JP5177520B2 - ガラス板の端面研削装置およびその方法 - Google Patents
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Description
2 ガラス基板
3 砥石
4 接触部
5 研削液供給ノズル
6 遮蔽板
7 パージノズル
9 包囲部
10 スリット
11 ノズル開口部
13 パージ水
θ1 入射角
θ2 パージ水の噴射方向と端面の接線方向とがなす角
Claims (12)
- 回転させつつガラス板の端面に接触させることで該端面を研削する砥石と、該砥石と前記ガラス板の端面との接触部に研削液を供給する研削液供給部と、前記接触部に供給された研削液から前記ガラス板の平面を遮蔽するための遮蔽板とを備えたガラス板の端面研削装置において、
前記遮蔽板は、前記接触部を前記ガラス板の平面中央側から包囲する包囲部を有し、該包囲部の一端は、前記接触部よりも前記砥石の回転方向前方側で前記ガラス板の端面と交差して延びていることを特徴とするガラス板の端面研削装置。 - 前記包囲部は、前記ガラス板の平面に対する平面視で、前記砥石の外周面に沿った湾曲形状を有している請求項1に記載のガラス板の端面研削装置。
- 前記包囲部は、前記ガラス板の両面側に位置している請求項1又は2に記載のガラス板の端面研削装置。
- 前記包囲部は、前記ガラス板の前記端面を含む一部を挿通するためのスリットを有している請求項3に記載のガラス板の端面研削装置。
- 前記包囲部を挟んで前記砥石と反対側の位置に、パージ流体を噴射するパージノズルが配設され、前記パージ流体が前記遮蔽板と前記ガラス板との間の間隙に供給されるように構成されている請求項1から4の何れか1項に記載のガラス板の端面研削装置。
- 前記パージノズルは、前記パージ流体が前記包囲部と前記ガラス板との間の間隙を通って前記ガラス板に達するように、その設置角度が設定されている請求項5に記載のガラス板の端面研削装置。
- 前記パージノズルが、前記ガラス板の両面側にそれぞれ配置されている請求項5に記載のガラス板の端面研削装置。
- 少なくとも前記砥石と前記研削液供給部とを収容するハウジングをさらに備え、該ハウジングは、所定の端面に、前記ガラス板の一部を挿通し、該ガラス板の前記端面を前記砥石に接触可能とするための開口部を有している請求項1から7の何れか1項に記載のガラス板の端面研削装置。
- 前記ガラス板を水平姿勢にして加工するように構成されている請求項1から8の何れか1項に記載のガラス板の端面研削装置。
- 前記包囲部を有する遮蔽板と前記パージノズルとがユニット化されている請求項5に記載のガラス板の端面研削装置。
- 砥石を回転させながらガラス板の端面に接触させることで該端面の研削を行う方法であって、前記砥石と前記ガラス板の前記端面との接触部に研削液を供給すると共に、前記接触部に供給された前記研削液から前記ガラス板の平面を遮蔽するための遮蔽板を配設した状態で前記端面の研削を行うガラス板の端面研削方法において、
前記遮蔽板は、前記接触部を前記ガラス板の平面中央側から包囲する包囲部を有し、該包囲部の一端は、前記接触部よりも前記砥石の回転方向前方側で前記端面と交差して延びていることを特徴とするガラス板の端面研削方法。 - 前記包囲部を挟んで前記砥石と反対側の位置に、パージ流体を噴射するパージノズルが配設され、前記パージ流体が前記遮蔽板と前記ガラス板との間の間隙に供給されるように構成されている請求項11に記載のガラス板の端面研削方法。
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