JP7326012B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
操作パネル17に上記した操作画面画像が表示されると、オペレーターは、チャックテーブル11上のウエーハ100の向きとX軸方向(加工送り方向)とを一致させる(アライメントする)ためにθ合わせを行う。このθ合わせは、低倍率のマクロ画像で行う低倍θ合わせと、高倍率のミクロ画像で行う高倍θ合わせの二段階で行われる。低倍θ合わせは、ウエーハ100の向きとX軸方向(加工送り方向)との粗合わせであり、高倍θ合わせは、ウエーハ100の向きとX軸方向(加工送り方向)との精密合わせである。
次に、オペレーターは、ウエーハ表面に設けられたターゲットの設定を行う。このターゲット設定は、ウエーハのアライメントをする際の基準となるターゲットを設定する操作であり、低倍率のマクロ画像で行うマクロターゲット設定と、高倍率のミクロ画像で行うミクロターゲット設定の二段階で行われる。
ストリートアジャストは、上記したミクロターゲット設定で接待された、例えばターゲット57から加工されるストリート103までの距離を加工装置10に設定(記憶)するための操作である。「ストリートアジャスト」画面では、第2操作キー領域70に、ヘアライン狭くキー77A及びヘアライン広くキー77Bが設定されている。また、画像表示領域50には、高倍率の撮像画像51に重ねてヘアライン58が表示される。
フォーカス設定は、撮像画像のフォーカスを合わせるための操作である。図7に示すように、画像表示領域50にフォーカスが合っていない撮像画像51が表示されている場合、オペレーターがフォーカスキー74にタッチすると、操作パネル17に図8に示す操作画面画像(「フォーカス調整」画面)が表示される。この「フォーカス調整」画面には、第2操作キー領域70に配置された機能キー(操作キー)として、フォーカス調整に関する調整キー78(例えばオートフォーカス)が設定されている。オペレーターが調整キー78をタッチすることでフォーカスが調整される。これらのフォーカス設定の操作に関する一連の操作画面画像は操作画面画像記憶部43に記憶される。
光量調整は、光源23の落射光源23aと斜光光源23bとのバランスを変更することにより、撮像画像のコントラストを調整するためのものである。図9に示すように、画像表示領域50にコントラストの低いターゲット57を含む高倍率の撮像画像51が表示されている場合、オペレーターが光量キー73にタッチすると、操作パネル17に図10に示す操作画面画像(「光量調整」画面)が表示される。この「光量調整」画面には、第2操作キー領域70に配置された機能キー(操作キー)として、光源23の光量を変更するため光量変更キー79が設定されている。オペレーターは、光量変更キー79をそれぞれ操作することにより、図10に示すように、ターゲット57のコントラストを高めた撮像画像51とすることができる。これらの光量調整の操作に関する一連の操作画面画像は操作画面画像記憶部43に記憶される。
11 チャックテーブル
12 撮像ユニット
13 加工ユニット
16 制御ユニット
17 操作パネル
23 光源
23a 落射光源
23b 斜光光源
30 制御部
31 中央制御部
33 操作画面画像再生制御部
40 登録部
43 操作画面画像記憶部
44 オペレーター情報記憶部(オペレーター情報登録部)
50 画像表示領域
51 撮像画像
52 ターゲットウインドウ
58 ヘアライン
100 ウエーハ(被加工物)
103 ストリート
104 デバイス
Claims (4)
- チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
該被加工物を撮像する撮像ユニットと、
該撮像ユニットによって撮像された被加工物の表面の画像を表示し、かつ加工装置の各種制御機能を実施するための複数の操作キーを表示する操作パネルと、
該各種制御機能を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、
該制御ユニットは、
オペレーターが該操作パネルを操作する任意の一連の動作において、該オペレーターが操作した該操作キー及び操作したタイミングと、該任意の一連の動作の進行中に該操作パネルに表示される任意の間隔の操作画面画像とを操作データとして時系列に沿って記憶する操作画面画像記憶部と、
複数の該操作画面画像をオペレーターが実際に操作した間隔に従い連続的に出力して、該操作パネル上で再生する操作画面画像再生制御部と、
を備えることを特徴とする加工装置。 - 該任意の間隔は、オペレーターが該操作キーを操作し、該操作パネルに表示される操作画面に変更が生じたタイミングであることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
- 該制御ユニットは、
操作を行うオペレーター情報を登録するオペレーター情報登録部を備え、
該操作データは、該オペレーター情報と関連づけて記憶されることを特徴とする請求項1または2に記載の加工装置。 - 該操作画面画像再生制御部は、複数のオペレーターのうちの選択されたオペレーターに対応する該操作データを該操作画面画像記憶部から読み出し、オペレーターが該操作パネルに対して操作した複数の操作画面画像を操作の順番に従って時系列に再生することを特徴とする請求項3に記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019085775A JP7326012B2 (ja) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019085775A JP7326012B2 (ja) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2020179487A JP2020179487A (ja) | 2020-11-05 |
JP7326012B2 true JP7326012B2 (ja) | 2023-08-15 |
Family
ID=73023218
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2019085775A Active JP7326012B2 (ja) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 加工装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP7326012B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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Citations (3)
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Family Cites Families (2)
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JPH0713603A (ja) * | 1993-06-25 | 1995-01-17 | Toshiba Corp | プロセス監視制御装置 |
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2019
- 2019-04-26 JP JP2019085775A patent/JP7326012B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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JP2008004885A (ja) | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2014154633A (ja) | 2013-02-06 | 2014-08-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
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