JP7345353B2 - 故障検知システム及び故障検知方法 - Google Patents
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Description
図1を参照し、半導体製造装置を含むシステムの全体構成について説明する。図1は、半導体製造装置を含むシステムの全体構成の一例を示す図である。
半導体製造装置10は、各種の半導体製造プロセスを実施する装置である。半導体製造プロセスは、例えば成膜処理、エッチング処理、熱処理等の半導体を製造するための各種のプロセス処理を含む。半導体製造装置10には、該半導体製造装置10の状態を検出する各種のセンサ20が設けられている。各種のセンサ20としては、例えばガスボックス内を排気する排気管に介設される微差圧計、処理容器や原料タンクを加熱するヒータの温度を測定する温度センサ、処理容器内の圧力を測定する圧力センサが挙げられる。
群管理コントローラ40は、半導体製造装置10がプロセス処理を実行したときのログデータを取得し、取得したログデータを記憶する。ログデータは、各種のセンサ20の検出値を含む。また、群管理コントローラ40は、半導体製造装置10の状態を検出する各種のセンサ20の故障を検知する故障検知システムとして機能する。
群管理コントローラ40により実行される、半導体製造装置10に設けられたセンサ20の故障を検知する処理(以下「故障検知処理」という。)について説明する。以下では、複数の半導体製造装置10のうち一つの半導体製造装置10に対して行う故障検知処理を例に挙げて説明する。
一実施形態の故障検知システム及び故障検知方法による作用効果について説明する。まず、センサ値が日数の経過と共に急激に変化する場合にセンサ20が異常であり、徐々に変化する場合のセンサ20が異常でない場合を考える。
10 半導体製造装置
20 センサ
40 群管理コントローラ
41 生成部
42 期間判定部
43 算出部
44 データ判定部
45 故障判定部
46 出力部
47 格納部
60 端末
Claims (9)
- 半導体製造装置の状態を検出するセンサの故障を検知する故障検知システムであって、
判定期間におけるセンサの検出値に関する情報の時系列データを生成する生成部と、
前記時系列データの回帰直線を算出する算出部と、
前記回帰直線の決定係数が管理値以上であるか否かを判定するデータ判定部と、
前記回帰直線の傾きに基づいて前記センサが故障しているか否かを判定する故障判定部と、
を有し、
前記故障判定部は、前記データ判定部により前記回帰直線の決定係数が管理値未満であると判定された場合に前記センサが故障しているか否かの判定を実行しない、
故障検知システム。 - 前記故障判定部は、前記回帰直線の傾きが管理値外である場合に前記センサが故障していると判定する、
請求項1に記載の故障検知システム。 - 前記時系列データが前記判定期間よりも短い最低必要期間以上の期間の前記センサの検出値に関する情報を含むか否かを判定する期間判定部を更に有し、
前記故障判定部は、前記期間判定部により前記時系列データが前記判定期間よりも短い最低必要期間以上の期間の前記センサの検出値に関する情報を含まないと判定された場合に前記センサが故障しているか否かの判定を実行しない、
請求項1又は2に記載の故障検知システム。 - 前記算出部は、前記判定期間における前記検出値に関する情報の変化量を算出し、
前記故障判定部は、前記判定期間における前記検出値に関する情報の変化量が管理値外である場合に前記センサが故障していると判定する、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の故障検知システム。 - 前記センサが故障していると判定された場合に前記センサが異常していることを報知する出力部を更に有する、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の故障検知システム。 - 前記半導体製造装置において処理が実行されるごとに前記センサの検出値に関する情報を格納する格納部を更に有する、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の故障検知システム。 - 前記センサの検出値に関する情報は、前記半導体製造装置において処理が実行されている間の前記センサの検出値の平均値である、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の故障検知システム。 - 前記センサは、前記半導体製造装置に取り付けられる微差圧計、温度センサ及び圧力センサの少なくともいずれかを含む、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載の故障検知システム。 - 半導体製造装置の状態を検出するセンサの故障を検知する故障検知方法であって、
(a)判定期間におけるセンサの検出値に関する情報の時系列データを生成するステップと、
(b)前記時系列データの回帰直線を算出するステップと、
(c)前記回帰直線の決定係数が管理値以上であるか否かを判定するステップと、
(d)前記回帰直線の傾きに基づいて前記センサが故障しているか否かを判定するステップと、
を有し、
前記ステップ(c)において前記回帰直線の決定係数が管理値未満であると判定された場合に前記ステップ(d)を実行しない、
故障検知方法。
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