JP7316189B2 - 気相成長装置用部品の洗浄装置 - Google Patents
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- 被洗浄物に付着した反応生成物を洗浄ガスとともに加熱して除去する洗浄炉を備えた気相成長装置用部品の洗浄装置において、
前記洗浄炉は、被洗浄物を収容する収容器と、該収容器を内部に囲うチャンバーと、該チャンバーの内周面に沿って立設された支持部材とを有し、
前記洗浄炉の底部は、前記収容器の底部を支持し、前記洗浄炉の外部から洗浄ガスの供給が可能なガス供給経路と、前記洗浄炉の外部へ洗浄排ガスの排出が可能なガス排出経路とを有する底蓋によって開閉可能に形成されており、
前記収容器は、天面及び側面を構成する収容器上部と、底面を構成する収容器下部と、該収容器下部に載置されて被洗浄物を支持する被洗浄物支持体とを備え、前記収容器上部と前記収容器下部とは分離可能に形成されており、
前記収容器上部には、側面から外周に沿って水平方向に突き出た鍔部が設けられ、前記収容器下部には、前記ガス供給経路に接続する給気口と、前記ガス排出経路に接続する排気口とが設けられており、
前記洗浄炉の下方には、前記底蓋を昇降する底蓋昇降手段を備え、前記底蓋が前記底蓋昇降手段によって上昇して前記洗浄炉の底部が閉じられると、前記収容器下部が前記洗浄炉内で前記収容器上部を支持部材よりも上方に押し上げ、前記底蓋が前記底蓋昇降手段によって下降して前記洗浄炉の底部が開かれると、前記支持部材が前記収容器上部の前記鍔部に下方から当接して前記収容器上部を前記洗浄炉内に支持することを特徴とする気相成長装置用部品の洗浄装置。
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JP2019194170A JP7316189B2 (ja) | 2019-10-25 | 2019-10-25 | 気相成長装置用部品の洗浄装置 |
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JP2017209596A (ja) | 2016-05-23 | 2017-11-30 | 大陽日酸株式会社 | 気相成長装置用部品の洗浄装置 |
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