JP7269802B2 - サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Description
1 :ヘッド基板
1A :材料基板
2 :保護層
3 :電極層
3A :導電膜
4 :抵抗体層
4A :抵抗体膜
5 :接続基板
7 :ドライバIC
8 :放熱部材
11 :主面
11A :主面
13 :凸部
13A :凸部中間体
15 :蓄熱部
19 :絶縁層
21 :パッド用開口
31 :個別電極層
32 :共通電極層
41 :発熱部
59 :コネクタ
61 :ワイヤ
62 :ワイヤ
78 :保護樹脂
91 :プラテンローラ
130 :頂面
130A :頂面
131 :第1傾斜外面
131A :傾斜外面
132 :第2傾斜外面
150 :微小柱状蓄熱部材
150A :柱状微小細孔
311 ;電極パッド部
323 :共通部
324 :櫛歯部
325 :延長部
x :主走査方向
y :副走査方向
α1、α2:角度
Claims (2)
- 主面を有する基板と、上記基板の上記主面上に形成され、主走査方向に延びる凸部と、上記凸部の頂面に主走査方向に配列された複数の発熱部と、を含み、上記凸部には、その頂面に上端が位置し、上記凸部の深さ方向に所定長さで延びる多数の微小柱状蓄熱部材を、副走査方向所定幅で主走査方向に所定長さ延びる所定領域に埋設形成することにより、蓄熱部が形成されており、上記凸部は、上記頂面と、当該頂面に対して副走査方向両側につながり、かつ当該頂面から副走査方向に離れるにしたがって低位となるように上記主面に対して傾斜する一対の第1傾斜外面とを含む、サーマルプリントヘッドの製造方法であって、
主面を有する単結晶半導体からなる材料基板の上記主面における上記凸部の上記頂面となるべき領域に上記多数の微小柱状蓄熱部材を埋設配置した後、
上記材料基板の上記主面に対して異方性エッチングを行うことにより、上記一対の傾斜外面と上記頂面とを有する上記凸部を形成するに際し、
上記多数の微小柱状蓄熱部材は、Siウエハからなる上記材料基板の上記主面に深掘りエッチングにより上記材料基板の厚み方向に延びる多数の微小細孔を形成し、熱酸化処理を行うことにより上記多数の微小細孔をSiO2に変化させることにより形成し、
上記一対の第1傾斜外面は、上記材料基板の(100)面である上記主面に対し、上記材料基板の上記主面のうち、上記多数の微小蓄熱部材が埋設形成された領域をマスクとして異方性エッチングを行うことにより形成することを特徴とする、サーマルプリントヘッドの製造方法。 - 主面を有する基板と、上記基板の上記主面上に形成され、主走査方向に延びる凸部と、上記凸部の頂面に主走査方向に配列された複数の発熱部と、を含み、上記凸部には、その頂面に上端が位置し、上記凸部の深さ方向に所定長さで延びる多数の微小柱状蓄熱部材を、副走査方向所定幅で主走査方向に所定長さ延びる所定領域に埋設形成することにより、蓄熱部が形成されており、上記凸部は、上記頂面と、当該頂面に対して副走査方向両側につながり、かつ当該頂面から副走査方向に離れるにしたがって低位となるように上記主面に対して傾斜する一対の第2傾斜外面と、上記一対の第2傾斜外面に対して上記頂面とは副走査方向の反対側につながり、かつ当該頂面から副走査方向に離れるにしたがって低位となるように、上記主面に対して上記一対の第2傾斜外面よりも大きな角度で傾斜する一対の第1傾斜外面とを含みを含む、サーマルプリントヘッドの製造方法であって、
主面を有する単結晶半導体からなる材料基板の上記主面における上記凸部の上記頂面となるべき領域に上記多数の微小柱状蓄熱部材を埋設配置した後、
上記材料基板の上記主面に対して異方性エッチングを行うことにより、上記一対の第1傾斜外面と、上記第2傾斜外面と、上記頂面とを有する上記凸部を形成するに際し、
上記多数の微小柱状蓄熱部材は、Siウエハからなる上記材料基板の上記主面に深掘りエッチングにより上記材料基板の厚み方向に延びる多数の微小細孔を形成し、熱酸化処理を行うことにより上記多数の微小細孔をSiO2に変化させることにより形成し、
上記一対の第1傾斜外面および上記一対の第2傾斜外面は、上記材料基板の(100)面である上記主面に対して異方性エッチングを行うことにより上記一対の第1傾斜外面となるべき一対の傾斜外面を形成した後、上記材料基板の上記主面のうち、上記多数の微小蓄熱部材が埋設形成された領域をマスクとして追加の異方性エッチングを行うことにより、上記一対の第2傾斜外面を形成することを特徴とする、サーマルプリントヘッドの製造方法。
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