JP7390323B2 - 多層配線構造体及び多層配線構造体を用いた半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 520
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 36
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 description 28
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 21
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 7
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- -1 silicon carbide nitride Chemical class 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000583 Nd alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WPPDFTBPZNZZRP-UHFFFAOYSA-N aluminum copper Chemical compound [Al].[Cu] WPPDFTBPZNZZRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UBSJOWMHLJZVDJ-UHFFFAOYSA-N aluminum neodymium Chemical compound [Al].[Nd] UBSJOWMHLJZVDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920010524 Syndiotactic polystyrene Polymers 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M cyanate Chemical compound [O-]C#N XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Images
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- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
以下、図1乃至図3を参照して、本発明の第1実施形態に係る多層配線構造体の構成について説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る多層配線構造体の平面図であり、基板100の端部付近を示している。本実施形態による多層配線構造体は、基板100平面上に3つの領域が配置されることを特徴とし、それぞれの領域を第1領域301、第2領域302及び第3領域303と呼ぶ。第2領域302は第1領域に隣接し、第3領域は第2領域及び基板100の端部に隣接している。換言すると、第2領域302は、第1領域301及び第3領域303の間に配置され、第1領域301及び第3領域303を隔てている。更に換言すると、第2領域302は、第1領域301及び第3領域303の間に配置され、第1領域301及び第3領域303を画定し、第1領域301及び第3領域303を分離している。
比較例として、第1実施形態で説明した第2領域302を有さない多層配線構造体について説明する。図12は、本比較例に係る多層配線構造体の平面図であり、基板100の端部付近を示している。つまり、本比較例の多層配線構造体は、基板100平面上において、多層配線回路が配置される第1領域301と配線層が配置されない第3領域303から成り、それぞれの領域を白の破線で示した。第3領域303は、第1領域301及び基板100の端部に隣接している。
以下、本発明の第2実施形態に係る多層配線構造体について、図面を参照しながら詳細に説明する。
以下、本発明の第3実施形態に係る多層配線構造体について、図面を参照しながら詳細に説明する。
以下、本発明の第4実施形態に係る多層配線構造体について、図面を参照しながら詳細に説明する。
以下、本発明の第5実施形態に係る多層配線構造体について、図面を参照しながら詳細に説明する。
第1領域301、第2領域302及び第3領域303の配置については、図1に示したものに限られない。以下で、幾つかの配置例を示す。
第2領域302に配置される疑似的な配線は、配線層の高さを低くして応力を緩和することが目的であるため、疑似的な配線の形状やサイズには依存しない。このことは後に示すように実験でも確認されている。しかし、最近の配線寸法の微細化傾向を考慮すると、疑似配線のサイズは0.5μm以上50μm以下が好ましい。これによって、信号伝送などの動作とは関係の無い領域である第2領域302を小さく抑えて回路全体のサイズを縮小することができ、効率的な配線設計が可能となる。図11に、第2領域302に配置される疑似的な配線の平面視におけるレイアウトの例を幾つか示す。
101:下地層
110:第1配線層
111:第1導電層
112:第2導電層
113:第1無機絶縁層
114:第2無機絶縁層
115:第1有機絶縁層
119:第1絶縁層
120:第2配線層
121:第3導電層
122:第4導電層
123:第3無機絶縁層
124:第4無機絶縁層
125:第2有機絶縁層
129:第2絶縁層
130:第3配線層
131:第5導電層
132:第6導電層
133:第5無機絶縁層
134:第6無機絶縁層
135:第3有機絶縁層
139:第3絶縁層
140:第4配線層
141:第7導電層
142:第8導電層
143:第7無機絶縁層
144:第8無機絶縁層
145:第4有機絶縁層
149:第4絶縁層
150:第5配線層
151:第9導電層
152:第10導電層
153:第9無機絶縁層
154:第10無機絶縁層
155:第5有機絶縁層
159:第5絶縁層
160:第6配線層
161:第11導電層
162:第12導電層
163:第13導電層
170:疑似的な配線層
181、182、185:開口部
191:第1ビア
192:第2ビア
193:第3ビア
194:第4ビア
301:第1領域
302:第2領域
303:第3領域
304:第4領域
305:第5領域
310:陰影
Claims (5)
- 複数の配線層及び前記複数の配線層の各々を絶縁する複数の絶縁層を含み、第1領域及び前記第1領域に隣接する第2領域を備え、前記第1領域に設けられた多層配線回路を備えた多層配線構造体であって、
前記複数の絶縁層は、前記第1領域から前記第2領域に延びており、
前記複数の配線層のうち一部の複数の配線層は、前記第1領域に設けられ、前記第2領域には存在せず、前記複数の配線層のうち他の複数の配線層は、前記第1領域及び前記第2領域に設けられ、前記一部の複数の配線層は前記第1領域と前記第2領域との境界付近に端部を有し、前記第2領域の前記配線層の層数は前記第1領域の前記配線層の層数よりも少なく、
前記第2領域において、前記一部の前記配線層の上下に位置する前記複数の絶縁層の各々は接している、多層配線構造体。 - 複数の配線層及び前記複数の配線層の各々を絶縁する複数の絶縁層を含み、第1領域及び前記第1領域によって囲まれた第2領域を備え、前記第1領域に設けられた多層配線回路を備えた多層配線構造体であって、
前記複数の絶縁層は、前記第1領域から前記第2領域に延びており、
前記複数の配線層のうち一部の複数の配線層は、前記第1領域に設けられ、前記第2領域には存在せず、前記複数の配線層のうち他の複数の配線層は、前記第1領域及び前記第2領域に設けられ、前記一部の複数の配線層は前記第1領域と前記第2領域との境界付近に端部を有し、前記第2領域の前記配線層の層数は前記第1領域の前記配線層の層数よりも少なく、
前記第2領域において、前記一部の前記配線層の上下に位置する前記複数の絶縁層の各々は接している、多層配線構造体。 - 前記複数の絶縁層の少なくとも一部の絶縁層は、有機絶縁層を含む、請求項1又は2に記載の多層配線構造体。
- 前記複数の絶縁層の少なくとも一部の絶縁層は、無機絶縁層を含む、請求項1乃至3のいずれか一に記載の多層配線構造体。
- 請求項1乃至4のいずれか一に記載の多層配線構造体を有する半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021003112A JP7390323B2 (ja) | 2019-08-06 | 2021-01-12 | 多層配線構造体及び多層配線構造体を用いた半導体装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019144914A JP6825659B2 (ja) | 2019-08-06 | 2019-08-06 | 多層配線構造体及び多層配線構造体を用いた半導体装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021061446A JP2021061446A (ja) | 2021-04-15 |
JP7390323B2 true JP7390323B2 (ja) | 2023-12-01 |
Family
ID=88923990
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2021003112A Active JP7390323B2 (ja) | 2019-08-06 | 2021-01-12 | 多層配線構造体及び多層配線構造体を用いた半導体装置 |
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---|---|
JP (1) | JP7390323B2 (ja) |
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JP2009246144A (ja) | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Panasonic Corp | 電子部品内蔵基板及びその製造方法とこれを用いた半導体装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007180211A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板製造用コア基板、配線基板の製造方法 |
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-
2021
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JP2009246144A (ja) | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Panasonic Corp | 電子部品内蔵基板及びその製造方法とこれを用いた半導体装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021061446A (ja) | 2021-04-15 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220301 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A02 | Decision of refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221201 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20221201 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
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|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20230228 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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