JP7336626B2 - セラミック焼結体、セラミック基板、実装用基板、電子装置及びセラミック焼結体の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係る実装用基板1の概略を示す側面図である。図1に示す実装用基板1は、セラミック焼結体からなるセラミック基板2と、金属層3とを備える。なお、セラミック焼結体はセラミック基板2と実質的に同じであるため、図中における符号は省略する。言い換えるとセラミック焼結体の図中の符号は2である。セラミック焼結体は、例えば、棒状体やブロック体や中空部材などの構造部材に用いてもよい。
次に、上述した実装用基板1を備えた電子装置10の構成について図10を参照して説明する。図10は、実施形態に係る電子装置10の一例を示す側面図である。
次に、実施形態に係る実装用基板1が備えるセラミック基板2の製造方法について説明する。
実施例1のセラミック焼結体(試料No.3~8)を、以下のように作製した。セラミック焼結体に含まれるAl2O3及び添加剤の各含有量(質量%)が表1に示す含有量となるようにAl2O3の粉末及び添加剤の粉末を調合して調合粉末を作製した。次に、調合粉末に溶剤及びバインダーを添加した後、スラリーを経て顆粒を作製し、顆粒をプレス成形によって所望の形状に整え、成形体を作製した。その後、バインダー成分を脱脂により除去した後、成形体を焼成し、セラミック焼結体(試料No.3~8)を得た。
次に、得られたセラミック焼結体における金属元素(Ti、Fe)の含有量をICPにより測定し、酸化物(TiO2、Fe2O3)に換算した含有量(ICP含有量)を求めた。得られた各ICP含有量の数値を表1に示す。
また、得られたセラミック焼結体の各試料の試料形状は、3mm×4mm×40mmの試験片(以下「JIS片」とも呼ぶ。)とした。JIS片は、プレス成形法により作製した。このJIS片を用いて、3点曲げ強度試験および耐熱衝撃試験を行った。耐熱衝撃試験の結果は後述する。
比較例1のセラミック焼結体(試料No.1)を、Al2O3の粉末に添加剤としてTiO2の粉末を調合しない点を除き、実施例1と同様の条件により作製した。
比較例2のセラミック焼結体(試料No.2)を、Al2O3の粉末に添加剤としてFe2O3の粉末を調合しない点を除き、実施例1と同様の条件により作製した。
Al2O3及び添加剤の各含有量(質量%)を変更してセラミック焼結体(試料No.9~12)を作製した。セラミック焼結体に含まれるAl2O3及び添加剤の各含有量(質量%)を表2に示す含有量に変更した点以外の条件は、実施例1と同じである。なお、試料No.9、10、12は、それぞれ試料No.7、5、8と同じ試料である。
セラミック焼結体におけるFeのFe2O3換算での含有量とTiのTiO2換算での含有量とを変更してセラミック焼結体(試料No.13、14)を作製した。セラミック焼結体におけるFeのFe2O3換算での含有量とTiのTiO2換算での含有量とを表3に示すICP含有量に変更した点、及びセラミック焼結体に含まれるAl2O3及び添加剤の各含有量(質量%)を表3に示す含有量に変更した点以外の条件は、実施例1と同じである。
また、得られたセラミック焼結体の各試料の試料形状は、24mm×40mm×0.32mmの試験片(以下「テスト基板」と呼ぶ。)とした。テスト基板は、ロールコンパクション成形法により作製した。
実施例4のセラミック焼結体(試料No.18~20、22、23)を、以下のように作製した。セラミック焼結体に含まれるAl2O3及び添加剤の各含有量(質量%)が表4に示す含有量となるようにAl2O3の粉末及び添加剤の粉末を調合して調合粉末を作製した。ここで、添加剤におけるTiのTiO2換算での含有量とFeのFe2O3換算での含有量とは、それぞれ表4に示す調合含有量であった。次に、調合粉末に溶剤及びバインダーを添加した後、スラリーを経て顆粒を作製し、顆粒をプレス成形によって所望の形状に整え、成形体を作製した。その後、バインダー成分を脱脂により除去した後、成形体を焼成し、セラミック焼結体(試料No.18~20、22、23)を得た。なお、試料No.18~20、22、23は、それぞれ試料No.3、5、6、7、11と同じ試料である。
比較例3のセラミック焼結体(試料No.16)を、Al2O3の粉末に添加剤としてTiO2の粉末を調合しない点を除き、実施例4と同様の条件により作製した。なお、試料No.16は、試料No.1と同じ試料である。
比較例4のセラミック焼結体(試料No.17)を、Al2O3の粉末に添加剤としてFe2O3の粉末を調合しない点を除き、実施例4と同様の条件により作製した。なお、試料No.17は、試料No.2と同じ試料である。
比較例5のセラミック焼結体(試料No.21)を、添加剤におけるTiのTiO2換算での含有量を表4に示す調合含有量に変更した点を除き、実施例4と同様の条件により作製した。
2 セラミック基板
3 金属層
4 電子部品
10 電子装置
Claims (13)
- Al2O3及び添加剤を含有し、前記Al2O3の含有量が94質量%以上であるセラミック焼結体からなり、
前記添加剤は、SiO2、CaO、MgO、TiO2及びFe2O3を含有し、
前記セラミック焼結体におけるTiのTiO2換算での含有量は120ppm以上であり、且つ、FeのFe2O3換算での含有量は180ppm以上である、セラミック焼結体。 - 前記セラミック焼結体は、96質量%以上98質量%以下の前記Al2O3を含有する、請求項1に記載のセラミック焼結体。
- 前記セラミック焼結体におけるTiのTiO2換算での含有量は350ppm以下である、請求項1に記載のセラミック焼結体。
- 前記セラミック焼結体におけるFeのFe2O3換算での含有量は、TiのTiO2換算での含有量よりも多い、請求項1に記載のセラミック焼結体。
- 前記セラミック焼結体におけるFeのFe2O3換算での含有量は410ppm以下である、請求項1に記載のセラミック焼結体。
- 前記セラミック焼結体は、ZrO2を含有しない、請求項1に記載のセラミック焼結体。
- 前記セラミック焼結体におけるTiO2及びFe2O3は、結晶粒界に位置している、請求項1に記載のセラミック焼結体。
- 請求項1~7のいずれか一つに記載のセラミック焼結体を板状としたセラミック基板。
- 請求項8に記載のセラミック基板と、
前記セラミック基板上に位置する金属層と
を備える、実装用基板。 - 前記金属層は、少なくとも前記セラミック基板側において、TiおよびFeを含有する、請求項9に記載の実装用基板。
- 請求項9に記載の実装用基板と、
前記実装用基板における前記金属層上に位置する電子部品と
を備える、電子装置。 - Al2O3の含有量が94質量%以上となるように、Al2O3の粉末及び添加剤の粉末を調合して調合粉末を作製する工程と、
前記調合粉末を用いて成形体を作製する工程と、
前記成形体を焼成する工程と
を含み、
前記調合粉末を作製する工程において、前記Al2O3の粉末に、前記添加剤として、SiO2、CaO、MgO、TiO2及びFe2O3の各粉末を調合して前記調合粉末を作製し、
前記添加剤におけるTiのTiO2換算での含有量が0.48質量%以上1.18質量%以下であり、且つ、FeのFe2O3換算での含有量が0.48質量%以上である、セラミック焼結体の製造方法。 - 前記Al2O3の粉末に不純物として含まれるFeのFe2O3換算での含有量は100~300ppmである、請求項12に記載のセラミック焼結体の製造方法。
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