JP7248147B2 - 天井搬送車 - Google Patents

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Description

本発明の一側面は、天井搬送車に関する。
天井等に敷設された軌道を走行する走行部と、棚又はロードポート等の移載部に物品を移載する把持部を有する昇降部とが設けられた天井搬送車が知られている。昇降部は、ベルト等の複数の吊持部材によって吊り下げ保持されており、当該吊持部材を巻取りないし繰出しすることによって昇降される。このような天井搬送車では、昇降時に昇降部を移載部に対して平行（移載部が水平な場合は昇降部も水平）に維持することが求められている。
例えば、特許文献１には、二重巻きされた２本の吊持部材（昇降ベルト）が次層の巻き取りに移行するタイミングのずれに起因するドラム一回転当たりの巻取差の累積が、昇降部（荷台）を必要な水平度に保持し得る所定値未満となるように、両吊持部材のドラムに対する固定端位置と、ドラムの巻取面から延びる両吊持部材の巻出し角とが設定されている、天井搬送車が開示されている。この天井搬送車によれば、２本の吊持部材の巻取差を許容範囲内に抑え、荷台を昇降位置によらず常に水平に保持することができる。
特開平１０－１９４４１０号公報
しかしながら、昇降部の傾きは、二重巻きされた吊持部材の次層への巻取タイミングに起因するだけではなく、吊持部材の厚みの誤差又は巻取ドラムの直径の誤差にも起因する。すなわち、昇降部の傾きは、巻取ドラム一回転当たりの巻取量が、巻取量が増えるに従って増加する巻取量の変動にも起因する。このような変動に対しては、巻取部にテープを貼付すること等により、巻き太り量を調整し、昇降部の傾きの変動が小さくなるように調整していた。しかしながら、このような処置は、手作業により実施されていたので作業者の負担が大きい。このような昇降部の傾きは、更に、吊持部材の巻取速度等、巻取部の機械誤差にも起因することもある。これら各種要因に対応するためには、昇降部の傾きを容易に調整することが必要とされる。
そこで、本発明の一側面の目的は、昇降部の傾きを容易に調整することが可能な天井搬送車を提供することにある。
本発明の一側面に係る天井搬送車は、軌道に沿って走行する走行部に対し、物品を把持する把持部を有する昇降部を複数の吊持部材によって昇降させるようにした天井搬送車であって、一の巻取駆動部によって駆動され、複数の吊持部材の巻き取り及び繰り出しを行うことにより、昇降部を昇降させる巻取ドラムと、巻取ドラムから繰り出される吊持部材が巻き掛けられる少なくとも一つの案内ローラと、走行部に設けられ、巻取ドラム及び案内ローラを支持する本体フレームと、吊持部材の昇降部への接続部分が昇降方向に移動するように、少なくとも一つの案内ローラの位置を移動させるアクチュエータと、を備える。
この構成の天井搬送車では、アクチュエータを作動させることにより吊持部材の昇降部への接続部分が移動する。このため、アクチュエータを作動させるという簡易な作業によって、上記接続部分を上方に移動させたり、下方に移動させたりできる。これにより、昇降部の傾きを容易に調整することが可能となる。
本発明の一側面に係る天井搬送車では、複数の吊持部材は、昇降部の三点を吊り下げるように設けられており、アクチュエータは、三点のうち二点を吊り下げる吊持部材が巻き掛けられる案内ローラの位置を移動させてもよい。この構成では、昇降部を安定した状態で吊り下げることができる。また、二点を吊り下げる吊持部材が巻き掛けられる案内ローラを移動させることにより、昇降部を所望の傾き状態にすることができる。
本発明の一側面に係る天井搬送車では、昇降部は、接続部材を介して四本の吊持部材によって吊り下げられており、四本のうち二本の吊持部材は、昇降部に対して揺動可能に設けられた一の揺動部に接続されており、四本のうち残りの二本の吊持部材のそれぞれは、昇降部に接続されていてもよい。この構成では、四本の吊持部材によって昇降部を吊り下げた場合であっても、昇降部は、二本の吊持部材及び揺動部材の三点で吊り下げられた状態とすることができる。これにより、吊持部材が切断されたときに昇降部が落下する可能性を低減すると共に、昇降部を安定した状態で吊り下げることができる。
本発明の一側面に係る天井搬送車は、昇降部を水平方向に移動させる水平移動部と、水平移動部による昇降部の移動時に生じる水平移動部の撓み量に基づいて、アクチュエータによる案内ローラの移動量を制御する第一制御部と、を更に備えてもよい。この構成では、上記撓み量に基づいて、水平方向に物品を移載するときの昇降部の傾きが、例えば、水平状態となるように、又は移載部の傾きと略同一の状態となるように、アクチュエータが制御される。この結果、昇降部から移載部に安定的に物品を受け渡すことができる。
本発明の一側面に係る天井搬送車は、昇降部の水平方向に対する傾きを取得する傾き検出部と、傾き検出部によって取得される傾きが所定値となるようにアクチュエータを制御する第二制御部と、を更に備えてもよい。この構成では、昇降部を常に所望の傾きの状態（水平状態を含む）とすることができる。
本発明の一側面に係る天井搬送車は、天井搬送車との間で物品の受け渡しが行われる移載部ごとの傾きを記憶する記憶部と、昇降部における傾きが、物品を載置しようとする移載部における傾きと略同一となるようにアクチュエータを制御する第三制御部と、を更に備えてもよい。この構成では、昇降部から移載部へ物品を受け渡す際に、昇降部の傾きを移載部の傾きに一致させることができるので、昇降部から移載部に安定的に物品を受け渡すことができる。
本発明の一側面によれば、昇降部の傾きを容易に調整することができる。
図１は、一実施形態の天井搬送車の側面図である。 図２は、保持ユニットの正面図である。 図３は、第一緩衝機構の側面図である。 図４は、第二緩衝機構の側面図である。 図５は、リンク機構の斜視図である。 図６は、昇降駆動ユニットの正面図である。 図７は、昇降駆動ユニットの側面図である。 図８（Ａ）及び図８（Ｂ）は、昇降駆動ユニットの動作を示す正面図である。 図９（Ａ）及び図９（Ｂ）は、昇降駆動ユニットの動作を示す側面図である。 図１０は、図１の天井搬送車の機能構成を示すブロック図である。 図１１は、変形例１に係る昇降駆動ユニットの正面図である。 図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）は、変形例１に係る昇降駆動ユニットの動作を示す正面図である。 図１３は、変形例２に係る昇降駆動ユニットの正面図である。 図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）は、変形例２に係る昇降駆動ユニットの動作を示す正面図である。
図１に示されるように、一実施形態の天井搬送車１は、半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された軌道１００に沿って走行する。一実施形態の天井搬送車１は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）（物品）２００の搬送、及び、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられたロードポート（移載部）３００等に対するＦＯＵＰ２００の移載を行う。
天井搬送車１は、フレームユニット２と、走行ユニット（走行部）３と、ラテラルユニット（水平移動部）４と、シータユニット５と、昇降駆動ユニット６と、保持ユニット（昇降部）７と、コントローラ８と、を備えている。フレームユニット２は、センターフレーム２１と、フロントフレーム２２と、リアフレーム２３と、を有している。フロントフレーム２２は、センターフレーム２１における前側（天井搬送車１の走行方向における前側）の端部から下側に延在している。リアフレーム２３は、センターフレーム２１における後側（天井搬送車１の走行方向における後側）の端部から下側に延在している。
走行ユニット３は、センターフレーム２１の上側に配置されている。走行ユニット３は、例えば、軌道１００に沿って敷設された高周波電流線から非接触で電力の供給を受けることで、軌道１００に沿って走行する。ラテラルユニット４は、センターフレーム２１の下側に配置されている。ラテラルユニット４は、シータユニット５、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を横方向（天井搬送車１の走行方向における側方）に移動させる。シータユニット５は、ラテラルユニット４の下側に配置されている。シータユニット５は、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を水平面内において回動させる。
昇降駆動ユニット６は、シータユニット５の下側に配置されている。昇降駆動ユニット６は、保持ユニット７を昇降させる。保持ユニット７は、昇降駆動ユニット６の下側に配置されている。保持ユニット７は、ＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１を保持する。コントローラ８は、センターフレーム２１に配置されている。コントローラ８は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等によって構成された電子制御ユニットである。コントローラ８は、天井搬送車１の各部を制御する。
以上のように構成された天井搬送車１は、一例として、次のように動作する。ロードポート３００から天井搬送車１にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１がロードポート３００の上方に停止する。保持ユニット７の水平位置がロードポート３００の真上の位置からずれている場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、昇降駆動ユニット６ごと保持ユニットの水平位置及び角度を微調整する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を下降させ、保持ユニット７が、ロードポート３００に載置されているＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１を保持する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を上昇端まで上昇させて、フロントフレーム２２とリアフレーム２３との間にＦＯＵＰ２００を配置する。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１が走行を開始する。
一方、天井搬送車１からロードポート３００にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１がロードポート３００の上方に停止する。保持ユニット７（ＦＯＵＰ２００）の水平位置がロードポート３００の真上の位置からずれている場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、昇降駆動ユニット６ごと保持ユニットの水平位置及び角度を微調整する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を下降させて、ロードポート３００にＦＯＵＰ２００を載置し、保持ユニット７がＦＯＵＰ２００のフランジ部２０１の保持を解放する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を上昇端まで上昇させる。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１が走行を開始する。
次に、保持ユニット７の構成について詳細に説明する。図１及び図２に示されるように、保持ユニット７は、ベース７１と、一対のグリッパ（把持部）７２と、筐体７３を有している。一対のグリッパ７２は、水平方向に沿って開閉可能となるようにベース７１によって支持されている。一対のグリッパ７２は、駆動モータ（図示省略）及びリンク機構（図示省略）によって開閉させられる。本実施形態では、一対のグリッパ７２，７２が開状態のときに、グリッパ７２の保持面がフランジ部２０１の下面の高さより下方となるように、保持ユニット７の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のグリッパ７２，７２が閉状態となることで、グリッパ７２の保持面がフランジ部２０１の下面の下方へ進出し、この状態で昇降駆動ユニット６を上昇させることにより、一対のグリッパ７２，７２によってフランジ部２０１が保持（把持）され、ＦＯＵＰ２００が支持される。保持ユニット７において、ベース７１は、筐体７３の底壁を構成しており、筐体７３に対する位置が固定されている。
本実施形態の保持ユニット７には、第一緩衝機構５０（図３参照）及び第二緩衝機構４０（図４参照）を介してベルトＢの一端が接続される。ここで、第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０について詳細に説明を行う。図３は、第一緩衝機構５０の側面図であり、図４は、第二緩衝機構４０の側面図である。なお、図３は、説明の便宜のため後述する第一本体部材５４の一部（第二支持部材５４Ｂ）及び第一緩衝機構５０に連結されるリンク機構８０の図示を省略している。また、図４も、説明の便宜のため後述する第四本体部材４６の一部（第四支持部材４６Ｂ）及び第二緩衝機構４０に連結されるリンク機構８０の図示を省略している。図３及び図４に示されるように、第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０は、ベルトＢと保持ユニット７（図１参照）とを連結する機構であり、走行ユニット３が走行するとき又は保持ユニット７が昇降するときの振動がＦＯＵＰ２００に伝わることを抑制する機構である。
図２に示されるように、第一緩衝機構５０は、左右方向において保持ユニット７の左側に設けられている。また、第一緩衝機構５０は、図３に示されるように前後方向において二箇所に配置されている。第一緩衝機構５０は、接続部材５１と、揺動部材５３と、第一本体部材５４と、第二本体部材５６と、第一軸部５７，５７と、第一バネ部材５８，５８と、を有している。
接続部材５１は、ベルトＢに取り付けられる部材である。揺動部材５３は、接続部材５１に連結される部材である。揺動部材５３は、第一ピン部材５２を介して接続部材５１に回転可能に連結される。第一本体部材５４は、上端が開口する略Ｕ字状の部材であり、その底部は、水平方向に平坦となるように形成されている。第一本体部材５４は、その上端が揺動部材５３の両端にボルト５５によって連結されている。第一本体部材５４は、第一支持部材５４Ａ（図５参照）と、第二支持部材５４Ｂ（図５参照）とを有している。第一支持部材５４Ａは、第一バネ部材５８，５８を下方から支持する。第二支持部材５４Ｂは、第一支持部材５４Ａに直交する部材である。
第二本体部材５６は、前後方向における揺動部材５３及び第一本体部材５４の略中心部同士を連結する部材である。一対の第一軸部５７，５７は、第一本体部材５４から上方に延びる棒状の部材であり、前後方向に第二本体部材５６を挟むように配置されている。一対の第一バネ部材５８，５８は、所定のバネ定数を有する圧縮コイルバネであり、一対の第一軸部５７，５７にそれぞれ挿通されている。一対の第一バネ部材５８，５８の上端には、ベース７１が接触する状態で配置されている。第一バネ部材５８は、ベース７１をＦＯＵＰ２００の把持方向（鉛直方向下方）とは反対側の上方へ押圧する。防振部としての第一バネ部材５８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。
図２に示されるように、第二緩衝機構４０は、左右方向において保持ユニット７の右側に設けられている。第二緩衝機構４０は、図４に示されるように、前後方向において中央部近傍に配置されている。第二緩衝機構４０は、接続部材４１，４１と、揺動部材（揺動部）４３と、第三本体部材４５と、第四本体部材４６と、第二軸部４７，４７と、第二バネ部材４８，４８と、を有している。
接続部材４１，４１は、ベルトＢ，Ｂが取り付けられる部材である。揺動部材４３は、一対の接続部材４１，４１と、第三本体部材４５とを連結する部材である。一対の接続部材４１，４１と揺動部材４３とは、双方向に回転可能に連結され、一対の第三ピン部材４２，４２を介して連結される。揺動部材４３と第三本体部材４５とは、第四ピン部材４４を介して連結されている。第四本体部材４６は、第三本体部材４５の下端に連結されており、水平方向に延びる板材である。第四本体部材４６は、第三支持部材４６Ａ（図５参照）と、第四支持部材４６Ｂ（図５参照）とを有している。第三支持部材４６Ａは、第二バネ部材４８，４８を下方から支持する。第四支持部材４６Ｂは、第三支持部材４６Ａに直交する部材である。
一対の第二軸部４７，４７は、第四本体部材４６から上方に延びる棒状の部材であり、前後方向に第三本体部材４５を挟むように配置されている。一対の第二バネ部材４８，４８は、所定のバネ定数を有する圧縮コイルバネであり、一対の第二軸部４７，４７にそれぞれ挿通されている。一対の第二軸部４７，４７の上端には、ベース７１が接触する状態で配置されている。第二バネ部材４８は、ベース７１をＦＯＵＰ２００の把持方向（鉛直方向下方）とは反対側の上方へ押圧する。防振部としての第二バネ部材４８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。
図５に示されるように、リンク機構８０は、前後方向（走行方向）及び上下方向（鉛直方向）の両方に直交する左右方向（幅方向）に配列された二つの第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０を連結すると共に、前後方向に配列された二つの第一緩衝機構５０，５０同士を連結する。リンク機構８０は、第一緩衝機構５０における第一本体部材５４とベース７１との間の距離と、第二緩衝機構４０における第四本体部材４６とベース７１との間の距離と、を互いに近づけるように動作する。また、リンク機構８０は、左側に配置される第一緩衝機構５０における第一本体部材５４とベース７１との間の距離と、右側に配置される第一緩衝機構５０における第一本体部材５４とベース７１との間の距離とを互いに近づけるように動作する。すなわち、リンク機構８０は、天井搬送車１のスタビライザとして機能する。
次に、昇降駆動ユニット６の構成について詳細に説明する。図６及び図７に示されるように、昇降駆動ユニット６は、ベース（本体フレーム）６１と、支持部６２と、四つ（複数）の巻取ドラム６３と、駆動モータ（巻取駆動部）６３Ａと、第一アイドラローラ６５Ａと、第二アイドラローラ（案内ローラ）６５Ｂと、第三アイドラローラ６４と、直動機構（アクチュエータ）６７と、揺動部材６８と、四つ（複数）のベルト（吊持部材）Ｂと、を有している。
ベース６１は、走行ユニットに設けられている。ベース６１は、支持部６２を介して巻取ドラム６３及び第一アイドラローラ６５Ａを支持している。支持部６２は、四つの巻取ドラム６３を回転可能に支持する。四つの巻取ドラム６３は、前後方向に配列されており、駆動モータ６３Ａによる駆動によって四つのベルトＢのそれぞれを巻き取り又は繰り出しする。なお、図７、図９（Ａ）、図９（Ｂ）においては、第二緩衝機構４０に接続されるベルトＢが巻き取りされる巻取ドラム６３の図示を省略する。支持部６２は、第一アイドラローラ６５Ａ及び揺動部材６８の一端部６８Ａを揺動可能に支持している。
各巻取ドラム６３は、回転可能となるように支持部６２を介してベース６１に取り付けられている。駆動モータ６３Ａは、各巻取ドラム６３を回転させるための駆動源であり、ベース６１に固定されている。四つの巻取ドラム６３は、図示しない共通の回動軸に取り付けられることにより、あるいは図示しない連動機構で連結されることにより、一の駆動モータ６３Ａによって駆動される。
各ベルトＢの一端は保持ユニット７に接続されており、各ベルトＢの他端は各巻取ドラム６３に接続されている。本実施形態では、四本のベルトＢは、保持ユニット７の三点を吊り下げるように設けられている。より詳細には、保持ユニット７は、四本のベルトＢによって吊り下げられており、四本のうち二本のベルトＢは、保持ユニット７に対して揺動可能に設けられた一つの揺動部材４３（図４参照）に接続部材４１を介して接続されており、四本のうち残りの二本のベルトのそれぞれは、保持ユニット７に対して揺動可能に設けられた揺動部材５３に接続部材５１を介して接続されている。
第一アイドラローラ６５Ａ及び第二アイドラローラ６５Ｂは、第一緩衝機構５０に接続されるベルトＢの移動を案内する。第一緩衝機構５０に接続されるベルトＢは二本あり、第一アイドラローラ６５Ａ及び第二アイドラローラ６５Ｂも、それぞれのベルトＢに対応して設けられる。第一アイドラローラ６５Ａは支持部６２に設けられており、ベース６１に対して相対的に移動しない。第二アイドラローラ６５Ｂは、後述する揺動部材６８に設けられており、ベース６１に対して相対的に移動する。なお、第二アイドラローラ６５Ｂがベース６１に対して相対的に移動する構成は後段にて説明する。第三アイドラローラ６４は、第二緩衝機構４０に接続されるベルトＢの移動を案内する。第二緩衝機構４０に接続されるベルトＢは二本あり、第三アイドラローラ６４も、それぞれのベルトＢに対応して設けられる。
直動機構６７は、主に、駆動モータ６７Ａと、ねじ軸６７Ｂと、ボールナット６７Ｃと、を有しており、駆動モータ６７Ａの回転運動を直線運動に変換する公知の機構である。直動機構６７は、ブラケット６６を介してベース６１に固定されている。駆動モータ６７Ａの駆動により、ねじ軸６７Ｂに沿って移動するボールナット６７Ｃには、揺動部材６８の他端部６８Ｂが揺動可能に接続されている。本実施形態では、ねじ軸６７Ｂに沿ってボールナット６７Ｃが移動することにより揺動部材６８が揺動し、当該揺動部材６８の揺動に伴い第二アイドラローラ６５Ｂがベース６１に対して相対的に移動する。このように、直動機構６７は、ベルトＢの保持ユニット７（第一緩衝機構５０）への接続部分（ベルトＢの一端）が昇降方向に移動するように、第二アイドラローラ６５Ｂの位置を移動させる。
例えば、図８（Ａ）に示されるように、両方の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の左側を上方に傾けることができる。また、例えば、図８（Ｂ）に示されるように、両方の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させれば、保持ユニット７の左側を下方に傾けることができる。
また、例えば図９（Ａ）に示されるように、二つの直動機構６７のうち一方（前側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の前側を上方に傾けることができる。保持ユニット７の前側を上方に傾けたい場合には、二つの直動機構６７のうち他方（後側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させてもよい。
また、例えば図９（Ｂ）に示されるように、二つの直動機構６７のうち他方（後側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の後側を上方に傾けることができる。保持ユニット７の後側を上方に傾けたい場合には、二つの直動機構６７のうち一方（前側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させてもよい。
本実施形態では、二つの直動機構６７の両方又は一方を作動させることによって保持ユニット７の水平面に対する傾きを調整することができる。このような構成において、図１０に示されるように、直動機構６７は、リモコン８Ａ等の操作手段からコントローラ８を介した操作が可能である。コントローラ８とリモコン８Ａとの接続は、有線であっても無線であってもよい。また、直動機構６７は、軌道１００に沿って敷設された高周波電流線を介して天井搬送車１を統括的に制御するエリアコントローラ（図示せず）等からコントローラ８を介した操作も可能である。
本実施形態では、巻取量が増えるに従って増加する巻取ドラム６３一回転当たりの巻取量の変動に起因する保持ユニット７の傾きを抑制することができる。例えば、巻取量に応じた保持ユニット７の傾きを例えば記憶部８Ｂに予め記憶しておき、コントローラ８は、記憶部８Ｂから読み出す保持ユニット７の傾きに関する情報に基づいて、直動機構６７（駆動モータ６７Ａ）を制御する。より詳細には、保持ユニット７を水平状態に維持したい場合には、巻取量に応じた保持ユニット７の傾きを記憶部８Ｂから取得し、当該取得した傾きをキャンセルする方向に直動機構６７を作動させる。保持ユニット７の傾きをロードポート３００の傾斜に合わせたい場合も、巻取量に応じた保持ユニット７の傾きを記憶部８Ｂから取得し、当該取得した傾きを所定の傾きとするように直動機構６７を作動させる。記憶部８Ｂは、天井搬送車１に設けてもよいし、天井搬送車１と離れた場所に通信可能に設けられてもよい。
また、ラテラルユニット４の進出時におけるラテラルユニット４の撓み量に基づいて、コントローラ８は直動機構６７を制御してもよい。具体的には、例えば、記憶部８Ｂを設け、当該記憶部８ＢにＦＯＵＰ２００の重量ごとの上記撓み量を記憶させておき、コントローラ（第一制御部）８は、ラテラルユニット４が水平方向にＦＯＵＰ２００を送り出したときに、当該撓み量に応じて保持ユニット７が水平となるように又はロードポート３００の傾斜と同一となるように直動機構６７を制御してもよい。
また、ロードポート３００の傾きに合わせて、コントローラ８は、保持ユニット７の傾きがロードポート３００の傾きと略同一となるように直動機構６７を制御してもよい。具体的には、ロードポート３００ごとにその傾きを記憶部８Ｂに予め記憶させておき、コントローラ（第二制御部）８は、ＦＯＵＰ２００を載置するときに、これから載置しようとするロードポート３００の傾きを記憶部８Ｂから取得し、当該ロードポートの傾きと略同一となるように直動機構６７を制御してもよい。
また、保持ユニット７に保持ユニット７の水平方向に対する傾きを取得する傾き検出部７７を、例えば保持ユニット７に設けてもよい。傾き検出部７７の例には、三軸センサ及び加速度センサ等が含まれる。コントローラ（第三制御部）８は、傾き検出部７７によって取得される傾きが所定値（例えば、水平状態又はロードポート３００の傾斜）となるように直動機構６７を制御してもよい。この場合も、ロードポート３００の傾斜に関する情報を記憶部８Ｂ等に予め記憶させておけばよい。
上記実施形態の天井搬送車１における作用効果について説明する。上記実施形態の天井搬送車１では、直動機構６７を作動させることによりベルトＢの一端（保持ユニット７への接続部分）が移動する。このため、直動機構６７を作動させるという簡易な作業によって、上記接続部分を上方に移動させたり、下方に移動させたりすることができる。すなわち、ベルトＢの一端の移動に連動させて、保持ユニット７の一部又は全部を上下方向に移動させることができる。これにより、保持ユニット７の傾きを容易に調整することが可能となる。
上記実施形態の天井搬送車１では、複数のベルトＢは、保持ユニット７の三点を吊り下げるように設けられており、直動機構６７は、三点のうち二点を吊り下げるベルトＢが巻き掛けられる第二アイドラローラ６５Ｂの位置を移動させている。このため、保持ユニット７を安定した状態で吊り下げることができる。また、二点を吊り下げるベルトＢが巻き掛けられる第二アイドラローラ６５Ｂを移動させることにより、保持ユニット７を所望の傾き状態にすることができる。
上記実施形態の天井搬送車１では、保持ユニット７は、四本のベルトＢによって吊り下げられており、四本のうち二本のベルトＢは、保持ユニット７に対して揺動可能に設けられた一の揺動部材４３に接続部材４１を介して接続されており、四本のうち残りの二本のベルトＢのそれぞれは、保持ユニット７に対して揺動可能に設けられた揺動部材５３に接続部材５１を介して接続されている。これにより、四本のベルトＢによって保持ユニット７を吊り下げた場合であっても、保持ユニット７は、二本のベルトＢ及び揺動部材４３の三点で吊り下げられた状態とすることができる。これにより、ベルトＢが切断されたときに保持ユニット７が落下する可能性を低減すると共に、保持ユニット７を安定した状態で吊り下げることができる。
上記実施形態の天井搬送車１は、ラテラルユニット４が水平方向に進出したときのラテラルユニット４の撓み量に基づいて、保持ユニット７の傾きが、例えば、水平状態となるように、又は移載部の傾きと略同一の状態となるように、直動機構６７が制御される。この結果、保持ユニット７からロードポート３００に安定的にＦＯＵＰ２００を受け渡すことができる。従来の天井搬送車は、このような保持ユニットの傾き状態を調整する手段がなかったので、保持ユニットの傾きに合わせてロードポート３００の傾きを調整していた。本実施形態では、このようなロードポート３００側での調整の必要がなくなる。
上記実施形態の天井搬送車１は、傾き検出部７７によって取得される傾きが所定値となるように直動機構６７が制御されるので、保持ユニット７を常に所望の傾きの状態（水平状態を含む）としたり、ロードポート３００の傾きに合わせた保持ユニット７の傾きの状態としたりすることができる。
上記実施形態の天井搬送車１は、天井搬送車１との間でＦＯＵＰ２００の受け渡しが行われるロードポート３００ごとの傾きを予め記憶する記憶部８Ｂを有している。このため、保持ユニット７からロードポート３００へＦＯＵＰ２００を受け渡す際に、保持ユニット７の傾きをロードポート３００の傾きに一致させることができる。この結果、保持ユニット７からロードポート３００に安定的にＦＯＵＰ２００を受け渡すことができる。
以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の一側面の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
（変形例１）
上記実施形態の天井搬送車１において、ベルトＢの一端を昇降方向に移動させるために少なくとも一つの第二アイドラローラ６５Ｂの位置を移動させる機能を有する直動機構６７に代えて、同様の機能を有するカム機構（アクチュエータ）１６７を設けてもよい。
図１１に示されるように、カム機構１６７は、主に、駆動モータ１６７Ａと、カム部材１６７Ｂと、回転軸１６７Ｃと、受け部材１６８と、を有しており、駆動モータ１６７Ａの回転運動の運動方向を変換する公知の機構である。カム機構１６７は、ブラケット６６を介してベース６１に固定されている。駆動モータ１６７Ａの回転軸１６７Ｃには、楕円状のカム部材１６７Ｂが取り付けられている。揺動部材６８の他端部６８Ｂには、矩形状の受け部材１６８が固定されている。受け部材１６８は、カム部材１６７Ｂの外周面に接するように設けられている。
カム機構１６７では、回転軸１６７Ｃの回転に伴いカム部材１６７Ｂが回転する。カム部材１６７Ｂは、楕円状に形成されているのでカム部材１６７Ｂの回転に伴い、カム部材１６７Ｂと受け部材１６８との接触部分が昇降方向に移動し、揺動部材６８の他端部６８Ｂを揺動させる。すなわち、カム部材１６７Ｂを回転させることにより揺動部材６８が揺動し、当該揺動部材６８の揺動に伴い第二アイドラローラ６５Ｂがベース６１に対して相対的に移動する。このように、カム機構１６７は、ベルトＢの保持ユニット７（第一緩衝機構５０）への接続部分（ベルトＢの一端）が昇降方向に移動するように、第二アイドラローラ６５Ｂの位置を移動させる。
例えば、図１２（Ａ）に示されるように、両方のカム機構１６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の左側を上方に傾けることができる。また、例えば、図１２（Ｂ）に示されるように、両方のカム機構１６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させれば、保持ユニット７の左側を下方に傾けることができる。
図示はしないが、二つのカム機構１６７のうち一方（前側）のカム機構１６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の前側を上方に傾けることができる。保持ユニット７の前側を傾けたい場合には、二つのカム機構１６７のうち他方（後側）のカム機構１６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させてもよい。同様に、二つのカム機構１６７のうち他方（後側）のカム機構１６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の後側を上方に傾けることができる。保持ユニット７の後側を上方に傾けたい場合には、二つのカム機構１６７のうち一方（前側）のカム機構１６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させてもよい。
このような変形例１に係る構成であっても、カム機構１６７を作動させることによりベルトＢの一端が移動する。これにより、保持ユニット７の傾きを容易に調整することが可能となる。
（変形例２）
上記実施形態の天井搬送車１では、少なくとも一つの第二アイドラローラ６５Ｂの位置を移動させることにより、ベルトＢの一端を昇降方向に移動させる例を挙げて説明したが、第二アイドラローラ６５Ｂに代えて第一アイドラローラ６５Ａの位置を移動させることにより、ベルトＢの一端を昇降方向に移動させる構成としてもよい。
図１３を用いて具体的に説明する。第二アイドラローラ２６５Ｂは、支持部６２を介してベース６１に取り付けられている。第二アイドラローラ２６５Ｂは、ベース６１に対して相対的に移動しない。第一アイドラローラ２６５Ａは、揺動部材２６８の一端部２６８Ａに設けられている。揺動部材２６８は、中心部２６８Ｂを回動軸として回動可能に設けられている。揺動部材２６８の他端２６８Ｃは、直動機構（アクチュエータ）２６７を構成するボールナット２６７Ｃに回動可能に固定されている。直動機構２６７は、上記実施形態の直動機構６７と同様の構成を有しており、駆動モータ２６７Ａと、ねじ軸２６７Ｂと、ボールナット２６７Ｃと、を有している。駆動モータ２６７Ａは、ベース６１に固定されている。
本実施形態では、ねじ軸２６７Ｂに沿ってボールナット２６７Ｃが移動することにより揺動部材２６８が揺動し、当該揺動部材２６８の揺動に伴い第一アイドラローラ２６５Ａがベース６１に対して相対的に移動する。このように、直動機構２６７は、ベルトＢの保持ユニット７（第一緩衝機構５０）への接続部分が昇降方向に移動するように、第一アイドラローラ２６５Ａの位置を移動させる。
例えば、図１４（Ａ）に示されるように、両方の直動機構２６７を作動させて、第一アイドラローラ２６５Ａを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の左側を下方に傾けることができる。また、例えば、図１４（Ｂ）に示されるように、両方の直動機構２６７を作動させて、第一アイドラローラ２６５Ａを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させれば、保持ユニット７の左側を上方に傾けることができる。
図示はしないが、二つの直動機構２６７のうち一方（前側）の直動機構２６７を作動させて、第一アイドラローラ２６５Ａを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の前側を下方に傾けることができる。保持ユニット７の前側を下方に傾けたい場合には、二つの直動機構２６７のうち他方（後側）の直動機構２６７を作動させて、第一アイドラローラ２６５Ａを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させてもよい。また、二つの直動機構２６７のうち他方（後側）の直動機構２６７を作動させて、第一アイドラローラ２６５Ａを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させれば、保持ユニット７の後側を上方に傾けることができる。保持ユニット７の後側を上方に傾けたい場合には、二つの直動機構２６７のうち一方（前側）の直動機構２６７を作動させて、第一アイドラローラ２６５Ａを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させてもよい。
このような変形例２に係る構成であっても、直動機構２６７を作動させることによりベルトＢの一端が移動する。これにより、保持ユニット７の傾きを容易に調整することが可能となる。また、第二アイドラローラ６５Ｂを移動させない変形例２に係る構成は、昇降方向上方から見た平面視において、ベルトＢの保持ユニット７への接続部分に対する第二アイドラローラ６５Ｂの位置変動を小さくすることができるので、保持ユニット７を安定的に吊り下げることが可能となる。
上記実施形態及び変形例１に備えられる第一アイドラローラ６５Ａは、その配置が省略されてもよい。すなわち、巻取ドラム６３から繰り出されたベルトＢが直接第二アイドラローラ６５Ｂに巻き掛けられてもよい。なお、第一アイドラローラ６５Ａは、巻取ドラム６３から第一アイドラローラ６５Ａ及び第二アイドラローラ６５Ｂを経由した保持ユニット７までのベルトＢの長さと、巻取ドラム６３から第三アイドラローラ６４までのベルトＢの長さとを一致させるために設けられている。第一アイドラローラ６５Ａを設ければ、巻き取り時又は繰り出し時の巻き太りによる変動を抑制することができる。すなわち、直動機構６７又はカム機構１６７による調整量を小さくすることができる。
上記実施形態及び変形例２では、直動機構６７，２６７としてボールねじを採用した例を挙げて説明したが、シリンダ、リニアガイド等を採用してもよい。
上記実施形態、変形例１及び変形例２の保持ユニット７は、第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０を介してベルトＢの一端と接続されている例を挙げて説明したが、保持ユニット７に直接接続されてもよい。また、四本のベルトＢが、そのまま直接保持ユニット７に接続されてもよい。また、三本のベルトＢによって保持ユニット７に接続されてもよい。
上記実施形態、変形例１及び変形例２では、保持ユニット７に傾き検出部７７を設ける例を挙げて説明した。この構成では、ベルトＢの繰り出し量ごとに傾き検出部７７が検出する傾きが水平となるようにリモコン８Ａで操作し、当該リモコン操作により得られた値を補正値（直動機構６７，２６７又はカム機構１６７の制御値）として取得してもよい。当該補正値を記憶部８Ｂに記憶させてもよい。また、傾きを検出する機能を有する治具をグリッパ７２で把持させることにより、傾き検出部７７から得られる補正値と同様の補正値を取得してもよい。
１…天井搬送車、３…走行ユニット（走行部）、４…ラテラルユニット（水平移動部）、６…昇降駆動ユニット、７…保持ユニット（昇降部）、８…コントローラ（第一制御部、第二制御部、第三制御部）、８Ｂ…記憶部、４３…揺動部材（揺動部）、６１…ベース（本体フレーム）、６３…巻取ドラム、６３Ａ…駆動モータ（巻取駆動部）、６４…第三アイドラローラ、６５Ａ…第一アイドラローラ、６５Ｂ…第二アイドラローラ（案内ローラ）、６７…直動機構（アクチュエータ）、７２…グリッパ（把持部）、７７…傾き検出部、８０…リンク機構、１００…軌道、１６７…カム機構（アクチュエータ）、２６５Ａ…第一アイドラローラ（案内ローラ）、２６５Ｂ…第二アイドラローラ、２６７…直動機構（アクチュエータ）、３００…ロードポート（移載部）、Ｂ…ベルト（吊持部材）。

Claims (6)

  1. 軌道に沿って走行する走行部に対し、物品を把持する把持部を有する昇降部を複数の吊持部材によって昇降させるようにした天井搬送車であって、
    一の巻取駆動部によって駆動され、前記複数の吊持部材の巻き取り及び繰り出しを行うことにより、前記昇降部を昇降させる巻取ドラムと、
    前記巻取ドラムから繰り出される前記吊持部材が巻き掛けられる少なくとも一つの案内ローラと、
    前記走行部に設けられ、前記巻取ドラム及び前記案内ローラを支持する本体フレームと、
    前記吊持部材の前記昇降部への接続部分が昇降方向に移動するように、少なくとも一つの前記案内ローラの位置を移動させるアクチュエータと、を備える、天井搬送車。
  2. 前記複数の吊持部材は、前記昇降部の三点を吊り下げるように設けられており、
    前記アクチュエータは、前記三点のうち二点を吊り下げる前記吊持部材が巻き掛けられる前記案内ローラの位置を移動させる、請求項１記載の天井搬送車。
  3. 前記昇降部は、接続部材を介して四本の前記吊持部材によって吊り下げられており、
    前記四本のうち二本の前記吊持部材は、前記昇降部に対して揺動可能に設けられた一の揺動部に接続されており、
    前記四本のうち残りの二本の前記吊持部材のそれぞれは、前記昇降部に接続されている、請求項２記載の天井搬送車。
  4. 前記昇降部を水平方向に移動させる水平移動部と、
    前記水平移動部による前記昇降部の移動時に生じる前記水平移動部の撓み量に基づいて、前記アクチュエータによる前記案内ローラの移動量を制御する第一制御部と、を更に備える、請求項１～３の何れか一項記載の天井搬送車。
  5. 前記昇降部の水平方向に対する傾きを取得する傾き検出部と、
    前記傾き検出部によって取得される傾きが所定値となるように前記アクチュエータを制御する第二制御部と、を更に備える、請求項１～４の何れか一項記載の天井搬送車。
  6. 前記天井搬送車との間で前記物品の受け渡しが行われる移載部ごとの傾きを記憶する記憶部と、
    前記昇降部における傾きが、前記物品を載置しようとする前記移載部における前記傾きと略同一となるように前記アクチュエータを制御する第三制御部と、を更に備える、請求項１～５の何れか一項記載の天井搬送車。
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