JP7392533B2 - 検査システム - Google Patents
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Description
ここで、図2は検査システム100の構成の変形例1を示す図である。図2に示す変形例1においては、半導体チップ20は、周縁部に、第1グラウンド用ボンディングパッド24、第2グラウンド用ボンディングパッド25を備える。
ここで、図3は検査システム100の構成の変形例2を示す図である。図1または図2では電源用電極リード端子11もしくはグラウンド用電極リード端子14のどちらかのリード端子しか記載しなかったが、図3は電源用電極リード端子11およびグラウンド用電極リード端子14の両方を半導体装置1に設けた例である。
ここで、図4は検査システム100の構成の変形例3を示す図である。図4に示すように、半導体チップ20には、レジスタ235,236を備えるようにしてもよい。電圧検出回路231,234によって得られた電圧変化量は、レジスタ235,236にそれぞれ格納される。
次に、第2の実施の形態について説明する。
11,14 リード端子
12,13,15,16 ボンディングワイヤ
17 別のリード端子
20 半導体チップ
21,22,24,25 ボンディングパッド
50 判定部
100 検査システム
231,234 検出手段、電圧検出回路
232 通電手段
235,236 レジスタ
S 検出手段
Claims (13)
- 半導体チップに形成された複数のボンディングパッドと、前記半導体チップを搭載するパッケージ基板に備えられたリード端子と、をそれぞれボンディング接続するボンディングワイヤの高抵抗状態を検査する検査システムにおいて、
前記ボンディングワイヤの高抵抗状態検査に際して、検査対象となる複数の前記ボンディングワイヤにそれぞれ電流を流す通電手段と、
前記通電手段により生じる複数の前記ボンディングパッド間の所定位置における電圧変化量を検出する検出手段と、
を備えることを特徴とする検査システム。 - 前記検出手段は、前記リード端子とは別のリード端子を介して、検査対象となる前記ボンディングワイヤがボンディング接続された前記ボンディングパッドの電圧変化量を検出する、
ことを特徴とする請求項1に記載の検査システム。 - 前記検出手段は、前記別のリード端子から出力される電圧の値に基づいて、前記リード端子にボンディング接続された検査対象となる前記ボンディングワイヤの高抵抗状態を判定する判定部を備える、
ことを特徴とする請求項2に記載の検査システム。 - 前記検出手段は、前記半導体チップに設けられた電圧検出回路によって前記ボンディングパッドの電圧変化量を検出する、
ことを特徴とする請求項1に記載の検査システム。 - 前記電圧検出回路は、検査対象となる前記ボンディングワイヤが接続される前記リード端子毎に設けられる、
ことを特徴とする請求項4に記載の検査システム。 - 前記電圧検出回路は、検査対象となる前記ボンディングワイヤがそれぞれ接続される複数の前記リード端子の間で兼用される、
ことを特徴とする請求項4に記載の検査システム。 - 検査対象となる前記ボンディングワイヤが接続される前記リード端子は、電源用リード端子である、
ことを特徴とする請求項1ないし5の何れか一項に記載の検査システム。 - 検査対象となる前記ボンディングワイヤが接続される前記リード端子は、グラウンド用リード端子である、
ことを特徴とする請求項1ないし5の何れか一項に記載の検査システム。 - 検査対象となる前記ボンディングワイヤが接続される前記リード端子は、電源用リード端子およびグラウンド用リード端子である、
ことを特徴とする請求項1ないし5の何れか一項に記載の検査システム。 - 前記通電手段は、抵抗とスイッチとを備える、
ことを特徴とする請求項1ないし9の何れか一項に記載の検査システム。 - 前記通電手段は、スイッチを備える、
ことを特徴とする請求項1ないし9の何れか一項に記載の検査システム。 - 前記通電手段に備えられる前記スイッチは、外部からの制御信号に従って動作するトランジスタである、
ことを特徴とする請求項10または11に記載の検査システム。 - 前記検出手段によって得られた電圧変化量は、レジスタに格納される、
ことを特徴とする請求項1ないし12の何れか一項に記載の検査システム。
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US20160231373A1 (en) | 2015-02-06 | 2016-08-11 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Semiconductor chip and method for detecting disconnection of wire bonded to semiconductor chip |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016012944A (ja) | 2010-12-24 | 2016-01-21 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 水晶発振装置および半導体装置 |
JP2013225535A (ja) | 2012-04-19 | 2013-10-31 | Yokogawa Electric Corp | 半導体装置および半導体試験装置 |
US20160231373A1 (en) | 2015-02-06 | 2016-08-11 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Semiconductor chip and method for detecting disconnection of wire bonded to semiconductor chip |
JP2016145720A (ja) | 2015-02-06 | 2016-08-12 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体チップと、その半導体チップにボンディングされるワイヤの断線検出方法 |
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