JP7332940B2 - 溝加工装置及び溝加工方法 - Google Patents
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Description
(1)本発明の一実施形態に係る溝加工装置は、レーザビームによって対象物の表面に溝を形成する溝加工装置であって、前記レーザビームを出力する光源装置と、前記光源装置から出力された前記レーザビームを反射するポリゴンミラーと、前記ポリゴンミラーで反射された前記レーザビームの光路上に設けられ、前記レーザビームを集光する集光光学系と、前記集光光学系と前記対象物との間で、前記集光光学系を介して集光された前記レーザビームの一部を遮る位置に設けられ、前記レーザビームの一部を遮る遮蔽板と、を備え、前記集光光学系を介して集光された前記レーザビームのうち、前記遮蔽板で遮られない前記レーザビームの一部は、前記レーザビームの焦点において前記対象物の表面に溝を形成し、前記遮蔽板は、前記焦点よりも前記集光光学系側に設けられ、前記溝を形成しない前記レーザビームを遮蔽するように前記対象物の表面に対して回動する。
(2)上記(1)に記載の溝加工装置において、前記対象物の表面に対する前記遮蔽板の角度をψとし、前記レーザビームが前記ポリゴンミラーの一枚の平面鏡に収まる最大の角度である臨界角をθc(°)としたとき、前記遮蔽板の角度ψが、2θc<ψ≦90(°)の範囲で傾けられてよい。
(3)上記(2)に記載の溝加工装置において、前記ポリゴンミラーの回転軸から前記ポリゴンミラーの平面鏡に垂線を下した位置を基準位置としたときに、前記ポリゴンミラーで隣接する二枚の平面鏡の境目と前記基準位置とのなす角度をθ0(°)とし、前記遮蔽板が角度ψで傾いている際、前記ポリゴンミラーの回転角度がθ0(°)のときに前記ポリゴンミラーで2θ0(°)の角度で反射した前記レーザビームが、前記遮蔽板に照射される位置を点P0とし、前記遮蔽板が前記角度ψで傾いている際、前記ポリゴンミラーの回転角度がθc(°)のときに前記ポリゴンミラーで2θc(°)の角度で反射した前記レーザビームが、前記遮蔽板に照射される位置を点Pとし、前記点Pと前記点P0との高さの差をLp0とし、前記集光光学系から前記点Pの高さまでの距離をL2とすると、Lp0<L2を満たしてよい。
(4)上記(1)から(3)のいずれか1項に記載の溝加工装置において、前記ポリゴンミラーにより前記レーザビームが走査される走査方向において前記遮蔽板の位置を調整する位置調整部を備えてよい。
(5)上記(1)から(4)のいずれか1項に記載の溝加工装置において、前記遮蔽板を下部に配置する筐体を備え、前記筐体は、前記集光光学系により集光された前記レーザビームの光路上に位置する上部開口部を有し、前記上部開口部には、前記レーザビームを吸収または反射しない透過する無色透明の窓板が装着されてよい。
(6)本発明の一実施形態に係る溝加工方法は、レーザビームによって対象物の表面に溝を形成する溝加工方法であって、光源装置により、前記レーザビームを出力する出力ステップと、ポリゴンミラーにより、前記光源装置から出力された前記レーザビームを反射させる反射ステップと、前記ポリゴンミラーで反射された前記レーザビームの光路上に設けられた集光光学系を用いて、前記レーザビームを前記対象物の表面に集光させる集光ステップと、前記集光光学系と前記対象物との間で、前記集光光学系を介して集光された前記レーザビームの一部を遮る位置に設けられた遮蔽板を用いて、前記レーザビームの一部を遮る遮蔽ステップと、を備え、前記集光光学系を介して集光された前記レーザビームのうち、前記遮蔽板で遮られない前記レーザビームの一部は、前記レーザビームの焦点において前記対象物の表面に溝を形成し、前記遮蔽ステップでは、前記焦点よりも前記集光光学系側に設けられ、前記溝を形成しない前記レーザビームを遮蔽するように前記対象物の表面に対して回動する前記遮蔽板を設ける。
(7)上記(6)に記載の溝加工方法において、前記遮蔽ステップでは、前記対象物の表面に対する前記遮蔽板の角度をψとし、前記レーザビームが前記ポリゴンミラーの一枚の平面鏡に収まる最大の角度である臨界角をθc(°)としたとき、前記遮蔽板の角度ψを、2θc<ψ≦90(°)の範囲で傾けてよい。
(8)上記(7)に記載の溝加工方法において、前記遮蔽ステップでは、前記ポリゴンミラーの回転軸から前記ポリゴンミラーの平面鏡に垂線を下した位置を基準位置としたときに、前記ポリゴンミラーで隣接する二枚の平面鏡の境目と前記基準位置とのなす角度をθ0(°)とし、前記遮蔽板が角度ψで傾いている際、前記ポリゴンミラーの回転角度がθ0(°)のときに前記ポリゴンミラーで2θ0(°)の角度で反射した前記レーザビームが、前記遮蔽板に照射される位置を点P0とし、前記遮蔽板が前記角度ψで傾いている際、前記ポリゴンミラーの回転角度がθc(°)のときに前記ポリゴンミラーで2θc(°)の角度で反射した前記レーザビームが、前記遮蔽板に照射される位置を点Pとし、前記点Pと前記点P0との高さの差をLp0とし、前記集光光学系から前記点Pの高さまでの距離をL2とすると、Lp0<L2を満たしてよい。
(9)上記(6)から(8)のいずれか1項に記載の溝加工方法において、前記ポリゴンミラーにより前記レーザビームが走査される走査方向において前記遮蔽板の位置を調整する遮蔽板位置調整ステップを更に備えてよい。
(10)上記(6)から(9)のいずれか1項に記載の溝加工方法において、前記遮蔽板を下部に配置し、前記集光光学系により集光された前記レーザビームの光路上に位置する上部開口部を有する筐体には、前記レーザビームを吸収または反射しない透過する無色透明の窓板を前記上部開口部に装着する筐体装着ステップを更に備えてよい。
…(2)
11 光源装置
12 レンズ
20 鋼板
34 位置調整部
35 遮蔽板
36 角度調整部
100 溝加工装置
101、102 平面鏡
LB レーザビーム
Claims (6)
- レーザビームによって対象物の表面に溝を形成する溝加工装置であって、
前記レーザビームを出力する光源装置と、
前記光源装置から出力された前記レーザビームを、前記対象物上で走査させるように反射するポリゴンミラーと、
前記ポリゴンミラーで反射された前記レーザビームの光路上に設けられ、前記レーザビームを集光する集光光学系と、
前記集光光学系と前記対象物との間で、前記集光光学系を介して集光された前記レーザビームの一部を遮る位置に設けられ、前記レーザビームの一部を遮る遮蔽板と、
を備え、
前記集光光学系を介して集光された前記レーザビームのうち、前記遮蔽板で遮られない前記レーザビームの一部は、前記レーザビームの焦点において前記対象物の表面に溝を形成し、
前記遮蔽板は、前記走査の中央に近い側が前記焦点側となり、前記走査の外側に近い側が前記集光光学系側となるように傾けられて、前記焦点よりも前記集光光学系側に設けられ、前記溝を形成しない前記レーザビームを遮蔽するように前記対象物の表面に対して回動する、溝加工装置。 - 前記対象物の表面に対する前記遮蔽板の角度をψとし、前記レーザビームが前記ポリゴンミラーの一枚の平面鏡に収まる最大の角度である臨界角をθc(°)としたとき、
前記遮蔽板の角度ψが、2θc<ψ≦90(°)の範囲で傾けられている、請求項1に記載の溝加工装置。 - 前記ポリゴンミラーの回転軸から前記ポリゴンミラーの平面鏡に垂線を下した位置を基準位置としたときに、前記ポリゴンミラーで隣接する二枚の平面鏡の境目と前記基準位置とのなす角度をθ0(°)とし、
前記遮蔽板が角度ψで傾いている際、前記ポリゴンミラーの回転角度がθ0(°)のときに前記ポリゴンミラーで2θ0(°)の角度で反射した前記レーザビームが、前記遮蔽板に照射される位置を点P0とし、
前記遮蔽板が前記角度ψで傾いている際、前記ポリゴンミラーの回転角度がθc(°)のときに前記ポリゴンミラーで2θc(°)の角度で反射した前記レーザビームが、前記遮蔽板に照射される位置を点Pとし、
前記点Pと前記点P0との高さの差をLp0とし、
前記集光光学系から前記点Pの高さまでの距離をL2とすると、
Lp0<L2を満たす、請求項2に記載の溝加工装置。 - レーザビームによって対象物の表面に溝を形成する溝加工方法であって、
光源装置により、前記レーザビームを出力する出力ステップと、
ポリゴンミラーにより、前記光源装置から出力された前記レーザビームを、前記対象物上で走査させるように反射させる反射ステップと、
前記ポリゴンミラーで反射された前記レーザビームの光路上に設けられた集光光学系を用いて、前記レーザビームを集光させる集光ステップと、
前記集光光学系と前記対象物との間で、前記集光光学系を介して集光された前記レーザビームの一部を遮る位置に設けられた遮蔽板を用いて、前記レーザビームの一部を遮る遮蔽ステップと、
を備え、
前記集光光学系を介して集光された前記レーザビームのうち、前記遮蔽板で遮られない前記レーザビームの一部は、前記レーザビームの焦点において前記対象物の表面に溝を形成し、
前記遮蔽板は、前記走査の中央に近い側が前記焦点側となり、前記走査の外側に近い側が前記集光光学系側となるように傾けられて、前記焦点よりも前記集光光学系側に設けられ、前記溝を形成しない前記レーザビームを遮蔽するように前記対象物の表面に対して回動する、溝加工方法。 - 前記遮蔽ステップでは、前記対象物の表面に対する前記遮蔽板の角度をψとし、前記レーザビームが前記ポリゴンミラーの一枚の平面鏡に収まる最大の角度である臨界角をθc(°)としたとき、
前記遮蔽板の角度ψを、2θc<ψ≦90(°)の範囲で傾ける、請求項4に記載の溝加工方法。 - 前記遮蔽ステップでは、前記ポリゴンミラーの回転軸から前記ポリゴンミラーの平面鏡に垂線を下した位置を基準位置としたときに、前記ポリゴンミラーで隣接する二枚の平面鏡の境目と前記基準位置とのなす角度をθ0(°)とし、
前記遮蔽板が角度ψで傾いている際、前記ポリゴンミラーの回転角度がθ0(°)のときに前記ポリゴンミラーで2θ0(°)の角度で反射した前記レーザビームが、前記遮蔽板に照射される位置を点P0とし、
前記遮蔽板が前記角度ψで傾いている際、前記ポリゴンミラーの回転角度がθc(°)のときに前記ポリゴンミラーで2θc(°)の角度で反射した前記レーザビームが、前記遮蔽板に照射される位置を点Pとし、
前記点Pと前記点P0との高さの差をLp0とし、
前記集光光学系から前記点Pの高さまでの距離をL2とすると、
Lp0<L2を満たす、請求項5に記載の溝加工方法。
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013161863A1 (ja) | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 新日鐵住金株式会社 | 方向性電磁鋼板及びその製造方法 |
JP2014161899A (ja) | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | レーザ加工装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01232303A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光ファイバ心線被覆除去方法及び除去装置 |
JPH05277776A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-26 | Toshiba Corp | レーザビーム用マスク装置 |
JPH07108394A (ja) * | 1993-10-08 | 1995-04-25 | Omron Corp | レーザ加工装置 |
JPH07334602A (ja) * | 1994-06-13 | 1995-12-22 | Olympus Optical Co Ltd | バーコード読み取り装置 |
JP3292079B2 (ja) * | 1997-02-24 | 2002-06-17 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
JP2002028798A (ja) * | 2000-07-11 | 2002-01-29 | Nippon Steel Chem Co Ltd | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
JP4340943B2 (ja) * | 2000-09-11 | 2009-10-07 | 澁谷工業株式会社 | レーザ照射装置 |
JP2002292484A (ja) | 2001-03-30 | 2002-10-08 | Nippon Steel Corp | レーザによる溝加工装置 |
KR20080023597A (ko) * | 2006-09-11 | 2008-03-14 | 삼성전자주식회사 | 광주사장치 및 이를 구비한 화상형성장치 |
JP2008122614A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Kyocera Mita Corp | 走査光学装置および画像形成装置 |
CN102161131A (zh) * | 2011-01-18 | 2011-08-24 | 施政辉 | 激光表面加工装置及方法 |
CZ308932B6 (cs) * | 2015-05-28 | 2021-09-15 | Západočeská Univerzita V Plzni | Způsob posuvného laserového texturování povrchu |
WO2018003555A1 (ja) | 2016-06-28 | 2018-01-04 | 株式会社アスカネット | 立体像表示装置及び立体像表示方法 |
-
2020
- 2020-05-13 WO PCT/JP2020/019105 patent/WO2020230816A1/ja unknown
- 2020-05-13 BR BR112021022645A patent/BR112021022645A2/pt active Search and Examination
- 2020-05-13 EP EP20804910.6A patent/EP3970903A4/en active Pending
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- 2020-05-13 KR KR1020217039937A patent/KR102604473B1/ko active IP Right Grant
- 2020-05-13 JP JP2021519458A patent/JP7332940B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013161863A1 (ja) | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 新日鐵住金株式会社 | 方向性電磁鋼板及びその製造方法 |
JP2014161899A (ja) | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | レーザ加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20220005084A (ko) | 2022-01-12 |
EP3970903A4 (en) | 2022-07-20 |
WO2020230816A1 (ja) | 2020-11-19 |
CN113825589A (zh) | 2021-12-21 |
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