JP2023050117A - ポンプ及びスライド層を製造する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
a)好ましくは酸を含む電解液中での特に陽極酸化によって酸化物層を形成する、ステップと、
b)酸化物層に封止部を被覆する、ステップと、
を有する、方法に関する。
22 第1のハウジング要素
24 第2のハウジング要素/固定のスクロール部材
26 スクロール壁
28 スクロール壁
30 可動のスクロール部材
32 偏心シャフト
34 モータ
36 転がり軸受
38 偏心ピン
40 転がり軸受
42 波形ベローズ
44 ファン
46 エアガイドフード
48 エレクトロニクスハウジング
50 通路
52 チャンバ
54 フィン
56 凹部
58 フィン
60 圧力センサ
62 通路
64 シール要素
66 ベースプレート
68 保持突出部
70 第1の中間部分
72 第2の中間部分
74 第3の中間部分
76 クランプ装置
78 3爪チャック
80 空所
82 バランスウェイト
84 取付穴
86 シャフト段部
88 ハウジング肩部
90 ガスバラストバルブ
92 操作グリップ
94 プラスチックボディ
96 ベース要素
98 孔
100 逆止弁
102 栓
104 取付ねじ
106 回動可能な要素
108 孔
110 孔
112 蓋
114 溝
116 内側の側壁
118 外側の側壁
120 第1のスクロール部分
122 第2のスクロール部分
124 空気流
126 ソケット
128 プラグ
130 仕切壁
132 凹部
134 中間ばめ部
136 Oリング
138 引離し用ねじ山
140 凹み
142 取付ねじ
144 ドーム
150 シール
152 スライド層
154 支持体
なお、本願は、特許請求の範囲に記載の発明に関するものであるが、他の態様として以下を含む。
1.
ポンプ、特に真空ポンプにおいて、
スライド層(152)を備え、
スライド層(152)は、特に、酸を含む電解液中での陽極酸化によって形成された酸化物層と、特にフッ素含有ポリマーをベースとする、ポリマーベースの封止部とを有し、
酸化物層は少なくとも部分的に封止部によって覆われている、及び/又は酸化物層に封止部が含浸されている、ポンプ。
2.
ポンプは、スクロール要素として構成された圧送要素(24、30)を備えるスパイラルポンプ又はスクロールポンプ(20)、特にスパイラル真空ポンプ又はスクロール真空ポンプであり、
スライド層(152)は、少なくとも部分的に、スクロール要素として構成された圧送要素(24、30)の少なくとも1つに被着されている、上記1に記載のポンプ。
3.
ポンプは、シリンダ内壁とシリンダ内で可動のピストンとを有する少なくとも1つのシリンダを備えるピストンポンプ、特にピストン真空ポンプであり、
スライド層は、少なくとも部分的にシリンダ内壁及び/又はピストンに被着されている、上記1に記載のポンプポンプ。
4.
酸化物層は多孔質であり、封止部は、酸化物層の細孔(160)及び/又は亀裂(158)及び/又は欠損箇所(158)を少なくとも部分的に閉じる、上記1から3の少なくともいずれか一つに記載のポンプ。
5.
封止部は、パーフルオロセグメントを有するポリウレタンから形成されたポリウレタン層である、及び/又は
封止部は、フルオロアルキルシロキサンを含む、
上記1から4の少なくともいずれか一つに記載のポンプ。
6.
封止部は、ポリエーテルセグメントを有するポリウレタンから形成されている、及び/又は
封止部は、パーフルオロポリエーテルセグメントを有するポリウレタンから形成されている、
上記1から5の少なくともいずれか一つに記載のポンプ。
7.
封止部は、10μm以下、特に0.5μmから5μmの厚さを有する、上記1から6の少なくともいずれか一つに記載のポンプ。
8.
封止部は、5μmから25μm又は25μmから35μmの厚さを有する、上記1から7の少なくともいずれか一つに記載のポンプ。
9.
封止部は、酸化物層を、実質的に完全に又は完全に覆う、上記1から8の少なくともいずれか一つに記載のポンプ。
10.
付着促進剤が、封止部に設けられている、及び/又は
付着促進剤が、プライマとして酸化物層上に設けられている、
上記1から9の少なくともいずれか一つに記載のポンプ。
11.
圧送要素は、ベース材料を有し、ベース材料は、少なくとも部分的にアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されていて、ベース材料上にスライド層(152)が被着されている、上記1から10の少なくともいずれか一つに記載のポンプ。
12.
スライド層(152)を製造する方法であって、
以下のステップ
a)好ましくは酸を含む電解液中での特に陽極酸化によって酸化物層を形成する、ステップと、
b)酸化物層に封止部を被覆する、ステップと、
を有する、方法。
13.
封止部を、水性分散液の形態で被着する又は溶媒ベースの分散液の形態で被着する、上記12に記載の方法。
14.
溶媒ベースの分散液中の溶媒が、C 1 ~C 8 アルコール、特にC 3 ~C 6 アルコール、例えばC 4 アルコールである、上記13に記載の方法。
15.
方法は、上記1から11の少なくともいずれか一つに記載のポンプに用いられる製造方法である、上記12から14の少なくともいずれか一つに記載の方法。
Claims (15)
- ポンプ、特に真空ポンプにおいて、
スライド層(152)を備え、
スライド層(152)は、特に、酸を含む電解液中での陽極酸化によって形成された酸化物層と、特にフッ素含有ポリマーをベースとする、ポリマーベースの封止部とを有し、
酸化物層は少なくとも部分的に封止部によって覆われている、及び/又は酸化物層に封止部が含浸されている、ポンプ。 - ポンプは、スクロール要素として構成された圧送要素(24、30)を備えるスパイラルポンプ又はスクロールポンプ(20)、特にスパイラル真空ポンプ又はスクロール真空ポンプであり、
スライド層(152)は、少なくとも部分的に、スクロール要素として構成された圧送要素(24、30)の少なくとも1つに被着されている、請求項1に記載のポンプ。 - ポンプは、シリンダ内壁とシリンダ内で可動のピストンとを有する少なくとも1つのシリンダを備えるピストンポンプ、特にピストン真空ポンプであり、
スライド層は、少なくとも部分的にシリンダ内壁及び/又はピストンに被着されている、請求項1に記載のポンプポンプ。 - 酸化物層は多孔質であり、封止部は、酸化物層の細孔(160)及び/又は亀裂(158)及び/又は欠損箇所(158)を少なくとも部分的に閉じる、請求項1から3の少なくともいずれか一項に記載のポンプ。
- 封止部は、パーフルオロセグメントを有するポリウレタンから形成されたポリウレタン層である、及び/又は
封止部は、フルオロアルキルシロキサンを含む、
請求項1から4の少なくともいずれか一項に記載のポンプ。 - 封止部は、ポリエーテルセグメントを有するポリウレタンから形成されている、及び/又は
封止部は、パーフルオロポリエーテルセグメントを有するポリウレタンから形成されている、
請求項1から5の少なくともいずれか一項に記載のポンプ。 - 封止部は、10μm以下、特に0.5μmから5μmの厚さを有する、請求項1から6の少なくともいずれか一項に記載のポンプ。
- 封止部は、5μmから25μm又は25μmから35μmの厚さを有する、請求項1から7の少なくともいずれか一項に記載のポンプ。
- 封止部は、酸化物層を、実質的に完全に又は完全に覆う、請求項1から8の少なくともいずれか一項に記載のポンプ。
- 付着促進剤が、封止部に設けられている、及び/又は
付着促進剤が、プライマとして酸化物層上に設けられている、
請求項1から9の少なくともいずれか一項に記載のポンプ。 - 圧送要素は、ベース材料を有し、ベース材料は、少なくとも部分的にアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されていて、ベース材料上にスライド層(152)が被着されている、請求項1から10の少なくともいずれか一項に記載のポンプ。
- スライド層(152)を製造する方法であって、
以下のステップ
a)好ましくは酸を含む電解液中での特に陽極酸化によって酸化物層を形成する、ステップと、
b)酸化物層に封止部を被覆する、ステップと、
を有する、方法。 - 封止部を、水性分散液の形態で被着する又は溶媒ベースの分散液の形態で被着する、請求項12に記載の方法。
- 溶媒ベースの分散液中の溶媒が、C1~C8アルコール、特にC3~C6アルコール、例えばC4アルコールである、請求項13に記載の方法。
- 方法は、請求項1から11の少なくともいずれか一項に記載のポンプに用いられる製造方法である、請求項12から14の少なくともいずれか一項に記載の方法。
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