JP7234109B2 - 基板を加工する方法 - Google Patents
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Description
基板を加工する方法であって、
基板と第1の担体との間の外周接合界面の第1の位置で剥離を開始して、前記第1の担体の一部を前記基板から分離するステップと、
前記第1の担体の対応する複数の連続する吊上げ位置で複数の揚力を前記第1の担体に順次加えることによって、前記第1の剥離された位置から離れて延びる第1の方向に沿って前記第1の剥離された位置から第1の剥離前縁を伝播するステップであって、前記第1の剥離前縁が前記第1の担体の前記対応する吊上げ位置を過ぎて伝播した後、前記複数の揚力の各揚力が前記複数の連続する吊上げ位置の対応する吊上げ位置で加えられる、伝播するステップと、
を含む方法。
前記第1の担体の前記対応する複数の連続する吊上げ位置で前記第1の担体に前記複数の揚力を順次加えて、前記第1の担体が前記基板から完全に分離されるまで前記第1の剥離前縁を伝播するステップを含む、実施形態1に記載の方法。
前記複数の揚力が、前記第1の方向に沿って配置された対応する複数の吸着カップによって順次加えられる、実施形態1および2のいずれか1つに記載の方法。
前記第1の剥離前縁を伝播する前に前記複数の吸着カップが前記第1の担体と係合し、前記第1の剥離前縁がそれぞれの吸着カップを過ぎて伝播した後、前記第1の剥離前縁が前記第1の方向に沿ってそれぞれの吸着カップから下流に配置された前記複数の吸着カップのうちの直ぐ隣接する吸着カップを過ぎて伝播する前に、前記複数の揚力が前記複数の吸着カップのうちの前記それぞれの吸着カップによって順次加えられる、実施形態3に記載の方法。
前記第1の担体が前記基板から完全に分離されるまで、前記第1の剥離前縁の伝播を止めることなく前記第1の剥離前縁を伝播し続けるステップを含む、実施形態1から4のいずれか1つに記載の方法。
熱電気効果に基づいて、前記基板と前記第1の担体との間の接合エネルギーを低減するステップを含む、実施形態1から5のいずれか1つに記載の方法。
前記基板と前記第1の担体との間の接合エネルギーを低減するステップは、前記第1の担体の温度を低減するステップを含む、実施形態6に記載の方法。
前記第1の担体に前記複数の揚力を加えると同時に、前記第2の担体の曲げを抑制するステップを含む、実施形態1から7のいずれか1つに記載の方法。
前記第2の担体の曲げを抑制するステップは、前記第1の担体に前記複数の揚力を加えると同時に、前記第2の担体の第2の主面をプレートに取り外し可能に取り付けて、前記第2の担体の曲げを抑制するステップを含む、実施形態8に記載の方法。
前記基板と前記第1の担体との間の前記外周接合界面の前記第1の位置は、前記基板の第1の縁と第2の縁との交点に画定された前記基板の角部を含む、実施形態1から9のいずれか1つに記載の方法。
前記第1の方向は、前記基板を斜めに横切って前記基板の前記角部から延びる、実施形態10に記載の方法。
前記基板と前記第1の担体との間の前記外周接合界面の前記第1の位置は、前記基板の外周縁を含み、前記第1の方向は、前記基板の前記外周縁に対して垂直に、前記基板を横切って延びる、実施形態1から9のいずれかに記載の方法。
前記第1の担体を前記基板から完全に分離した後、前記基板と第2の担体との間の外周接合界面である第2の位置で剥離を開始して、前記第2の担体の一部を前記基板から分離して、前記第2の担体の対応する複数の連続する吊上げ位置で複数の揚力を前記第2の担体に順次加えることによって前記剥離された第2の位置から離れて延びる第2の方向に沿って前記剥離された第2の位置から第2の剥離前縁を伝播するステップであって、前記第2の剥離前縁が前記第2の担体の前記対応する吊上げ位置を過ぎて伝播した後、前記複数の揚力のそれぞれの揚力が前記複数の連続する吊上げ位置の対応する吊上げ位置に順次加えられる、伝播するステップを含む、実施形態2に記載の方法。
前記複数の揚力を前記第2の担体に前記第2の担体の前記対応する複数の連続する吊上げ位置で順次加えて、前記第2の担体が前記基板から完全に分離されるまで前記剥離前縁を伝播するステップを含む、実施形態13に記載の方法。
前記第2の担体が前記基板から完全に分離されるまで、前記第2の剥離前縁の伝播を止めることなく前記第2の剥離前縁を伝播し続けるステップを含む、実施形態13および14のいずれか1つに記載の方法。
熱電気効果に基づいて、前記基板と前記第2の担体との間の接合エネルギーを低減するステップを含む、実施形態13から15のいずれか1つに記載の方法。
前記基板と前記第2の担体との間の接合エネルギーを低減するステップが、前記第2の担体の温度を低減するステップを含む、実施形態16に記載の方法。
前記複数の揚力を前記第2の担体に加えると同時に、前記基板の曲げを抑制するステップを含む、実施形態13から17のいずれか1つに記載の方法。
前記基板の曲げを抑制するステップは、前記複数の揚力を前記第2の担体に加えると同時に、前記基板の前記第1の主面を取り外し可能にプレートに取り付けて、前記基板の曲げを抑制するステップを含む、実施形態18に記載の方法。
前記基板と前記第2の担体との間の前記外周接合界面の前記第2の位置は、前記基板の第1の縁と第2の縁との交点に画定された前記基板の角部を含む、実施形態13から19のいずれか1つに記載の方法。
前記第2の方向は、前記基板を斜めに横切って前記基板の角から延びる、実施形態20に記載の方法。
前記基板と前記第2の担体との間の前記外周接合界面の前記第2の位置は、前記基板の前記外周縁を含み、前記第2の方向は、前記基板の前記外周縁に対して垂直に、前記基板を横切って延びる、実施形態13から19のいずれか1つに記載の方法。
前記基板は、ガラスとシリコンのうちの少なくとも1つを含む、実施形態1から22のいずれか1つに記載の方法。
110 第1の担体
120 第2の担体
130 基板
136 外周縁
145 界面壁
151 プレート
400 第1の剥離された位置
500 第2の剥離された位置
600 剥離装置
650 複数の吸着カップ
700 第1の方向
800 第2の方向
900、1000、1100 第1の剥離前縁
1300、1400、1500 第2の剥離前縁
Claims (17)
- 第1の担体の第1の主面に取り外し可能に接合された基板の第1の主面および第2の担体の第1の主面に取り外し可能に接合された基板の第2の主面を備える基板を加工する方法であって、
前記基板と前記第1の担体との間の外周接合界面の第1の位置で剥離を開始して、前記第1の担体の一部を前記基板から分離するステップと、
前記第1の担体の対応する複数の連続する吊上げ位置で複数の揚力を前記第1の担体に順次加えることによって、前記第1の剥離された位置から離れて延びる第1の方向に沿って前記第1の剥離された位置から第1の剥離前縁を伝播するステップであって、前記第1の剥離前縁が前記第1の担体の前記対応する吊上げ位置を過ぎて伝播した後、前記複数の揚力の各揚力が前記複数の連続する吊上げ位置の対応する吊上げ位置で加えられる、伝播するステップと、
を含み、
前記複数の揚力が、前記第1の方向に沿って配置された対応する複数の吸着カップによって順次加えられ、
前記第1の剥離前縁を伝播する前に前記複数の吸着カップが前記第1の担体と係合し、前記第1の剥離前縁がそれぞれの吸着カップを過ぎて伝播した後、前記第1の剥離前縁が前記第1の方向に沿ってそれぞれの吸着カップから下流に配置された前記複数の吸着カップのうちの直ぐ隣接する吸着カップを過ぎて伝播する前に、前記複数の揚力が前記複数の吸着カップのうちの前記それぞれの吸着カップによって順次加えられる、方法。 - 前記第1の担体の前記対応する複数の連続する吊上げ位置で前記第1の担体に前記複数の揚力を順次加えて、前記第1の担体が前記基板から完全に分離されるまで前記第1の剥離前縁を伝播するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の担体が前記基板から完全に分離されるまで、前記第1の剥離前縁の伝播を止めることなく前記第1の剥離前縁を伝播し続けるステップを含む、請求項1または2に記載の方法。
- 第1の担体の第1の主面に取り外し可能に接合された基板の第1の主面および第2の担体の第1の主面に取り外し可能に接合された基板の第2の主面を備える基板を加工する方法であって、
前記基板と前記第1の担体との間の外周接合界面の第1の位置で剥離を開始して、前記第1の担体の一部を前記基板から分離するステップと、
前記第1の担体の対応する複数の連続する吊上げ位置で複数の揚力を前記第1の担体に順次加えることによって、前記第1の剥離された位置から離れて延びる第1の方向に沿って前記第1の剥離された位置から第1の剥離前縁を伝播するステップであって、前記第1の剥離前縁が前記第1の担体の前記対応する吊上げ位置を過ぎて伝播した後、前記複数の揚力の各揚力が前記複数の連続する吊上げ位置の対応する吊上げ位置で加えられる、伝播するステップと、を含み、
前記第1の担体の温度を低減することによって、熱電気効果に基づいて、前記基板と前記第1の担体との間の接合エネルギーを低減するステップを含む方法。 - 前記第2の担体の第2の主面をプレートに取り外し可能に取り付けて、前記第1の担体に前記複数の揚力を加えると同時に前記第2の担体の曲げを抑制することによって、前記第1の担体に前記複数の揚力を加えると同時に前記第2の担体の曲げを抑制するステップを含む、請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基板と前記第1の担体との間の前記外周接合界面の前記第1の位置が、前記基板の第1の縁と第2の縁との交点に画定された前記基板の角部を含み、前記第1の方向が、前記基板を斜めに横切って前記基板の前記角部から延びる、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基板と前記第1の担体との間の前記外周接合界面の前記第1の位置が、前記基板の外周縁を含み、前記第1の方向が、前記基板の前記外周縁に対して垂直に、前記基板を横切って延びる、請求項1から6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第1の担体を前記基板から完全に分離した後、前記基板と第2の担体との間の外周接合界面である第2の位置で剥離を開始して、前記第2の担体の一部を前記基板から分離し、前記第2の担体の対応する複数の連続する吊上げ位置で複数の揚力を前記第2の担体に順次加えることによって前記剥離された第2の位置から離れて延びる第2の方向に沿って前記剥離された第2の位置から第2の剥離前縁を伝播するステップであって、前記第2の剥離前縁が前記第2の担体の前記対応する吊上げ位置を過ぎて伝播した後、前記複数の揚力のそれぞれの揚力が前記複数の連続する吊上げ位置の対応する吊上げ位置に順次加えられる、伝播するステップを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記第2の担体が前記基板から完全に分離されるまで、前記第2の剥離前縁の伝播を止めることなく前記第2の剥離前縁を伝播し続けるステップを含む、請求項8に記載の方法。
- 第1の担体の第1の主面に取り外し可能に接合された基板の第1の主面および第2の担体の第1の主面に取り外し可能に接合された基板の第2の主面を備える基板を加工する方法であって、
前記基板と前記第1の担体との間の外周接合界面の第1の位置で剥離を開始して、前記第1の担体の一部を前記基板から分離するステップと、
前記第1の担体の対応する複数の連続する吊上げ位置で複数の揚力を前記第1の担体に順次加えることによって、前記第1の剥離された位置から離れて延びる第1の方向に沿って前記第1の剥離された位置から第1の剥離前縁を伝播するステップであって、前記第1の剥離前縁が前記第1の担体の前記対応する吊上げ位置を過ぎて伝播した後、前記複数の揚力の各揚力が前記複数の連続する吊上げ位置の対応する吊上げ位置で加えられる、伝播するステップと、
を含み、
前記伝播するステップは、前記第1の担体が前記基板から完全に分離されるまで前記第1の剥離前縁を伝播し、
前記伝播するステップは、さらに、前記第1の担体を前記基板から完全に分離した後、前記基板と第2の担体との間の外周接合界面である第2の位置で剥離を開始して、前記第2の担体の一部を前記基板から分離し、前記第2の担体の対応する複数の連続する吊上げ位置で複数の揚力を前記第2の担体に順次加えることによって前記剥離された第2の位置から離れて延びる第2の方向に沿って前記剥離された第2の位置から第2の剥離前縁を伝播し、前記第2の剥離前縁が前記第2の担体の前記対応する吊上げ位置を過ぎて伝播した後、前記複数の揚力のそれぞれの揚力が前記複数の連続する吊上げ位置の対応する吊上げ位置に順次加えられるよう伝播し、
前記第2の担体の温度を低減することによって、熱電気効果に基づいて、前記基板と前記第2の担体との間の接合エネルギーを低減するステップを含む、方法。 - 第1の担体の第1の主面に取り外し可能に接合された基板の第1の主面および第2の担体の第1の主面に取り外し可能に接合された基板の第2の主面を備える基板を加工する方法であって、
前記基板と前記第1の担体との間の外周接合界面の第1の位置で剥離を開始して、前記第1の担体の一部を前記基板から分離するステップと、
前記第1の担体の対応する複数の連続する吊上げ位置で複数の揚力を前記第1の担体に順次加えることによって、前記第1の剥離された位置から離れて延びる第1の方向に沿って前記第1の剥離された位置から第1の剥離前縁を伝播するステップであって、前記第1の剥離前縁が前記第1の担体の前記対応する吊上げ位置を過ぎて伝播した後、前記複数の揚力の各揚力が前記複数の連続する吊上げ位置の対応する吊上げ位置で加えられる、伝播するステップと、
を含み、
前記伝播するステップは、前記第1の担体が前記基板から完全に分離されるまで前記第1の剥離前縁を伝播し、前記第1の担体を前記基板から完全に分離した後、前記基板と第2の担体との間の外周接合界面である第2の位置で剥離を開始して、前記第2の担体の一部を前記基板から分離し、前記第2の担体の対応する複数の連続する吊上げ位置で複数の揚力を前記第2の担体に順次加えることによって前記剥離された第2の位置から離れて延びる第2の方向に沿って前記剥離された第2の位置から第2の剥離前縁を伝播し、前記第2の剥離前縁が前記第2の担体の前記対応する吊上げ位置を過ぎて伝播した後、前記複数の揚力のそれぞれの揚力が前記複数の連続する吊上げ位置の対応する吊上げ位置に順次加えられるよう伝播し、
前記伝播するステップは、前記第2の担体が前記基板から完全に分離されるまで、前記第2の剥離前縁の伝播を止めることなく前記第2の剥離前縁を伝播し続け、
前記第2の担体の温度を低減することによって、熱電気効果に基づいて、前記基板と前記第2の担体との間の接合エネルギーを低減するステップを含む、方法。 - 前記基板の前記第1の主面を取り外し可能にプレートに取り付けて、前記複数の揚力を前記第2の担体に加えると同時に、前記基板の曲げを抑制することによって、前記複数の揚力を前記第2の担体に加えると同時に、前記基板の曲げを抑制するステップを含む、請求項9から11のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基板と前記第2の担体との間の前記外周接合界面の前記第2の位置が、前記基板の第1の縁と第2の縁との交点に画定された前記基板の角部を含み、前記第2の方向が、前記基板を斜めに横切って前記基板の前記角部から延びる、請求項9から12のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基板と前記第2の担体との間の前記外周接合界面の前記第2の位置が、前記基板の外周縁を含み、前記第2の方向が、前記基板の前記外周縁に対して垂直に、前記基板を横切って延びる、請求項9から13のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基板が、ガラスとシリコンのうちの少なくとも1つを含む、請求項1から14のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第1の担体の前記基板からの剥離の間に発生した静電気を中和することによって、消イオン作用に基づいて、前記基板と前記第1の担体との間の接合エネルギーを低減するステップを含む、請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第2の担体の前記基板からの剥離の間に発生した静電気を中和することによって、消イオン作用に基づいて、前記基板と前記第2の担体との間の接合エネルギーを低減するステップを含む、請求項10または11に記載の方法。
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