JP7347692B2 - 搬送車システム - Google Patents

Description

本発明の一側面は、搬送車システムに関する。

天井等に敷設された軌道を走行する走行部と、棚又はロードポート等の移載部に物品を移載する把持部を有する昇降部とが設けられた天井搬送車が知られている。昇降部は、ベルト等の複数の吊持部材によって吊り下げ保持されており、当該吊持部材を巻取りないし繰出しすることによって昇降される。このような天井搬送車では、昇降時に昇降部を移載部に対して平行（移載部が水平な場合は昇降部も水平）に維持することが求められている。

例えば、特許文献１には、二重巻きされた２本の吊持部材（昇降ベルト）が次層の巻き取りに移行するタイミングのずれに起因するドラム一回転当たりの巻取差の累積が、昇降部（荷台）を必要な水平度に保持し得る所定値未満となるように、両吊持部材のドラムに対する固定端位置と、ドラムの巻取面から延びる両吊持部材の巻出し角とが設定されている、天井搬送車が開示されている。この天井搬送車によれば、２本の吊持部材の巻取差を許容範囲内に抑え、昇降位置によらず物品を水平に把持することができる。

特開平１０－１９４４１０号公報

ところが、上記従来の方法によって２本の吊持部材の巻取差を許容範囲内に抑えたとしても、天井搬送車ごとの特性（すなわち機差）によって、昇降時に昇降部の状態を適切に調整できないおそれがある。

そこで、本発明の一側面の目的は、人の手を介することなく、天井搬送車ごとに昇降部の状態を適切に調整することが可能となる搬送車システムを提供することにある。

本発明の一側面に係る搬送車システムは、物品を把持する把持部を有する昇降部を複数の吊持部材によって昇降させるようにした天井搬送車を備える搬送車システムであって、測定対象箇所を測定する測定部と、測定対象箇所が形成された被測定部と、予め定められた設定値に従って昇降部を昇降させる制御部と、を備え、制御部は、把持部によって把持される測定部及び被測定部の一方と、所定位置に形成又は載置される測定部及び所定位置に形成又は載置される被測定部の他方とによって、測定部が被測定部を測定可能となるように昇降部を昇降制御すると共に、測定部が被測定部を測定した結果に基づいて設定値を補正する。

天井搬送車では、昇降部を昇降する際に、予め定められた設定値に基づいて制御されるところ、本発明の搬送車システムでは、被測定部及び測定部によって取得された測定結果（すなわち、移載部に昇降部を昇降させたときの現在の昇降部の状態を示していると考えられる情報）に基づいて、設定値が適切に補正される。これにより、人の手を介することなく、天井搬送車ごとに昇降部の状態を適切に調整することが可能となる。

本発明の一側面に係る搬送車システムでは、測定部及び被測定部の一方は、把持部に把持可能な第一ユニット部材として形成されており、測定部及び被測定部の他方は、所定位置に載置可能な第二ユニット部材として形成されており、第一ユニット部材及び第二ユニット部材の一方が、第一ユニット部材及び第二ユニット部材の他方に支持された状態で所定位置に載置されていてもよい。この構成では、測定部及び被測定部による自動測定を迅速に実行することができる。

本発明の一側面に係る搬送車システムは、測定部が被測定部を測定した結果を天井搬送車に設けられている制御装置に送信する通信部を更に備えており、被測定部が、把持部によって把持された状態で用いられ、測定部が、所定位置に載置された状態で用いられてもよい。この構成では、天井搬送車の構成を大きく変更することなく、測定部及び被測定部による自動測定が可能となる。

本発明の一側面に係る搬送車システムは、天井搬送車の走行領域に設けられており、所定位置となる載置台が形成されたメンテナンス架台を更に備えてもよい。この構成では、載置部とは別に、測定部及び被測定部による自動測定が可能になる位置が設けられるので、効率的に天井搬送車を測定することができる。

本発明の一側面に係る搬送車システムでは、天井搬送車は、本体部と、複数の吊持部材が巻き取り及び繰り出しされることにより本体部に対して昇降可能に設けられる昇降部と、天井搬送車の搬送方向及び鉛直方向の両方に直交する方向に昇降部を移動させるスライド部と、を有し、メンテナンス架台は、スライド部を作動させることなく昇降部を下降させることにより物品を載置可能な位置に設けられる第一載置台と、第一載置台の鉛直方向における上方に設けられると共に、第一載置台の鉛直方向における上方領域から水平方向に退避可能に設けられる第二載置台と、少なくともスライド部を作動させることにより物品を載置可能な位置に設けられる第三載置台と、を備えていてもよい。この構成では、天井搬送車の走行位置に対して相対的に低い位置に設けられる載置部と、相対的に高い位置に設けられる載置部と、スライド部を作動させて載置する載置部とのそれぞれにおいて、天井搬送車ごとの昇降部の傾きを適切に調整することが可能になる。

本発明の一側面に係る搬送車システムでは、制御部は、天井搬送車を定期的にメンテナンス架台に移動させ、測定部に被測定部を測定させてもよい。この構成では、定期的な設定値の調整が可能となる。

本発明の一側面に係る搬送車システムでは、設定値は、物品の載置部ごとに設定されており、測定部及び被測定部の一方が、把持部によって把持された状態で用いられ、測定部及び被測定部の他方は、測定対象となる載置部に形成又は載置された状態で用いられてもよい。この構成では、載置部ごとに最適な設定値の調整が可能となる。

本発明の一側面に係る搬送車システムでは、天井搬送車は、複数の吊持部材の巻き取り及び繰り出しを行うことにより、昇降部を昇降させる巻取ドラムと、巻取ドラムから繰り出される吊持部材が巻き掛けられる少なくとも一つの案内ローラと、巻取ドラム及び案内ローラを支持する本体部と、本体部に対する案内ローラの相対位置を移動させることにより、吊持部材の昇降部への接続部分を昇降方向に移動させる、少なくとも一つの位置調整部と、昇降部における傾きに関する情報に基づいて位置調整部による案内ローラの移動を制御する制御装置と、を備え、設定値には、傾きに関する情報が含まれてもよい。この構成では、簡易な構成で昇降部の傾きを調整することができる。

本発明の一側面によれば、人の手を介することなく、天井搬送車ごとに昇降部の状態を適切に調整することが可能となる。

図１は、一実施形態の天井搬送車の側面図である。 図２は、保持ユニットの正面図である。 図３は、第一緩衝機構及び第二緩衝機構の斜視図である。 図４は、昇降駆動ユニットの正面図である。 図５は、昇降駆動ユニットの側面図である。 図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、昇降駆動ユニットの動作を示す正面図である。 図７（Ａ）及び図７（Ｂ）は、昇降駆動ユニットの動作を示す側面図である。 図８は、測定ユニット及び被測定ユニットの斜視図である。 図９は、測定ユニットが被測定ユニットを測定するときの各距離センサの測定対象を示す模式図である。 図１０（Ａ）～（Ｃ）は、ユニットコントローラが天井搬送車の状態を算出る方法を示す模式図である。 図１１は、搬送車システムの機能構成を示すブロック図である。 図１２（Ａ）はメンテナンス架台を示す側面図であり、図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）のＢ方向から見たメンテナンス架台を示す平面図である。 図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）は、メンテナンス架台を用いて天井搬送車の状態を取得する手順を説明する図である。 図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）は、メンテナンス架台を用いて天井搬送車の状態を取得する手順を説明する図である。 図１５は、メンテナンス架台を用いて天井搬送車の状態を取得する手順を説明する図である。

以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

一実施形態の搬送車システム１００は、複数の天井搬送車１（図１参照）と、天井搬送車１の走行路を形成する軌道２０（図１参照）と、エリアコントローラ１１０（図１１参照）と、測定ユニット（測定部）８０（図１１参照）と、被測定ユニット（被測定部）９０（図８参照）と、を備えている。複数の天井搬送車１の少なくとも一台は、水平面に対する保持ユニット（昇降部）７の傾きを調整する直動機構（位置調整部）６７（図４参照）と、を備えている。

図１に示されるように、一実施形態の天井搬送車１は、半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された軌道２０に沿って走行する。一実施形態の天井搬送車１は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）（物品）２００の搬送、及び、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられたロードポート（移載部）３００等に対するＦＯＵＰ２００の移載を行う。

図１及び図１１に示されるように、天井搬送車１は、フレームユニット２と、走行ユニット３と、ラテラルユニット４と、シータユニット５と、昇降駆動ユニット６と、保持ユニット７と、搬送車コントローラ（制御部）８と、記憶部８Ａと、通信部９と、を備えている。フレームユニット２は、センターフレーム１５と、フロントフレーム１６と、リアフレーム１７と、を有している。フロントフレーム１６は、センターフレーム１５における前側（天井搬送車１の走行方向における前側）の端部から下側に延在している。リアフレーム１７は、センターフレーム１５における後側（天井搬送車１の走行方向における後側）の端部から下側に延在している。

走行ユニット３は、センターフレーム１５の上側に配置されている。走行ユニット３は、例えば、軌道２０に沿って敷設された高周波電流線から非接触で電力の供給を受けることで、軌道２０に沿って走行する。ラテラルユニット４は、センターフレーム１５の下側に配置されている。ラテラルユニット４は、シータユニット５、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を横方向（天井搬送車１の走行方向における側方）に移動させる。シータユニット５は、ラテラルユニット４の下側に配置されている。シータユニット５は、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を水平面内において回動させる。

昇降駆動ユニット６は、シータユニット５の下側に配置されている。昇降駆動ユニット６は、保持ユニット７を昇降させる。保持ユニット７は、昇降駆動ユニット６の下側に配置されている。保持ユニット７は、ＦＯＵＰ２００のフランジ２０１を保持する。

搬送車コントローラ８は、センターフレーム１５に配置されている。搬送車コントローラ８は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ ｏｎｌｙ ｍｅｍｏｒｙ）及びＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ ａｃｃｅｓｓ ｍｅｍｏｒｙ）等によって構成された電子制御ユニットである。搬送車コントローラ８は、天井搬送車１の各部を制御する。

以上のように構成された天井搬送車１は、一例として、次のように動作する。ロードポート３００から天井搬送車１にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１がロードポート３００の上方の予め定められた位置に停止する。停止位置において下降させる保持ユニット７の位置が、ロードポート３００（ロードポート３００に載置されたＦＯＵＰ２００）に対する所定位置からずれる場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、保持ユニット７の水平位置及び水平角度を調整する。また、ベルト（吊持部材）Ｂが繰り出されることにより下降された保持ユニット７が水平面に対して傾く場合には、直動機構６７（図４参照）を作動させることによって保持ユニット７の傾きを調整する。

搬送車コントローラ８は、記憶部８Ａに記憶された設定値に基づいて、保持ユニット７の水平位置及び水平角度、並びに保持ユニット７の傾きの調整を実施する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を下降させ、保持ユニット７が、ロードポート３００に載置されているＦＯＵＰ２００のフランジ２０１を保持する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を上昇端まで上昇させて、フロントフレーム１６とリアフレーム１７との間にＦＯＵＰ２００を配置する。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１が走行を開始する。

一方、天井搬送車１からロードポート３００にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１がロードポート３００の上方の予め定められた位置に停止する。停止位置において下降させる保持ユニット７（ＦＯＵＰ２００）の位置が、ロードポート３００に対する所定位置からずれる場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、保持ユニットの水平位置及び水平角度を調整する。また、ベルトＢが繰り出されることにより下降された保持ユニット７が水平面に対して傾く場合には、直動機構６７（図４参照）を作動させることによって保持ユニット７の傾きを調整する。

搬送車コントローラ８は、記憶部８Ａに記憶された設定値に基づいて、保持ユニット７の水平位置及び水平角度、並びに保持ユニット７の傾きの調整を実施する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を下降させ、ロードポート３００にＦＯＵＰ２００を載置し、保持ユニット７がＦＯＵＰ２００のフランジ２０１の保持を解放する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を上昇端まで上昇させる。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１が走行を開始する。

次に、保持ユニット７の構成について詳細に説明する。図１及び図２に示されるように、保持ユニット７は、ベース１１と、一対のグリッパ（把持部）１２，１２と、筐体１３を有している。一対のグリッパ１２，１２は、水平方向に沿って開閉可能となるようにベース１１によって支持されている。一対のグリッパ１２，１２は、駆動モータ（図示省略）及びリンク機構（図示省略）によって開閉させられる。本実施形態では、一対のグリッパ１２，１２が開状態のときに、グリッパ１２の保持面がフランジ２０１の下面の高さより下方となるように、保持ユニット７の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のグリッパ１２，１２が閉状態となることで、グリッパ１２の保持面がフランジ２０１の下面の下方へ進出し、この状態で昇降駆動ユニット６を上昇させることにより、一対のグリッパ１２，１２によってフランジ２０１が保持（把持）され、ＦＯＵＰ２００が支持される。保持ユニット７において、ベース１１は、筐体１３の底壁を構成しており、筐体１３に対する位置が固定されている。

図３に示されるように、本実施形態の保持ユニット７には、第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０を介してベルトＢの一端が接続される。ここで、第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０について詳細に説明を行う。第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０は、ベルトＢと保持ユニット７（図１参照）とを連結する機構であり、走行ユニット３が走行するとき又は保持ユニット７が昇降するときの振動がＦＯＵＰ２００に伝わることを抑制する機構である。

第一緩衝機構５０は、鉛直方向下方からベース１１を鉛直方向に移動可能に支持する弾性部材５８を有し、鉛直方向から見た平面視において天井搬送車１の走行方向に直交する幅方向の一方に配置される。本実施形態では、第一緩衝機構５０は、左右方向において保持ユニット７の右側に設けられている。第一緩衝機構５０は、接続部材５１と、揺動部材５３と、第一本体部材５４と、第二本体部材５６と、一対の弾性部材５８，５８と、を有している。なお、本実施形態における左右方向とは、天井搬送車１を走行方向前方から見たときの左右方向を意味する。

接続部材５１は、ベルトＢに取り付けられる部材である。揺動部材５３は、接続部材５１に連結される部材である。揺動部材５３は、ピン部材５２を介して接続部材５１に双方向に回転可能に連結される。第一本体部材５４は、略Ｌ字状の部材であり、その底部は、平坦となるように形成されている。第一本体部材５４は、その上端が揺動部材５３に接続されている。第一本体部材５４は、底部が第二本体部材５６にボルト等によって接続されている。第二本体部材５６は、弾性部材５８を下方から支持すると共に、第一本体部材５４の底部を支持する。

一対の弾性部材５８，５８は、所定のバネ定数を有するコイルバネである。一対の弾性部材５８，５８は、第二本体部材５６に支持されると共にベース１１を下方から支持する。弾性部材５８の下端は、第二本体部材５６に固定されている。弾性部材５８の上端は、ベース１１には固定されておらず、接触することによってベース１１を支持する。すなわち、一対の弾性部材５８，５８のそれぞれは、第二本体部材５６とベース１１との両方に接触した状態で縮んだ状態にあるとき、第二本体部材５６とベース１１とを互いに遠ざける方向に付勢する。弾性部材５８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。なお、ベース１１に固定され、第二本体部材５６に離接可能に設けられてもよい。

第二緩衝機構４０は、鉛直方向下方からベース１１を鉛直方向に移動可能に支持する弾性部材４８を有し、鉛直方向から見た平面視において天井搬送車１の走行方向に直交する幅方向の他方（幅方向において第一緩衝機構５０とは反対側）に配置される。本実施形態では、第二緩衝機構４０は、左右方向において保持ユニット７の左側に設けられている。第二緩衝機構４０は、接続部材４１，４１と、揺動部材４３と、第三本体部材４５と、第四本体部材４６と、規制部材４７と、一対の弾性部材４８，４８と、を有している。

接続部材４１，４１は、ベルトＢ，Ｂが取り付けられる部材である。揺動部材４３は、一対の接続部材４１，４１と、第三本体部材４５とを連結する部材である。一対の接続部材４１，４１と揺動部材４３とは、双方向に回転可能に連結され、一対のピン部材４２，４２を介して連結される。揺動部材４３と第三本体部材４５とは、双方向に回転可能に連結され、ピン部材４４を介して連結されている。第四本体部材４６は、弾性部材４８，４８を下方から支持する。

一対の弾性部材４８，４８は、所定のバネ定数を有するコイルバネである。一対の弾性部材４８，４８は、第四本体部材４６に支持されていると共にベース１１を下方から支持する。弾性部材４８の下端は、第四本体部材４６に固定されている。規制部材４７は、第四本体部材４６に対してベース１１が所定距離以上離れることを規制する。より詳細には、規制部材４７は、第四本体部材４６に対して所定距離以上離れようとするベース１１の上面を係止する。弾性部材４８の上端は、ベース１１には固定されておらず、接触することによってベース１１を支持する。すなわち、一対の弾性部材４８，４８のそれぞれは、第四本体部材４６とベース１１との両方に接触した状態にあるとき、第四本体部材４６及びベース１１を互いに遠ざける方向に付勢する。弾性部材４８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。なお、弾性部材４８は、ベース１１に固定され、第四本体部材４６に離接可能に設けられてもよい。

なお、図示はしないが、保持ユニット７は、第一緩衝機構５０と第二緩衝機構４０とを連結すると共に、鉛直方向における第一緩衝機構５０とベース１１との間の距離と、鉛直方向における第二緩衝機構４０とベース１１との間の距離とを互いに近づけるように動作するリンク機構を備えていてもよい。

次に、昇降駆動ユニット６の構成について詳細に説明する。図４及び図５に示されるように、昇降駆動ユニット６は、ベース（本体部）６１と、支持部６２と、四つ（複数）の巻取ドラム６３と、駆動モータ（巻取駆動部）６３Ａと、第一アイドラローラ（案内ローラ）６５Ａと、第二アイドラローラ（案内ローラ）６５Ｂと、第三アイドラローラ（案内ローラ）６４と、直動機構（位置調整部）６７と、揺動部材６８と、四つ（複数）のベルトＢと、を有している。

ベース６１は、支持部６２を介して巻取ドラム６３、第一アイドラローラ６５Ａ及び第三アイドラローラ６４を支持している。支持部６２は、四つの巻取ドラム６３を回転可能に支持する。四つの巻取ドラム６３は、前後方向に配列されており、駆動モータ６３Ａによる駆動によって四つのベルトＢのそれぞれを巻き取り又は繰り出しする。支持部６２は、第一アイドラローラ６５Ａ及び揺動部材６８の一端部６８Ａを揺動可能に支持している。

各巻取ドラム６３は、回転可能となるように支持部６２を介してベース６１に取り付けられている。駆動モータ６３Ａは、各巻取ドラム６３を回転させるための駆動源であり、ベース６１に固定されている。四つの巻取ドラム６３は、図示しない共通の回動軸に取り付けられることにより、あるいは図示しない連動機構で連結されることにより、一の駆動モータ６３Ａによって駆動される。

各ベルトＢの一端は保持ユニット７に接続されており、各ベルトＢの他端は各巻取ドラム６３に接続されている。本実施形態では、四本のベルトＢは、保持ユニット７の三点を吊り下げるように設けられている。より詳細には、保持ユニット７は、四本のベルトＢによって吊り下げられており、四本のうち二本のベルトＢは、保持ユニット７に対して揺動可能に設けられた一つの揺動部材４３（図３参照）に接続部材４１を介して接続されており、四本のうち残りの二本のベルトのそれぞれは、保持ユニット７に対して揺動可能に設けられた揺動部材５３に接続部材５１を介して接続されている。

第一アイドラローラ６５Ａ及び第二アイドラローラ６５Ｂは、第一緩衝機構５０に接続されるベルトＢの移動を案内する。第一緩衝機構５０に接続されるベルトＢは二本あり、第一アイドラローラ６５Ａ及び第二アイドラローラ６５Ｂも、それぞれのベルトＢに対応して設けられる。第一アイドラローラ６５Ａは支持部６２に設けられており、ベース６１に対して相対的に移動しない。第二アイドラローラ６５Ｂは、後述する揺動部材６８に設けられており、ベース６１に対して相対的に移動する。なお、第二アイドラローラ６５Ｂがベース６１に対して相対的に移動する構成は後段にて説明する。第三アイドラローラ６４は、第二緩衝機構４０に接続されるベルトＢの移動を案内する。第二緩衝機構４０に接続されるベルトＢは二本あり、第三アイドラローラ６４も、それぞれのベルトＢに対応して設けられる。

直動機構６７は、主に、駆動モータ６７Ａと、ねじ軸６７Ｂと、ボールナット６７Ｃと、を有しており、駆動モータ６７Ａの回転運動を直線運動に変換する公知の機構である。直動機構６７は、ブラケット６６を介してベース６１に固定されている。駆動モータ６７Ａの駆動により、ねじ軸６７Ｂに沿って移動するボールナット６７Ｃには、揺動部材６８の他端部６８Ｂが揺動可能に接続されている。本実施形態では、ねじ軸６７Ｂに沿ってボールナット６７Ｃが移動することにより揺動部材６８が揺動し、当該揺動部材６８の揺動に伴い第二アイドラローラ６５Ｂがベース６１に対して相対的に移動する。このように、直動機構６７は、ベルトＢの保持ユニット７（第一緩衝機構５０）への接続部分（ベルトＢの一端）が昇降方向に移動するように、第二アイドラローラ６５Ｂの位置を移動させる。なお、揺動部材６８を直動機構６７によって片持ち支持される上下動自在な部材に変更し、この部材を上下動させることにより第二アイドラローラ６５Ｂの位置を直線的に移動させるようにしてもよい。

例えば、図６（Ａ）に示されるように、両方の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の右側を上方に傾けることができる。また、例えば、図６（Ｂ）に示されるように、両方の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させれば、保持ユニット７の右側を下方に傾けることができる。

また、例えば図７（Ａ）に示されるように、二つの直動機構６７のうち一方（前側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の前側を上方に傾けることができる。保持ユニット７の前側を上方に傾けたい場合には、二つの直動機構６７のうち他方（後側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させてもよい。

また、例えば図７（Ｂ）に示されるように、二つの直動機構６７のうち他方（後側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の後側を上方に傾けることができる。保持ユニット７の後側を上方に傾けたい場合には、二つの直動機構６７のうち一方（前側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させてもよい。

上述したように、本実施形態の天井搬送車１は、二つの直動機構６７の両方又は一方を作動させることによって保持ユニット７の水平面に対する傾きを調整することができる。更に、本実施形態の天井搬送車１では、天井搬送車１の状態（昇降部における傾きに関する情報）に基づいて、直動機構６７の動作が制御される。天井搬送車１の状態は、例えば、センターフレーム１５に設けられた記憶部８Ａに記憶されている。また、天井搬送車１の状態は、ティーチング時に取得される天井搬送車１の状態と、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０によって取得される天井搬送車１の状態と、が含まれる。

ここで、天井搬送車１のそれぞれは、搬送車システム１００を稼働させる前にティーチングが実施される。ティーチングとは、天井搬送車１がロードポート３００においてＦＯＵＰ２００の移載を行うために、天井搬送車１が軌道２０の予め定められた所定位置に停止すると共に保持ユニット７が所定距離下降した状態で、保持ユニット７の位置（更に詳細には、グリッパ１２の位置）が目標位置からどれだけずれるかを知得するために天井搬送車１の状態を取得し、この天井搬送車１の状態に基づいて、搬送車システム１００の稼働時に目標位置からのずれが許容範囲に収まるように、天井搬送車１に実施すべき動作を記憶させることをいう。天井搬送車１の状態の例は、ロードポート３００の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ等の情報である。

測定ユニット８０及び被測定ユニット９０について詳細に説明する。図８及び図９に示されるように、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０は、天井搬送車１の状態を、人の手を介することなく取得するためのユニットである。図８は、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０の斜視図であり、図９は、測定ユニット８０が被測定ユニット９０を測定するときの各距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３の測定対象を示す模式図である。図８及び図９に示される実線矢印及び破線矢印は、各距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３におけるレーザの出力方向を示している。

本実施形態の搬送車システム１００では、天井搬送車１の状態を取得する際に、天井搬送車１に被測定ユニット９０が搭載され、ロードポート３００に測定ユニット８０が搭載される。すなわち、被測定ユニット（第一ユニット部材）９０は、一対のグリッパ１２，１２によって把持されて用いられ、測定ユニット（第二ユニット部材）８０は、ロードポート３００に載置されて用いられる。天井搬送車１は、軌道２０の所定位置に停止して、保持ユニット７が所定距離下降させられ、被測定ユニット９０がロードポート３００の上方において測定ユニット８０から離間した状態で、天井搬送車１の状態が取得される。

測定ユニット８０は、本体部８１と、ユニットコントローラ８２（図１１参照）と、複数の距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３と、取付部８４と、支持部８５と、ガイド部８６と、を備えている。本体部８１は、ユニットコントローラ８２、取付部８４及びガイド部８６を支持する平板状の部材である。ユニットコントローラ８２は、本体部８１に支持された状態で設けられており、測定ユニット８０における電気的な各種処理を行う。

各距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３は、例えばレーザ式の距離センサであり、取付部８４に取り付けられている。距離センサ８３Ｘ１は、Ｘ軸方向に沿って本体部８１の内方に向かってレーザ光を出射することで、対象物との距離を測定する。距離センサ８３Ｙ１，８３Ｙ２は、Ｙ軸方向に沿って本体部８１の内方に向かってレーザ光を出射することで、対象物との距離を測定する。距離センサ８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３は、Ｚ軸方向に沿って上方に向かってレーザ光を出射することで、対象物との距離を測定する。

取付部８４は、各距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３が取り付けられる部分であり、本体部８１に立設されている。支持部８５は、被測定ユニット９０を支持する部分であり、本体部８１に立設されている。ガイド部８６は、被測定ユニット９０を支持部８５に支持させるとき、被測定ユニット９０が所定位置に位置決めされるよう案内する部分である。ガイド部８６は、本体部８１に立設されている。

被測定ユニット９０は、フランジ９１と、ベースプレート９２と、複数のターゲットプレート９３，９４，９５と、脚部９７と、を備えている。フランジ９１は、グリッパ１２によって把持可能に設けられる部分である。ベースプレート９２は、フランジ９１に接続されており、複数のターゲットプレート９３，９４，９５が立設される。ベースプレート９２及び複数のターゲットプレート９３，９４，９５は、は、各距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３による測定対象面を形成する部分である。

各ターゲットプレート９３，９４，９５は、ベースプレート９２の所定位置に固定されている。ターゲットプレート９３において距離センサ８３Ｘ１と対向する表面９３ａは、Ｘ軸方向に垂直な面であり、ロードポート３００の基準位置（ロードポート３００の載置面の中心位置）と所定の位置関係を有している。ターゲットプレート９４において距離センサ８３Ｙ１と対向する表面９４ａ、及びターゲットプレート９５において距離センサ８３Ｙ２と対向する表面９５ａは、Ｙ軸方向に垂直な面であり、ロードポート３００の基準位置と所定の位置関係を有している。脚部９７は、ターゲットプレート９３，９４，９５の下部にそれぞれ設けられており、測定ユニット８０によって被測定ユニット９０が支持されるときに、測定ユニット８０の本体部８１に接触する。

以上により、測定ユニット８０のユニットコントローラ８２は、距離センサ８３Ｘ１による測定距離Ｘ１、距離センサ８３Ｙ１による測定距離Ｙ１、距離センサ８３Ｙ２による測定距離Ｙ２、距離センサ８３Ｚ１による測定距離Ｚ１、距離センサ８３Ｚ２による測定距離Ｚ２及び距離センサ８３Ｚ３による測定距離Ｚ３を取得することができる。そして、ユニットコントローラ８２は、取得した複数の測定距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３に基づいて、ロードポート３００の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、並びに、角度θ、角度αｘ及び角度αｙを算出することができる。

ここで、角度θは、図１０（Ａ）に示されるように、被測定ユニット９０に対して測定ユニット８０がＺ軸回りに回転している回転角度（すなわち、ロードポート３００に対してグリッパ１２がＺ軸回りに回転している回転角度）である。距離センサ８３Ｙ１と距離センサ８３Ｙ２との距離をＬ１とすると、角度θは、θ＝tan－１［（Ｙ１－Ｙ２）／Ｌ１］と表される。なお、図１０（Ａ）では、距離センサ８３Ｘ１，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３等の図示が省略されている。

また、角度αｘは、図１０（Ｂ）に示されるように、被測定ユニット９０のベースプレート９２の表面９２ａに対して測定ユニット８０がＹ軸回りに傾いている傾斜角度（すなわち、ロードポート３００の基準面に対してグリッパ１２がＹ軸回りに傾いている傾斜角度）である。距離センサ８３Ｚ１と距離センサ８３Ｚ３との距離をＬ２とすると、角度αｘは、αｘ＝tan－１［（Ｚ３－Ｚ１）／Ｌ２］と表される。なお、図１０（Ｂ）では、距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２及びターゲットプレート９３，９４，９５等の図示が省略されている。

また、角度αｙは、図１０（Ｃ）に示されるように、被測定ユニット９０のベースプレート９２の表面９２ａに対して測定ユニット８０がＸ軸回りに傾いている傾斜角度（すなわち、ロードポート３００の基準面に対してグリッパ１２がＸ軸回りに傾いている傾斜角度）である。距離センサ８３Ｚ１による測定距離Ｚ１と距離センサ８３Ｚ３による測定距離Ｚ３との平均値（すなわち、（Ｚ１＋Ｚ３）／２）をＺ１３とし、距離センサ８３Ｚ１と距離センサ８３Ｚ３とを結ぶ直線と距離センサ８３Ｚ２との距離をＬ３とすると、角度αｙは、αｙ＝tan－１［（Ｚ２－Ｚ１３）／Ｌ３］と表される。なお、図１０（Ｃ）では、距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２及びターゲットプレート９３，９４，９５等の図示が省略されている。

本実施形態の搬送車システム１００では、所定のロードポート３００において、ロードポート３００の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、並びに、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ（以下、単に「天井搬送車１の状態」とも称する。）を取得する代わりに、図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）に示されるメンテナンス架台１５０に設けられた第一載置台１５１、第二載置台１５２及び一対の第三載置台１５３，１５３に載置される測定ユニット８０と、少なくとも一つの被測定ユニット９０と、を用いて天井搬送車１の状態を取得する。

次に、メンテナンス架台１５０について詳細に説明する。図１２（Ａ）に示されるように、メンテナンス架台１５０は、軌道２０沿いの所定位置に設けられている。第一載置台１５１、第二載置台１５２、及び一対の第三載置台１５３，１５３は、フレーム１５４に支持されている。第一載置台１５１は、軌道２０の下方であって、第二載置台１５２に対して相対的に低い位置（言い換えれば、ＦＯＵＰ２００を載置するためのベルトＢの繰り出し量が相対的に大きい位置）に設けられている。

第二載置台１５２は、軌道２０の下方であって、第一載置台１５１に対して相対的に高い位置（言い換えれば、ＦＯＵＰ２００を載置するためのベルトＢの繰り出し量が相対的に小さい位置）に設けられている。第二載置台１５２は、鉛直方向上方から見た平面視において、第一載置台１５１とずれた位置（本実施形態では後方にずれた位置）に設けられている。第二載置台１５２は、前後方向にスライド可能に設けられており、第一載置台１５１の上方の領域に位置する進出位置と、第一載置台１５１の上方の領域に位置しない退避位置との間で移動可能に設けられている。第二載置台１５２を利用して天井搬送車１の状態を取得する場合には、第二載置台１５２を進出位置に移動させる。

一対の第三載置台１５３，１５３は、上方から見た平面視において軌道２０を挟むように配置されている。一対の第三載置台１５３，１５３は、ラテラルユニット４を作動させないとＦＯＵＰ２００を移載できない位置に設けられている。一対の第三載置台１５３，１５３は、第二載置台１５２とは異なり移動不可に固定されている。

上述したように第一載置台１５１、第二載置台１５２及び一対の第三載置台１５３，１５３を有するメンテナンス架台１５０では、第一載置台１５１、第二載置台１５２及び一対の第三載置台１５３，１５３ごとに天井搬送車１の状態を取得することができる。すなわち、メンテナンス架台１５０では、第一載置台１５１を利用して、ベルトＢの繰り出し量が相対的に大きいときの天井搬送車１の状態を取得することができ、第二載置台１５２を利用して、ベルトＢの繰り出し量が相対的に小さいときの天井搬送車１の状態を取得することができ、一対の第三載置台１５３，１５３を利用して、ラテラルユニット４を作動させてベルトＢを繰り出したときの天井搬送車１の状態を取得することができる。

次に、メンテナンス架台１５０を利用して、天井搬送車１の状態を取得するときの流れを説明する。図１３（Ａ）に示されるように、エリアコントローラ１１０は、所定のタイミングで天井搬送車１をメンテナンス架台１５０に移動させる。エリアコントローラ１１０（図１１参照）は、予め定められたスケジュールに沿って（定期的に）天井搬送車１をメンテナンス架台１５０に移動させる。メンテナンス架台１５０の第一載置台１５１には、被測定ユニット９０が測定ユニット８０に支持された状態で載置されている（図８参照）。

天井搬送車１は、図１３（Ｂ）に示されるように、第一載置台１５１の上方に停止した状態でベルトＢを繰り出し、保持ユニット７を降下させる。天井搬送車１は、所定量のベルトＢを繰り出した後、グリッパ１２を作動させて、被測定ユニット９０のフランジ９１を把持する。その後、所定量のベルトＢを巻き取り、測定ユニット８０に支持された状態の被測定ユニット９０を測定ユニット８０から離反させる。第一載置台１５１に載置された測定ユニット８０は、この状態で被測定ユニット９０のベースプレート９２及びターゲットプレート９３，９４，９５までの距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３を測定する。

第一載置台１５１に載置された測定ユニット８０による測定の後、天井搬送車１は、被測定ユニット９０を把持した状態でベルトＢを巻き取り、第二載置台１５２よりも高い高さ位置まで保持ユニット７を移動させる。次に、図１４（Ａ）に示されるように、第二載置台１５２をスライドさせ、第一載置台１５１の上方の進出位置にまで移動させる。天井搬送車１は、ベルトＢを繰り出し、被測定ユニット９０を保持した保持ユニット７を降下させる。天井搬送車１は、所定量のベルトＢを繰り出し、第二載置台１５２に載置された測定ユニット８０から所定量離反する状態となるように被測定ユニット９０を位置させる。第二載置台１５２に載置された測定ユニット８０は、この状態で被測定ユニット９０のベースプレート９２及びターゲットプレート９３，９４，９５までの距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３を測定する。

第二載置台１５２に載置された測定ユニット８０による測定の後、天井搬送車１は、被測定ユニット９０を把持した状態でベルトＢを巻き取り、次は、ラテラルユニット４を作動させ、保持ユニット７を一対の第三載置台１５３の一方の上方に移動させる。天井搬送車１は、ベルトＢを繰り出し、被測定ユニット９０を保持した保持ユニット７を降下させる。天井搬送車１は、所定量のベルトＢを繰り出し、一対の第三載置台１５３の一方に載置された測定ユニット８０から所定量離反する状態となるように被測定ユニット９０を位置させる。一対の第三載置台１５３の一方に載置された測定ユニット８０は、この状態で被測定ユニット９０のベースプレート９２及びターゲットプレート９３，９４，９５までの距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３を測定する。

一対の第三載置台１５３の一方に載置された測定ユニット８０による測定の後、天井搬送車１は、被測定ユニット９０を把持した状態でベルトＢを巻き取り、ラテラルユニット４を作動させ、今度は、保持ユニット７を一対の第三載置台１５３の他方の上方に移動させる。天井搬送車１は、ベルトＢを繰り出し、被測定ユニット９０を保持した保持ユニット７を降下させる。天井搬送車１は、所定量のベルトＢを繰り出し、一対の第三載置台１５３の他方に載置された測定ユニット８０から所定量離反する状態となるように被測定ユニット９０を位置させる。一対の第三載置台１５３の他方に載置された測定ユニット８０は、この状態で被測定ユニット９０のベースプレート９２及びターゲットプレート９３，９４，９５までの距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３を測定する。

一対の第三載置台１５３の他方に載置された測定ユニット８０による測定の後、天井搬送車１は、被測定ユニット９０を把持した状態でベルトＢを巻き取り、ラテラルユニット４を作動させ、今度は、保持ユニット７を第一載置台１５１の上方に移動させる。次に、図１４（Ｂ）に示されるように、第二載置台１５２は、第一載置台１５１の上方から退避した退避位置に移動する。なお、第二載置台１５２における退避位置への移動は、第二載置台１５２に載置された測定ユニット８０による測定の後、適時のタイミングで実行されてよい。

天井搬送車１は、第一載置台１５１の上方に停止した状態でベルトＢを繰り出し、被測定ユニット９０を保持した保持ユニット７を降下させる。図１５に示されるように、天井搬送車１は、被測定ユニット９０が、第一載置台１５１に載置された測定ユニット８０に支持される状態となるまでベルトＢを繰り出した後、グリッパ１２を作動させて、被測定ユニット９０におけるフランジ９１の把持を開放する。被測定ユニット９０は、第一載置台１５１に載置された測定ユニット８０に支持された状態となる。その後、天井搬送車１は、保持ユニット７が走行可能状態となるまでベルトＢを巻き取る。エリアコントローラ１１０は、天井搬送車１をメンテナンス架台１５０から退出させる。

以上の流れによって、ベースプレート９２及びターゲットプレート９３，９４，９５までの距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３を測定した第一載置台１５１，第二載置台１５２及び一対の第三載置台１５３，１５３のそれぞれに載置された被測定ユニット９０のそれぞれは、測定した距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３に基づいて、各載置台の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ等の情報が算出される。これらの情報は、メンテナンス架台１５０に設けられた通信部８８を介して、天井搬送車１の通信部９に送信される。メンテナンス架台１５０の通信部８８と天井搬送車１の通信部９とは、光通信、無線通信等の適宜手段によって通信することができる。

搬送車コントローラ８は、通信部９を介して受信した、各載置台の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ等の情報を記憶部８Ａ（図１１参照）に記憶させる。すなわち、搬送車コントローラ８は、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０によって取得した最新の天井搬送車１の状態を記憶部８Ａに記憶（更新）させる。搬送車コントローラ８は、この記憶部８Ａに記憶された天井搬送車１の状態に基づいて、直動機構６７の動作を制御する。

上記実施形態の搬送車システム１００における作用効果について説明する。このような搬送車システム１００では、保持ユニット７を昇降する際に、予め定められた設定値に基づいて制御されるところ、上記実施形態の搬送車システム１００では、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０によって取得された測定結果、すなわち、ロードポート３００等の移載部に保持ユニット７を昇降させたときの現在の保持ユニット７の状態を示していると考えられる情報に基づいて、設定値が適切に補正される。これにより、人の手を介することなく、天井搬送車１ごとに保持ユニット７の状態を適切に調整することが可能となる。

上記実施形態の搬送車システム１００では、被測定ユニット９０は、グリッパ７２に把持可能なユニット部材として形成されており、測定ユニット８０は、メンテナンス架台１５０の各載置台に載置可能なユニット部材として形成されている。そして、天井搬送車１が天井搬送車１の状態の取得を開始しようとするとき、被測定ユニット９０が測定ユニット８０に支持された状態で第一載置台１５１に載置されている。これにより、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０による自動測定を迅速に実行することができる。

上記実施形態の搬送車システム１００では、被測定ユニット９０が、グリッパ１２によって把持された状態で用いられ、測定ユニット８０が、メンテナンス架台１５０の各載置台に載置された状態で用いられる。これにより、天井搬送車１の構成を大きく変更することなく、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０による自動測定が可能となる。

上記実施形態の搬送車システム１００では、ロードポート３００とは別に、天井搬送車１の走行領域にメンテナンス架台１５０が設けられているので、搬送車システム１００による稼働を停止させることなく、効率的に天井搬送車１を測定することができる。

上記実施形態の搬送車システム１００では、第一載置台１５１と、第二載置台と１５２と、第三載置台１５３と、を備えるメンテナンス架台１５０を備えるので、天井搬送車１の走行位置に対して相対的に低い位置に設けられるロードポート３００と、相対的に高い位置に設けられるロードポート３００と、スライド部を作動させて載置するロードポート３００とのそれぞれにおいて、天井搬送車１ごとの保持ユニット７の傾きを適切に調整することが可能になる。

上記実施形態の搬送車システム１００では、天井搬送車１が定期的にメンテナンス架台１５０に移動させ、測定ユニット８０に被測定ユニット９０を測定させるので、定期的な設定値の調整が可能となる。

上記実施形態の天井搬送車１では、直動機構６７を作動させることによって保持ユニット７における水平面に対する傾きを調整することができる。そして、直動機構６７の作動量（案内ローラの移動量）は、天井搬送車１の状態である保持ユニット７における傾きに関する情報（角度αｘ及び角度αｙ等の情報）に基づいて自動的に調整されるので、保持ユニット７を所望の傾きに調整することができる。すなわち、本実施形態の天井搬送車１は、人の手を介することなく、保持ユニット７の傾きを適切に調整することが可能となる。

以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の一側面の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

（変形例１）
上記実施形態の天井搬送車１では、メンテナンス架台１５０に天井搬送車１を入場させることにより、天井搬送車１の状態を取得する例を挙げて説明したが、搬送車システム１００を構築するロードポート３００ごとに、天井搬送車１の状態を取得してもよい。この構成では、保持ユニット７を、実際にＦＯＵＰ２００が載置されるロードポート３００ごとに最適な傾きに調整することができる。

（変形例２）
上記実施形態及び上記変形例の天井搬送車１では、保持ユニット７が被測定ユニット９０を把持することにより、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０から天井搬送車１の状態を取得する例を挙げて説明したが、各載置台に載置された被測定ユニット（第二ユニット部材）９０に対し、測定ユニット（第一ユニット部材）８０を把持した保持ユニット７を離反・接近させることにより、天井搬送車１の状態を取得してもよい。この構成では、メンテナンス架台１５０の各載置台には、測定ユニット８０に比べて安価な被測定ユニット９０が配置されるので、メンテナンス架台１５０を安価に構築することができる。

（変形例３）
上記実施形態及び上記変形例の天井搬送車１では、記憶部８Ａに記憶させる天井搬送車１の状態として、所定の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ等の情報を例に挙げて説明したが、このような実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ等の情報に基づいて決定される直動機構６７の作動量（案内ローラの移動量）等の設定値であってもよい。

（変形例４）
上記実施形態及び上記変形例の一部では、メンテナンス架台１５０の各載置台に、測定ユニット８０の測定対象となるターゲットプレート９３，９４，９５が形成されている被測定ユニット９０が配置されている例を挙げて説明したが、例えば、ロードポート３００であれば、被測定ユニット９０を載置する代わりにＦＯＵＰ２００が載置台される部分に形成された位置決めピン等を測定ユニット８０の測定対象として利用してもよいし、メンテナンス架台１５０の各載置台に測定対象となるターゲットを直接形成してもよい。

（その他の変形例）
上記実施形態の天井搬送車１において、ベルトＢの一端を昇降方向に移動させるために少なくとも一つの第二アイドラローラ６５Ｂの位置を移動させる機能を有する直動機構６７に代えて、同様の機能を有するカム機構（位置調整部）を設けてもよい。

上記実施形態の天井搬送車１では、少なくとも一つの第二アイドラローラ６５Ｂの位置を移動させることにより、ベルトＢの一端を昇降方向に移動させる例を挙げて説明したが、第二アイドラローラ６５Ｂに代えて第一アイドラローラ６５Ａの位置を移動させることにより、ベルトＢの一端を昇降方向に移動させる構成としてもよい。

上記実施形態及び変形例では、直動機構６７としてボールねじを採用した例を挙げて説明したが、シリンダ、リニアガイド等を採用してもよい。

上記実施形態及び変形例の保持ユニット７は、第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０を介してベルトＢの一端と接続されている例を挙げて説明したが、保持ユニット７に直接接続されてもよい。また、四本のベルトＢが、そのまま直接保持ユニット７に接続されてもよい。また、三本のベルトＢによって保持ユニット７に接続されてもよい。

上記実施形態及び変形例では、天井搬送車１と測定ユニット８０との間で、通信部を介して直接やりとりする例を挙げて説明したが、エリアコントローラ１１０を介して各種情報をやりとりしてもよい。

上記実施形態及び上記変形例の測定ユニット８０の構成に加えて、バッテリ及び通信部を備え、これらが一体的に構成された測定ユニットを用いてもよい。

１…天井搬送車、７…保持ユニット、８…搬送車コントローラ（制御部）、６１…ベース（本体部）、６４…第三アイドラローラ（案内ローラ）、６５Ａ…第一アイドラローラ（案内ローラ）、６５Ｂ…第二アイドラローラ（案内ローラ）、６７…直動機構（位置調整部）、８０…測定ユニット（測定部）、８２…ユニットコントローラ、８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３…距離センサ、８８…通信部、９０…被測定ユニット（被測定部）、９３，９４，９５…ターゲットプレート、１００…搬送車システム、１１０…エリアコントローラ。

Claims (14)

1. 物品を把持する把持部を有する昇降部を複数の吊持部材によって昇降させるようにした天井搬送車を備える搬送車システムであって、
   測定対象箇所を測定する測定部と、
   前記測定対象箇所が形成された被測定部と、
   予め定められた設定値に従って前記昇降部を昇降させる制御部と、
   前記天井搬送車の走行領域に設けられており、前記測定部の載置台が形成されたメンテナンス架台と、
   前記測定部が前記被測定部を測定した結果を前記天井搬送車に設けられている前記制御部に無線で送信する通信部と、を備え、
   前記被測定部は、前記把持部に把持可能な第一ユニット部材として形成されており、
   前記測定部は、前記載置台に載置可能な第二ユニット部材として形成されており、
   前記第一ユニット部材が、前記載置台に載置された前記第二ユニット部材に支持された状態で前記メンテナンス架台に載置されており、
   前記制御部は、前記メンテナンス架台の前記載置台において前記第二ユニット部材に支持された状態の前記第一ユニット部材を前記把持部によって把持させると共に、前記載置台に載置された状態の前記第二ユニット部材が、前記把持部によって把持された前記第一ユニット部材を測定可能となるように前記昇降部を上昇させ、前記載置台に載置された状態の前記第二ユニット部材から前記通信部を介して送信されてくる前記第一ユニット部材の測定結果に基づいて前記設定値を補正する、搬送車システム。
2. （削除）
3. （削除）
4. （削除）
5. 前記天井搬送車は、本体部と、前記複数の吊持部材が巻き取り及び繰り出しされることにより前記本体部に対して昇降可能に設けられる前記昇降部と、前記天井搬送車の搬送方向及び鉛直方向の両方に直交する方向に前記昇降部を移動させるスライド部と、を有し、
   前記メンテナンス架台は、前記天井搬送車が前記スライド部を作動させることなく前記昇降部を下降させることにより前記物品を載置可能な位置に設けられる第一載置台と、前記第一載置台の鉛直方向における上方に設けられると共に、前記第一載置台の鉛直方向における上方領域から水平方向に退避可能に設けられる第二載置台と、少なくとも前記天井搬送車が前記スライド部を作動させることにより前記物品を載置可能な位置に設けられる第三載置台と、を備えている、請求項１記載の搬送車システム。
6. 前記天井搬送車を定期的に前記メンテナンス架台に移動させるエリアコントローラを更に備える、請求項１記載の搬送車システム。
7. （削除）
8. 物品を把持する把持部を有する昇降部を複数の吊持部材によって昇降させるようにした天井搬送車を備える搬送車システムであって、
   測定対象箇所を測定する測定部と、
   前記測定対象箇所が形成された被測定部と、
   予め定められた設定値に従って前記昇降部を昇降させる制御部と、を備え、
   前記天井搬送車は、
   前記複数の吊持部材の巻き取り及び繰り出しを行うことにより、前記昇降部を昇降させる巻取ドラムと、
   前記巻取ドラムから繰り出される前記吊持部材が巻き掛けられる少なくとも一つの案内ローラと、
   前記巻取ドラム及び前記案内ローラを支持する本体部と、
   前記本体部に対する前記案内ローラの相対位置を移動させることにより、前記吊持部材の前記昇降部への接続部分を昇降方向に移動させる、少なくとも一つの位置調整部と、
   前記昇降部における傾きに関する情報に基づいて前記位置調整部による前記案内ローラの移動を制御する前記制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記把持部によって把持される前記測定部及び前記被測定部の一方と、所定位置に形成又は載置される前記測定部及び所定位置に形成又は載置される前記被測定部の他方とによって、前記測定部が前記被測定部を測定可能となるように前記昇降部を昇降制御すると共に、前記測定部が前記被測定部を測定した結果に基づいて前記設定値を補正し、
   前記設定値には、前記傾きに関する情報が含まれる、搬送車システム。
9. 前記測定部及び前記被測定部の一方は、前記把持部に把持可能な第一ユニット部材として形成されており、
   前記測定部及び前記被測定部の他方は、前記所定位置に載置可能な第二ユニット部材として形成されており、
   前記第一ユニット部材及び前記第二ユニット部材の一方が、前記第一ユニット部材及び前記第二ユニット部材の他方に支持された状態で前記所定位置に載置されている、請求項８記載の搬送車システム。
10. 前記測定部が前記被測定部を測定した結果を前記天井搬送車に設けられている前記制御部に送信する通信部を更に備えており、
    前記被測定部が、前記把持部によって把持された状態で用いられ、前記測定部が、前記所定位置に載置された状態で用いられる、請求項８又は９記載の搬送車システム。
11. 前記天井搬送車の走行領域に設けられており、前記所定位置となる載置台が形成されたメンテナンス架台を更に備える、請求項８～１０の何れか一項記載の搬送車システム。
12. 前記天井搬送車は、本体部と、前記複数の吊持部材が巻き取り及び繰り出しされることにより前記本体部に対して昇降可能に設けられる前記昇降部と、前記天井搬送車の搬送方向及び鉛直方向の両方に直交する方向に前記昇降部を移動させるスライド部と、を有し、
    前記メンテナンス架台は、前記天井搬送車が前記スライド部を作動させることなく前記昇降部を下降させることにより前記物品を載置可能な位置に設けられる第一載置台と、前記第一載置台の鉛直方向における上方に設けられると共に、前記第一載置台の鉛直方向における上方領域から水平方向に退避可能に設けられる第二載置台と、前記天井搬送車が少なくとも前記スライド部を作動させることにより前記物品を載置可能な位置に設けられる第三載置台と、を備えている、請求項１１記載の搬送車システム。
13. 前記天井搬送車を定期的に前記メンテナンス架台に移動させる、エリアコントローラを更に備える、請求項１１又は１２記載の搬送車システム。
14. 前記設定値は、前記物品の載置部ごとに設定されており、
    前記測定部及び前記被測定部の一方が、前記把持部によって把持された状態で用いられ、
    前記測定部及び前記被測定部の他方は、測定対象となる前記載置部に形成又は載置された状態で用いられる、請求項８～１３の何れか一項記載の搬送車システム。

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