JP7374591B2 - ウェーハの在荷検知装置 - Google Patents
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Description
11 :ロードカセット
12 :搬送ロボット
13 :アライナ
14 :ウェイティングユニット
15 :研磨定盤
16 :アンロードカセット
17 :インテーブル
18 :研磨ヘッド
19 :アウトテーブル
20a :連結部材
20b :連結部材
21a :ロッドレスシリンダ
21b :ロッドレスシリンダ
40 :在荷検知装置
41 :トレイ
41a :トレイ表面
41b :トレイ裏面
42 :開口部
43 :超音波式センサ
43a :検知面
44 :反射板
44a :超音波反射面
45a :ブロア
45b :ブロア
L :高さ方向の距離
W :ウェーハ
Y :矢印
Z :垂直方向
Claims (5)
- トレイの上にウェーハが載置されているか否かを検知するウェーハの在荷検知装置であって、
前記ウェーハを載置する表面側から裏面側に渡って開口部が形成された前記トレイの裏面側に設けられ、前記トレイ上の前記ウェーハに向けた超音波の発信と前記ウェーハの表面で反射した前記超音波の受信とを行う超音波式センサと、
前記開口部の下方に設けられて、前記超音波式センサの検知面から発信された前記超音波を前記開口部に向けて屈折反射させるとともに前記ウェーハの表面で反射した前記超音波を前記超音波式センサの検知面に向けて屈折反射させる超音波反射面を備え、前記開口部と前記超音波式センサとを結ぶ超音波経路上に設けられた超音波屈折手段と、
を備えた、ことを特徴とするウェーハの在荷検知装置。 - 前記超音波式センサと前記超音波屈折手段とは、前記トレイの裏面と略平行に配置され、
前記超音波式センサの検知面は、前記トレイの裏面に対して略直角に配置されている、ことを特徴とする請求項1に記載のウェーハの在荷検知装置。 - 前記超音波式センサは、前記超音波屈折手段より前記トレイの裏面側に配置され、
前記超音波式センサの検知面は、前記超音波屈折手段に向けて傾いて設けられている、ことを特徴とする請求項1に記載のウェーハの在荷検知装置。 - 前記超音波反射面にエアを吹き付けるブロアを備える、ことを特徴とする請求項1に記載のウェーハの在荷検知装置。
- 超音波式センサの超音波発信面と超音波受信面にエアを吹き付けるブロアを備える、ことを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載のウェーハの在荷検知装置。
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