JP7222721B2 - 洗浄機構 - Google Patents
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Description
よって、板状ワークの下面を洗浄する洗浄機構においては、ゴミの付着したブラシで板状ワークの下面を洗浄しないようにするという課題がある。
なお、本発明に係る洗浄機構8が配設される研削装置は、研削手段として粗研削手段と仕上げ研削手段との2軸備え、回転するターンテーブルでチャックテーブル30を各研削手段の下方に位置付ける構成となっていてもよい。また、洗浄機構8は研削装置以外にも、切削装置、研磨装置、又はレーザ加工装置等に配設されていてもよい。
搬出手段16と近接する位置には、搬出手段16によりチャックテーブル30から搬送された加工後の板状ワークWを洗浄する枚葉式のスピンナー洗浄手段156が配置されている。スピンナー洗浄手段156により洗浄された板状ワークWは、ロボット155により第2のカセット151aに搬入される。
保持手段14に保持された板状ワークWの下面Waを洗浄する図1、2に示す洗浄機構8は、図示の例では平面視円形の底板800と、底板800の外周から一体的に+Z方向に立ち上がる側板801とからなる桶80を備えている。
ブラシ83の直径は、本実施形態のように板状ワークWの直径よりも大きく設定されていると好ましい。
また、側板801の上端面801aより所定距離Hだけ高位置にあるブラシ83の毛先となる上面83aは、表面張力で盛り上がった状態の洗浄水で覆われる。
また、搬出手段16が保持する研削後の板状ワークWの下面Waを洗浄機構8によって洗浄してもよい。
なお、該板状ワークWの下面Waに付着しているゴミの洗浄除去は、図3に示すブラシ87を用いた場合でも略同様に行われていく。
なお、図3に示すブラシ87を用いた場合においても、桶80の水面におけるブラシ87の中心から外周側に向かう洗浄水の流れによって、表面張力で盛り上がった状態の洗浄水が桶80内から溢れ出ていくと共に、ブラシ87の上面87aに付着しているゴミが洗い落とされていく。
1:研削装置 10:ベース 12:コラム
150a:第1のカセット 151a:第2のカセット
155:ロボット 152:仮置き領域 153:位置合わせ手段 156:スピンナー洗浄手段
14:保持手段 140:アーム部 141:吸引パッド 141c:吸着面 143:旋回移動手段 144:昇降手段 16:搬出手段
30:チャックテーブル 30a:保持面
2:研削送り手段 20:ボールネジ 22:モータ
4:研削手段 40:回転軸 42:モータ 44:研削ホイール 440:研削砥石
8:洗浄機構 80:桶 800:底 801:側板 801a:側板の上端面 81:供給口
85:支持柱 850:供給路 851:継手
89:水供給源 890:開閉バルブ 893:供給管
83:ブラシ 83a:ブラシの毛先となる上面 831:ブラシ用プレート 830:開口
87:ブラシ 87a:ブラシの毛先となる上面 871:ブラシ用プレート
Claims (1)
- 保持手段に保持された板状ワークの下面を洗浄する洗浄機構であって、
底板と側板とで凹形状に形成された桶と、該底板の中央に形成され該桶内に水を供給する供給口と、該底板の中心と中心を一致させ該桶内に配設するブラシと、を備え、
該ブラシの毛先となる上面は、該側板の上端面より所定距離だけ高位置にあり、
該桶内に溜められた水の表面張力で該側板の上端面よりも盛り上がる水面が該ブラシを覆い、水没した該ブラシの上面を水が流れて該ブラシの毛先を洗浄する洗浄機構。
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