焼される、実施形態48~55のいずれか1つに記載の方法
である。
上記ケイ素含有燃料は約2.67~約4のケイ素当量比下で燃焼される、実施形態48~55のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、実施形態48~57のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の燃料流と上記第1の酸化剤とは、上記バーナ前面より前に予混合される、実施形態48~58のいずれか1つに記載の方法。
上記第2の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、実施形態48~59のいずれか1つに記載の方法。
上記第2の燃料流は上記第1の燃料流とは組成が異なる、実施形態48~60のいずれか1つに記載の方法。
上記第1の燃料流と上記第1の酸化剤とは、上記バーナ前面で表面混合される、実施形態48~61のいずれか1つに記載の方法。
上記ケイ素含有燃料と上記第2の燃料流及び上記第2の酸化剤の燃焼との間に、シールドガスを配向するステップであって、上記シールドガスは不活性ガスを含む、ステップを更に含む、実施形態48~62のいずれか1つに記載の方法。
上記シールドガスはケイ素非含有燃料を更に含む、実施形態63に記載の方法。
上記シールドガスは酸化剤を更に含む、実施形態64に記載の方法。
上記第2の燃料流と上記ケイ素含有燃料との間の上記バーナ前面で第3の燃料流を燃焼させるステップであって、上記第3の燃料流はケイ素非含有燃料を含み、上記第3の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、ステップを更に含む、実施形態48~65のいずれか1つに記載の方法。
有機ケイ素化合物の燃焼生成物を含む火炎であって、上記火炎は、バーナの前面からリフトオフ距離に位置する着火点を有し、上記リフトオフ距離は0.1cm~0.8cmである、火炎。
12 シリカスート粒子
14 基板
16 スート流
18 リフトオフ距離
22 バーナ前面
40 挿入図
52 ヒューム管
68 第1のガスアパーチャ
72 ヒュームガス開口
76 第1のガス
78 第1の火炎
80 ヒュームガス
84 ヒューム管アパーチャ
86 シールドガス
88 シールドガスアパーチャ
92 第1の管
94 第2のガス
96 二次管
98 二次火炎
132 着火点
144 有効ゾーン
Claims (9)
- スートを製造する方法であって:
第1の燃料流及び第1の酸化剤をバーナ前面で燃焼させるステップ;
第2の燃料流及び第2の酸化剤を前記バーナ前面で燃焼させるステップであって、前記第2の燃料流と前記第2の酸化剤とは前記バーナ前面より前に予混合され、前記第2の燃料流と前記第2の酸化剤との第2の当量比は約1未満である、ステップ;並びに
ケイ素含有燃料を燃焼させて複数のスート粒子とするステップであって、前記第2の燃料流及び前記第2の酸化剤は前記第1の燃料流と前記ケイ素含有燃料との間で燃焼される、ステップを含む、方法。 - 前記第1の燃料流はケイ素含有燃料を含まず、前記第2の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の燃料流と前記第1の酸化剤との第1の当量比は約1超である、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記ケイ素含有燃料と前記第2の燃料流及び前記第2の酸化剤の燃焼との間に、シールドガスを配向するステップであって、前記シールドガスは不活性ガスを含む、ステップを更に含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記シールドガスはケイ素非含有燃料を更に含む、請求項4に記載の方法。
- 前記第2の燃料流と前記ケイ素含有燃料との間の前記バーナ前面で第3の燃料流を燃焼させるステップであって、前記第3の燃料流はケイ素非含有燃料を含み、前記第3の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、ステップを更に含む、請求項1~5のいずれか1項に記載の方法。
- スートを製造する方法であって:
第1の燃料流及び第1の酸化剤をバーナ前面で燃焼させるステップ;
第2の燃料流及び第2の酸化剤を前記バーナ前面で燃焼させるステップ;
前記バーナ前面から離間したリフトオフ距離においてケイ素含有燃料を燃焼させて、複数のシリカスート粒子とするステップであって、前記リフトオフ距離は前記バーナ前面から約0.1cm~約0.8cmであり、前記第2の燃料流は前記第1の燃料流と前記ケイ素含有燃料との間で燃焼される、ステップ;並びに
前記ケイ素含有燃料と前記第2の燃料流及び前記第2の酸化剤の燃焼との間に、シールドガスを配向するステップであって、前記シールドガスは不活性ガスを含む、ステップ
を含み、
前記シールドガスはケイ素非含有燃料を更に含む、方法。 - 前記第1の燃料流はケイ素含有燃料を含まず、前記第2の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、請求項7に記載の方法。
- 前記第2の燃料流と前記ケイ素含有燃料との間の前記バーナ前面で第3の燃料流を燃焼させるステップであって、前記第3の燃料流はケイ素非含有燃料を含み、前記第3の燃料流はケイ素含有燃料を含まない、ステップを更に含む、請求項7又は8に記載の方法。
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