JP7191901B2 - 試料分析装置及び方法 - Google Patents
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Description
Claims (8)
- 電子線の照射により試料から発生する特性X線を分光して取得された時系列順の複数の強度スペクトルを入力する入力手段と、
表示対象となる各時刻の前記強度スペクトルを1次元マップで表し、複数の1次元マップを時系列順に配置し、これにより前記複数の強度スペクトルを表す2次元マップとしてのコンターマップを作成及び表示するコンターマップ表示手段と、
前記コンターマップにおいて前記試料の状態変化により一次元マップが時間的に変化している箇所を変化箇所として判別する判別手段と、
前記変化箇所の発生時刻よりも前に取得された強度スペクトルを分析対象とする手段と、
を備えることを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
さらに、表示対象となる各時刻の前記強度スペクトルにおける時間変化を1次元差分マップで表し、複数の1次元差分マップを時系列順に配置し、これにより2次元差分マップとしての時間変化のコンターマップを作成及び表示する時間変化表示手段を備える、ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
前記コンターマップ表示手段は、各時刻における前記強度スペクトルを1次元カラーマップで表し、複数の1次元カラーマップを時系列順に配置し、これにより2次元カラーマップとしての前記コンターマップを作成及び表示する、ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
さらに、表示対象となる各時刻の前記強度スペクトルの線グラフを時系列順に配置する線グラフ表示手段と、
前記コンターマップにおける選択位置に対応する前記線グラフにおける対応位置、または、前記線グラフにおける選択位置に対応する前記コンターマップにおける対応位置を表示する対応位置表示手段と、を備えることを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
さらに、前記試料から発生する特性X線を分光する分光器、及び、前記分光器により前記強度スペクトルを取得する取得手段を備える、ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項5に記載の試料分析装置において、
前記分光器は、前記特性X線の回折格子とX線用カメラを備え、
前記取得手段は、波長分散型X線分光法により前記強度スペクトルを取得する、ことを特徴とする試料分析装置。 - 請求項1に記載の試料分析装置において、
前記判別手段は、前記コンターマップに対して前記変化箇所の発生時刻を示す位置を表示する、
を含むことを特徴とする試料分析装置。 - 電子線の照射により試料から発生する特性X線を分光して取得された時系列順の複数の強度スペクトルを複数の1次元マップで表す工程と、
前記複数の1次元マップを時系列順に配置し、これにより前記複数の強度スペクトルを表す2次元マップとしてのコンターマップを作成する工程と、
前記コンターマップにおいて前記試料の状態変化により一次元マップが時間的に変化している箇所を変化箇所として判別する工程と、
前記コンターマップにおける前記変化箇所の発生時刻よりも前に取得された強度スペクトルを分析対象とする工程と、
を備えることを特徴とする試料分析方法。
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