JP7388925B2 - シート状基板の縁処理のための装置および方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 26
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 40
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 31
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 18
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 17
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 49
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 9
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
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- B24B9/06—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
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- B24B9/10—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass of plate glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/02—Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/06—Dust extraction equipment on grinding or polishing machines
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Description
シート状基板の縁を処理する装置であって、
前記シート状基板の前記縁を処理する仕上げ部材、
前記仕上げ部材を回転可能に保つチャンバを画定するシュラウドであって、
第一の長縁で終端する第一の壁部、
前記第一の長縁に対向する第二の長縁で終端する第二の壁部を含み、
前記第一の長縁と前記第二の長縁が共同して、前記チャンバに開口したスロットであって、前記仕上げ部材と相互作用する前記シート状基板の前記縁をスライド可能に受容するように構成されたスロットの少なくとも一部を画定し、
さらに、前記第一の壁部が、流体を吐出する第一のノズル通路を画定し、当該第一のノズル通路が、前記第一の長縁の第一の開口で終端する、シュラウド、および
前記第一の長縁から突出し、前記第一のノズル通路と流体連通した通路を画定する第一の管状部材
を含む装置。
前記第一の管状部材が、前記第一のノズル通路からの冷却剤の流れを前記仕上げ部材に向かわせるように構成される、実施形態1に記載の装置。
前記第一の管状部材が、前記第一の長縁とは反対側の分配端で終端し、当該分配端と前記仕上げ部材の間の距離が、当該第一の長縁と当該仕上げ部材の間の距離未満である、実施形態1に記載の装置。
前記第一の壁部が、互いに反対向きの外面および内面をさらに画定し、前記第一の長縁が、当該外面と当該内面の間に延在し、当該外面および当該内面に隣接する、実施形態1に記載の装置。
前記第一のノズル通路が、前記外面と前記内面の間の前記第一の壁部の厚み内に画定される、実施形態4に記載の装置。
前記第一の長縁が、前記第一の壁部の残りの部分に対して面取りされている、実施形態1に記載の装置。
前記第一の長縁に対する前記第一の管状部材の配置が調整可能である、実施形態1に記載の装置。
前記第一の管状部材に連結され、前記第一の長縁に対して当該第一の管状部材を調整するように構成されたアクチュエータをさらに含む、実施形態7に記載の装置。
前記第一の管状部材が、前記第一の壁部に対して取り外し可能に組み付けられる、実施形態1に記載の装置。
流体を吐出する第二のノズル通路が前記第一の壁部内に画定され、当該第二のノズル通路が、前記第一のノズル通路から離間し、前記第一の長縁の第二の開口で終端し、当該装置が、当該第一の長縁から突出しかつ当該第二の開口と流体連通する通路を画定する第二の管状部材をさらに含む、実施形態1に記載の装置。
流体を吐出する第二のノズル通路が前記第二の壁部に画定され、当該第二のノズル通路が、前記第二の長縁の第二の開口で終端し、当該装置が、当該第二の長縁から突出しかつ当該第二の開口と流体連通する通路を画定する第二の管状部材をさらに含む、実施形態1に記載の装置。
前記シュラウドが、前記チャンバと流体連通した排出通路であって、当該排出通路に施された真空が存在するときに当該チャンバから汚染物質を除去する排出通路をさらに画定する、実施形態1に記載の装置。
シート状基板の縁を処理する装置であって、
前記シート状基板の前記縁を処理する仕上げ部材、
前記仕上げ部材を回転可能に保つチャンバを画定するシュラウドであって、
長縁で終端する壁部であって、当該長縁が、前記チャンバに開口しかつ前記仕上げ部材と相互作用するために前記シート状基板の前記縁をスライド可能に受容するように構成されたスロットの少なくとも一部を画定し、当該壁部が、流体を吐出するノズル通路を画定し、当該ノズル通路が当該長縁の開口で終端する、壁部
を含むシュラウド、および
前記壁部に取り外し可能に組み付けられ、前記長縁から突出する管状部材であって、前記ノズル通路と流体連通する通路を画定する管状部材
を含む装置。
前記管状部材が、ねじ接続部と圧入接続部のうちの少なくとも一方によって前記壁部に取り外し可能に組み付けられる、実施形態13に記載の装置。
シート状基板の縁を処理する方法であって、
処理装置のシュラウドのスロットを通して、かつ当該シュラウドのチャンバ内に前記シート状基板の前記縁を向かわせるステップであって、当該スロットが、当該シュラウドの壁部の長縁によって少なくとも部分的に画定される、ステップ、
前記チャンバ内に配置された仕上げ部材によって前記シート状基板の前記縁を処理するステップ、および
前記処理するステップの間、前記長縁から突出している管状部材を介して前記シート状基板の前記縁と前記仕上げ部材の間の接触面に冷却剤の流れを向かわせるステップであって、当該管状部材が、前記壁部内に画定されたノズル通路と流体連通した中心通路を画定する、ステップ
を含む方法。
前記長縁に対する前記管状部材の配置を調整するステップをさらに含む、実施形態15に記載の方法。
前記調整するステップが、前記管状部材の分配端と前記長縁の間の距離を変えるステップを含む、実施形態16に記載の方法。
前記調整するステップが、前記長縁に対する前記管状部材の中心軸の角度関係を変えるステップを含む、実施形態16に記載の方法。
前記調整するステップが、
前記仕上げ部材の摩耗を監視するステップ、および
前記仕上げ部材の摩耗に基づいて前記長縁に対する前記管状部材の空間的配置を変えるステップ
を含む、実施形態16に記載の方法。
前記監視するステップが、前記長縁に対する前記管状部材の前記空間的配置における変更を促すようにプログラムされたソフトウェア上で動作するコンピュータデバイスによって行われる、実施形態19に記載の方法。
12 仕上げ部材
14、202 シュラウド
16 チャンバ
18 流入ポート
20 モータ
30 カバー
32 ベース
34 ヒンジ
36 排出ダクト
38 排出路
40、224 スロット
50、52、220 壁部
60、62、222 長縁
70 外面
72 内面
80、80‘、110a、110b、110c、112a、112b、112c、204 管状部材
90a、90b、90c、92a、92b、92c、226 ノズル通路
100a、100b、100c、102a、102b、102c 開口
120a、230 中心通路
122a 入口端
124a、124b、124c、232 分配端
200 仕上げ装置
206 アクチュエータ
208 コントローラ
300 縁処理システム
302 輸送デバイス
304 ガラスシート
306、308 ガラスシートの縁
310 接触面
CA 中心の長手軸
CL1、CL2、CL3 中心線
G1、G2 間隙
L 方向
P 中心平面
Q1、Q2、Q3 流路(流体流)
T 横断方向
Claims (7)
- シート状基板の縁を処理する装置であって、
前記シート状基板の前記縁を処理する仕上げ部材、
前記仕上げ部材を回転可能に保つチャンバを画定するシュラウドであって、
第一の長縁で終端する第一の壁部、
前記第一の壁部の前記第一の長縁に対向する第二の長縁で終端する第二の壁部を含み、
前記第一の長縁と前記第二の長縁が共同して、前記チャンバに開口したスロットであって、前記仕上げ部材と相互作用する前記シート状基板の前記縁をスライド可能に受容するように構成されたスロットの少なくとも一部を画定し、
さらに、前記第一の壁部および/または前記第二の壁部が、流体を吐出する複数のノズル通路を画定し、前記第一の壁部および/または前記第二の壁部のZ方向に沿って延在する該複数のノズル通路が、前記第一の長縁の開口および/または前記第二の長縁の開口で終端する、シュラウドであって、前記Z方向は、前記仕上げ部材の平面に直交する、シュラウド、および
前記第一の長縁の前記開口および/または前記第二の長縁の前記開口から突出し、前記複数のノズル通路と流体連通した通路を画定する複数の管状部材であって、冷却剤の流れを、該複数のノズル通路から前記仕上げ部材の外周方向に向かわせるように、そのうちのいくつかが周方向に突出するよう構成された、複数の管状部材、
前記チャンバと流体連通する排出通路、
該排出通路と流体連通し、前記チャンバ内を陰圧または真空にするよう構成された真空源、
を含み、
前記複数の管状部材は、該複数の管状部材のそれぞれによって開設される流路が前記仕上げ部材の外周上の一つの交点で交差するよう角度づけられ、それぞれの前記流路が交差した交点が、前記仕上げ部材の外周となり、前記冷却剤の流れの崩壊が減少するよう構成され、
前記第一の長縁に対する前記複数の管状部材の配置が調整可能である、装置。 - 前記複数の管状部材が、前記第一の長縁とは反対側の分配端で終端し、該分配端と前記仕上げ部材の間の距離が、該第一の長縁と該仕上げ部材の間の距離未満である、請求項1に記載の装置。
- 前記第一の壁部が、互いに反対向きの外面および内面をさらに画定し、前記第一の長縁が、該外面と該内面の間に延在し、該外面および該内面に隣接する、請求項1または2に記載の装置。
- シート状基板の縁を処理する方法であって、
処理装置のシュラウドのスロットを通して、かつ該シュラウドのチャンバ内に前記シート状基板の前記縁を向かわせるステップであって、前記シュラウドが、第一の長縁で終端する第一の壁部、前記第一の壁部の前記第一の長縁に対向する第二の長縁で終端する第二の壁部を含み、前記第一の長縁と前記第二の長縁が共同して前記スロットの少なくとも一部を画定し、さらに、前記第一の壁部および/または前記第二の壁部が、流体を吐出する複数のノズル通路を画定し、前記第一の壁部および/または前記第二の壁部のZ方向に沿って延在する該複数のノズル通路が、前記第一の長縁の開口および/または前記第二の長縁の開口で終端し、前記Z方向は、前記仕上げ部材の平面に直交し、前記スロットは、前記チャンバに開口し、該チャンバ内に配置された仕上げ部材と相互作用する前記シート状基板の前記縁をスライド可能に受容するように構成される、ステップ、
前記チャンバ内を陰圧または真空にするステップ、
前記仕上げ部材によって前記シート状基板の前記縁を処理するステップ、
前記処理するステップの間、前記第一の長縁の前記開口および/または前記第二の長縁の前記開口から突出している複数の管状部材を介して前記シート状基板の前記縁と前記仕上げ部材の間の接触面であって、前記仕上げ部材の外周方向に冷却剤の流れを向かわせるように、前記複数の管状部材のいくつかを前記外周方向に突出させるステップであって、該複数の管状部材が、前記複数のノズル通路と流体連通した中心通路を画定する、ステップ、
前記第一の長縁に対する前記複数の管状部材の配置を調整するステップを含み、
前記複数の管状部材は、前記複数の管状部材のそれぞれによって開設される流路が前記仕上げ部材の外周上の一つの交点で交差するよう角度づけられ、それぞれの前記流路が交差した交点が、前記仕上げ部材の外周となるよう冷却剤の流れを向かわせて、前記冷却剤の流れの崩壊を減少させる、方法。 - 前記調整するステップが、前記複数の管状部材の分配端と前記第一の長縁の間の距離を変えるステップを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記調整するステップが、前記第一の長縁に対する前記複数の管状部材の中心軸の角度関係を変えるステップを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記調整するステップが、
前記仕上げ部材の摩耗を監視するステップ、および
前記仕上げ部材の摩耗に基づいて前記第一の長縁に対する前記複数の管状部材の空間的配置を変えるステップ
を含む、請求項4に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023069966A JP2023089266A (ja) | 2016-11-29 | 2023-04-21 | シート状基板の縁処理のための装置および方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201662427293P | 2016-11-29 | 2016-11-29 | |
US62/427,293 | 2016-11-29 | ||
PCT/US2017/063561 WO2018102327A1 (en) | 2016-11-29 | 2017-11-29 | Apparatus and method for edge processing of a substrate sheet |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023069966A Division JP2023089266A (ja) | 2016-11-29 | 2023-04-21 | シート状基板の縁処理のための装置および方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020500722A JP2020500722A (ja) | 2020-01-16 |
JP7388925B2 true JP7388925B2 (ja) | 2023-11-29 |
Family
ID=62241936
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019528645A Active JP7388925B2 (ja) | 2016-11-29 | 2017-11-29 | シート状基板の縁処理のための装置および方法 |
JP2023069966A Pending JP2023089266A (ja) | 2016-11-29 | 2023-04-21 | シート状基板の縁処理のための装置および方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023069966A Pending JP2023089266A (ja) | 2016-11-29 | 2023-04-21 | シート状基板の縁処理のための装置および方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190291232A1 (ja) |
JP (2) | JP7388925B2 (ja) |
KR (1) | KR102475416B1 (ja) |
CN (1) | CN110087830A (ja) |
TW (1) | TWI808065B (ja) |
WO (1) | WO2018102327A1 (ja) |
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-
2017
- 2017-11-23 TW TW106140693A patent/TWI808065B/zh active
- 2017-11-29 US US16/463,618 patent/US20190291232A1/en not_active Abandoned
- 2017-11-29 WO PCT/US2017/063561 patent/WO2018102327A1/en active Application Filing
- 2017-11-29 JP JP2019528645A patent/JP7388925B2/ja active Active
- 2017-11-29 KR KR1020197018851A patent/KR102475416B1/ko active IP Right Grant
- 2017-11-29 CN CN201780073900.0A patent/CN110087830A/zh active Pending
-
2023
- 2023-04-21 JP JP2023069966A patent/JP2023089266A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006346803A (ja) | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Sanyo Electric Co Ltd | 基板研磨装置 |
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WO2016059389A1 (en) | 2014-10-14 | 2016-04-21 | Pilkington Group Limited | An apparatus and a process for grinding an edge and a glazing having a ground edge |
CN205254793U (zh) | 2015-12-31 | 2016-05-25 | 东旭科技集团有限公司 | 研磨机用喷淋装置及研磨机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190291232A1 (en) | 2019-09-26 |
KR102475416B1 (ko) | 2022-12-07 |
TW201829119A (zh) | 2018-08-16 |
JP2020500722A (ja) | 2020-01-16 |
CN110087830A (zh) | 2019-08-02 |
TWI808065B (zh) | 2023-07-11 |
KR20190082980A (ko) | 2019-07-10 |
JP2023089266A (ja) | 2023-06-27 |
WO2018102327A1 (en) | 2018-06-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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