JP3388657B2 - オイルフリースクロール真空ポンプ - Google Patents
オイルフリースクロール真空ポンプInfo
- Publication number
- JP3388657B2 JP3388657B2 JP20760195A JP20760195A JP3388657B2 JP 3388657 B2 JP3388657 B2 JP 3388657B2 JP 20760195 A JP20760195 A JP 20760195A JP 20760195 A JP20760195 A JP 20760195A JP 3388657 B2 JP3388657 B2 JP 3388657B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scroll
- gas
- fixed scroll
- introduction hole
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/02—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F04C18/0207—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
- F04C18/0215—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form where only one member is moving
- F04C18/0223—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form where only one member is moving with symmetrical double wraps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2210/00—Fluid
- F04C2210/12—Fluid auxiliary
- F04C2210/122—Nitrogen (N2)
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/50—Pumps with means for introducing gas under pressure for ballasting
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固定スクロールと
旋回スクロールとにより流体を圧縮して外部に吐出する
オイルフリースクロール真空ポンプ、更に詳しくは、前
記固定スクロールにガスバラスト用の導入孔を設け、前
記各スクロールに設けられたラップとお互いに嵌合して
形成される密閉空間に前記導入孔から気体を導入し、前
記密閉空間内の圧縮流体を前記気体とともに外部に吐出
するオイルフリースクロール真空ポンプに関する。
旋回スクロールとにより流体を圧縮して外部に吐出する
オイルフリースクロール真空ポンプ、更に詳しくは、前
記固定スクロールにガスバラスト用の導入孔を設け、前
記各スクロールに設けられたラップとお互いに嵌合して
形成される密閉空間に前記導入孔から気体を導入し、前
記密閉空間内の圧縮流体を前記気体とともに外部に吐出
するオイルフリースクロール真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、例えば図７に示すようスクロ
ール真空ポンプが知られている。それには、主軸５６の
中央クランク部５５ａに支承され軸方向両面に各々旋回
ラップを形成した一の旋回スクロール５１と、前記各ラ
ップに嵌合する固定ラップを形成した一対の固定スクロ
ール５２Ａ，５２Ｂと、前記スクロールの外周側に、各
々１２０゜ずつ周方向に位置をずらして設けた自転規制
用の３個の偏芯回転軸５３とから構成されている。
ール真空ポンプが知られている。それには、主軸５６の
中央クランク部５５ａに支承され軸方向両面に各々旋回
ラップを形成した一の旋回スクロール５１と、前記各ラ
ップに嵌合する固定ラップを形成した一対の固定スクロ
ール５２Ａ，５２Ｂと、前記スクロールの外周側に、各
々１２０゜ずつ周方向に位置をずらして設けた自転規制
用の３個の偏芯回転軸５３とから構成されている。
【０００３】固定スクロール５２Ａ，５２Ｂは円蓋状を
なし，ケーシングとして機能するその周壁をシール部材
を介して当接させてその内部に密閉空間を形成するとと
もに、その中心孔５１ａに軸受けを介して主軸５６を貫
装させ、該主軸５６が２点支持にて回転可能に軸支す
る。そして、前記軸受けの周囲には螺旋状の固定ラップ
５０が互いに対面させて対称位置に配置されるととも
に、一の固定スクロール５２Ａの中心域側と外周縁に各
々吐出口５７と吸い込み口５８を形成する。
なし，ケーシングとして機能するその周壁をシール部材
を介して当接させてその内部に密閉空間を形成するとと
もに、その中心孔５１ａに軸受けを介して主軸５６を貫
装させ、該主軸５６が２点支持にて回転可能に軸支す
る。そして、前記軸受けの周囲には螺旋状の固定ラップ
５０が互いに対面させて対称位置に配置されるととも
に、一の固定スクロール５２Ａの中心域側と外周縁に各
々吐出口５７と吸い込み口５８を形成する。
【０００４】一方、旋回スクロール５１は前記したよう
に軸方向両面に各々旋回ラップ５４を形成したように軸
方向両面に各々旋回ラップ５４を形成し、前記固定ラッ
プ５１と互いに嵌合可能に構成するとともに、その周縁
側に偏芯回転軸５３を軸支する。そして、該偏芯回転軸
５３の両側支軸を固定スクロール５２Ａ，５２Ｂに軸支
し、二点支持にて前記旋回スクロール５１の自転規制を
行う。尚、５９Ａ，５９Ｂはラップの先端に嵌合された
チップシールである。
に軸方向両面に各々旋回ラップ５４を形成したように軸
方向両面に各々旋回ラップ５４を形成し、前記固定ラッ
プ５１と互いに嵌合可能に構成するとともに、その周縁
側に偏芯回転軸５３を軸支する。そして、該偏芯回転軸
５３の両側支軸を固定スクロール５２Ａ，５２Ｂに軸支
し、二点支持にて前記旋回スクロール５１の自転規制を
行う。尚、５９Ａ，５９Ｂはラップの先端に嵌合された
チップシールである。
【０００５】このように構成しているので、主軸５６を
駆動回転させると、偏芯軸部５５ａは偏芯した回転運動
を行い、これにより、旋回スクロール５１が自転を阻止
されながら一定の半径で固定スクロール５２Ａ，５２Ｂ
のラップ中心の周りを公転運動する。この結果、吸入口
５８から吸入した気体は前記固定スクロール及び旋回ス
クロールのラップが形成する密閉空間に取り込まれ、順
次中央側に圧縮移動して圧縮気体は吐出口５７から吐出
される。
駆動回転させると、偏芯軸部５５ａは偏芯した回転運動
を行い、これにより、旋回スクロール５１が自転を阻止
されながら一定の半径で固定スクロール５２Ａ，５２Ｂ
のラップ中心の周りを公転運動する。この結果、吸入口
５８から吸入した気体は前記固定スクロール及び旋回ス
クロールのラップが形成する密閉空間に取り込まれ、順
次中央側に圧縮移動して圧縮気体は吐出口５７から吐出
される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述する従来技術によ
ると、真空にしようとする密閉容器内の気体は、スクロ
ール真空ポンプにより、吸い出されているので、前記容
器内は圧力が低下するにつれて、容易に水分が気化す
る。したがって、スクロール真空ポンプ内には蒸気を含
むガスが吸引される。その場合は、蒸気を含むガスはポ
ンプ内部で圧縮され、飽和蒸気圧以上となり、蒸気が凝
縮し液化することとなり、圧縮気体のみが吐出ポートか
ら排出され、残った水分が旋回スクロールと固定スクロ
ールとで形成する最終空間内の吐出ポート内の下方に蓄
積される。
ると、真空にしようとする密閉容器内の気体は、スクロ
ール真空ポンプにより、吸い出されているので、前記容
器内は圧力が低下するにつれて、容易に水分が気化す
る。したがって、スクロール真空ポンプ内には蒸気を含
むガスが吸引される。その場合は、蒸気を含むガスはポ
ンプ内部で圧縮され、飽和蒸気圧以上となり、蒸気が凝
縮し液化することとなり、圧縮気体のみが吐出ポートか
ら排出され、残った水分が旋回スクロールと固定スクロ
ールとで形成する最終空間内の吐出ポート内の下方に蓄
積される。
【０００７】そして、圧縮気体が前段の密閉空間から送
り込まれるごとに、その蓄積された水分に圧縮気体が衝
突し、異常音を発生したり、ポンプ内部に使用されてい
る部材を劣化させるとともに、性能の低下及び耐久性の
低下をもたらす。上述の事情に鑑み、本発明の目的は、
ポンプ内に凝縮した液体を外部に排出するオイルフリー
スクロール真空ポンプを提供する事を目的とする。
り込まれるごとに、その蓄積された水分に圧縮気体が衝
突し、異常音を発生したり、ポンプ内部に使用されてい
る部材を劣化させるとともに、性能の低下及び耐久性の
低下をもたらす。上述の事情に鑑み、本発明の目的は、
ポンプ内に凝縮した液体を外部に排出するオイルフリー
スクロール真空ポンプを提供する事を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、固定スクロー
ルと旋回スクロールとにより流体を圧縮して外部に吐出
するスクロール真空ポンプにおいて、前記固定スクロー
ルにガスバラスト用導入孔を設け、該ガスバラスト用導
入孔の開口部を前記旋回スクロールのラップ摺動面に位
置づけ、前記旋回スクロールのラップの公転駆動により
前記ガスバラスト用導入孔の開口部が開閉されて、前記
固定スクロール及び前記旋回スクロールのラップが形成
する最終密閉空間が外部への吐出通路と導通する時期に
同期して前記ガスバラスト用導入孔の開口部を閉鎖し
て、前記最終密閉空間内の圧縮流体を、前記ガスバラス
ト用導入孔から導入した気体とともに前記固定スクロー
ルに形成された吐出孔から外部に吐出するように構成し
た。
ルと旋回スクロールとにより流体を圧縮して外部に吐出
するスクロール真空ポンプにおいて、前記固定スクロー
ルにガスバラスト用導入孔を設け、該ガスバラスト用導
入孔の開口部を前記旋回スクロールのラップ摺動面に位
置づけ、前記旋回スクロールのラップの公転駆動により
前記ガスバラスト用導入孔の開口部が開閉されて、前記
固定スクロール及び前記旋回スクロールのラップが形成
する最終密閉空間が外部への吐出通路と導通する時期に
同期して前記ガスバラスト用導入孔の開口部を閉鎖し
て、前記最終密閉空間内の圧縮流体を、前記ガスバラス
ト用導入孔から導入した気体とともに前記固定スクロー
ルに形成された吐出孔から外部に吐出するように構成し
た。
【０００９】このように構成したので、真空にしようと
する容器内の圧力が外部気圧に近いときは、前記導入孔
から気体が導入される密閉空間の内圧はすでに外部大気
より高く、また、導入される気体の圧力が前記内圧より
低いと前記導入孔を通って気体は導入されない。よっ
て、その時点ですでに容器内の気体が水蒸気を含んでい
ると最終密閉空間において飽和蒸気圧以上となり、蒸気
が凝縮して液化し、最終密閉空間を形成するラップの内
壁に付着して水分が蓄積される。
する容器内の圧力が外部気圧に近いときは、前記導入孔
から気体が導入される密閉空間の内圧はすでに外部大気
より高く、また、導入される気体の圧力が前記内圧より
低いと前記導入孔を通って気体は導入されない。よっ
て、その時点ですでに容器内の気体が水蒸気を含んでい
ると最終密閉空間において飽和蒸気圧以上となり、蒸気
が凝縮して液化し、最終密閉空間を形成するラップの内
壁に付着して水分が蓄積される。
【００１０】真空にしようとする容器内の圧力が低下す
るにつれて、容器内の水分は気化が進むが、前記導入孔
から気体が導入される密閉空間の内圧は、該密閉空間に
到るまでに取り込んだ流体が圧縮されたとしても、前記
導入孔から導入される気体の圧力より低くなり、前記導
入孔から気体が導入される。
るにつれて、容器内の水分は気化が進むが、前記導入孔
から気体が導入される密閉空間の内圧は、該密閉空間に
到るまでに取り込んだ流体が圧縮されたとしても、前記
導入孔から導入される気体の圧力より低くなり、前記導
入孔から気体が導入される。
【００１１】この時点で導入された気体中の水蒸気の比
率が低下する。そして、前記最終密閉空間が圧縮され、
吐出孔と導通するときの水蒸気分圧を低下させ、スクロ
ールポンプの飽和蒸気圧以下とし、液化させずに、か
つ、前記凝縮して液化してラップ壁に付着した水分を気
化させるとともに、吐出孔から排出する。
率が低下する。そして、前記最終密閉空間が圧縮され、
吐出孔と導通するときの水蒸気分圧を低下させ、スクロ
ールポンプの飽和蒸気圧以下とし、液化させずに、か
つ、前記凝縮して液化してラップ壁に付着した水分を気
化させるとともに、吐出孔から排出する。
【００１２】また、流体が前記密閉空間によって圧縮さ
れ、前記気体が導入される気体導入空間に到る前段階に
おいて、３個以上の密閉空間が形成されるように構成す
ると好ましい。このように構成することにより、十分な
圧縮比を得ることができる。
れ、前記気体が導入される気体導入空間に到る前段階に
おいて、３個以上の密閉空間が形成されるように構成す
ると好ましい。このように構成することにより、十分な
圧縮比を得ることができる。
【００１３】
【００１４】また、上述の構成では、前記固定スクロー
ル及び旋回スクロールが形成する最終密閉空間が外部へ
の吐出通路と導通する時期に同期して前記導入孔の開口
部を閉鎖しているので、最終密閉空間が吐出通路と導通
しているときに前記導入孔とは遮断され、前記導入孔へ
圧縮流体が逆流することが防止され、圧縮流体は吐出通
路から外部に排出される。したがって、導入孔開口部を
ラップ幅より小さい径に設定するという簡単な構成で前
記圧縮流体の逆流が防止でき、前記導入孔の部分に特別
な逆止め弁を設ける必要がない。この際、前記固定スク
ロールを構成するハウジングには導入管を設け、前記導
入管から気体を前記ガスバラスト用導入孔に導入するこ
とが好ましい。
ル及び旋回スクロールが形成する最終密閉空間が外部へ
の吐出通路と導通する時期に同期して前記導入孔の開口
部を閉鎖しているので、最終密閉空間が吐出通路と導通
しているときに前記導入孔とは遮断され、前記導入孔へ
圧縮流体が逆流することが防止され、圧縮流体は吐出通
路から外部に排出される。したがって、導入孔開口部を
ラップ幅より小さい径に設定するという簡単な構成で前
記圧縮流体の逆流が防止でき、前記導入孔の部分に特別
な逆止め弁を設ける必要がない。この際、前記固定スク
ロールを構成するハウジングには導入管を設け、前記導
入管から気体を前記ガスバラスト用導入孔に導入するこ
とが好ましい。
【００１５】また、前記旋回スクロールのプレートの表
裏面にそれぞれラップを形成し、これらのラップとお互
いに嵌合するラップを有する第１固定スクロール及び第
２固定スクロールとにより前記旋回スクロールを旋回駆
動可能に設け、前記第１固定スクロール及び第２固定ス
クロールのうちの一方の固定スクロールにガスバラスト
用導入孔を設けるとともに、前記旋回スクロールのプレ
ートには他方の固定スクロールとで形成する密閉空間に
前記気体を送る連通孔を開設し、 前記一方の固定スク
ロールに吐出孔を設け、前記密閉空間内の圧縮流体を前
記気体とともに圧縮して外部に吐出するように構成する
と好ましい。
裏面にそれぞれラップを形成し、これらのラップとお互
いに嵌合するラップを有する第１固定スクロール及び第
２固定スクロールとにより前記旋回スクロールを旋回駆
動可能に設け、前記第１固定スクロール及び第２固定ス
クロールのうちの一方の固定スクロールにガスバラスト
用導入孔を設けるとともに、前記旋回スクロールのプレ
ートには他方の固定スクロールとで形成する密閉空間に
前記気体を送る連通孔を開設し、 前記一方の固定スク
ロールに吐出孔を設け、前記密閉空間内の圧縮流体を前
記気体とともに圧縮して外部に吐出するように構成する
と好ましい。
【００１６】このように構成すると、一方の固定スクロ
ールに前記導入孔を設けるとともに、圧縮流体の吐出孔
を設けているので、前記導入孔及び吐出孔が片方の固定
スクロール側のラップの反対側の部分に集中配置され、
それらを一方及び他方の固定スクロールに分散させて配
置するより、構成が簡単になり製造が容易になる。
ールに前記導入孔を設けるとともに、圧縮流体の吐出孔
を設けているので、前記導入孔及び吐出孔が片方の固定
スクロール側のラップの反対側の部分に集中配置され、
それらを一方及び他方の固定スクロールに分散させて配
置するより、構成が簡単になり製造が容易になる。
【００１７】また、前記導入孔から旋回スクロールの一
方のラップと一方の固定スクロールのラップとで形成さ
れる密閉空間に導入された気体は旋回スクロールのプレ
ートに設けられた前記連通孔を介して旋回スクロールの
他方のラップと他方の固定スクロールのラップとで形成
されるもう一方の密閉空間に導入される。したがって、
両方の固定スクロールにガスバラスト用の気体を導入す
る導入孔を設けなくても、一方の固定スクロールに導入
孔を設ければよいために、構成が簡単で製造が容易にな
る。なお、前記第１固定スクロール及び前記第２固定ス
クロールにそれぞれ前記ガスバラスト用導入孔を設ける
ようにしてもよい。
方のラップと一方の固定スクロールのラップとで形成さ
れる密閉空間に導入された気体は旋回スクロールのプレ
ートに設けられた前記連通孔を介して旋回スクロールの
他方のラップと他方の固定スクロールのラップとで形成
されるもう一方の密閉空間に導入される。したがって、
両方の固定スクロールにガスバラスト用の気体を導入す
る導入孔を設けなくても、一方の固定スクロールに導入
孔を設ければよいために、構成が簡単で製造が容易にな
る。なお、前記第１固定スクロール及び前記第２固定ス
クロールにそれぞれ前記ガスバラスト用導入孔を設ける
ようにしてもよい。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示した実施例
を用いて詳細に説明する。但し、この実施例に記載され
る構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特
に特定的な記載が無い限り、この発明の範囲をそれのみ
に限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
を用いて詳細に説明する。但し、この実施例に記載され
る構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特
に特定的な記載が無い限り、この発明の範囲をそれのみ
に限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
【００１９】図１は、本発明の実施例に係るツイン式オ
イルフリースクロール真空ポンプの一部断面図、図２
は、図１の部分拡大図、図３〜図６は回転軸がそれぞれ
９０゜ずつ回転変位した状態におけるスクロールの作用
を示す図であって、図３は、ガスバラスト用の気体の導
入を開始したスクロールの状態を示す概略図、図４は、
ガスバラスト用の気体の導入をしているスクロールの状
態を示す概略図、図５はガスバラスト用の気体の導入終
了直前のスクロールの状態を示す概略図、図６はガスバ
ラスト用の気体の導入孔を閉鎖したスクロールの状態を
示す概略図、図７は、従来例図である。
イルフリースクロール真空ポンプの一部断面図、図２
は、図１の部分拡大図、図３〜図６は回転軸がそれぞれ
９０゜ずつ回転変位した状態におけるスクロールの作用
を示す図であって、図３は、ガスバラスト用の気体の導
入を開始したスクロールの状態を示す概略図、図４は、
ガスバラスト用の気体の導入をしているスクロールの状
態を示す概略図、図５はガスバラスト用の気体の導入終
了直前のスクロールの状態を示す概略図、図６はガスバ
ラスト用の気体の導入孔を閉鎖したスクロールの状態を
示す概略図、図７は、従来例図である。
【００２０】図１において、ポンプ本体１の回転軸１１
は右端をモータ２の駆動軸に連結され、モータ２の回転
力により回転可能に設けられている。この回転軸１１の
中央部分は、その外周が回転中心軸線よりは幾分膨らん
だ偏芯部１１ａを有し、その偏芯部１１ａの両端部はハ
ウジング４及び５の軸受け及びパッキング部に支持さ
れ、回転可能に設けられている。
は右端をモータ２の駆動軸に連結され、モータ２の回転
力により回転可能に設けられている。この回転軸１１の
中央部分は、その外周が回転中心軸線よりは幾分膨らん
だ偏芯部１１ａを有し、その偏芯部１１ａの両端部はハ
ウジング４及び５の軸受け及びパッキング部に支持さ
れ、回転可能に設けられている。
【００２１】固定スクロールを構成するハウジング４及
び５は、それぞれ円蓋状をなし、ケーシングとして機能
するその周壁をシール部材を介して当接させてその内部
に密閉空間を形成している。ハウジング４には、ラップ
摺動面４ｂが軸方向垂直に設けられ、その摺動面４ｂに
は、その中央部分に、前述の回転軸１１の偏芯部１１ａ
を外れた、偏芯しない部分が回転可能に嵌合する開口部
４ｉ（図２）が設けられ、その開口部近傍を先端７ａ
（図３）として矢印３０方向から見て時計方向回転に渦
巻状のラップ７が植設され、該ラップ７の上縁には溝が
設けられ、該溝には相手側摺動面と接触して密閉状態を
完全にするフッソ系樹脂等の自己潤滑性のあるチップシ
ール１４が嵌入（図２）されている。
び５は、それぞれ円蓋状をなし、ケーシングとして機能
するその周壁をシール部材を介して当接させてその内部
に密閉空間を形成している。ハウジング４には、ラップ
摺動面４ｂが軸方向垂直に設けられ、その摺動面４ｂに
は、その中央部分に、前述の回転軸１１の偏芯部１１ａ
を外れた、偏芯しない部分が回転可能に嵌合する開口部
４ｉ（図２）が設けられ、その開口部近傍を先端７ａ
（図３）として矢印３０方向から見て時計方向回転に渦
巻状のラップ７が植設され、該ラップ７の上縁には溝が
設けられ、該溝には相手側摺動面と接触して密閉状態を
完全にするフッソ系樹脂等の自己潤滑性のあるチップシ
ール１４が嵌入（図２）されている。
【００２２】前記ラップ７の先端７ａの近傍の摺動面４
ｂに開口部を有する吐出孔４ｃ（図２、図３）が開設さ
れ、該吐出孔４ｃから吐出通路４ｄを通ってハウジング
４の外周面４ａに設けた吐出口部９から外部に圧縮気体
が排出されるように構成されている。また、ハウジング
４のラップと反対側面にある基部４ｆにはガスバラスト
用の気体を導入する導入管１０が設けられ、気体はこの
導入管１０から通路４ｇを通って導入孔４ｅから密閉空
間Ｒに導入される。
ｂに開口部を有する吐出孔４ｃ（図２、図３）が開設さ
れ、該吐出孔４ｃから吐出通路４ｄを通ってハウジング
４の外周面４ａに設けた吐出口部９から外部に圧縮気体
が排出されるように構成されている。また、ハウジング
４のラップと反対側面にある基部４ｆにはガスバラスト
用の気体を導入する導入管１０が設けられ、気体はこの
導入管１０から通路４ｇを通って導入孔４ｅから密閉空
間Ｒに導入される。
【００２３】また、ハウジング４の周壁部分には、１２
０゜ずつ円周方向３箇所に３対の公転機構１７が設けら
れている。この公転機構１７は、後述する旋回スクロー
ルと連結している。また、ハウジング４の外周部４ａに
は、吸入口部８が設けられ、該吸入口部８は図示しな
い、真空にしようとする容器と連結され、その容器から
開口部８ａを介して、前記容器内の気体が吸引される。
０゜ずつ円周方向３箇所に３対の公転機構１７が設けら
れている。この公転機構１７は、後述する旋回スクロー
ルと連結している。また、ハウジング４の外周部４ａに
は、吸入口部８が設けられ、該吸入口部８は図示しな
い、真空にしようとする容器と連結され、その容器から
開口部８ａを介して、前記容器内の気体が吸引される。
【００２４】一方、ハウジング５には、ラップ摺動面５
ｂが軸方向垂直に設けられ、その摺動面５ｂには、その
中央部分に、前述の回転軸１１の偏芯部１１ａを外れ
た、偏芯しない部分が回転可能に嵌合する開口部が設け
られ、その開口部近傍を周端として矢印３１方向から見
て反時計方向回転に渦巻状のラップ６が植設され、該ラ
ップ６の上縁には溝が設けられ、該溝には相手側摺動面
と接触して密閉状態を完全にするチップシール１４が嵌
入（図２）されている。
ｂが軸方向垂直に設けられ、その摺動面５ｂには、その
中央部分に、前述の回転軸１１の偏芯部１１ａを外れ
た、偏芯しない部分が回転可能に嵌合する開口部が設け
られ、その開口部近傍を周端として矢印３１方向から見
て反時計方向回転に渦巻状のラップ６が植設され、該ラ
ップ６の上縁には溝が設けられ、該溝には相手側摺動面
と接触して密閉状態を完全にするチップシール１４が嵌
入（図２）されている。
【００２５】ハウジング４及び５が形成する内部空間に
は、旋回スクロール３が公転可能に嵌挿される。旋回ス
クロール３は、円盤状に形成されたプレートの摺動面３
ｄ及び３ｅに前記固定スクロールに設けられたラップと
嵌合可能なラップ２６及び２７が植設されている。
は、旋回スクロール３が公転可能に嵌挿される。旋回ス
クロール３は、円盤状に形成されたプレートの摺動面３
ｄ及び３ｅに前記固定スクロールに設けられたラップと
嵌合可能なラップ２６及び２７が植設されている。
【００２６】前記ラップ２６は矢印３０方向から見て、
時計方向回転に設けられ、前記ラップ２７は矢印３１方
向から見て、反時計方向回転に設けられている。旋回ス
クロール３の中央部分には、前述した回転軸１１の偏芯
部分１１ａが回転可能に嵌合する開口部３ａが開設さ
れ、該開口部３ａの周囲は、前記回転軸１１の偏芯部分
１１ａの全長に亙ってラップ２６ａ及び２７ａによって
囲繞するように構成されている。
時計方向回転に設けられ、前記ラップ２７は矢印３１方
向から見て、反時計方向回転に設けられている。旋回ス
クロール３の中央部分には、前述した回転軸１１の偏芯
部分１１ａが回転可能に嵌合する開口部３ａが開設さ
れ、該開口部３ａの周囲は、前記回転軸１１の偏芯部分
１１ａの全長に亙ってラップ２６ａ及び２７ａによって
囲繞するように構成されている。
【００２７】ガスバラスト用の気体を導入する前述した
固定スクロールのラップ７と旋回スクロール３のラップ
２７とで形成される密閉空間Ｒに対応する、固定スクロ
ールのラップ６と旋回スクロール３のラップ２６とで形
成される密閉空間Ｌとの間には連通孔３ｅが開設され、
導入管１０から侵入する気体は、密閉空間Ｒから該連通
孔３ｅを通って密閉空間Ｌに充満されるように構成され
ている。
固定スクロールのラップ７と旋回スクロール３のラップ
２７とで形成される密閉空間Ｒに対応する、固定スクロ
ールのラップ６と旋回スクロール３のラップ２６とで形
成される密閉空間Ｌとの間には連通孔３ｅが開設され、
導入管１０から侵入する気体は、密閉空間Ｒから該連通
孔３ｅを通って密閉空間Ｌに充満されるように構成され
ている。
【００２８】また、ハウジング５の外側と、ハウジング
４の外側の回転軸１１には、この真空ポンプを冷却する
ファン１２、１３が設けられ、これらのファンを保護す
るカバー１８、１９が複数の空気流通孔を有してハウジ
ング５及び４に取付られている。また、旋回スクロール
の外周部には、前述したようにハウジング４に一端が支
持され、１２０゜ずつ円周方向３箇所に３対の公転機構
１７の他端が支持され、該公転機構１７を介して前記固
定スクロールとは偏心した回転中心を有して公転するよ
うに配置される。
４の外側の回転軸１１には、この真空ポンプを冷却する
ファン１２、１３が設けられ、これらのファンを保護す
るカバー１８、１９が複数の空気流通孔を有してハウジ
ング５及び４に取付られている。また、旋回スクロール
の外周部には、前述したようにハウジング４に一端が支
持され、１２０゜ずつ円周方向３箇所に３対の公転機構
１７の他端が支持され、該公転機構１７を介して前記固
定スクロールとは偏心した回転中心を有して公転するよ
うに配置される。
【００２９】次に、上述のごとく構成された本実施例の
動作を、図３〜図６を用いて説明する。図３〜図６中
（ａ）は図２におけるＡ−Ａ方向から見た図であり、
（ｂ）はＢ−Ｂ方向から見た図である。図１において、
回転軸１１が回転すると、旋回スクロール３が公転し、
図示しない容器から気体を吸入し、固定スクロールのラ
ップ６、７の外周から気体を旋回スクロールのラップ２
６及び２７によって、それらの固定スクロール及び旋回
スクロールのラップによって形成する密閉空間に取り込
み、この密閉空間によって圧縮され、３個以上の密閉空
間により圧縮された後に、図６（ａ）に示すＲ０密閉空
間から図３（ａ）に示す空間Ｒ１に到ると、導入管１０
からの導入通路が開成する。
動作を、図３〜図６を用いて説明する。図３〜図６中
（ａ）は図２におけるＡ−Ａ方向から見た図であり、
（ｂ）はＢ−Ｂ方向から見た図である。図１において、
回転軸１１が回転すると、旋回スクロール３が公転し、
図示しない容器から気体を吸入し、固定スクロールのラ
ップ６、７の外周から気体を旋回スクロールのラップ２
６及び２７によって、それらの固定スクロール及び旋回
スクロールのラップによって形成する密閉空間に取り込
み、この密閉空間によって圧縮され、３個以上の密閉空
間により圧縮された後に、図６（ａ）に示すＲ０密閉空
間から図３（ａ）に示す空間Ｒ１に到ると、導入管１０
からの導入通路が開成する。
【００３０】このとき、真空にしようとする容器内の圧
力が外部気圧に近いときは、前記導入孔から気体が導入
される密閉空間Ｒ１の内圧はすでに外部大気より高く、
また、ガスバラスト用の導入管１０から導入される気体
の圧力が前記内圧より低いと導入孔を通って気体は導入
されない。旋回スクロールの公転駆動により、密閉空間
Ｒ及びＬはＲ１、Ｌ１（図３）、Ｒ２，Ｌ２（図４），
Ｒ３，Ｌ３（図５）、Ｒ４，Ｌ４（図６）と変化して圧
縮気体は吐出孔４ｃから排出される。
力が外部気圧に近いときは、前記導入孔から気体が導入
される密閉空間Ｒ１の内圧はすでに外部大気より高く、
また、ガスバラスト用の導入管１０から導入される気体
の圧力が前記内圧より低いと導入孔を通って気体は導入
されない。旋回スクロールの公転駆動により、密閉空間
Ｒ及びＬはＲ１、Ｌ１（図３）、Ｒ２，Ｌ２（図４），
Ｒ３，Ｌ３（図５）、Ｒ４，Ｌ４（図６）と変化して圧
縮気体は吐出孔４ｃから排出される。
【００３１】よって、前記空間Ｒ１，Ｌ１の時点で、す
でに容器内の気体が水蒸気を含んでいると最終密閉空間
Ｒ４、Ｌ４においては飽和蒸気圧以上となり、蒸気が凝
縮して液化し、最終密閉空間を形成するラップの内壁に
付着して水分が蓄積される。
でに容器内の気体が水蒸気を含んでいると最終密閉空間
Ｒ４、Ｌ４においては飽和蒸気圧以上となり、蒸気が凝
縮して液化し、最終密閉空間を形成するラップの内壁に
付着して水分が蓄積される。
【００３２】もし、すでに空間Ｒ１、Ｌ１に到るまでに
水蒸気が液化した場合は、若干の水分が固定スクロール
の導入孔４ｅから導入管１０に逆流するが、導入孔４ｅ
は狭く、且つ、ガスバラスト用気体が存在するので、導
入管１０に侵入する水分は極めて少ない。
水蒸気が液化した場合は、若干の水分が固定スクロール
の導入孔４ｅから導入管１０に逆流するが、導入孔４ｅ
は狭く、且つ、ガスバラスト用気体が存在するので、導
入管１０に侵入する水分は極めて少ない。
【００３３】真空にしようとする容器内の圧力が低下す
ると、容器内の水分は気化が進むがガスバラスト用の前
記導入孔から気体が導入される密閉空間Ｒ１，Ｌ１の内
圧は、該密閉空間に到るまでに取り込んだ流体が圧縮さ
れたとしても、前記導入孔から導入される気体の圧力よ
り低くなり、前記導入孔から気体が導入される。
ると、容器内の水分は気化が進むがガスバラスト用の前
記導入孔から気体が導入される密閉空間Ｒ１，Ｌ１の内
圧は、該密閉空間に到るまでに取り込んだ流体が圧縮さ
れたとしても、前記導入孔から導入される気体の圧力よ
り低くなり、前記導入孔から気体が導入される。
【００３４】この時点で導入された気体中の水蒸気の比
率が低下する。そして、Ｒ２，Ｌ２（図４）、Ｒ３，Ｌ
３（図５）まで前記水蒸気を含んだ流体が圧縮される。
この時、この空間の圧縮流体の圧力はガスバラスト用の
気体の圧力より大きくなるが、導入孔４ｅが小径であ
り、旋回スクロールの駆動速度が早くかつ、ガスバラス
ト用の気体が存在するので、導入孔４ｅから逆流する圧
縮流体は少なく、また、Ｒ４，Ｌ４（図６）において密
閉空間が吐出孔４ｃと導通する直前に固定スクロールの
導入孔４ｅは旋回スクロールのラップ２６ａ及び２７ａ
によって閉鎖される。
率が低下する。そして、Ｒ２，Ｌ２（図４）、Ｒ３，Ｌ
３（図５）まで前記水蒸気を含んだ流体が圧縮される。
この時、この空間の圧縮流体の圧力はガスバラスト用の
気体の圧力より大きくなるが、導入孔４ｅが小径であ
り、旋回スクロールの駆動速度が早くかつ、ガスバラス
ト用の気体が存在するので、導入孔４ｅから逆流する圧
縮流体は少なく、また、Ｒ４，Ｌ４（図６）において密
閉空間が吐出孔４ｃと導通する直前に固定スクロールの
導入孔４ｅは旋回スクロールのラップ２６ａ及び２７ａ
によって閉鎖される。
【００３５】そして、前記空間が圧縮され、吐出孔と導
通するとき（図６）の水蒸気分圧を低下させ、スクロー
ルポンプの飽和蒸気圧以下とし、液化させずに、かつ、
前記凝縮して液化してラップ壁に付着した水分を気化さ
せるとともに、吐出孔から排出する。
通するとき（図６）の水蒸気分圧を低下させ、スクロー
ルポンプの飽和蒸気圧以下とし、液化させずに、かつ、
前記凝縮して液化してラップ壁に付着した水分を気化さ
せるとともに、吐出孔から排出する。
【００３６】一方、図６に示す空間Ｓ０（ａ）、Ｔ０
（ｂ）は、回転軸１１が９０゜回転すると、図３に示す
ようにＳ１（ａ），Ｔ１（ｂ）と圧縮されるが、この圧
縮空間にはガスバラスト用の導入孔は存在しない。そし
て、図４のＳ２，Ｔ２を経て図５のＳ３，Ｔ３空間が吐
出孔４ｃと連通して圧縮流体は外部に吐出される。よっ
て、この行程においては、飽和蒸気圧以上となり、蒸気
が凝縮して液化し、最終密閉空間を形成するラップの内
壁に付着して水分が蓄積される場合がある。
（ｂ）は、回転軸１１が９０゜回転すると、図３に示す
ようにＳ１（ａ），Ｔ１（ｂ）と圧縮されるが、この圧
縮空間にはガスバラスト用の導入孔は存在しない。そし
て、図４のＳ２，Ｔ２を経て図５のＳ３，Ｔ３空間が吐
出孔４ｃと連通して圧縮流体は外部に吐出される。よっ
て、この行程においては、飽和蒸気圧以上となり、蒸気
が凝縮して液化し、最終密閉空間を形成するラップの内
壁に付着して水分が蓄積される場合がある。
【００３７】この場合においても、ガスバラスト用の導
入管と連通する空間Ｒ４、Ｌ４（図６）が、空間Ｓ３，
Ｔ３の圧縮流体を吐出孔４ｃから吐出後に続いて吐出孔
４ｃ導通するので、水蒸気分圧が低い、スクロールポン
プの飽和蒸気圧以下の圧縮気体が、前記空間Ｓ３，Ｔ３
において凝縮して液化した水分を気化させつつ、吐出孔
から排出する。
入管と連通する空間Ｒ４、Ｌ４（図６）が、空間Ｓ３，
Ｔ３の圧縮流体を吐出孔４ｃから吐出後に続いて吐出孔
４ｃ導通するので、水蒸気分圧が低い、スクロールポン
プの飽和蒸気圧以下の圧縮気体が、前記空間Ｓ３，Ｔ３
において凝縮して液化した水分を気化させつつ、吐出孔
から排出する。
【００３８】上述したように、本実施例は、ガスバラス
ト用の前記導入孔の開口部を前記旋回スクロールのラッ
プ摺動面に設けるとともに、前記開口部の開口孔径を前
記ラップ幅より小に形成し、前記旋回スクロールのラッ
プ駆動により前記導入孔の開口を開閉可能に構成し、前
記固定スクロール及び旋回スクロールが形成する最終密
閉空間が外部への吐出通路と導通する時期に同期して前
記導入孔の開口部を閉鎖するように構成しているので、
最終密閉空間が吐出通路と導通しているときにガスバラ
スト用の前記導入孔とは遮断され、前記導入孔へ圧縮流
体が逆流することが防止され、圧縮流体は吐出通路から
外部に排出される。したがって、導入孔開口部をラップ
幅より小さい径に設定するという簡単な構成で前記圧縮
流体の逆流が防止でき、前記気体導入孔の部分に特別な
逆止め弁を設ける必要がない。
ト用の前記導入孔の開口部を前記旋回スクロールのラッ
プ摺動面に設けるとともに、前記開口部の開口孔径を前
記ラップ幅より小に形成し、前記旋回スクロールのラッ
プ駆動により前記導入孔の開口を開閉可能に構成し、前
記固定スクロール及び旋回スクロールが形成する最終密
閉空間が外部への吐出通路と導通する時期に同期して前
記導入孔の開口部を閉鎖するように構成しているので、
最終密閉空間が吐出通路と導通しているときにガスバラ
スト用の前記導入孔とは遮断され、前記導入孔へ圧縮流
体が逆流することが防止され、圧縮流体は吐出通路から
外部に排出される。したがって、導入孔開口部をラップ
幅より小さい径に設定するという簡単な構成で前記圧縮
流体の逆流が防止でき、前記気体導入孔の部分に特別な
逆止め弁を設ける必要がない。
【００３９】また、前記旋回スクロールのプレートの表
裏面にそれぞれラップを形成し、これらのラップとお互
いに嵌合するラップを有する第１固定スクロール及び第
２固定スクロールとにより前記旋回スクロールを旋回駆
動可能に設け、前記第１固定スクロール及び第２固定ス
クロールのうちの一方の固定スクロールにガスバラスト
用導入孔を設けるとともに、前記旋回スクロールのプレ
ートには他方の固定スクロールとで形成する密閉空間に
前記気体を送る連通孔を開設し、前記一方の固定スクロ
ールに吐出孔を設け、前記密閉空間内の圧縮流体を前記
気体とともに圧縮して外部に吐出するように構成してい
るので、一方の固定スクロールに前記導入孔を設けると
ともに、圧縮流体の吐出孔を設けているので、前記導入
孔及び吐出孔が片方の固定スクロール側のラップの反対
側の部分に集中配置され、それらを一方及び他方の固定
スクロールに分散させて配置するより、構成が簡単にな
り製造が容易になる。
裏面にそれぞれラップを形成し、これらのラップとお互
いに嵌合するラップを有する第１固定スクロール及び第
２固定スクロールとにより前記旋回スクロールを旋回駆
動可能に設け、前記第１固定スクロール及び第２固定ス
クロールのうちの一方の固定スクロールにガスバラスト
用導入孔を設けるとともに、前記旋回スクロールのプレ
ートには他方の固定スクロールとで形成する密閉空間に
前記気体を送る連通孔を開設し、前記一方の固定スクロ
ールに吐出孔を設け、前記密閉空間内の圧縮流体を前記
気体とともに圧縮して外部に吐出するように構成してい
るので、一方の固定スクロールに前記導入孔を設けると
ともに、圧縮流体の吐出孔を設けているので、前記導入
孔及び吐出孔が片方の固定スクロール側のラップの反対
側の部分に集中配置され、それらを一方及び他方の固定
スクロールに分散させて配置するより、構成が簡単にな
り製造が容易になる。
【００４０】また、ガスバラスト用の前記導入孔から旋
回スクロールの一方のラップと一方の固定スクロールの
ラップとで形成される密閉空間に導入された気体は旋回
スクロールのプレートに設けられた前記連通孔を介して
旋回スクロールの他方のラップと他方の固定スクロール
のラップとで形成されるもう一方の密閉空間に導入して
いるので、両方の固定スクロールにガスバラスト用の気
体を導入する導入孔を設けなくても、一方の固定スクロ
ールに導入孔を設ければよいために、構成が簡単で製造
が容易になる。
回スクロールの一方のラップと一方の固定スクロールの
ラップとで形成される密閉空間に導入された気体は旋回
スクロールのプレートに設けられた前記連通孔を介して
旋回スクロールの他方のラップと他方の固定スクロール
のラップとで形成されるもう一方の密閉空間に導入して
いるので、両方の固定スクロールにガスバラスト用の気
体を導入する導入孔を設けなくても、一方の固定スクロ
ールに導入孔を設ければよいために、構成が簡単で製造
が容易になる。
【００４１】尚、本実施例は種々変形することができ
る。上述したように、Ｒ空間、Ｌ空間にガスバラスト用
の導入孔からの気体を導入しているが、必ずしもこれに
限定されるものではなく、Ｓ空間，Ｔ空間にガスバラス
ト用の気体を導入するように構成してもよい。また、ガ
スバラスト用の導入管１０及び吐出通路４ｃ，４ｄはハ
ウジング４側に取付られているが、これはハウジング５
側に設けてもよい。また、ガスバラスト用の気体はハウ
ジング４及び５の両方に導入管を設け、旋回及び固定ス
クロールのラップで形成される空間Ｒ及びＬに両方から
導入してもよい。その場合は、前記空間ＲとＬを連通す
る連通孔３ｅは不用となるとともに、両方から迅速にガ
スバラスト用の気体が導入されるので効率がアップす
る。また、吐出通路はハウジング４側の４ｃ，４ｄとと
もに、ハウジング５側にも設けてもよいことは勿論のこ
とである。
る。上述したように、Ｒ空間、Ｌ空間にガスバラスト用
の導入孔からの気体を導入しているが、必ずしもこれに
限定されるものではなく、Ｓ空間，Ｔ空間にガスバラス
ト用の気体を導入するように構成してもよい。また、ガ
スバラスト用の導入管１０及び吐出通路４ｃ，４ｄはハ
ウジング４側に取付られているが、これはハウジング５
側に設けてもよい。また、ガスバラスト用の気体はハウ
ジング４及び５の両方に導入管を設け、旋回及び固定ス
クロールのラップで形成される空間Ｒ及びＬに両方から
導入してもよい。その場合は、前記空間ＲとＬを連通す
る連通孔３ｅは不用となるとともに、両方から迅速にガ
スバラスト用の気体が導入されるので効率がアップす
る。また、吐出通路はハウジング４側の４ｃ，４ｄとと
もに、ハウジング５側にも設けてもよいことは勿論のこ
とである。
【００４２】また、ガスバラスト用の気体は導入管１０
から外部大気を導入してもよいが、空気またＮ2 等乾燥
ガスに熱を加えて導入するのが望ましい。この場合は、
スクロールラップ内の蒸気または液体の乾燥が早めら
れ、劣化防止が促進される。また、本実施例は、容器か
ら有害なガスなどを吸引した場合は、導入管からＮ2 等
の希釈用ガスを導入して有害ガスを安全基準まで希釈す
ることができる。
から外部大気を導入してもよいが、空気またＮ2 等乾燥
ガスに熱を加えて導入するのが望ましい。この場合は、
スクロールラップ内の蒸気または液体の乾燥が早めら
れ、劣化防止が促進される。また、本実施例は、容器か
ら有害なガスなどを吸引した場合は、導入管からＮ2 等
の希釈用ガスを導入して有害ガスを安全基準まで希釈す
ることができる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、固定ス
クロールにガスバラスト用導入孔を設け、固定スクロー
ルと旋回スクロールに設けられたラップとお互いに嵌合
して形成される密閉空間に前記導入孔から気体を導入
し、前記密閉空間内の圧縮流体を前記気体とともに圧縮
して外部に吐出するように構成しているので、ポンプ内
に凝縮した液体を外部に排出するオイルフリースクロー
ル真空ポンプを提供する事ができる。
クロールにガスバラスト用導入孔を設け、固定スクロー
ルと旋回スクロールに設けられたラップとお互いに嵌合
して形成される密閉空間に前記導入孔から気体を導入
し、前記密閉空間内の圧縮流体を前記気体とともに圧縮
して外部に吐出するように構成しているので、ポンプ内
に凝縮した液体を外部に排出するオイルフリースクロー
ル真空ポンプを提供する事ができる。
【図１】本発明の実施例に係るツイン式オイルフリース
クロール真空ポンプの一部断面図である。
クロール真空ポンプの一部断面図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】ガスバラスト用の気体の導入を開始したスクロ
ールの状態を示す概略図である。
ールの状態を示す概略図である。
【図４】ガスバラスト用の気体の導入をしているスクロ
ールの状態を示す概略図である。
ールの状態を示す概略図である。
【図５】ガスバラスト用の気体の導入終了直前のスクロ
ールの状態を示す概略図である。
ールの状態を示す概略図である。
【図６】ガスバラスト用の気体の導入孔を閉鎖したスク
ロールの状態を示す概略図である。
ロールの状態を示す概略図である。
【図７】従来例図である。
【符号の説明】
１ ポンプ本体
２ モータ
３ 旋回スクロール
４、５ ハウジング
６、７、２６、２７ ラップ
８ 吸入口部
９ 吐出口部
１０ 導入管
１１ 回転軸
１２、１３ ファン
１４ チップシール
１５、１６ パッキング
１７ 公転機構
１８、１９ カバー
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平１−237378（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−283783（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−139478（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F04C 25/02
F04C 18/02
Claims (5)
- 【請求項１】 固定スクロールと旋回スクロールとによ
り流体を圧縮して外部に吐出するスクロール真空ポンプ
において、 前記固定スクロールにガスバラスト用導入孔を設け、該
ガスバラスト用導入孔の開口部を前記旋回スクロールの
ラップ摺動面に位置づけ、前記旋回スクロールのラップ
の公転駆動により前記ガスバラスト用導入孔の開口部が
開閉されて、前記固定スクロール及び前記旋回スクロー
ルのラップが形成する最終密閉空間が外部への吐出通路
と導通する時期に同期して前記ガスバラスト用導入孔の
開口部を閉鎖して、前記最終密閉空間内の圧縮流体を、
前記ガスバラスト用導入孔から導入した気体とともに前
記固定スクロールに形成された吐出孔から外部に吐出す
るようにしたことを特徴とするオイルフリースクロール
真空ポンプ。 - 【請求項２】 前記旋回スクロールのプレートの表裏面
にそれぞれラップを形成し、これらのラップとお互いに
嵌合するラップを有する第１固定スクロール及び第２固
定スクロールとにより前記旋回スクロールを旋回駆動可
能に設け、前記第１固定スクロール及び前記第２固定ス
クロールの一方の固定スクロールに前記ガスバラスト用
導入孔を設け、前記旋回スクロールのプレートには他方
の固定スクロールとで形成する密閉空間と連通する連通
孔を開設して、前記一方の固定スクロールに前記吐出孔
を設けるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の
オイルフリースクロール真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記旋回スクロールのプレートの表裏面
にそれぞれラップを形成し、これらのラップとお互いに
嵌合するラップを有する第１固定スクロール及び第２固
定スクロールとにより前記旋回スクロールを旋回駆動可
能に設け、前記第１固定スクロール及び前記第２固定ス
クロールにそれぞれ前記ガスバラスト用導入孔を設ける
ようにしたことを特徴する請求項１に記載のオイルフリ
ースクロール真空ポンプ。 - 【請求項４】 前記ガスバラスト用導入孔の開口部の開
口孔径を前記ラップ幅より小に形成したことを特徴とす
る請求項２又は３に記載のオイルフリースクロール真空
ポンプ。 - 【請求項５】 前記固定スクロールを構成するハウジン
グには導入管を設け 、前記導入管から気体を前記ガスバ
ラスト用導入孔に導入することを特徴とする請求項１に
記載のオイルフリースクロール真空ポンプ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20760195A JP3388657B2 (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | オイルフリースクロール真空ポンプ |
| EP96111523A EP0754860B1 (en) | 1995-07-21 | 1996-07-17 | Oil-free scroll vacuum pump |
| US08/682,256 US5743719A (en) | 1995-07-21 | 1996-07-17 | Oil-free scroll vacuum pump having a gas ballast part |
| DE69620511T DE69620511T2 (de) | 1995-07-21 | 1996-07-17 | Ölfreie Spiralvakuumpumpe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20760195A JP3388657B2 (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | オイルフリースクロール真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0932767A JPH0932767A (ja) | 1997-02-04 |
| JP3388657B2 true JP3388657B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=16542485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20760195A Expired - Lifetime JP3388657B2 (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | オイルフリースクロール真空ポンプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5743719A (ja) |
| EP (1) | EP0754860B1 (ja) |
| JP (1) | JP3388657B2 (ja) |
| DE (1) | DE69620511T2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3985051B2 (ja) * | 1997-07-28 | 2007-10-03 | 独立行政法人 日本原子力研究開発機構 | ダブルラップドライスクロール真空ポンプ |
| US6162033A (en) * | 1998-07-23 | 2000-12-19 | Carrier Corporation | Compressor economizer tube assembly |
| AU1101200A (en) * | 1998-10-05 | 2000-04-26 | Objectsoft, Corporation | An information access system |
| US6953330B1 (en) | 2004-08-02 | 2005-10-11 | Anest Iwata Corporation | Scroll vacuum pump |
| GB201007028D0 (en) * | 2010-04-28 | 2010-06-09 | Edwards Ltd | Scroll pump |
| CN102562588B (zh) * | 2012-01-17 | 2015-02-25 | 杨广衍 | 一种无油涡旋流体机械装置及方法 |
| US9341186B2 (en) | 2013-04-30 | 2016-05-17 | Agilent Technologies, Inc. | Scroll vacuum pump and method of maintenance including replacing a tip seal of a scroll vacuum pump |
| CN103437998B (zh) * | 2013-07-10 | 2016-08-10 | 佛山市广顺电器有限公司 | 一种无油涡旋空气压缩机 |
| JP7220692B2 (ja) * | 2019-10-07 | 2023-02-10 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ、スクロールポンプ及びその製造方法 |
| EP3754200B1 (de) * | 2019-10-07 | 2021-12-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Scrollvakuumpumpe und montageverfahren |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2885143A (en) * | 1955-07-29 | 1959-05-05 | W M Welch Mfg Company | Vacuum pump |
| GB1248031A (en) * | 1967-09-21 | 1971-09-29 | Edwards High Vacuum Int Ltd | Two-stage rotary vacuum pumps |
| FR2153129B2 (ja) * | 1971-06-01 | 1974-01-04 | Vulliez Paul | |
| FR2487446B1 (fr) * | 1980-07-23 | 1985-09-27 | Cit Alcatel | Groupe de pompage electrique a palette, a joint d'huile, d'encombrement reduit |
| IT1135031B (it) * | 1981-01-14 | 1986-08-20 | Generalvacuum Spa | Perfezionamenti nelle o relativi alle pompe a capsulismo |
| JPS631782A (ja) * | 1986-06-20 | 1988-01-06 | Tokico Ltd | スクロ−ル式真空ポンプ |
| JPH03111690A (ja) * | 1989-09-22 | 1991-05-13 | Tokuda Seisakusho Ltd | 真空ポンプ |
| JPH0684753B2 (ja) * | 1989-10-23 | 1994-10-26 | 株式会社日立製作所 | スクロール形真空ポンプ |
| JP2618501B2 (ja) * | 1989-10-30 | 1997-06-11 | 株式会社日立製作所 | 低温用スクロール式冷凍装置 |
| US5258046A (en) * | 1991-02-13 | 1993-11-02 | Iwata Air Compressor Mfg. Co., Ltd. | Scroll-type fluid machinery with seals for the discharge port and wraps |
| JPH04117195U (ja) * | 1991-04-02 | 1992-10-20 | サンデン株式会社 | スクロール型圧縮機 |
| DE4325281A1 (de) * | 1993-07-28 | 1995-02-02 | Leybold Ag | Vakuumpumpe mit einer Gasballasteinrichtung |
-
1995
- 1995-07-21 JP JP20760195A patent/JP3388657B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-07-17 DE DE69620511T patent/DE69620511T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-17 EP EP96111523A patent/EP0754860B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-17 US US08/682,256 patent/US5743719A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0754860A3 (en) | 1998-01-07 |
| US5743719A (en) | 1998-04-28 |
| DE69620511D1 (de) | 2002-05-16 |
| DE69620511T2 (de) | 2002-11-28 |
| JPH0932767A (ja) | 1997-02-04 |
| EP0754860B1 (en) | 2002-04-10 |
| EP0754860A2 (en) | 1997-01-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002089463A (ja) | スクロール型圧縮機 | |
| JP3388657B2 (ja) | オイルフリースクロール真空ポンプ | |
| CA2057032C (en) | Scroll compressor | |
| JPH09177684A (ja) | スクロール型真空ポンプ | |
| JP2002070769A (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JPH0526180A (ja) | スクロール型流体機械 | |
| JPH0599164A (ja) | スクロール型流体機械 | |
| JPS62225793A (ja) | 密閉形スクロ−ル圧縮機 | |
| JP3884101B2 (ja) | オイルフリースクロール真空ポンプ | |
| JP2933772B2 (ja) | ２シリンダ形ロータリ圧縮機 | |
| JP2919576B2 (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JPH07103167A (ja) | 二段圧縮機 | |
| JPH08319960A (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JP2002174174A (ja) | 真空排気装置 | |
| JP3064050B2 (ja) | スクロール型流体機械 | |
| JP2919550B2 (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JP3815747B2 (ja) | オイルフリー真空ポンプ | |
| JPH11210626A (ja) | 密閉圧縮機 | |
| JPH0636310Y2 (ja) | スクロール形圧縮機 | |
| JP3124161B2 (ja) | 密閉型圧縮機 | |
| JPH09112462A (ja) | ロータリ圧縮機 | |
| JPH09296786A (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JP3235788B2 (ja) | ツイン式スクロール流体機械 | |
| JPH07332263A (ja) | オイルレス・スクロール式真空ポンプ | |
| JPH11132171A (ja) | ヘリカルコンプレッサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090117 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090117 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100117 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110117 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110117 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120117 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130117 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140117 Year of fee payment: 11 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |