JP2020179487A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】オペレーターの操作スキルを共有し、オペレーターのスキルの向上を図った加工装置を提供すること。【解決手段】チャックテーブル１１に保持されたウエーハ１００を加工する加工ユニット１３と、ウエーハ１００を撮像する撮像ユニット１２と、撮像ユニット１２によって撮像されたウエーハ表面の画像を表示し、かつ加工装置１０の各種制御機能を実施するための複数の操作キーを表示する操作パネル１７と、各種制御機能を制御する制御ユニット１６とを備え、制御ユニット１６は、オペレーターが操作パネル１７を操作する任意の一連の動作において、オペレーターが操作した操作キーを含む操作画面画像及び操作したタイミングを操作データとして時系列に沿って記憶する。【選択図】図１

Description

本発明は、被加工物を加工する加工装置に関する。

一般に、チャックテーブルに保持されたウエーハ（被加工物）をストリートに沿って切削加工し、個々のデバイスチップに分割する加工装置が知られている。この種の加工装置では、撮像ユニットによって撮像されたウエーハ表面の画像と複数の操作キーとを表示するタッチパネル式の操作パネルを備え、この操作パネルを介して加工装置の各種操作が行われている（例えば、特許文献１参照）。

ここで、加工装置における操作の一例として、例えば加工装置のフルオートメーション加工を行う際のデータ設定作業であるアライメントデータの設定時の操作について説明する。加工装置でのフルオートメーション加工では、ウエーハごとに設定されたアライメントターゲットによって撮像画像とのパターンマッチングを行い、所望の加工位置を認識させることで、自動的にストリートに対する位置付けが精度良く実行されている。

このようなパターンマッチングでは、最適なターゲットの選択、最適なフォーカス、光量の設定を行い、撮像ユニットが撮像するターゲットのコントラストを明確化させることで精度よい画像処理が可能となる。そこで、フルオートメーション加工に先立って実施されるアライメントティーチでは、アライメントデータの設定時の操作として、チャックテーブルの移動や、撮像ユニットのフォーカス調整、光量調整などの各種操作を、オペレーターがその都度、操作パネル上の各種操作キーを手動操作することにより行っている。

特開２００８−４８８５号公報

ところで、上記した加工装置は、複数のオペレーターが交代で操作している。加工装置を駆動させる際に、オペレーターの操作に要する時間はオペレーターごとに大きく異なり、各種操作のスキルが加工性（単位時間あたりの生産量や歩留り）に大きく関係するためスキルの向上が望まれている。

しかし、加工装置の各構成要素を駆動させるために各オペレーターが複数ある操作キーをどのように操作しているのかは現状記録されていない。例えば、上述したアライメントデータの設定モード時の操作では、オペレーターにより操作キーを押す回数やどのような手順で操作するかが異なるものの、オペレーターの操作手順は分からず、また後から振り返ることもできないため、設定操作のスキルを共有することが難しい。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、オペレーターの操作スキルを共有し、オペレーターのスキルの向上を図った加工装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該被加工物を撮像する撮像ユニットと、該撮像ユニットによって撮像された被加工物の表面の画像を表示し、かつ加工装置の各種制御機能を実施するための複数の操作キーを表示する操作パネルと、該各種制御機能を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、該制御ユニットは、オペレーターが該操作パネルを操作する任意の一連の動作において、該オペレーターが操作した該操作キー及び操作したタイミングを操作データとして時系列に沿って記憶したことを特徴とする。

この構成において、該制御ユニットは、該任意の一連の動作の進行中に該操作パネルに表示される操作画面画像を任意の間隔で該操作データとして記憶する操作画面画像記憶部と、複数の該操作画面画像をオペレーターが実際に操作した間隔に従い連続的に出力して、該操作パネル上で再生する操作画面画像再生制御部と、を備えてもよい。

また、該任意の間隔は、オペレーターが該操作キーを操作し、該操作パネルに表示される操作画面に変更が生じたタイミングであってもよい。また、該制御ユニットは、操作を行うオペレーター情報を登録するオペレーター情報登録部を備え、該操作データは、該オペレーター情報と関連づけて記憶されてもよい。

本発明に係る加工装置は、オペレーターが操作した操作キー及び操作したタイミングを操作データとして時系列に沿って記憶するため、この操作データを再生することにより、複数のオペレーターが操作データを共有してオペレーターの操作スキルの向上を図ることができる。

図１は、本実施形態に係る加工装置の一例を示す一部の外観斜視図である。 図２は、本実施形態に係る加工装置で加工されるウエーハの構成例を示す平面図である。 図３は、撮像ユニットの光源の構成例を示す概略正面図である。 図４は、制御ユニットの構成例を示す機能ブロック図である。 図５は、ウエーハのθ合わせ及びターゲット設定の際に表示される操作画面画像の一例を示す図である。 図６は、切削位置を登録する際に表示される操作画面画像の一例を示す図である。 図７は、撮像画像のフォーカス調整をする際に表示される操作画面画像の一例を示す図である。 図８は、撮像画像のフォーカス調整をする際に表示される操作画面画像の一例を示す図である。 図９は、撮像画像の光量調整をする際に表示される操作画面画像の一例を示す図である。 図１０は、撮像画像の光量調整をする際に表示される操作画面画像の一例を示す図である。 図１１は、アライメントデータの教育モード時にオペレーターの操作データを選択するための画面構成の一例を示す図である。

以下、本実施形態に係る加工装置について図面を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る加工装置の一例を示す一部の外観斜視図であり、図２は、本実施形態に係る加工装置で加工されるウエーハの構成例を示す平面図であり、図３は、撮像ユニットの光源の構成例を示す概略正面図である。

本実施形態に係る加工装置１０は、ウエーハ（被加工物）１００をストリート（分割予定ライン）１０３に沿って切削する切削装置である。加工装置１０は、図１に示すように、基本的な構成として、ウエーハ１００を保持するチャックテーブル１１、撮像ユニット１２、加工ユニット１３、駆動手段１４、Ｚ軸移動手段１５、制御ユニット（制御部）１６、および操作パネル１７を備える。

ウエーハ１００は、図２に示すように、環状のフレーム１０８に装着された粘着テープ１０７の表面に貼着されている。また、ウエーハ１００は、表面１０１に格子状に形成された複数のストリート１０３によって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ，ＬＳＩ等の半導体チップ構成のデバイス１０４が形成されている。このように構成されたウエーハ１００は、環状のフレーム１０８に装着された粘着テープ１０７に表面１０１を上側にして裏面１０２が貼着される。

チャックテーブル１１は、ウエーハ１００を吸着保持する保持面１１ａを有し、モータ１９に連結されて回転可能に設けられている。また、チャックテーブル１１は、ボールねじ２０、ナット、パルスモータ２１等による周知構成のＸ軸移動手段２２によって保持面１１ａに対して水平方向となるＸ軸方向に移動可能に設けられる。これにより、チャックテーブル１１は、該チャックテーブル１１に保持されたウエーハ１００を撮像ユニット１２や加工ユニット１３に対して相対的にＸ軸方向に移動させることができる。

撮像ユニット１２は、チャックテーブル１１の保持面１１ａ上に保持されたウエーハ１００の表面１０１を撮像するＣＣＤカメラ等を搭載した電子顕微鏡である。撮像ユニット１２は、低倍率（Ｌｏ）のマクロ撮像または高倍率（Ｈｉ）のミクロ撮像に切り替え、ウエーハ１００の表面１０１を撮像可能となっている。撮像ユニット１２によって取得した画像情報を基に切削すべき領域部分が検出され、加工ユニット１３による加工動作の位置付けに用いられる。撮像ユニット１２は、図３に示すように、チャックテーブル１１の保持面１１ａに保持されたウエーハ１００の表面に照明光を照射する光源２３を備える。この光源２３は、ウエーハ１００を真上から照明する落射光源２３ａと、斜め方向から照明する斜光光源２３ｂとからなる。

加工ユニット１３は、チャックテーブル１１の保持面１１ａに保持されたウエーハ１００を回転するリング形状の極薄の切削ブレード２４によってストリート１０３に沿って切削して切削溝を形成するものである。撮像ユニット１２は、加工ユニット１３用のハウジング２５の一部に取り付け支持されることで一体化されており、ボールねじ、ナット、パルスモータ２６等によるＺ軸移動手段１５によってＺ軸方向に移動可能に設けられている。また、チャックテーブル１１の保持面１１ａに対して撮像ユニット１２や加工ユニット１３を相対的にＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段２７は、ボールねじ２８、ナット、パルスモータ２９等からなり、Ｘ軸移動手段２２とともに駆動手段１４を構成する。

操作パネル１７は、加工装置１０の筐体において見やすくて操作しやすい箇所に配設される。操作パネル１７は、制御ユニット１６による制御の下、撮像ユニット１２が撮像したウエーハ１００の表面１０１の画像や加工処理に必要な各種情報を表示する表示パネルと、加工処理に必要な入力操作を行うための操作キーとして機能するタッチパネルとを備える。

上記した構成の加工装置１０は、高速回転させた切削ブレード２４をウエーハ１００に所定の切り込み深さで切り込ませながら、加工ユニット１３に対してチャックテーブル１１をＸ軸移動手段２２でＸ軸方向に相対的に加工送りさせる。これにより、ウエーハ１００上のストリート１０３を切削加工して切削溝を形成することができる。そして、同一方向のすべてのストリート１０３について切削溝を形成した後、チャックテーブル１１の回転によりウエーハ１００を９０°回転させ、新たにＸ軸方向に配されたすべてのストリート１０３について加工ユニット１３で同様の切削加工を繰り返すことにより、個々のデバイス１０４に分割することができる。

次に、本実施形態の加工装置１０が備える制御系の構成について説明する。図４は、制御ユニットの構成例を示す機能ブロック図である。制御ユニット１６は、制御部３０と登録部４０とを備える。制御部３０は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備え加工装置１０全体の制御を司るマイクロプロセッサまたはマイクロコンピュータで構成することができる。制御部３０は、機能的な内部構成として、中央制御部３１、表示制御部３２、操作画面画像再生制御部３３および画像処理部３４を有する。これら中央制御部３１、表示制御部３２、操作画面画像再生制御部３３および画像処理部３４は、ソフトウェア（コンピュータプログラム）で構成されていてもよいし、ハードウェアで構成されていてもよい。さらに、ソフトウェアとハードウェアとを組み合わせて構成してもよい。

中央制御部３１は、操作パネル１７上で操作された操作情報に従って加工装置１０の動作全般を制御する。また、中央制御部３１は、光源２３を有する撮像ユニット１２に対してアライメント時やカーフチェック時の撮像動作を制御するとともに、撮像ユニット１２が撮像した画像情報の処理制御を行う。この画像情報の処理制御として、撮像ユニット１２が撮像した画像情報をそのまま登録部４０に記憶させたり、画像情報を画像処理部３４で画像処理した後に登録部４０に記憶させたりする制御を行う。表示制御部３２は、操作パネル１７に表示される撮像ユニット１２の撮像画像や加工処理に必要な各種操作キーなどの表示内容を制御するとともに、操作パネル１７上で操作された入力情報に従って表示制御を行う。

操作画面画像再生制御部３３は、オペレーターが操作パネル１７を操作する任意の一連の動作において、操作パネル１７に対する操作がなされた操作キーを含む複数の操作画面画像（操作データ）を操作の順番に従って再生処理する。本実施形態では、操作画面画像再生制御部３３は、任意の一連の動作として、例えば、アライメントティーチ操作時に、各種の操作キーを含む操作画面画像（遷移画面画像）を操作の順番に従って、順次切り替えて表示する。この際、操作画面画像再生制御部３３は、アライメントティーチ操作において、ティーチ操作開始から実際にオペレーターが操作したタイミング（時間間隔）で各操作に対応する操作画面画像を順次切り替えて表示する。また、操作画面画像再生制御部３３は、実際にオペレーターがタッチ（操作）した操作キーもしくは操作領域の色を周囲と異ならせて表示する。このような操作画面画像は、例えば、上記したアライメントデータの設定モードの実行時に、ティーチ操作開始からオペレーターが操作したタイミングとともに、操作の順番に従って記憶されている。画像処理部３４は、撮像ユニット１２が撮像した画像情報の画像処理を行う。

登録部４０は、記憶部４１、パネル表示画面記憶部４２、操作画面画像記憶部４３およびオペレーター情報記憶部（オペレーター情報登録部）４４を有する。これら記憶部４１、パネル表示画面記憶部４２、操作画面画像記憶部４３およびオペレーター情報記憶部４４は、例えば、フラッシュメモリ（Ｆｌａｓｈ Ｍｅｍｏｒｙ）などの半導体メモリ素子を用いてもよいし、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）などの記憶装置であってもよい。

記憶部４１は、各種のデータや制御プログラムを記憶する。パネル表示画面記憶部４２は、各種モードに応じた操作キー等の表示パターンが設定された表示画面情報が格納されている。操作画面画像記憶部４３は、オペレーターが操作パネル１７を操作する任意の一連の動作における操作パネル１７の操作キー及び操作したタイミング（操作データ）を操作の順番（時系列）に沿って記憶する。本実施形態では、操作画面画像記憶部４３は、例えば、アライメントティーチ操作におけるアライメントデータの設定モードの実行時に、操作パネル１７に対して操作が行われる度に、操作されたタイミング（開始からの時間）と、複数の操作画面画像（操作データ）とを操作の順番に従って記憶する。ここで、操作画面画像記憶部４３は、操作パネル１７上でオペレーターがタッチ（操作）した位置（領域）の座標情報についても操作画面画像および操作順序と関連づけて記憶している。

オペレーター情報記憶部４４は、加工装置１０を操作するオペレーター情報（例えば、各オペレーターの固有番号など）が記憶されている。操作画面画像記憶部４３には、上記した一連の操作画面画像の情報とオペレーター情報とが関連づけて記憶されている。

次に、加工装置１０の制御ユニット１６の動作について説明する。本実施形態では、操作パネル１７を操作する任意の一連の動作の一例として、アライメントティーチ操作におけるアライメントデータの設定モード時の動作を説明する。図５は、ウエーハのθ合わせ及びターゲット設定の際に表示される操作画面画像の一例を示す図である。図６は、切削位置を登録する際に表示される操作画面画像の一例を示す図である。図７〜図８は、撮像画像のフォーカス調整をする際に表示される操作画面画像の一例を示す図である。図９〜図１０は、撮像画像の光量調整をする際に表示される操作画面画像の一例を示す図である。なお、上記した操作画面画像は、アライメントデータの設定モードを実行する際の操作画面の一部を示す一例である。

加工装置１０のオペレーターは、事前にオペレーター情報記憶部４４に記憶されている自己（例えばオペレーターＡ）のオペレーター情報を読み出し、これから加工装置１０の操作を担当するオペレーターとして設定しておく。これにより、アライメントデータの設定モードを実行する際に、操作パネル１７に対する各種の操作画面画像や操作されたタイミング、操作された座標位置を含む操作データが担当（自己）のオペレーター情報と関連づけて操作画面画像記憶部４３に記憶される。

オペレーターがトップメニュー画面（不図示）から例えば「ティーチボタン」のタッチにより操作が開始されると、操作パネル１７（図１）に操作画面画像（「ティーチ」画面）が表示され、この操作画面画像と操作タイミング（設定モード開始からの時間）とが操作画面画像記憶部４３に記憶される。操作画面画像は、図５に示すように、中央部の左半分に設けられて撮像ユニット１２で撮像された画像を表示させる画像表示領域５０と、この画像表示領域５０の側方（右側）に設けられた第１操作キー領域６０と、画像表示領域５０の下方に設けられた第２操作キー領域７０とを備える。

画像表示領域５０には、ウエーハ表面の撮像画像５１と、撮像画像５１の中央部に位置し、ウエーハ表面に設けられたターゲットを選択するターゲットウインドウ５２と、アライメントデータの設定モードの制御機能を実施するための複数の操作キー５３とが重ねて表示される。撮像画像５１は、撮像ユニット１２の顕微鏡倍率により低倍率（Ｌｏ）のマクロ撮像画像と、高倍率（Ｈｉ）のミクロ撮像画像とを切り替えて表示することができる。ターゲットウインドウ５２は、大きさを自在に変更することができる。操作キー５３は、画像表示領域５０内の右辺部に表示されるＹ軸操作キー５４と、下辺部に表示されるＸ軸操作キー５５とを有する。Ｙ軸操作キー５４は、撮像画像５１を画像表示領域５０内で上下にそれぞれ動かす操作キー５４ａ，５４ｂからなる。また、Ｘ軸操作キー５５は、撮像画像５１を画像表示領域５０内で左右にそれぞれ動かす操作キー５５ａ，５５ｂからなる。

第１操作キー領域６０は、アライメントデータの設定モードの動作を進行させるための操作キーが配置された領域であり、例えば、オペレーターの指示を入力するためのＥＮＴＥＲキー６１、現在の表示画面から上の階層の画面に抜けるためのＥＸＩＴキー６２が設けられている。

第２操作キー領域７０は、アライメントデータの設定モードの制御機能を実施するための機能キー（操作キー）が配置された領域である。これらの機能キーは、表示される画面に応じてソフトウェアによって切り替えられる。「ティーチ」画面では、例えば、ターゲットウインドウ５２を調整するための画面に遷移するウインドウ調整キー７１、ウエーハ１００のθ合わせを実施するθ合わせキー７２、光源２３の光量調整画面に遷移する光量キー７３、撮像ユニット１２のフォーカス調整画面に遷移するフォーカスキー７４、撮像ユニット１２の倍率を低倍率（Ｌｏ）と高倍率（Ｈｉ）とで切り替える倍率変更キー７５が設定されている。

［θ合わせ］
操作パネル１７に上記した操作画面画像が表示されると、オペレーターは、チャックテーブル１１上のウエーハ１００の向きとＸ軸方向（加工送り方向）とを一致させる（アライメントする）ためにθ合わせを行う。このθ合わせは、低倍率のマクロ画像で行う低倍θ合わせと、高倍率のミクロ画像で行う高倍θ合わせの二段階で行われる。低倍θ合わせは、ウエーハ１００の向きとＸ軸方向（加工送り方向）との粗合わせであり、高倍θ合わせは、ウエーハ１００の向きとＸ軸方向（加工送り方向）との精密合わせである。

本実施形態では、操作パネル１７に表示される表示画面に変更が生じる度、または所定の間隔で、操作画面画像として操作画面画像記憶部４３に記憶されている。この際、各操作キーが操作されるタイミング（設定モード開始からの時間）と、操作パネル１７上の操作された位置の座標情報も合わせて操作画面画像に関連づけて記憶される。以下の操作についても同様とする。

低倍θ合わせを行う場合、オペレーターは、ウエーハ１００の一端（例えば左端）の近くを撮像ユニット１２の下方に位置づけ、Ｙ軸操作キー５４及びＸ軸操作キー５５をそれぞれ操作して、例えば撮像画像５１中のデバイス１０４のエッジラインにターゲットウインドウ５２の中心を合わせた後、θ合わせキー７２にタッチする。次に、オペレーターは、ウエーハ１００の他端（例えば右端）の近くを撮像ユニット１２の下方に位置づけ、撮像画像５１中のデバイス１０４のエッジラインにターゲットウインドウ５２の中心を合わせた後、再びθ合わせキー７２をタッチする。これにより、中央制御部３１は、Ｘ軸方向の距離とＹ軸方向の距離からθ角度の粗補正を実行する。また、低倍θ合わせの操作に関する一連の操作画面画像は操作画面画像記憶部４３に記憶される。

高倍θ合わせを行う場合、オペレーターは、倍率変更キー７５にタッチして、撮像ユニット１２の倍率を高倍率（Ｈｉ）とする。この高倍率の状態で、オペレーターは、上記した低倍θ合わせの時と同様の操作により高倍θ合わせを実行する。これにより、中央制御部３１は、Ｘ軸方向の距離とＹ軸方向の距離からθ角度の精密補正を実行する。また、高倍θ合わせの操作に関する一連の操作画面画像は操作画面画像記憶部４３に記憶される。

［ターゲット設定］
次に、オペレーターは、ウエーハ表面に設けられたターゲットの設定を行う。このターゲット設定は、ウエーハのアライメントをする際の基準となるターゲットを設定する操作であり、低倍率のマクロ画像で行うマクロターゲット設定と、高倍率のミクロ画像で行うミクロターゲット設定の二段階で行われる。

マクロターゲット設定を行う場合、オペレーターは、倍率変更キー７５をタッチして、撮像ユニット１２の倍率を低倍率（Ｌｏ）とする。この低倍率の状態で、オペレーターは、Ｙ軸操作キー５４及びＸ軸操作キー５５をそれぞれ操作して、撮像画像５１中の所定のターゲットをターゲットウインドウ５２内に移動する。次に、オペレーターは、ターゲットウインドウ５２内にターゲットを位置づけた状態で、例えばＥＮＴＥＲキー６１にタッチする。これにより、中央制御部３１はターゲットチェックを実行する。このターゲットチェックは、ターゲットウインドウ５２によって選択されたターゲットが適切であるかを判断するものである。

ターゲットが適切かを判定するターゲットチェックが不良であれば、オペレーターはターゲットの設定からやり直す。また、ターゲットチェックが良好であれば、その旨が操作パネル１７に表示されるため、オペレーターは、ＥＮＴＥＲキー６１にタッチしてマクロターゲット設定を終了する。これらのマクロターゲット設定に関する一連の操作画面画像は操作画面画像記憶部４３に記憶される。

また、ミクロターゲット設定を行う場合、オペレーターは、倍率変更キー７５をタッチして、撮像ユニット１２の倍率を高倍率（Ｈｉ）とする。この高倍率の状態で、オペレーターは、Ｙ軸操作キー５４及びＸ軸操作キー５５をそれぞれ操作して、撮像画像５１中の所定のターゲット（マクロターゲット設定とは別のターゲットでもよい）を表示させる。次に、オペレーターは、ウインドウ調整キー７１にタッチした後、ターゲット５７に合わせてターゲットウインドウ５２のサイズ（大きさ）を調整し、この調整されたサイズのターゲットウインドウ５２をターゲット５７に重ねて表示する。ターゲットウインドウ５２のサイズの調整は、オペレーターによって異なるものであるため、調整されたサイズのターゲットウインドウ５２を含む操作画面画像を記憶しておくことは、例えば、操作が不慣れなオペレーターにとって非常に重要な学習材料となる。次に、オペレーターは、ターゲットウインドウ５２をターゲット５７に重ねて表示した状態で、例えばＥＮＴＥＲキー６１にタッチする。これにより、中央制御部３１はターゲットチェックを実行する。ターゲットチェックが不良であれば、オペレーターはターゲットの設定からやり直す。また、ターゲットチェックが良好であれば、その旨が操作パネル１７に表示されるため、オペレーターは、ＥＮＴＥＲキー６１にタッチしてミクロターゲット設定を終了する。これらのミクロターゲット設定の操作に関する一連の操作画面画像は操作画面画像記憶部４３に記憶される。

［ストリートアジャスト］
ストリートアジャストは、上記したミクロターゲット設定で接待された、例えばターゲット５７から加工されるストリート１０３までの距離を加工装置１０に設定（記憶）するための操作である。「ストリートアジャスト」画面では、第２操作キー領域７０に、ヘアライン狭くキー７７Ａ及びヘアライン広くキー７７Ｂが設定されている。また、画像表示領域５０には、高倍率の撮像画像５１に重ねてヘアライン５８が表示される。

オペレーターは、Ｙ軸操作キー５４及びＸ軸操作キー５５をそれぞれ操作して、図６に示すように、撮像画像５１内にストリート１０３を表示するように移動させる。次に、オペレーターは、ヘアライン狭くキー７７Ａまたはヘアライン広くキー７７Ｂを操作して、撮像画像５１のストリート１０３とヘアライン５８とを合わせる操作を行い、ＥＮＴＥＲキー６１にタッチする。これにより、ターゲット５７から加工されるストリート１０３までの距離（アジャスト量）が記憶部４１に設定されてストリートアジャストが終了する。これらのストリートアジャストの操作に関する一連の操作画面画像は操作画面画像記憶部４３に記憶される。

なお、上記したアライメントデータの設定モードでは、例えば、ターゲット設定の操作において、コントラストが高いターゲットを設定することが有効である。このため、ターゲットチェックを良好とし、アライメントデータの設定操作を短時間で終了させるためには、撮像ユニット１２のフォーカス設定や、光源２３の光量調整が必要となる。

次に、アライメントデータの設定モード時に、オペレーターが適宜実施する撮像ユニット１２のフォーカス設定や、光源２３の光量調整操作について説明する。

［フォーカス設定］
フォーカス設定は、撮像画像のフォーカスを合わせるための操作である。図７に示すように、画像表示領域５０にフォーカスが合っていない撮像画像５１が表示されている場合、オペレーターがフォーカスキー７４にタッチすると、操作パネル１７に図８に示す操作画面画像（「フォーカス調整」画面）が表示される。この「フォーカス調整」画面には、第２操作キー領域７０に配置された機能キー（操作キー）として、フォーカス調整に関する調整キー７８（例えばオートフォーカス）が設定されている。オペレーターが調整キー７８をタッチすることでフォーカスが調整される。これらのフォーカス設定の操作に関する一連の操作画面画像は操作画面画像記憶部４３に記憶される。

［光量調整］
光量調整は、光源２３の落射光源２３ａと斜光光源２３ｂとのバランスを変更することにより、撮像画像のコントラストを調整するためのものである。図９に示すように、画像表示領域５０にコントラストの低いターゲット５７を含む高倍率の撮像画像５１が表示されている場合、オペレーターが光量キー７３にタッチすると、操作パネル１７に図１０に示す操作画面画像（「光量調整」画面）が表示される。この「光量調整」画面には、第２操作キー領域７０に配置された機能キー（操作キー）として、光源２３の光量を変更するため光量変更キー７９が設定されている。オペレーターは、光量変更キー７９をそれぞれ操作することにより、図１０に示すように、ターゲット５７のコントラストを高めた撮像画像５１とすることができる。これらの光量調整の操作に関する一連の操作画面画像は操作画面画像記憶部４３に記憶される。

次に、アライメントデータの教育モード時の動作について説明する。図１１は、アライメントデータの教育モード時にオペレーターの操作データを選択するための画面構成の一例を示す図である。オペレーターがトップメニュー画面（不図示）から例えば「教育モードボタン」をタッチすると、図１１に示すように、オペレーターの操作データ選択画面８０が操作パネル１７に表示される。

この操作データ選択画面８０には、各オペレーターＡ、Ｂ、Ｃの操作データを選択するためのアイコン８１Ａ、８１Ｂ、８１Ｃが表示されている。アライメントデータを設定した際の一連の操作データは、複数の操作画面画像、操作タイミング、操作位置の座標情報を関連づけて操作画面画像記憶部４３に記憶されている。各アイコン８１Ａ〜８１Ｃには、オペレーター名と設定操作に要した時間とが表示されている。教育対象のオペレーターが、操作データを確認したいオペレーターのアイコン８１Ａ〜８１Ｃにタッチすると、操作画面画像再生制御部３３は、選択されたオペレーターに対応する操作データを操作画面画像記憶部４３から読み出し、アライメントデータの設定時に、オペレーターが操作パネル１７に対して操作した複数の操作画面画像を操作の順番に従って時系列に再生処理する。

また、操作画面画像再生制御部３３は、操作開始から該当する操作が実施されたタイミング（間隔）に従って、操作画面画像を切り替えるとともに、座標情報から実際に操作された操作キーまたは操作領域の色を周囲と変更して表示する。これにより、オペレーターが実際にどの操作キーをどれだけ（何回）操作して一連の設定操作を処理しているかを視覚的に学習することができるため、操作スキルをオペレーター間で共有することができる。特に、光源２３の光量調整やターゲットウインドウ５２のサイズ調整のコツは、文章では伝達しにくいものであるため、複数の画像を順次切り替えて表示することにより、他のオペレーターに伝達しやすくなる。

また、本実施形態では、オペレーターごとにアライメントデータの設定時の一連の操作データが記憶され、この操作データを再生することができる。このため、例えば、設定操作の時間が速いオペレーターと、時間のかかるオペレーターとの実際の操作を比較することにより、時間のかかるオペレーターがどの操作で時間を要しているのか、また、時間が速いオペレーターはどのように工夫して操作しているのかを容易に判別することができる。このため、操作スキルをオペレーター間で共有することで、各オペレーターの操作スキルの向上を実現することができる。

以上、本実施形態によれば、チャックテーブル１１に保持されたウエーハ１００を加工する加工ユニット１３と、ウエーハ１００を撮像する撮像ユニット１２と、撮像ユニット１２によって撮像されたウエーハ表面の画像を表示し、かつ加工装置１０の各種制御機能を実施するための複数の操作キーを表示する操作パネル１７と、各種制御機能を制御する制御ユニット１６とを備え、制御ユニット１６は、オペレーターが操作パネル１７を操作する任意の一連の動作において、オペレーターが操作した操作キーを含む操作画面画像及び操作したタイミングを操作データとして時系列に沿って記憶したため、例えば、記憶した操作画面画像を時系列に再生することにより、複数のオペレーターが操作データを共有してオペレーターの操作スキルの向上を図ることができる。

また、本実施形態によれば、制御ユニット１６は、任意の一連の動作の進行中に操作パネル１７に表示される操作画面画像を任意の間隔で該操作データとして記憶する操作画面画像記憶部４３と、複数の操作画面画像をオペレーターが実際に操作した間隔に従い連続的に出力して、該操作パネル１７上で再生する操作画面画像再生制御部３３とを備えるため、オペレーターが実際にどの操作キーをどれだけ操作して一連の動作を処理しているかを視覚的に学習することができる。このため、操作スキルをオペレーター間で共有することができる。

また、任意の間隔は、オペレーターが操作キーを操作し、操作パネル１７に表示される表示画面に変更が生じたタイミングであるため、オペレーターが実施した操作をもれなく操作画面画像として記憶することができる。

また、制御ユニット１６は、操作を行うオペレーター情報を登録するオペレーター情報記憶部４４を備え、一連の操作画面画像を含む操作データは、オペレーター情報と関連づけて記憶されるため、各オペレーターの操作の差異を視覚的に比較することができる。このため、各オペレーターの長所及び短所を学習することにより、操作スキルをオペレーター間で共有し、操作スキルの向上を図ることができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、上記実施形態では、操作画面画像を記憶する任意の間隔を、オペレーターが操作キーを操作し、操作パネル１７に表示される表示画面に変更が生じたタイミングとしたが、これに限るものではなく、例えば、単位時間（例えば１秒間）あたりに所定フレーム数（例えば５〜２０フレーム）記憶して連続的に記憶してもよい。また、本実施形態では、一連の操作画面画像を含む操作データを記憶して、これら操作画面画像を時系列に従って再生する構成としたが、例えば、表計算プログラムのマクロ機能のように、同じウエーハをアライメントする際の一連の動作を記憶した操作データによって加工装置に再現可能としてもよい。この場合、中央制御部３１がアライメントする際の一連の動作を再現する再現部として機能する。

１０ 加工装置
１１ チャックテーブル
１２ 撮像ユニット
１３ 加工ユニット
１６ 制御ユニット
１７ 操作パネル
２３ 光源
２３ａ 落射光源
２３ｂ 斜光光源
３０ 制御部
３１ 中央制御部
３３ 操作画面画像再生制御部
４０ 登録部
４３ 操作画面画像記憶部
４４ オペレーター情報記憶部（オペレーター情報登録部）
５０ 画像表示領域
５１ 撮像画像
５２ ターゲットウインドウ
５８ ヘアライン
１００ ウエーハ（被加工物）
１０３ ストリート
１０４ デバイス

Claims (4)

1. チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
   該被加工物を撮像する撮像ユニットと、
   該撮像ユニットによって撮像された被加工物の表面の画像を表示し、かつ加工装置の各種制御機能を実施するための複数の操作キーを表示する操作パネルと、
   該各種制御機能を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、
   該制御ユニットは、
   オペレーターが該操作パネルを操作する任意の一連の動作において、該オペレーターが操作した該操作キー及び操作したタイミングを操作データとして時系列に沿って記憶したことを特徴とする加工装置。
2. 該制御ユニットは、
   該任意の一連の動作の進行中に該操作パネルに表示される操作画面画像を任意の間隔で該操作データとして記憶する操作画面画像記憶部と、
   複数の該操作画面画像をオペレーターが実際に操作した間隔に従い連続的に出力して、該操作パネル上で再生する操作画面画像再生制御部と、
   を備えることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
3. 該任意の間隔は、オペレーターが該操作キーを操作し、該操作パネルに表示される操作画面に変更が生じたタイミングであることを特徴とする請求項２に記載の加工装置。
4. 該制御ユニットは、
   操作を行うオペレーター情報を登録するオペレーター情報登録部を備え、
   該操作データは、該オペレーター情報と関連づけて記憶されることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の加工装置。