JP7220692B2 - 真空ポンプ、スクロールポンプ及びその製造方法 - Google Patents

Description

本願は、真空ポンプ、特にスクロールポンプ及びその製造方法の改良に関する。

本発明の第１の観点は、ポンプ作用を発生させるために偏心的に励起可能な可動のスクロール部材を有し、スクロール部材は、ベースプレートと、ベースプレートを起点として延在するスクロール壁とを有する、スクロールポンプから出発する。本発明の一課題は、このようなスクロールポンプの製造を容易にすることである。この課題は、特に、ベースプレートに、外側で、ベースプレートの周にわたって間隔を置いて位置する少なくとも２つの保持突出部が設けられていることによって解決される。

スクロール壁は、ベースプレートの平坦面から延在し、したがって軸方向にベースプレートから突出するのに対し、保持突出部は、径方向にベースプレートの周、つまりベースプレートの径方向外縁から突出する径方向の突出部である。

これらの保持突出部で、スクロール部材は、特に直接に容易にクランプすることができる。保持突出部は、特に周側に配置されている、かつ／又は周にわたって均一に配置されている。

有利には、少なくとも又は正確に３つ若しくは４つの保持突出部が設けられていることが想定され得る。

保持突出部は、好適には、素材寸法が、保持突出部によって拡大されないように構成することができる。

例えば、隣り合う２つの保持突出部の間におけるベースプレートの周の第１の中間部分は、第２の中間部分よりも大きな径方向の高さを有することができる。これにより、第１の中間部分における質量の増大を容易に達成することができ、これは、例えばアンバランスの補整に役立つ。

好適には、第１の中間部分は、スクロール壁の最も外側の１２０°の部分にかつ／又は最も外側の１８０°の部分に、少なくとも大体において対向して配置されていることが想定され得る。これにより、スクロール壁の最も外側の部分の質量は、第１の中間部分によって容易に補整することができる。

別の一実施形態によれば、少なくとも１つの保持突出部の領域では又はその付近では、ベースプレートに固定穴が配置されていないことが想定されている。これにより、スクロール部材の安定性を容易に向上させることができる。というのも、保持突出部によってクランプ装置に対抗する保持力が、付近に位置する取付穴によって弱められることがないからである。スクロール部材における固定穴は、例えば、波形ベローズ及び／又は軸受要素を後で取り付けるために用いることができる。

第１の観点の課題は、スクロールポンプ、特に前述のタイプのスクロールポンプを製造する方法によっても解決され、この場合、スクロールポンプは、ポンプ作用を発生させるために偏心的に励起可能な可動のスクロール部材を有し、スクロール部材は、ベースプレートでもって、直接にクランプ装置にクランプされる。

直接のクランプによって、方法は、著しく容易化されている。特に、スクロール部材に取り付けられるべきクランプ補助具が不要である。

例えば、スクロール部材において、ベースプレートとベースプレートを起点に延在するスクロール壁とが一緒に切削により製作される。好適には、クランプ装置は、爪チャックを有することができる又は爪チャックであり得る。代替的に又は付加的に、好適には、クランプ装置の爪チャックの爪は、ベースプレートの外側に配置された、周にわたって間隔を置いて位置する少なくとも２つの保持突出部に係合することができる。

一発展形態によれば、クランプ装置は、スクロール部材への工具アクセスが、ベースプレートの、スクロール壁が形成された一方の側からのみならず、ベースプレートの他方の側、特に反対の側からも可能であるように、構成されていることが想定されている。この場合、好適には、スクロール部材は、少なくとも実質的に一度のクランプで、両側から加工する、かつ／又は両側からの加工により仕上げることができる。

クランプ装置は、好適には、爪チャック、特に３爪チャック又は４爪チャックであり得る又はそれを有することができる。

本発明は、概してかつそれ自体独立して、スクロールポンプのスクロール部材を特に直接にクランプするための、特に爪チャックを有するクランプ装置にも関し、スクロール装置は、スクロール部材への工具アクセスがベースプレートの、スクロール壁が形成された一方の側からのみならず、ベースプレートの他方の側からも可能であるように、構成されている。これは、好適には、例えば連続して延在する空所、特に孔を有する爪チャックであり得る。

本発明の第２の観点は、スクロール部材を有し、スクロール部材は、ベースプレートとベースプレートを起点に延在するスクロール壁とを有し、スクロール壁は、スクロール壁の、ベースプレートとは反対の側の端部に、溝を有し、溝に、シール要素が収容されていて、溝は、対向する２つの側壁によって画定されている、スクロールポンプから出発する。一課題は、スクロールポンプを組み付けるときにスクロール部材の取扱いを容易にする、かつ／又は取扱い時にスクロール部材が損傷するおそれを低減することである。この課題は、特に、第１のスクロール部分では、第１の側壁が、第１のスクロール部分における第２の側壁よりも、かつ／又は第２のスクロール部分における一方又は両方の側壁よりも厚くなっていることによって解決される。

局所的により厚い側壁の構成によって、側壁は、局所的に、特に損傷しやすい領域において補強されている。したがって、損傷のリスクが低減され、取扱いが容易になっている。

一実施例によれば、第１のスクロール部分は、スクロール壁の外側の端部部分であることが想定されている。第１のスクロール部分は、特に損傷しやすい。さらに内側に位置するスクロール部分は、特に外側に位置するスクロール部分によって防護されているので、内側では「増厚」の必要がない。したがって、総じて好適には質量を低減するという観点では、好適には、スクロール壁の外側の端部部分のみが増厚部を有する。

一般的に、第１のスクロール部分は、好適には、少なくとも大体において、スクロール壁の最後の半分の巻条内に配置することができる。第１のスクロール部分は、特に損傷するおそれがある。この場合、有利には、巻条の最後から２つめの半部も原則として外側に配置されているが、ベースプレートのより大きな突出部がすでにある程度の保護を有することが利用される。したがって、スクロール部材の質量を比較的小さく保持することができる。

一発展形態は、第１のスクロール部分が最小で１００°にわたって、好適には最小で１４０°にわたって延在することを想定している。好適には、第１のスクロール部分は、代替的に又は付加的に、最大で２００°にわたって、好適には最大で１８０°にわたって延在することができる。記載された領域では、本発明における利点が、特に顕著に発揮される。

別の一実施例によれば、第１のスクロール部分は、スクロール壁のポンプ作用を奏しない領域に配置されている。これにより、有利には、そのようなポンプ作用を奏しない領域では、一般的に厳密な製造公差があまり必要とされないことが利用される。したがって、増厚部を特に容易に製作することができる。

第１の側壁は、別の有利な例によれば、径方向外側の側壁であり得る。これにより、損傷のおそれを特に大きく低減することが可能になる。

好適には、第１の側壁は、例えば最小で０．２ｍｍだけ、かつ／又は最大で１ｍｍだけ、特に最大で０．７ｍｍだけ、特に最大で０．４ｍｍだけより厚くすることができる。これにより、特に追加の質量を比較的小さくしつつ、特に良好な安定化が可能になる。

別の一実施形態は、スクロール部材が、可動であり、かつポンプ作用を発生させるために偏心的に励起可能であることを想定している。本発明の利点は、可動のスクロール部材において特に顕著に発揮される。

本発明の第３の観点によれば、１つ又は複数のエレクトロニクスコンポーネントが配置されたエレクトロニクスハウジングを備える、真空ポンプ、特にスクロールポンプから出発する。本発明の一課題は、エレクトロニクスコンポーネントからの良好な放熱又は良好な冷却を提供することである。この課題は、特に、少なくとも１つのエレクトロニクスコンポーネントのためのエレクトロニクスハウジング内に、別個のチャンバが設けられていて、チャンバに、エレクトロニクスコンポーネントが封入されていることによって解決される。

特に良好な放熱の他に、チャンバは、エレクトロニクスコンポーネントを、付加的に、特に熱放射及び電磁影響に対して遮蔽する。さらに、別個のチャンバが、比較的少量の封入材料の使用を可能にする。封入材料は、たいていは高価である。好適には、エレクトロニクスハウジングは、金属から構成することができる。

封入に用いられる封入材料は、特に熱伝導性にかつ／又は電気絶縁性に構成されている。

例えば、複数の別個のチャンバを設けることができる。一実施形態は、複数のチャンバにそれぞれ少なくとも１つのエレクトロニクスコンポーネントが封入されていることを想定している。ゆえに、特に様々なエレクトロニクスコンポーネントを確実に互いに分離する、特に互いに遮蔽することができる。同時に、有利な放熱が可能になる。

例えば有利には、エレクトロニクスコンポーネントが封入されていない少なくとも１つの別個のチャンバが設けられていることが想定され得る。一般的に、エレクトロニクスハウジングは、例えば、特に１つのシリーズの様々なポンプに対して同一に構成することができ、この場合、別個のチャンバは、様々なエレクトロニクスコンポーネントに対して提供され、エレクトロニクスコンポーネントは、ポンプタイプに応じてチャンバ内に組み込まれている又は組み込まれていない。その点において、有利には、少なくとも１つの別個のチャンバが提供され、このチャンバには、別のポンプタイプで使用されるエレクトロニクスコンポーネントを組み込む、特に封入することができる。したがって、ある種のモジュールシステムを実現することができ、このことは、製作における顕著なコスト的な利点を実現可能にする。

本発明の第４の観点によれば、スクロールポンプから出発する。一課題は、真空システムにおけるスクロールポンプの適用を容易にすることである。この課題は、特に、ポンプが組み込まれた圧力センサを有することによって解決される。

真空システムは、たいてい、例えば真空チャンバ内に圧力センサをすでに有する。圧力センサをスクロールポンプに組み込むことによって、そこで、スクロールポンプは、十分に独立して、かつ真空システムの圧力センサに対する面倒な接続なしに運転することができる。その逆に、真空システムにおいて付加的な圧力センサを例えば省くことができる。一般的に、組み込まれた圧力センサは、スクロールポンプ自体を監視し、それを、手間をかけてプロセスガイドシステムによって実行しなくてよいことを可能にする。ゆえに、特にポンプの摩耗状態を、測定された圧力に応じて監視することができる。特に、スクロールポンプが高真空ポンプ用のフォアポンプとして設けられている場合には、組み込まれた圧力センサによって、さらに、運転確実性の向上を保証することができる。ゆえに、例えば、スクロールポンプ内の圧力が高すぎるとき、高真空ポンプをオフに切り替える、かつ／又は介在されたバルブを閉じる又は同等の手段を講じることができる。そうすると、高真空ポンプは、過度に高い圧力での運転から確実に保護することができる。

好適には、圧力センサは、スクロールポンプ及び／又は真空システムの制御部に組み込むことができる。したがって、スクロールポンプ及び／又は真空システムは、良好に閉ループ又は開ループで制御することができ、それも、スクロールポンプにおける既知の圧力に基づいて制御することができる。

一実施形態によれば、ポンプの吸引圧力、又はポンプ作用を奏する２つのスクロール壁の間もしくはポンプ作用を奏するスクロール部分における２つのスクロール壁の間の圧力を測定する圧力センサが設けられていることが想定されている。どちらも、ポンププロセス及びポンプの、特にチップシールなどのシール要素又はスクロール壁の摩耗状態のさらに精密な監視を可能にする。

別の有利な一実施形態では、圧力センサは、スクロールポンプの構成部材にねじ込まれている。これにより、一方ではスクロールポンプの簡単な構造が実現され、他方では柔軟な取り扱いが可能になる。組み込まれた圧力センサの代わりに、例えば、ユーザのプロセスにとって組み込まれた圧力センサが必須ではないとき、単に盲栓を設けることができる。それにもかかわらず、この場合、組み込まれた圧力センサを容易に後付けすることができる。圧力センサがねじ込まれた構成部材は、例えば、ハウジング要素及び／又は固定のスクロール部材であり得る。特に、圧力センサは、軸方向に、固定のスクロール部材にねじ込むことができる。

一発展形態によれば、圧力センサは、ポンプの冷却装置、例えばファンの冷却空気流に配置されていることが想定され得る。ゆえに、圧力センサは、有利な形で直接に冷却することができ、これにより、圧力センサの耐用期間及び測定精度が改善される。好適には、圧力センサは、少なくとも大体において冷却空気流の始端に、つまりファンに隣り合ってかつ／又はエアガイドフード内に配置することができる。

原則的に、例えば、スクロールポンプに組み込まれた複数の圧力センサを設けることもできる。これにより、特に制御及び摩耗監視をその上さらに改善することができる。

本発明の第５の観点では、スクロールポンプが、ポンプの可動のスクロール部材を偏心的に励起する偏心シャフトを有し、様々なタイプの複数のバランスウェイトが、それぞれ特定のタイプのスクロールポンプの偏心シャフトに取り付けるために提供される、スクロールポンプを組み付ける方法から出発する。一課題は、組付けを特に確実に実施することができるようにすることである。この課題は、特に、偏心シャフト、バランスウェイト及び／又はポンプの別の構成部材、例えばポンプハウジングが寸法設定されていて、特定の取付け位置で特定のタイプのバランスウェイトだけが偏心シャフトに取付け可能であるようにすることによって解決される。

したがって、該当するポンプに対して間違ったタイプのバランスウェイトの間違った組付けを確実に回避することができる。したがって、組付けが、全体としてより確実になる。

「組付け不能」という用語は、バランスウェイトを取り付けることはできるが、後続の組付け、例えばポンプハウジング内へのシャフトの挿入は完全には可能ではないことを含む。したがって、組立工は、組付けを完了することができないので、何か間違っていることに気付く。これにより、特に簡単な手段で、正しい組付けが保証される。「組付け不能」とは、さらに、バランスウェイトが、バランスウェイトに設けられた当接面でもって、偏心シャフトに面状に当接することができないことを意味し得る。というのも、例えば当接が、シャフトに設けられた段部によって妨げられるからである。したがって、一般的に、例えば間違ったタイプのバランスウェイトは、偏心シャフトとの完全な当接状態にもたらすことができない。一般的に、例えば間違ったタイプのバランスウェイトが組み付けられた偏心シャフトは、ポンプのポンプハウジングに完全には挿入することができない。

例えば、偏心シャフト及び／又は別の構成部材は、組付けを試みるとき、少なくとも第１のタイプのバランスウェイトと衝突することが想定され得る。この場合、第１のタイプは、該当する偏心シャフトに対して間違ったタイプを成している。

いくつかの実施形態では、偏心シャフト及び／又は別の構成部材は、組付けを試みるとき、少なくとも１つの第１のタイプのバランスウェイトと衝突する突出部及び／又は段部を有する。これにより、間違った組付けが特に簡単に阻止される。

本発明の第６の観点では、ポンプボディを備え、その内側が、ポンプ室を画定し、その外側に、ポンプ室へのバラストガスの供給を制御するバルブが配置されていて、バルブは、操作グリップを有し、操作グリップは、少なくとも１つの取付ねじを介して、バルブの静的な要素に回動可能に結合されていて、かつ／又はバルブの回動可能な要素に固定に結合されていて、取付ねじは、操作グリップに設けられた孔を通って、静的な要素に又は回動可能な要素にねじ込まれている、真空ポンプ、特にスクロールポンプから出発する。本発明の一課題は、バルブ及び／又はバルブの少なくとも１つのコンポーネントの耐用期間及び／又は保守間隔を延長することである。この課題は、特に、孔を閉じる蓋が設けられていることによって解決される。

蓋によって、孔内への、そして最終的に敏感に機能する領域への汚れの侵入が阻止される、又は少なくとも低減される。

バルブは、例えば１つの特に軸方向にプレスされたＯリングをシール手段として有することができる。バルブが作動すると、相対移動がＯリングに及ぼされる。汚れ、例えば粒子が、Ｏリングの摺動面に達すると、これが、Ｏリングの早期の故障を招いてしまうおそれがある。このことは、蓋によって確実に低減される又は防止される。

ポンプボディは、例えば、静的なスクロール部材及び／又はハウジング部材であり得る。

蓋は、例えば、操作グリップに挿入することができる。例えば、蓋を前述の孔に又は１つの孔に挿入することができる。さらに一般的に、例えば、蓋は、しまりばめによって、操作グリップに、特に孔に保持することができる。挿入のために、蓋は、例えばピンの形態をした１つ又は複数の突出部を有することができる。

さらに、蓋が、少なくとも２つの孔に挿入されている、かつ／又は蓋が、蓋が挿入されていない少なくとも１つの孔を閉じることが想定され得る。

別の一実施形態では、操作グリップは、金属製のベース要素と、少なくとも、手動で操作するために把持可能な領域でプラスチック部分とを有する。これにより、良好な耐食性と、これと同時に低い製作コストがもたらされる。さらに、プラスチック部分は、金属に対して抑えられた熱伝導に基づいて比較的低温に保持される、又は良好に操作することができる。ベース要素は、例えば特殊鋼から製作することができる。ベース要素は、例えば射出成形によりプラスチックで包囲することができる。ベース要素は、例えば逆止弁及び／又は接続ねじ山を有することができる。

操作グリップに、例えば逆止弁を組み込んで配置することができる。さらに、例えば、ガスバラストバルブは、特に２段に構成することができる。さらに、例えば、操作グリップに、バラストガス用のインレット及び／又は接続部を設けることができる。

本発明の第７の観点では、ポンプを冷却するための、回転数が制御可能なファンを備える、真空ポンプ、特にスクロールポンプから出発する。一課題は、冷却を、特に要求通りに構成するかつ／又はファンの音響放出を低減することである。この課題は、特に、真空ポンプが、温度センサと制御装置とを備え、制御装置が、ファンの回転数を、ポンプの駆動装置の消費電力と温度センサによって測定された温度とに応じて制御するように構成されていることによって解決される。

測定された温度は、好適には、ポンプ内の、例えばポンプ構成部材及び／又はポンプ内の空間、例えば吸込室又はポンプ室の温度であり得る。一実施形態では、制御は、温度センサによって測定された、ポンプのモータ、モータ巻線、駆動エレクトロニクスもしくはパワーエレクトロニクス、ポンプボディ及び／又はハウジングの温度に応じて行われることが想定されている。原則として、これらの温度値は、例えば、複数の温度センサによって測定することができる、又は一般的に、複数の温度センサを設けることができる。

一実施形態によれば、温度の第１の閾値が設定されていて、制御は、測定された温度が第１の閾値を上回るときにだけ行われる、かつ／又は第１の閾値を下回ると、ファンの回転数は、ゼロで又は最小回転数で一定に保持されることが想定されている。これにより、冷却要求がわずかであるとき、つまり測定された温度がそれほどでないとき、ファンの音響放出をわずかに保持することができる。さらに、これにより、ポンプは、オンに切り替えた後で、素早く所望の運転温度へ加温することができる。このことは、例えば、スクロールの間の隙間の程度が、構成部材の熱膨張に依存し、したがって特定の動作温度範囲の枠内でのみ最適化されているので、有利である。したがって、この実施形態は、有利なポンプ性能を迅速に達成することを可能にする。さらに、温度の迅速な上昇によって、凝縮媒体に対する適合性の改善が達成される。

第１の閾値は、好適には、最小で４０℃、かつ／又は最大で６０℃、特に約５０℃であり得る。最小回転数は、一般的に、最大回転数よりも低く、特にはるかに低く、特に最大回転数の３０％未満、特に２０％未満、特に１０％未満である。

別の一実施形態によれば、温度の第２の閾値が設定されていて、測定された温度が第２の閾値を上回ると、ファン回転数は、最大回転数で一定に保持される。これにより、容易に、高温時に最大の冷却能力が達成されることが保証される。したがって、冷却は、容易に要求通りに行うことができる。一般的に、第２の閾値を有する実施形態は、第１の閾値を有する実施形態に依存しない、かつその逆も然りである。しかも、これらは有利に組合わせ可能である。その点において、「第２」の閾値という用語は、単に参照を容易にするために選択されたものでしかなく、「第１」の閾値がさらに設定されている必要はない。

前述の閾値は、複数の温度センサが設けられている場合には、例えば複数の温度センサにおいてそれぞれ異なり得る。

制御装置は、例えば、温度センサにより測定された、真空ポンプの温度に応じて、ポンプの駆動出力を低下させるように構成することができる。この機能は、「ディレーティング」と称することもできる。例えば、ディレーティング条件が満たされているとき、かつ／又はポンプがディレーティング状態にあるとき、つまり駆動出力が低減されているとき、ファンが最高回転数に調整されることが想定され得る。

ファンの回転数は、好適には、パルス幅変調（ＰＷＭ）によって制御することができる。

ファンの最大回転数は、たとえば適合可能であり得る。ゆえに例えば、水蒸気適合性を高めるために、ファンの最大回転数を低減することが有利であり得る。

本発明の第８の観点は、電気的に駆動されるファンとエアガイドフードとを備える、真空ポンプ、好適にはスクロールポンプから出発する。本発明の一課題は、供給接続部に対するファンの電気的な接続を、特に確実に、特に長期にわたって確実に確立することである。この課題は、特に、導体、好適にはケーブルが、ファンから、好適にはエアフードガイドによって、ファン用の供給接続部に通じ、導体は、好適には着脱自在な電気的なコネクタ、好適にはプラグを介して、供給接続部に接続されていて、コネクタは、仕切壁によって、エアガイドフードによって規定された空気流路から分離されていることによって解決される。好適には、コネクタは、少なくとも部分的にエアガイドフード内に配置され得る。仕切壁は、例えばエアガイドフードと一体的に結合され得る。

ファンを介して、汚れ及び塵埃を含み得る周囲空気が吸い込まれ、所定の空気流路に沿って導かれる。仕切壁によって、吸い込まれた不純物又は塵埃がコネクタへ向けて侵入する、特にその結果ポンプのエレクトロニクスハウジングに侵入することが阻止されるわけではない。むしろ、仕切壁は、吸い込まれた空気が間隔を置いてコネクタの傍を通って導かれるようにするだけである。

ファンは、好適には、特にエアガイドフードに配置する、特にエアガイドフードに取り付けることができる。コネクタは、好適には、着脱自在に構成することができる。

一実施形態では、導体、特にケーブルが、コネクタから、仕切壁に設けられた凹部を通ってガイドされていることが想定され得る。ゆえに、容易に、導体をコネクタからファンへガイドすることができる。凹部は、例えば、好適にはＶ字形に形成することができる切込みであり得る。

別の一実施形態は、凹部が、コネクタに対して周方向にずらして配置されていることを想定している。これにより、凹部からコネクタに向かう経路が延長されるので、凹部を通過する不純物が、コネクタに対してより長い距離を進まなければならず、したがって、不純物がコネクタに到達する確率が低下されている。これにより、容易にラビリンス効果が実現されている。

本発明の第９の観点では、運転時に固定のスクロール部材を備え、固定のスクロール部材は、ポンプのハウジング要素に取外し可能に結合されている、スクロールポンプから出発する。本発明の一課題は、ハウジング要素からのスクロール部材の取外しを容易にすることである。この課題は、特に、スクロール部材にかつ／又はハウジング要素に、ハウジング要素からスクロール部材を取り外すための少なくとも１つの引離し用ねじ山が設けられていて、好適には、径方向に互いに反対の側に配置された２つの引離し用ねじ山が設けられていることによって解決される。

引離し用ねじ山によって、スクロール部材は、容易にかつ所定の形でハウジング要素から引き離され、したがって取り外すことができる。

一般的に、好適には、それぞれ他の構成部材に設けられた引離し用ねじ山に対して軸方向に整合して、対応付けられた貫通孔が設けられていない。むしろ、好適には、引離し用ねじ山に、他の構成部材の平坦な面又は凹みが当接することができる、又はこれを対応付けることができる。

一般的に、複数、特に少なくとも２つの引離し用ねじ山を設けることもでき、引離し用ねじ山は、好適には、周にわたって均一に分配することができる、かつ／又は径方向に反対の側に配置することができる。これにより、スクロール部材を特に均一に取り外すことができる。ゆえに、例えば引離し用ねじ山がないと中間ばめ部でハウジング要素に当接するスクロール部材を取り外すときに起こり得るような傾きを回避することができる。場合によっては存在するシール手段が傾く又はロックすることも起こり得る。特に複数の引離し用ねじ山によって、不均一な負荷のこれらの問題を回避する又は少なくとも低減することができる。

別の一実施形態によれば、スクロール部材及び／又はハウジング要素に隣り合う構成部材は、場合によっては引離し用ねじ山にねじ込まれた引離し用ねじのねじ頭と衝突し得るので、構成部材は、完全には組付け可能でないように構成されている。これにより、間違った組付けを容易に回避することができる。というのも、例えばハウジング要素におけるスクロール部材の正しい当接を阻止し得るねじが引離し用ねじ山にねじ込まれていないことが保証されるからである。この構成部材は、特にエアガイドフードであり得る。ねじ頭との衝突のために、例えば突出部及び／又はドームを設けることができる。

もちろん、本発明の個々の観点のみならず、以下に図面に基づいて説明される観点は、それぞれ互いに有利に組合せ可能である。

本発明を、以下、単なる例示的な概略図に基づいて説明する。

スクロールポンプを断面図で示す。 スクロールポンプのエレクトロニクスハウジングを示す。 スクロールポンプを斜視図で示し、選択された要素は露出している。 ポンプに組み込まれた圧力センサを示す。 ポンプの可動のスクロール部材を示す。 図５で視認可能な側とは反対の別の側のスクロール部材を示す。 スクロール部材用のクランプ装置を示す。 異なるスクロールポンプのバランスウェイトを有する偏心シャフトを示す。 異なるスクロールポンプのバランスウェイトを有する偏心シャフトを示す。 操作グリップを有するガスバラストバルブを斜視図で示す。 図１０のバルブを断面図で示す。 図５及び図６のスクロール部材の部分領域を示す。 外側の端部領域でスクロール壁を通るスクロール部材の断面図を示す。 図１のスクロールポンプのエアガイドフードを斜視図で示す。 引離し用ねじ山を断面図で示す。

図１は、スクロールポンプ２０として構成された真空ポンプを示す。この真空ポンプは、第１のハウジング要素２２と第２のハウジング要素２４とを有し、この場合、第２のハウジング要素２４は、ポンプ作用を奏する構造、つまりスクロール壁２６を有する。したがって、第２のハウジング要素２４は、スクロールポンプ２０の固定のスクロール部材を形成する。スクロール壁２６は、可動のスクロール部材３０のスクロール壁２８と相互作用し、この場合、可動のスクロール部材３０は、ポンプ作用を発生させるために、偏心シャフト３２を介して偏心的に励起される。この場合、ポンピングされるべきガスは、第１のハウジング要素２２において規定されたインレット３１から、第２のハウジング要素２４において規定された出口３３へ圧送される。

偏心シャフト３２は、モータ３４によって駆動されていて、そして２つの転がり軸受３６によって軸支されている。偏心シャフト３２は、偏心シャフト３２の回転軸線に対して偏心的に配置された偏心ジャーナル３８を有し、偏心ジャーナル３８は、別の転がり軸受４０を介して、偏心ジャーナル３８の偏心的な揺動を可動のスクロール部材３０へ伝達する。可動のスクロール部材３０には、封止を目的として、さらに、波形ベローズ４２の、図１において左側の端部が取り付けられていて、その右側の端部は、第１のハウジング要素２２に取り付けられている。波形ベローズ４２の左側の端部は、可動のスクロール部材３０の揺動に追従する。

スクロールポンプ２０は、冷却空気流を発生させるためのファン４４を有する。この冷却空気流に対して、エアガイドフード４６が設けられている。エアガイドフード４６には、ファン４４も取り付けられている。エアガイドフード４６及びハウジング要素２２、２４は、冷却空気流が大体においてポンプハウジング全体の周りを流過し、したがって良好な冷却性能が達成されるように成形されている。

スクロールポンプ２０は、さらにエレクトロニクスハウジング４８を有し、エレクトロニクスハウジング４８内に、制御装置と、モータ３４を駆動するためのパワーエレクトロニクスコンポーネントとが配置されている。エレクトロニクスハウジング４８は、さらにポンプ２０のスタンド脚部を形成する。エレクトロニクスハウジング４８と第１のハウジング要素２２との間に通路５０が視認可能である。通路５０を通って、ファン４４によって発生させられる空気流が第１のハウジング要素２２に沿って、そしてエレクトロニクスハウジング４８にも沿ってガイドされるので、これら両方は、効果的に冷却される。

エレクトロニクスハウジング４８は、図２に、具体的に詳しく示されている。エレクトロニクスハウジング４８は、複数の個別のチャンバ５２を有する。これらのチャンバ５２において、エレクトロニクスコンポーネントを封入することができ、したがって有利には、遮蔽されている。好適には、エレクトロニクスコンポーネントを封入するとき、使用される封入材料をできるだけ少量にすることができる。例えば、封止材料を、まずはチャンバ５２内に導入し、これに続いてエレクトロニクスコンポーネントを押し込むことができる。好適には、チャンバ５２は、様々な形態のエレクトロニクスコンポーネント、特に様々な実装形態の基板を、エレクトロニクスハウジング４８内に配置することができる、かつ／又は封入することができるように構成することができる。この場合、特定の形態において、個々のチャンバ５２は、空所のままにすることもできる、つまりエレクトロニクスコンポーネントを有しなくてもよい。ゆえに、いわゆるモジュールシステムを様々なポンプタイプに対して容易に実現することができる。封入材料は、特に熱伝導性にかつ／又は電気絶縁性に構成することができる。

エレクトロニクスハウジング４８の、図２に関して後側に、複数の壁又はフィン５４が形成されていて、壁又はフィン５４は、冷却空気流を導くための複数の通路５０を規定する。チャンバ５２は、さらに、チャンバ５２内に配置されたエレクトロニクスコンポーネントから、特に熱伝導性の封入材料と相俟って、フィン５４への特に良好な放熱を可能にする。したがって、エレクトロニクスコンポーネントを特に効果的に冷却することができ、その耐用期間が改善される。

図３には、スクロールポンプ２０の全体が斜視図で示されているが、図３では、エアガイドフード４６が省かれているので、特に固定のスクロール部材２４及びファン４４が視認可能である。固定のスクロール部材２４には、放射状に配置された複数の凹部５６が設けられていて、凹部５６は、それぞれ凹部５６の間に配置されたフィン５８を規定する。ファン４４によって発生させられる冷却空気流は、凹部５６を、そしてフィン５８の傍を通ってガイドされ、ゆえに固定のスクロール部材２４を特に効果的に冷却する。その際、冷却空気流は、まずは固定のスクロール部材２４の周りを流過し、これに続いてようやく第１のハウジング要素２２又はエレクトロニクスハウジング４８の周りを流過する。この配置は、ポンプ２０のポンプ作用を奏する領域が、運転時の圧縮に基づいて、高い発熱量を有し、したがってそこが優先的に冷却されるので、特に有利である。

ポンプ２０は、ポンプ２０に組み込まれた圧力センサ６０を有する。この圧力センサ６０は、エアガイドフード４６内に配置されていて、固定のスクロール部材２４にねじ込まれている。圧力センサ６０は、部分的にしか図示されていないケーブル接続部を介して、エレクトロニクスハウジング４８と、その中に配置された制御装置とに接続されている。この場合、圧力センサ６０は、スクロールポンプ２０の制御部に組み込まれている。例えば、図１において視認可能なモータ３４は、圧力センサ６０によって測定された圧力に応じて制御することができる。例えばポンプ２０が高真空ポンプ用のフォアポンプとして真空システムに使用されると、例えば、高真空ポンプは、圧力センサ６０が十分に低い圧力を測定するときにのみオンに切り替えることができる。ゆえに、高真空ポンプは、損傷から防護することができる。

図４は、圧力センサ６０と、固定のスクロール部材２４における圧力センサ６０の配置とを断面図で示す。圧力センサ６０に対して通路６２が設けられていて、通路６２は、ここでは固定のスクロール部材２４のスクロール壁２６と可動のスクロール部材３０のスクロール壁２８との間のポンプ作用を奏しない外側領域に開口する。したがって、圧力センサは、ポンプの吸引圧力を測定する。代替的に又は付加的に、例えばスクロール壁２６とスクロール壁２８との間の圧力を、ポンプ作用を奏する領域で測定することもできる。したがって、圧力センサ６０又は通路６２の位置に応じて、例えば中間圧力を測定することもできる。

圧力センサ６０は、例えば圧縮の特定に関して、特に、ポンプ作用を奏するコンポーネント、特にチップシールとも称されるシール要素６４の摩耗状態の認識を可能にする。さらに、測定された吸引圧力は、ポンプ（特にポンプ回転数）の制御に使用することもできる。ゆえに、例えば吸引圧力をソフトウェア側で予め設定し、そしてポンプ回転数を変化させることによって吸引圧力を調整することができる。測定された圧力に応じて、摩耗に起因する圧力上昇を、回転数増加によって補整することも考えられる。したがって、チップシールの交換を延期する、又はより長い交換間隔を実現することができる。したがって、圧力センサ６０のデータは、一般的に、例えば摩耗特定に、ポンプの、状況に応じた制御に、プロセス管理などに利用することができる。

圧力センサ６０は、例えば、任意選択的に設けることができる。圧力センサ６０の代わりに、例えば通路６２を閉じるための盲栓を設けることができる。この場合、圧力センサ６０は、例えば必要に応じて後付けすることができる。特に後付けに関して、しかも一般的に有利には、圧力センサ６０がポンプ２０の制御装置に接続されると自動的に認識されることが想定され得る。

圧力センサ６０は、ファン４４の冷却空気流に配置されている。これにより、圧力センサ６０も有利には冷却される。さらにその結果、圧力センサ６０の耐熱性を高めるための特別な手段を講じなくてよく、したがって低コストのセンサを使用することができる。

さらに、圧力センサ６０は、特に、圧力センサ６０によってポンプ２０の外寸が拡大されておらず、したがってポンプ２０がコンパクトに保たれるように配置されている。

図５及び図６には、可動のスクロール部材３０が、それぞれ異なる観察方向で示されている。図５では、スクロール壁２８の渦巻き状の構造が特に良好に視認可能である。スクロール壁２８の他に、スクロール部材３０は、ベースプレート６６を有し、ベースプレート６６から、スクロール壁２８が延在する。

図６には、ベースプレート６６の、スクロール壁２８とは反対の側が視認可能である。この側では、ベースプレートは、とりわけ、例えば図１において視認可能な軸受４０及び波形ベローズ４２を取り付けるための複数の取付用空所を有する。

ベースプレート６６の外側に、ベースプレート６６の周にわたって間隔を置いて、そして周にわたって均一に分配された３つの保持突出部６８が設けられている。この場合、保持突出部６８は、半径方向外方へ延在する。保持突出部６８は、特にすべてが同一の径方向の高さを有する。

２つの保持突出部６８の間には、ベースプレート６６の周の第１の中間部分７０が延在する。この第１の中間部分７０は、第２の中間部分７２及び第３の中間部分７４よりも大きな径方向の高さを有する。第１の中間部分７０は、スクロール壁２８の最も外側の１２０°の部分に対向して配置されている。

可動のスクロール部材３０を製作するとき、好適には、ベースプレート６６とスクロール壁２８とは、１つの内実の材料から一緒に切削によって製作され、つまり、スクロール壁２８とベースプレート６６とは一体に形成されている。

例えば仕上げ加工に際して、スクロール部材３０は、保持突出部６８で直接にクランプすることができる。同一の１回のクランプの範囲内で、例えば、ベースプレート６６の、図６に示された側も加工することができ、特に、取付用空所を加工することができる。原則的に、このクランプの範囲内で、内実の材料からのスクロール壁２８の切削による製作を行うこともできる。

この目的のために、スクロール部材３０は、図７に示されているように、例えばクランプ装置７６を用いてクランプすることができる。このクランプ装置７６は、３つの保持突出部６８に直接に当接するための液圧式の３爪チャック７８を有する。さらに、クランプ装置７６は、貫通する空所８０を有し、空所８０によって、スクロール部材３０への、特にスクロール部材３０の、図６に示された側への工具アクセスが可能である。したがって、クランプ中に両側から複数の加工動作を、特にスクロール壁２８の少なくとも１つの仕上加工と取付用空所の加工とを行うことができる。

保持突出部６８の輪郭及びクランプ装置７６のクランプ圧は、好適には、スクロール部材３０の臨界的な変形が起こらないように選択されている。３つの保持突出部６８は、好適には、外寸、つまりスクロール部材３０の最大の直径が拡大されないように選択されている。したがって、一方では材料を、そして他方では切削加工量を節約することができる。保持突出部６８は、特に、波形ベローズ４２のねじ締結部へのアクセスが与えられているように構成されている、かつ／又はそのような角度位置に配置されている。波形ベローズ４２のねじ締結点の数は、好適には、可動のスクロール部材３０における保持突出部６８の数と同一ではない。

図１の偏心シャフト３２には、励起されたシステムのアンバランスを補整するための２つのバランスウェイト８２が取り付けられている。図８には、図１において右側のバランスウェイト８２の領域が拡大して示されている。バランスウェイト８２は、偏心シャフト３２にねじ固定されている。

図９には、好適には図１のポンプ２０と同一のシリーズに属する別のスクロールポンプにおける同様の部分図が示されている。図９に基づくポンプは、特に他の寸法を有し、したがって別のバランスウェイト８２を要する。

偏心シャフト３２、バランスウェイト８２及びハウジング要素２２は、それぞれ図示された取付位置で、図示された２つのタイプのバランスウェイト８２のうちの特定の１つのタイプだけが、偏心シャフト３２に組付け可能であるように寸法設定されている。

バランスウェイト８２は、図８及び図９において、バランスウェイト８２に対して設定された構造スペースの特定の寸法とともに寸法記入されていて、これにより、図９のバランスウェイト８２は、偏心シャフト３２に組付け不能であり、かつその逆も然りであることが明らかである。もちろん、記入された寸法は、単に例示的に挙げられたものである。

ゆえに、図８では、取付穴８４とシャフト段部８６との間の距離は、９．７ｍｍである。図８のバランスウェイト８２は、対応する方向により短く、つまり９ｍｍの長さに形成されていて、ゆえに問題なく組み付けることができる。図９のバランスウェイト８２は、それぞれ取付穴から測定して１１ｍｍの延在長さを有する。したがって、図９のバランスウェイト８２は、図８の偏心シャフト３２に組付け不能である。というのも、シャフト段部８６が、組み付けようと試みるとバランスウェイト８２と衝突するからである、又はしたがって、図９のバランスウェイト８２は、図８の偏心シャフト８２に完全に当接させることができないからである。図９のバランスウェイト８２は、寸法記入された両方の寸法が、図８の取付穴８４とシャフト段部８６との距離よりも大きいことによって、逆向きの組付けも阻止されている。さらに、図８のバランスウェイト８２の２１．３ｍｍの寸法は、通常は正しいバランスウェイト８２の、逆向きの、したがって間違った組付けの配向を防止する。

図９において、取付穴８４とハウジング肩部８８との間の長手方向の距離は、１７．５ｍｍである。２１．３ｍｍの延在部を有する、図８のバランスウェイト８２は、図９の偏心シャフト３２を挿入すると、ハウジング肩部８８と衝突するはずであるので、完全な組付けは不可能である。間違った組付けは、さしあたり可能であるが、確実に認識される。図９の偏心シャフト３２に、図８のバランスウェイト８２を、取付穴８４の軸線を中心に回動させて組み付けると、２１．３ｍｍの延在部が、取付穴８４から１３．７ｍｍの距離だけ離れて配置されたシャフト肩部８６と衝突するはずである。

バランスウェイト８２、特にモータ側のバランスウェイト８２は、概して、組付け及び／又は保守のとき、バランスウェイトと他の構造サイズを有するバランスウェイトとの取り違えが回避されるように構成されている。バランスウェイトは、好適には、貫通ねじを用いて取り付けられる。様々なポンプサイズの同様のバランスウェイトは、特に、シャフト上の隣り合う段部と、バランスウェイトのねじ山及び貫通孔の位置と、ハウジング内の段部の位置とに基づいて、間違ったバランスウェイトの組付けが防止されるように構成されている。

図１０及び図１１には、スクロールポンプ２０のガスバラストバルブ９０が示されている。ガスバラストバルブ９０は、図３におけるポンプ２０の全体図でも視認可能であり、固定のスクロール部材２４に配置されている。

ガスバラストバルブ９０は、操作グリップ９２を有する。操作グリップ９２は、プラスチックボディ９４とベース要素９６とを有し、ベース要素９６は、好適には特殊鋼から製作されている。ベース要素９６は、貫通する孔９８を有し、孔９８は、一方ではバラストガスを接続するかつ導入するために設けられていて、他方では逆止弁１００を包囲する。孔９８は、さらに、図面において、栓１０２によって閉じられている。栓１０２の代わりに、例えば、フィルタを設けることもでき、この場合、バラストガスは、好適には空気であってよく、そしてフィルタを介して、特に直接にバルブ９０に進入する。

操作グリップ９２は、３つの取付ねじ１０４によって、バルブ９０の回動可能な要素１０６に取り付けられている。取付ねじ１０４は、各々の孔１０８内に配置されていて、図１１の選択された断面図では、そのうちの１つだけが視認可能である。回動可能な要素１０６は、図示されていない、孔１１０を通って延在する取付ねじによって、第２のハウジング要素２４に回動可能に取り付けられている。

バルブ９０を操作するには、手動で操作グリップ９２に加えられる回転モーメントが、回動可能な要素１０６に伝達され、したがって、回動可能な要素１０６が回動させられる。これにより、孔９８が、ハウジングの内部に連通する。この場合、バルブ９０には、３つの切替位置が設けられていて、すなわち、図１０に示された、遮断位置である切替位置、並びにそれぞれ右に回動させられた位置及び左に回動させられた位置であり、左右に回動させられた位置では、孔９８が、ハウジングの内部のそれぞれ異なる領域に連通する。

孔１０８、１１０は、蓋１１２によって閉じられている。ガスバラストバルブ９０のシール作用は、軸方向にプレスされたＯリングによるものである。バルブ９０が操作されると、相対移動がＯリングに及ぼされる。例えば粒子などの汚れがＯリングの表面に達すると、早期に故障するおそれが生じる。蓋１１２は、グリップ９２のねじに汚れなどが侵入するのを阻止する。

この蓋１１２は、３つのセンタリング要素のしまりばめを介して取り付けられる。具体的には、蓋１１２は、各孔１０８に、図示されていない挿入ピンを有し、挿入ピンによって、蓋１１２は、孔１０８に保持されている。したがって、孔１０８、１１０及びその中に配置された取付ねじは、汚れから防護されている。特に、回動運動を可能にする、孔１１０に配置された図示されていない取付ねじでは、バルブ機構への汚れの侵入を効果的に最小限に抑えることができ、ゆえに、バルブの耐用期間を改善することができる。

特殊鋼のベース部分の周りに射出成形されたプラスチックグリップは、良好な耐食性と、これと同時に低い製造コストをもたらす。さらに、熱伝導性が抑えられていることに基づいて、グリップのプラスチックが低温に維持され、これにより、良好に操作することができる。

ファン４４には、例えば図１及び図３において視認可能であるように、好適には、回転数制御部が設けられている。ファンは、例えばエレクトロニクスハウジング４８内に収容されたパワーモジュールの消費電力及び温度に応じて、ＰＷＭによって制御される。回転数は、消費電力に対応して調整される。ただし、制御は、５０℃のモジュール温度からようやく可能になる。ポンプが、起こり得るディレーティング（温度に起因する出力低下）の温度範囲になると、自動的に、最大のファン回転数が制御される。この制御によって、低温のポンプでは、最小の騒音レベルが達成され、最終圧力又は低負荷時に低い騒音レベル（ポンプ騒音に相当する）が作用し、低い騒音レベルと同時にポンプの最適な冷却が達成され、温度に起因する出力低下の前に最大の冷却出力が確保されることが可能になる。

最大のファン回転数は、特に状況に応じて、適合可能であり得る。例えば、最大のファン回転を低下させることが、高い水蒸気適合性にとって効果的であり得る。

図１２には、可動のスクロール部材３０が、部分的に、そして図５に比べて拡大して示されている。図１２に示されたＡ：Ａ線に沿ったスクロール部材３０の断面図が、図１３に、縮尺通りではないが、概略的に示されている。

スクロール壁２８は、ベースプレート６６とは反対の側で、そしてここには図示されていない固定のスクロール部材２４のベースプレートに向いた端部に、ここでは同様に図示されていないシール要素６４、つまりいわゆるチップシールを挿入するための溝１１４を有する。運転状態での配置は、例えば図４において良好に視認可能である。

溝１１４は、外側及び内側で、対向する２つの側壁、つまり内側の側壁１１６と外側の側壁１１８とによって画定されている。第１のスクロール部分１２０では、外側の側壁１１８は、第１のスクロール部分１２０における内側の側壁１１６よりも厚く構成されていて、そして別の第２のスクロール部分１２２における両方の側壁１１６、１１８よりも厚く構成されている。

第１のスクロール部分１２０は、例えば図５にも示されているように、図１２に示された箇所からスクロール壁２８の外側の端部にまで延在する。第１のスクロール部分１２０は、ここでは、例えば１６３°にわたって延在する。

第１のスクロール部分１２０は、スクロール壁２８の外側の端部部分を形成する。この場合、第１のスクロール部分１２０は、少なくとも部分的に、特に完全に、スクロール壁２８の、ポンプ作用を奏しない領域に配置されている。特に、第１のスクロール部分１２０は、スクロール壁２８の、ポンプ作用を奏しない領域を、少なくともほぼ完全に占めることができる。

図５において視認可能であるように、好適には、他の中間部分７２、７４よりも大きな半径方向の高さを有する第１の中間部分７０は、２つの保持突出部６８の間で、第１のスクロール部分１２０に対向して配置することができる。したがって、より厚い側壁１１８によってもたらされるアンバランスは、第１の中間部分７０のより大きな重量によって補整することができる。

軸受及び他の構成部材のシステム負荷を低くするために、可動のスクロール部材は、概して好適には、小さな自重を有するべきである。したがって、スクロール壁は、一般的に、極めて薄く構成される。さらに、壁が薄くなるにつれ、ポンプ寸法（有効外径）がより小さくなる。したがって、チップシール溝の側壁は、特に薄くなっている。総スクロール壁厚さに対するチップシール肉厚の比は、例えば最大で０．１７である。しかし、チップシール溝に基づいて、スクロール壁先端は、例えば組付け時又はチップシールの交換時などの取扱い時に衝突に対して極めて敏感である。例えば輸送時においてもわずかな衝突によって、溝の側壁は、内向きに押圧され得、その結果、チップシールはもはや組付け不能である。この問題を解決するために、溝は、非対称な肉厚を有し、特にスクロール壁の、外向きの局所的な厚み部を有する。この領域は、好適には、ポンプ作用を奏さず、したがってより大きな公差をもって製作することができる。特に最後の半分の巻状における片側の増厚によって、損傷が大幅に低減される。構成部材の残りの箇所では、好適には、スクロール壁の増厚は不要である。というのも、壁が、構成部材の突出する要素によって防護されているからである。

図１に示されたエアガイドフード４６は、破線の矢印１２４によって示唆されているように、空気流を規定する。ファン４４は、エアガイドフード４６を通って延在する図示されていないケーブルと差込接続部とを介して、エレクトロハウジング４８内に設けられた制御装置に接続されている。差込接続部は、ソケット１２６とプラグ１２８とを有する。ソケット１２６は、エレクトロニクスハウジング４８に支持されている、かつ／又はエレクトロニクスハウジング４８内に配置された基板に取り付けられている。ソケット１２６は、例えば図２及び図３においても視認可能である。プラグ１２８は、図示されていないケーブルを介してファン４４に接続されている。

差込接続部１２６、１２８は、仕切壁１３０によって、空気流１２４から分離されている。空気流１２４は、例えば塵埃又は同様の汚れを含み得、したがって、差込接続部１２６、１２８から隔離される。したがって、一方では、差込接続部１２６、１２８自体が防護され、他方では、汚れが、ソケット１２６のために設けられた、エレクトロニクスハウジング４８内の開口を通って、エレクトロニクスハウジング４８内に侵入し、制御装置及び／又はパワーエレクトロニクスに至ることが阻止される。

図１４には、エアガイドフード４６が、個別に斜視図で示されている。とりわけ、仕切壁１３０が、仕切壁１３０の後方に規定された、プラグ１２８のために設けられた空間とともに視認可能である。仕切壁１３０は、プラグ１２８からファン４４へ向けてケーブルを導通するための、ここではＶ字形の切込みとして構成された凹部１３２を有する。

例えばコスト削減のために、シールを有しない低コストの差込コネクタ（例えばＩＰ保護コードを有しない）を使用することができる。というのも、仕切壁１３０は、吸い込まれた空気が、差込コネクタ１２６、１２８の貫通部を介してエレクトロニクスに至ることがないようにするからである。ファンのケーブルは、Ｖ字形の切込み１３２によって、側方で仕切板１３０を通ってガイドされる。切込み１３２は、差込コネクタ１２６、１２８に対して側方のオフセットを有し、これにより、ラビリンス効果が達成され、したがって、差込コネクタ１２６、１２８への冷却空気の漏れのさらなる低減が達成される。エアガイド４６内の仕切壁１３０によって、さらに、エレクトロニクスハウジング４８とポンプハウジング２２との間の通路５０内への空気ガイドが改善される。比較的わずかなファン４４の乱流及び背圧しか生じない。

図１５は、第１のハウジング要素２２と第２のハウジング要素又は固定のスクロール部材２４との間の当接領域を概略断面図で示す。第２のハウジング要素２４は、中間ばめ部１３４でもって、部分的に第１のハウジング要素２２に挿入されている。この場合、Ｏリング１３６を用いたシールが設けられている。中間ばめ部１３４は、例えば第１のハウジング要素２２に対して第２のハウジング要素２４をセンタリングするためにも役立つ。

保守目的で、例えばシール要素６４を交換するには、第２のハウジング要素２４を、例えば取り外さなければならない。その際、第２のハウジング要素２４が十分な程度に真っ直ぐに引き抜かれないとき、中間ばめ部１３４又はＯリング１３６が挟み込まれることがある。この問題を解決するために、引離し用ねじ山１３８が設けられている。好適には、少なくともほぼ径方向に反対の側に位置する第２の引離し用ねじ山を設けることもできる。第２のハウジング要素２４を可能な限り真っ直ぐにガイドして取り外すために、ねじが引離し用ねじ山１３８から外へ突出し、そして第１のハウジング要素２２に当接するまで、ねじを引離し用ねじ山１３８にねじ込むことができる。さらなるねじ込みによって、ハウジング要素２２、２４は、互いに離される。

引き離すために、例えば図１及び図３に示されたように、例えば第２のハウジング要素２４を第１のハウジング要素２２に取り付けるために設けられた取付ねじ１４２を用いることができる。この目的のために、引離し用ねじ山１３８は、好適には、取付ねじ１４２のために設けられた取付ねじ山と同一のねじ山タイプを有する。

第２のハウジング要素２２には、引離し用ねじ山１３８に対応付けられた凹み１４０が設けられている。ねじが引離し用ねじ山１３８にねじ込まれるときに摩耗粒子が運ばれると、摩耗粒子は、凹み１４０に集まる。したがって、この種の摩耗粒子が例えばハウジング要素２２、２４同士の完全な当接を妨げることが阻止される。

固定のスクロール部材２４を組み付けるとき、ねじを再びねじ外さなければならない。というのも、そうしないと第１のハウジング要素２２における固定のスクロール部材２４の完全なねじ締結（ハウジングの平面上での正しい嵌込み）が場合によっては阻止されるからである。結果として、漏れ、傾斜姿勢及びポンプ性能の低下が生じ得る。この組付けエラーを回避するために、エアガイドベーン４６は、特に付加的な、図１４に示された少なくとも１つのドーム１４４を有し、このドーム１４４は、引き離すために用いられるねじ、特に取付ねじ１４２が再び取り外されたときにだけ、エアガイドベーン４６の組付けを可能にする。ドーム１４４を有するエアガイドフード４６は、これが、場合によっては引離し用ねじ山１３８にねじ込まれた引離し用ねじのねじ頭と衝突し得るように構成されているので、エアガイドフード４６が完全には組付け可能ではない。特に、エアガイドフード４６は、引離し用ねじが完全に取り外されたときにしか組み付けることができない。
なお、本願は、特許請求の範囲に記載の発明に関するものであるが、他の観点として以下も含み得る。
１．
真空ポンプであって、スクロールポンプ（２０）に組み込まれた圧力センサ（６０）を備える、スクロールポンプ（２０）。
２．
圧力センサ（６０）は、スクロールポンプ（２０）及び／又は真空システムの制御部に接続されている、上記１のスクロールポンプ（２０）。
３．
圧力センサ（６０）は、スクロールポンプ（２０）の吸引圧力、又はポンプ作用を奏する２つのスクロール壁（２６、２８）の間の圧力を測定するように配置されている、上記１又は２のスクロールポンプ。
４．
圧力センサ（６０）は、スクロールポンプ（２０）の構成部材（２４）にねじ込まれている、上記１から３の少なくともいずれか１つのスクロールポンプ（２０）。
５．
圧力センサ（６０）は、スクロールポンプ（２０）の冷却装置（４４）の冷却空気流に配置されている、上記１から４の少なくともいずれか１つのスクロールポンプ。
６．
真空ポンプ（２０）、特にスクロールポンプにおいて、
真空ポンプ（２０）を冷却するための、回転数が制御可能なファン（４４）と、
温度センサと、
真空ポンプ（２０）の駆動装置の消費電力と温度センサによって測定された温度とに応じて、ファン（４４）の回転数を制御するように構成されている、制御装置と、
を備える、真空ポンプ（２０）。
７．
制御が、温度センサによって測定された、真空ポンプ（２０）のモータ（３４）、モータ巻線、駆動エレクトロニクス、ポンプボディ及び／又はハウジング（２２、２４）の温度に応じて行われる、上記６の真空ポンプ。
８．
温度の第１の閾値が設定されていて、制御は、測定された温度が第１の閾値を上回るときにだけ行われる、かつ／又は第１の閾値を下回ると、ファン（４４）の回転数は、ゼロで又は最小回転数で一定に保持される、上記６又は７の真空ポンプ（２０）。
９．
温度の第２の閾値が設定されていて、測定された温度が第２の閾値を上回ると、ファン回転数は、最大回転数で一定に保持される、上記６から８のいずれか１つの真空ポンプ（２０）。
１０．
真空ポンプ（２０）、好適にはスクロールポンプにおいて、
電気的に駆動されるファン（４４）とエアガイドフード（４６）とを備え、導体が、ファン（４４）から、ファン（４４）用の供給接続部（１２８）に通じ、導体は、電気的なコネクタ（１２６）を介して、供給接続部（１２８）に接続されていて、コネクタ（１２６）は、仕切壁（１３０）によって、エアガイドフード（４６）によって画定された空気流路（１２４）から分離されている、真空ポンプ（２０）。
１１．
導体は、ケーブルである、上記１０の真空ポンプ（２０）。
１２．
導体は、ファン（４４）からエアガイドフード（４６）を通って供給接続部（１２８）に通じる、上記１０又は１１の真空ポンプ（２０）。
１３．
電気的なコネクタ（１２６）は、プラグである、上記１０から１２の少なくともいずれか１つの真空ポンプ（２０）。
１４．
コネクタ（１２６）は、少なくとも部分的にエアガイドフード（４６）内に配置されている、上記１０から１３の少なくともいずれか１つの真空ポンプ（２０）。
１５．
導体は、コネクタ（１２６）から仕切壁（１３０）に設けられた凹部（１３２）を通ってガイドされている、上記１０から１４のいずれか１つの真空ポンプ（２０）。
１６．
凹部（１３２）は、コネクタ（１２６）に対して周方向にずらして配置されている、上記１５の真空ポンプ（２０）。

２０ スクロールポンプ
２２ 第１のハウジング要素
２４ 第２のハウジング要素／固定のスクロール部材
２６ スクロール壁
２８ スクロール壁
３０ 可動のスクロール部材
３２ 偏心シャフト
３４ モータ
３６ 転がり軸受
３８ 偏心ピン
４０ 転がり軸受
４２ 波形ベローズ
４４ ファン
４６ エアガイドフード
４８ エレクトロニクスハウジング
５０ 通路
５２ チャンバ
５４ フィン
５６ 凹部
５８ フィン
６０ 圧力センサ
６２ 通路
６４ シール要素
６６ ベースプレート
６８ 保持突出部
７０ 第１の中間部分
７２ 第２の中間部分
７４ 第３の中間部分
７６ クランプ装置
７８ ３爪チャック
８０ 空所
８２ バランスウェイト
８４ 取付穴
８６ シャフト段部
８８ ハウジング肩部
９０ ガスバラストバルブ
９２ 操作グリップ
９４ プラスチックボディ
９６ ベース要素
９８ 孔
１００ 逆止弁
１０２ 栓
１０４ 取付ねじ
１０６ 回動可能な要素
１０８ 孔
１１０ 孔
１１２ 蓋
１１４ 溝
１１６ 内側の側壁
１１８ 外側の側壁
１２０ 第１のスクロール部分
１２２ 第２のスクロール部分
１２４ 空気流
１２６ ソケット
１２８ プラグ
１３０ 仕切壁
１３２ 凹部
１３４ 中間ばめ部
１３６ Ｏリング
１３８ 引離し用ねじ山
１４０ 凹み
１４２ 取付ねじ
１４４ ドーム

Claims (16)

1. 真空システムにおいて、
   高真空ポンプと、
   高真空ポンプ用のフォアポンプとして設けられた真空ポンプであるスクロールポンプ（２０）と、
   制御部と、を備え、
   スクロールポンプ（２０）は、スクロールポンプ（２０）に組み込まれた圧力センサ（６０）を有し、
   圧力センサ（６０）は、真空システムの制御部に接続されていて、
   制御部は、スクロールポンプ内の圧力が所定の値よりも高いとき、高真空ポンプをオフに切り替えること、真空システム内のバルブを閉じること、の少なくともいずれかを行い、
   スクロールポンプ（２０）は、電気的に駆動されるファン（４４）とエアガイドフード（４６）とを備え、導体が、ファン（４４）から、ファン（４４）用の供給接続部（１２８）に通じ、導体は、電気的なコネクタ（１２６）を介して、供給接続部（１２８）に接続されていて、コネクタ（１２６）は、仕切壁（１３０）によって、エアガイドフード（４６）によって画定された空気流路（１２４）から分離されている、真空システム。
2. 圧力センサ（６０）は、スクロールポンプ（２０）の制御部にも接続されている、請求項１に記載の真空システム。
3. 圧力センサ（６０）は、スクロールポンプ（２０）の吸引圧力を測定するように配置されている、請求項１又は２に記載の真空システム。
4. 圧力センサ（６０）は、ポンプ作用を奏する２つのスクロール壁（２６、２８）の間の圧力を測定するように配置されている、請求項１から３のいずれか１項に記載の真空システム。
5. 圧力センサ（６０）は、スクロールポンプ（２０）の構成部材（２４）にねじ込まれている、請求項１から４のいずれか１項に記載の真空システム。
6. 圧力センサ（６０）は、スクロールポンプ（２０）の冷却装置（４４）の冷却空気流に配置されている、請求項１から５のいずれか１項に記載の真空システム。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載のスクロールポンプ（２０）である真空ポンプ（２０）において、
   真空ポンプ（２０）を冷却するための、回転数が制御可能なファン（４４）と、
   温度センサと、
   真空ポンプ（２０）の駆動装置の消費電力と温度センサによって測定された温度とに応じて、ファン（４４）の回転数を制御するように構成されている、制御装置と、
   を備える、真空ポンプ（２０）。
8. 制御が、温度センサによって測定された、真空ポンプ（２０）のモータ（３４）、モータ巻線、駆動エレクトロニクス、ポンプボディ、ハウジング（２２、２４）の少なくともいずれか１つの温度に応じて行われる、請求項７に記載の真空ポンプ。
9. 温度の第１の閾値が設定されていて、
   制御は、測定された温度が第１の閾値を上回るときにだけ行われることと、
   第１の閾値を下回ると、ファン（４４）の回転数は、ゼロで又は最小回転数で一定に保持されることと、
   の少なくともいずれかである、請求項７又は８に記載の真空ポンプ（２０）。
10. 温度の第２の閾値が設定されていて、測定された温度が第２の閾値を上回ると、ファン回転数は、最大回転数で一定に保持される、請求項７から９のいずれか１項に記載の真空ポンプ（２０）。
11. 請求項１から６のいずれか１項に記載のスクロールポンプ（２０）である真空ポンプ（２０）において、導体は、ケーブルである、真空ポンプ（２０）。
12. 導体は、ファン（４４）からエアガイドフード（４６）を通って供給接続部（１２８）に通じる、請求項１１に記載の真空ポンプ（２０）。
13. 電気的なコネクタ（１２６）は、プラグである、請求項１１又は１２に記載の真空ポンプ（２０）。
14. コネクタ（１２６）は、少なくとも部分的にエアガイドフード（４６）内に配置されている、請求項１１から１３のいずれか１項に記載の真空ポンプ（２０）。
15. 導体は、コネクタ（１２６）から仕切壁（１３０）に設けられた凹部（１３２）を通ってガイドされている、請求項１１から１４のいずれか１項に記載の真空ポンプ（２０）。
16. 凹部（１３２）は、コネクタ（１２６）に対して周方向にずらして配置されている、請求項１５に記載の真空ポンプ（２０）。

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